JPS6267404A - 光学式真円度測定装置 - Google Patents
光学式真円度測定装置Info
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- JPS6267404A JPS6267404A JP20803185A JP20803185A JPS6267404A JP S6267404 A JPS6267404 A JP S6267404A JP 20803185 A JP20803185 A JP 20803185A JP 20803185 A JP20803185 A JP 20803185A JP S6267404 A JPS6267404 A JP S6267404A
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- Japan
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- microscope
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- linear light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、顕微鏡を応用した、光学式真円度測定装置に
関するものである。
関するものである。
本発明は、回転可能な載物台上にセットした被測定物の
側面に、スリットを通過した光により線状光のマークを
付け、該線状光のマークを鉛直に対して角度を持たせた
顕＠鏡で観察し、被測定物の回転に従っての線状光のマ
ークの、顕微鏡視野に対する相対的変動を追跡すること
により真円度を測定することを主旨とする真円度測定装
置である。この装置により、被測定物に接触することな
く、精度の高い真円度測定が可能となる。
側面に、スリットを通過した光により線状光のマークを
付け、該線状光のマークを鉛直に対して角度を持たせた
顕＠鏡で観察し、被測定物の回転に従っての線状光のマ
ークの、顕微鏡視野に対する相対的変動を追跡すること
により真円度を測定することを主旨とする真円度測定装
置である。この装置により、被測定物に接触することな
く、精度の高い真円度測定が可能となる。
従来の真円度測定装置は、第２図に示すように回転式載
物台１上にセットされた被測定物３に、図示のような、
回転θを与えつつ、接触式変位センサ１５を接触させ、
該接触式変位センサ１５の被測定物１に対する半径方向
の変位を、前記回転θの量との関係で表わして出力して
いた。
物台１上にセットされた被測定物３に、図示のような、
回転θを与えつつ、接触式変位センサ１５を接触させ、
該接触式変位センサ１５の被測定物１に対する半径方向
の変位を、前記回転θの量との関係で表わして出力して
いた。
〔発明が解決しようとする問題点および目的〕しかし、
前記の従来技術では・接触子を当てると変形してしまう
ような柔軟物や、被測定物自体が、小さかったり、軽量
であって、接触子を当てると、動いてしまう場合には、
真円度測定は極めて困難であるという欠点があった。そ
こで本発明は、そのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、柔軟物や小形・軽量な被ホ１１
定物の真円度測定をも可能とする、非接触の光学式真円
度測定装置を提供するところにある。
前記の従来技術では・接触子を当てると変形してしまう
ような柔軟物や、被測定物自体が、小さかったり、軽量
であって、接触子を当てると、動いてしまう場合には、
真円度測定は極めて困難であるという欠点があった。そ
こで本発明は、そのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、柔軟物や小形・軽量な被ホ１１
定物の真円度測定をも可能とする、非接触の光学式真円
度測定装置を提供するところにある。
回転機能を有する載物台と、鉛直方向に対して角度を持
って設置された顕微鏡と、顕微鏡移動機構と、被測定物
に線状光を照射するための光学系より構成される、顕微
鏡を利用した真円度測定装置において、回転式載物台上
で、ゆるやかに回転を与えられた円筒形状の被測定物の
側面に、スリットを通過させた線状光を照射し、これに
よってできる該線状光によるマークを、鉛直方向に対し
て角度を付けた顕微がで観察し、前記線状光のマークの
・顕微鏡視野内での変動を観察し、これと回転式載物台
（すなわち被測定物）の回転角を関係ずけることにより
