MX2014007690A - Aparato de inspeccion automatica por rayos x para procedimiento en linea de tecnologia de montaje superficial. - Google Patents

Abstract

La invención se refiere a un aparato de inspección automática por rayos X para el procedimiento en línea de SMT, que comprende: una unidad de etapa para soportar un objeto que se va a inspeccionar de manera que el objeto se puede fijar/desprender, la unidad de etapa se puede mover sobre un eje X y un eje Y en un plano y puede girar; y un tubo de vacío de rayos X dispuesto bajo la unidad de etapa de manera que irradie el objeto dispuesto sobre la unidad de etapa con rayos X; y un detector dispuesto sobre la unidad de etapa para girar hacia un lado con el fin de detectar rayos X transmitidos a través del objeto. El tubo de vacío de rayos X gira en sincronización con el giro del detector, y una superficie de emisión de rayos X del tubo de vacío de rayos X está dispuesta para ser paralela a la unidad de etapa. La unidad de tapa tiene un árbol hueco, y un cojinete hueco que soporta el árbol hueco de manera que el árbol hueco pueda girar.

Description

APARATO DE INSPECCION AUTOMATICA POR RAYOS X PARA PROCEDIMIENTO EN LINEA DE TECNOLOGIA DE MONTAJE SUPERFICIAL Campo de la Invención La presente invención se refiere a un aparato de inspección automática por rayos X, y más particularmente, a un aparato de inspección automática por rayos X en línea capaz de realizar inspecciones bidimensionales (2D y 3D sobre una tabla al leer automáticamente una imagen escaneada a alta velocidad mientras se mantiene a alta precisión.

Antecedentes de la Invención En general, los aparatos electrónicos tal como teléfonos móviles inalámbricos o cámaras digitales son cada vez más miniaturizados , y de esa forma el montaje de una tabla aplicada a los aparatos electrónicos ha sido miniaturizado y altamente densificado.

A medida que emergen partes de chip utilizadas en campos de Tecnología de Montaje Superficial (SMT, por sus siglas en inglés), tipos 0402 (0.4 mm x 0.2 mm) , y montaje en ambos lados de una Matriz de Malla de Bolas (BGA, por sus siglas en inglés) o un paquete a escala de chip (CSP) que tienen varios cientos de terminales se están volviendo comunes. Además, a medida que se reduce ampliamente un área de enlace de soldadura (diámetro de bola de soldadura) , y se realiza soldadura libre de plomo, no hay ningún equipo para Ref. 249492 inspeccionar apropiadamente intensidad de enlace de enlace de soldadura o similares, y de esa forma cada vez crece más la falta de conflabilidad para la inspección. Además, una porción de enlace de soldadura de una parte posterior de un paquete tal como una VGA no se observa a simple vista, y por lo tanto no hay ningún espacio de terminal debido a alta densidad, y de esa forma no puede utilizarse el probador En Circuito .

Por lo tanto, existe una necesidad de inspección a través de equipo de inspección por rayos X transmisor con respecto a la porción que no se verifica directamente a simple vista como se describió anteriormente.

Sin embargo, en respuesta a que se realice inspección total en una línea de fabricación, en el equipo de inspección por rayos X transmisor en la técnica relacionada, ya que un inspector profesional tiene que inspeccionar una imagen de transmisión presentada en una pantalla una por una a simple vista, la variación en la velocidad y precisión de determinación es grande de conformidad con la habilidad del inspector y es difícil de encontrar falla de enlace en una etapa temprana. Por lo tanto, es difícil satisfacer garantía de calidad deseada en los mercados.

Para resolver tales problemas, se ha sugerido un aparato de inspección automática por rayos X (AXI, por sus siglas en inglés) que puede excluir la inspección descubierta por el inspector y leer automáticamente una imagen escaneada.

Como el aparato de AXI en la técnica relacionada, un tipo oblicuo que no puede realizar un escaneo de tomografía computarizada (CT, por sus siglas en inglés) con respecto a un estado de montaje de la tabla en un estado en el cual se dispone de manera oblicua un tubo de vacío de rayos X o un detector al representar una imagen 2D y una imagen 3D a través de la imagen escaneada, para leer de manera precisa defectos internos (vacío, grieta, o similares) de la tabla.