、非接触にて・接触式では測定困難な・柔軟物や小形・
軽量の被測定物の真円度測定をも可能にしたことを特徴
とする。
って設置された顕微鏡と、顕微鏡移動機構と、被測定物
に線状光を照射するための光学系より構成される、顕微
鏡を利用した真円度測定装置において、回転式載物台上
で、ゆるやかに回転を与えられた円筒形状の被測定物の
側面に、スリットを通過させた線状光を照射し、これに
よってできる該線状光によるマークを、鉛直方向に対し
て角度を付けた顕微がで観察し、前記線状光のマークの
・顕微鏡視野内での変動を観察し、これと回転式載物台
（すなわち被測定物）の回転角を関係ずけることにより
、非接触にて・接触式では測定困難な・柔軟物や小形・
軽量の被測定物の真円度測定をも可能にしたことを特徴
とする。
本発明の前記の構成により、真円度測定を行う場合のキ
ーポイントとしての、顕微鏡の視野画像情報を、被測定
物の輪郭に置き換える手法を、第５図および第４図を用
いて説明する。第５図（ａ）は任意の場所での顕微鏡視
野画像であるが、顕微鏡視野１６の中に、顕微鏡で観察
される線状光のマーク１７が見られる。該顕微−鏡で観
察される線状光のマーク１７は、中心部が鮮明（すなわ
ち明暗がはっきりとしている）で、外周にいく程ぼやけ
るが、中心付近に注目し、図示のように、顕微鏡視野１
６の決められた一端からの距離αをもって、顕微疎視野
に対する線状光のマークの相対位置とする。さて、第６
図（ｂ）から第５図（枦に、回転式載物台、すなわち被
測定物の回転角０°から３６０゜までに対し４５°おき
に、前記顕微鏡視野に対する線状光のマークの相対位置
を測定したようすを示した・また、第４図には、前記被
測定物の回転角と顕微鏡視野に対する線状光のマークの
相対位置の関係を円形のグラフ上に表わしたが、これが
被測定物の輪郭を表わす。実際の装置化においては・被
測定物の回転角ピッチは４５°といった粗いものではす
く、充分細かくとる（たとえば１°）０また注意すべき
点として、顕微鏡を傾けて設置しているので・顕微鏡視
野に対する線状光のマークの変動は、補正されていなけ
ればならない。たとえば、実施例では、顕微鏡を４５°
傾けて設置しているので・前記のようにして得られた値
を−ＪＴで除して最終結果を得ている。
ーポイントとしての、顕微鏡の視野画像情報を、被測定
物の輪郭に置き換える手法を、第５図および第４図を用
いて説明する。第５図（ａ）は任意の場所での顕微鏡視
野画像であるが、顕微鏡視野１６の中に、顕微鏡で観察
される線状光のマーク１７が見られる。該顕微−鏡で観
察される線状光のマーク１７は、中心部が鮮明（すなわ
ち明暗がはっきりとしている）で、外周にいく程ぼやけ
るが、中心付近に注目し、図示のように、顕微鏡視野１
６の決められた一端からの距離αをもって、顕微疎視野
に対する線状光のマークの相対位置とする。さて、第６
図（ｂ）から第５図（枦に、回転式載物台、すなわち被
測定物の回転角０°から３６０゜までに対し４５°おき
に、前記顕微鏡視野に対する線状光のマークの相対位置
を測定したようすを示した・また、第４図には、前記被
測定物の回転角と顕微鏡視野に対する線状光のマークの
相対位置の関係を円形のグラフ上に表わしたが、これが
被測定物の輪郭を表わす。実際の装置化においては・被
測定物の回転角ピッチは４５°といった粗いものではす
く、充分細かくとる（たとえば１°）０また注意すべき
点として、顕微鏡を傾けて設置しているので・顕微鏡視
野に対する線状光のマークの変動は、補正されていなけ
ればならない。たとえば、実施例では、顕微鏡を４５°
傾けて設置しているので・前記のようにして得られた値
を−ＪＴで除して最終結果を得ている。
第１図は本発明の一実施例における、全体概略構成図で
あり、回転式載物台１は、電動機２により回転可能とな
っている。前記回転式載物台１上にセットされた被測定
物５０円筒側面には、光源４を発した後、ビームベンダ
を含む光学系５を通り・さらにスリット６を通過した光
により線状光のマーク７を付ける。該線状光のマーク７
を、鉛直に対しα＝４５°傾けた、輪郭検出用顕微鏡８
で観察する。該輪郭検出用類＠鏡８で観察される顕微鏡
視野の画像情報を加工して、被測定物の真円度を評価す
る方法は前記のとおりであるが、輪郭検出用顕微鏡８は
焦点調整機構１０に取り付けられ、焦点調整ねじ９にて
顕微鏡軸方向に移動可能となっており、輪郭検出用顕微
鏡８にて線状光のマーク７を鮮明に捕えるための焦点合
わせをする。
あり、回転式載物台１は、電動機２により回転可能とな
っている。前記回転式載物台１上にセットされた被測定