Sin embargo, el aparato de AXI en la técnica relacionada no es adecuado para un procedimiento en línea de SMT debido a baja velocidad. Esto es debido a que una velocidad de procesamiento de imagen y problemas mecánicos se comportan de manera compleja.

En particular, en respuesta a los problemas mecánicos, por ejemplo, a medida que el tubo de vacío de rayos X y una etapa se ensamblan para acoplarse íntegramente, se coloca gran carga en respuesta a mover la etapa y el tubo de vacío de rayos X.

Además, si es necesario la inspección, ya que la etapa es ensamblada integralmente con el tubo de vacío de rayos X que tiene que moverse horizontal y verticalmente, debido a una estructura que no puede ser soportada de manera estable tal como ocurrencia de vibración en respuesta a rotación de alta velocidad de la etapa, existen problemas por los que se degrada considerablemente esa precisión de rotación de la tapa, y no se mantiene concentricidad de la etapa. Los problemas se han vuelto una barrera importante para escáner un objeto que se va a inspeccionar, y de esa forma se forma una imagen distorsionada y no puede asegurarse inspección confiable.

Breve Descripción de la Invención La presente invención ha sido hecha en vista de los problemas anteriores, y un objetivo de la presente invención es proporcionar un aparato de inspección automática por rayos X capaz de realizar inspecciones 2D y 3D de un objeto que se va a inspeccionar (montaje a una tabla) al leer automáticamente una imagen escaneada a alta velocidad con alta precisión para que se aplique a un procedimiento en línea de SMT.

Medios para Resolver el Problema Para obtener el objetivo descrito anteriormente, la presente invención va a proporcionar un aparato de inspección automática de rayos X que incluye: una unidad de etapa configurada para soportar fij a/desprendiblemente un objeto que se va a inspeccionar, la unidad de etapa se puede mover sobre un eje X y un eje Y sobre un plano y puede girar; un tubo de vacío de rayos X dispuesto bajo la unidad de etapa para irradiar el objeto dispuesto sobre la unidad de etapa con rayos X; y un detector dispuesto sobre la unidad de etapa para girar hacia un lado, y configurado para detectar rayos X transmitidos a través del objeto. El tubo de vacío de rayos X gira en sincronización con el giro del detector, y se dispone una superficie de emisión de rayos X del tubo de vacío de rayos X para ser paralela a la unidad de etapa. La unidad de etapa incluye un árbol hueco, y un cojinete hueco configurado para soportar de manera giratoria el árbol hueco.

La unidad de etapa puede incluir un cable configurado para transmitir energía a la unidad de etapa, y el cable puede emplear un cable plano configurado para prevenir torsión o interferencia entre cables. En este momento, el cable plano puede disponerse de manera bobinada en una parte exterior del árbol hueco en una dirección en espiral .

El cable plano puede ser colocado sobre un miembro receptor de cable en forma de anillo que rodea el árbol hueco, y el miembro receptor de cable puede formarse de manera que una superficie, sobre la cual se coloca el cable plano, sea un plano.

El cojinete hueco puede incluir un cojinete de rodillo cruzado, y un anillo exterior del cojinete de rodillo cruzado puede sujetarse a un alojamiento de cojinete, y un anillo interior del cojinete de rodillo cruzado puede sujetarse al árbol hueco. Los puntos sujetados del anillo exterior y el anillo interior pueden ser al menos tres, respectivamente, y los tres puntos pueden establecerse en el mismo ángulo.

La unidad de etapa puede incluir, para transmitir la energía a la unidad de etapa, un anillo deslizante conectado eléctricamente a la unidad de etapa y que gira con la unidad de etapa y una escobilla de alimentación de energía configurada para estar en contacto con el anillo deslizante y aplicar la energía.

La unidad de etapa puede recibir fuerza impulsora desde una unidad de transmisión de energía para girar 360 grados en una dirección en el sentido de las manecillas del reloj, y entonces para girar 360 grados en una dirección en contra del sentido de las manecillas del reloj , para realizar un escaneo de tomografía computarizada del objeto. El detector puede realizar el escaneo en respuesta a la rotación en el sentido de las manecillas del reloj y la rotación en contra del sentido de las manecillas del reloj de la unidad de etapa.