物５０円筒側面には、光源４を発した後、ビームベンダ
を含む光学系５を通り・さらにスリット６を通過した光
により線状光のマーク７を付ける。該線状光のマーク７
を、鉛直に対しα＝４５°傾けた、輪郭検出用顕微鏡８
で観察する。該輪郭検出用類＠鏡８で観察される顕微鏡
視野の画像情報を加工して、被測定物の真円度を評価す
る方法は前記のとおりであるが、輪郭検出用顕微鏡８は
焦点調整機構１０に取り付けられ、焦点調整ねじ９にて
顕微鏡軸方向に移動可能となっており、輪郭検出用顕微
鏡８にて線状光のマーク７を鮮明に捕えるための焦点合
わせをする。
前記輪郭検出用顕微鏡８および焦点調整機構１０は、顕
微鏡移動機構１１に固定されており、該顕微鏡移動機構
１１は、顕微鏡位置調整つまみ１２を回すことにより、
移動するが、この移動により、前記輪郭検出用顕微鏡８
が、紙面に向かって左右に移動し、径の異る被測定物ろ
への対応を可能とする。なお、顕微緯の視野画像情報は
画像取込装置１１１８により取り込み、画像処理装置１
３に転送し、さらに処理済情報を計算機１４に転送し、
必要な形（たとえば、輪郭形状表示円形グラフ）にして
、外部出力する。
微鏡移動機構１１に固定されており、該顕微鏡移動機構
１１は、顕微鏡位置調整つまみ１２を回すことにより、
移動するが、この移動により、前記輪郭検出用顕微鏡８
が、紙面に向かって左右に移動し、径の異る被測定物ろ
への対応を可能とする。なお、顕微緯の視野画像情報は
画像取込装置１１１８により取り込み、画像処理装置１
３に転送し、さらに処理済情報を計算機１４に転送し、
必要な形（たとえば、輪郭形状表示円形グラフ）にして
、外部出力する。
以上記した発明によれば、従来方式の、接触子による測
定では、接触子が接触する時、被測定物が変形してしま
うような柔軟物の測定や、被測定物自体が小さすぎたり
、軽量であって、接触子が接触すると、動いてしまうよ
うな、小形・軽量物の真円度測定も可能となる。また、
従来方式で測定していたような被測定物が高精度で測定
できることは言うまでもない。
定では、接触子が接触する時、被測定物が変形してしま
うような柔軟物の測定や、被測定物自体が小さすぎたり
、軽量であって、接触子が接触すると、動いてしまうよ
うな、小形・軽量物の真円度測定も可能となる。また、
従来方式で測定していたような被測定物が高精度で測定
できることは言うまでもない。
第１図は、全体概略構成図。
第２図は、従来の接触式変位センサを用いた測定の説明
図。 第３図（α）〜（ｉ）は、顕微鏡視野画像説明するため
の視野図、 第４因は、被測定物の輪郭出力図。 １・・・・・・回転式載物台 ２・・・・・・電動機 ３・・・・・・被測定物 ４・・・・・・−光源
５・・・・・・光学系 ６・・・・・・スリッ
ト７・・・・・・線状光マーク ８・・・・・・輪郭
検出用顕微鏡９・・・・・・焦点調整つまみ １０・・・・・・焦点調整機構 １１・・・・・・顕微
鏡移動機構１２・・・・・・顕微鏡位置調整つまみ１３
・・・・・・−画像処理装置 １４・・・・・・計算機
１５・・・・・・接触式変位センサ １６・・・・・・顕微鏡視野 １７・・・・・・顕微鏡で観察される線状光のマーク１
８・・・・・・画像取込装置 １９・・・・・・輪郭測
定点２０・・・・・・輪郭線 以 上
図。 第３図（α）〜（ｉ）は、顕微鏡視野画像説明するため
の視野図、 第４因は、被測定物の輪郭出力図。 １・・・・・・回転式載物台 ２・・・・・・電動機 ３・・・・・・被測定物 ４・・・・・・−光源
５・・・・・・光学系 ６・・・・・・スリッ
ト７・・・・・・線状光マーク ８・・・・・・輪郭
検出用顕微鏡９・・・・・・焦点調整つまみ １０・・・・・・焦点調整機構 １１・・・・・・顕微
鏡移動機構１２・・・・・・顕微鏡位置調整つまみ１３
・・・・・・−画像処理装置 １４・・・・・・計算機
１５・・・・・・接触式変位センサ １６・・・・・・顕微鏡視野 １７・・・・・・顕微鏡で観察される線状光のマーク１
８・・・・・・画像取込装置 １９・・・・・・輪郭測
定点２０・・・・・・輪郭線 以 上
Claims (1)
- 回転機能を有する載物台と、角度を付けて顕微鏡移転機
構に設置された顕微鏡と、被測定物に線状光を照射する
ための光学系、より構成される光学式真円度測定装置に
おける前記回転式載物台上で、ゆるやかな回転を与えら
れた円筒形状被測定物の側面に、スリットを通した線状
光を照射し、これによってできる被測定物側面の線状光
のマークを、鉛直方向に対して角度を付けた顕微鏡で観
察し、前記線状光のマークの、顕微鏡視野内での変動を
観察し、これと回転式載物台（すなわち被測定物）の回
転角を関係ずけることにより、非接触で被測定物の真円
度測定を可能としたことを特徴とする、光学式真円度測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20803185A JPS6267404A (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | 光学式真円度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20803185A JPS6267404A (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | 光学式真円度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6267404A true JPS6267404A (ja) | 1987-03-27 |
Family
ID=16549524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20803185A Pending JPS6267404A (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | 光学式真円度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6267404A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100494657B1 (ko) * | 2000-07-22 | 2005-06-13 | 한국기계연구원 | 슬릿광을 이용한 이동물체의 위치/자세 검출방법 및 그 장치 |
| JP2006258665A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Ngk Insulators Ltd | 位置精度評価方法及び位置精度評価装置 |
| JP2009126425A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Equos Research Co Ltd | タイヤ |
| JP2009126424A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Equos Research Co Ltd | タイヤ |
| JP2009126426A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Equos Research Co Ltd | タイヤ |
-
1985
- 1985-09-20 JP JP20803185A patent/JPS6267404A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100494657B1 (ko) * | 2000-07-22 | 2005-06-13 | 한국기계연구원 | 슬릿광을 이용한 이동물체의 위치/자세 검출방법 및 그 장치 |
| JP2006258665A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Ngk Insulators Ltd | 位置精度評価方法及び位置精度評価装置 |
| JP4728021B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2011-07-20 | 日本碍子株式会社 | 均熱性評価方法及び均熱性評価装置 |
| JP2009126425A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Equos Research Co Ltd | タイヤ |
| JP2009126424A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Equos Research Co Ltd | タイヤ |
| JP2009126426A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Equos Research Co Ltd | タイヤ |
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