La unidad de transmisión de energía puede incluir un motor impulsor; una polea impulsora acoplada a un árbol impulsor del motor impulsor; una polea impulsada acoplada a lo largo de una parte inferior del árbol hueco; un codificador configurado para detectar un ángulo de rotación de la unidad de etapa; y una correa de tiempo configurada para conectar la polea impulsora, la polea impulsada, y el codificador.

El motor impulsor puede emplear un servomotor impulsado a una velocidad impulsora de al menos 180° /segundo.

El detector puede realizar el escaneo al menos a 120 cuadros/segundo de conformidad con una señal generada mediante el codificador.

El tubo de vacío de rayos X puede mantener un estado separado desde la unidad de etapa, y moverse vertical y horizontalmente .

El detector puede convertir rayos X, que transmiten el objeto y son ionizados, dentro de una señal eléctrica, amplificar la señal eléctrica convertida, y convertir la señal amplificada en una señal de imagen digital. La presente invención además puede incluir un procesador de imagen configurado para realizar reconstrucción a alta velocidad en una pluralidad de señales de imagen digital transferida desde el detector, y entonces realizar inspección 3D. En este momento, el procesador de imagen puede incluir al menos cuatro núcleos de unidad de procesamiento de gráficos (GPU, por sus siglas en inglés) para realizar la reconstrucción de alta velocidad.

Efecto de la Invención Como se describió anteriormente, ya que la presente invención escanea dos veces la imagen cuando se compara con la técnica relacionada mientras mantiene precisión de rotación en respuesta a rotación de alta velocidad de la unidad de etapa, y puede permitir escaneo bidireccional en el sentido de las manecillas y puede permitir escaneo bidireccional en las rotaciones en el sentido y en contra del sentido de las manecillas del reloj de la unidad de etapa, la presente invención puede mejorar significativamente velocidad de inspección y aplicarse a un procedimiento en línea de SMT con procesamiento de alta velocidad utilizando una pluralidad de núcleos de GPU.

Además, la presente invención puede utilizar un cojinete hueco y establecer al menos tres puntos de sujeción dispuestos en el mismo ángulo para minimizar deformación del cojinete hueco, y de esa forma mantener concentricidad con respecto a un árbol de rotación de la unidad de etapa. La presente invención puede utilizar un cable plano o incluir un anillo deslizante y una escobilla de alimentación de energía para minimizar interferencia con respecto a la rotación de la unidad de etapa .

Breve Descripción de las Figuras La Figura 1 es una vista frontal que ilustra un aparato de inspección automática por rayos X para un procedimiento en línea de SMT de conformidad con una modalidad de la presente invención, la Figura 2 es una vista ampliada que ilustra una unidad de etapa y un tubo de vacío de rayos X ilustrado en la Figura 1 ; la Figura 3 es una vista lateral que ilustra un aparato de inspección automática por rayos X para un procedimiento en línea de SMT de conformidad con una modalidad de la presente invención, la Figura 4 es un diagrama esquemático que ilustra movimientos de sincronización de un tubo de vacío de rayos X y un detector ilustrados en la Figura 1, las Figuras 5 y 6 son una vista plana y una vista lateral que ilustran una unidad de transmisión de energía de una unidad de etapa, las Figuras 7 y 8 son una vista plana y una vista lateral que ilustran una estructura de cojinete de una unidad de almacenamiento, las Figuras 9 y 10 son una vista plana y una vista lateral que ilustran una disposición de un cable plano antes que gire una unidad de etapa, las Figuras 11 y 12 son una vista plana y una vista lateral que ilustran una disposición de un cable plano después que gira una unidad de etapa 360 grados, y las Figuras 13 y 14 son una vista plana y una vista lateral que ilustran un ejemplo en el cual se suministra energía a una unidad de etapa utilizando un anillo deslizante y una escobilla de alimentación de energía.

Descripción Detallada de la Invención Aquí en lo sucesivo, se describirá un aparato de inspección automática por rayos X para un procedimiento en línea de SMT de conformidad con una modalidad de la presente invención con referencia a las figuras anexas. Simplemente, no se describe tecnología bien conocida relacionada con la presente invención en detalle ya que oscurecería la presente invención con detalle innecesario.

Al hacer referencia a las Figuras 1 a 3, un aparato de inspección automática por rayos X para un procedimiento en línea de SMT de la modalidad es un aparato de inspección que puede realizar tanto inspección 2D como inspección 3D, e incluye un tubo de vacío de rayos X 10, un detector 30, una unidad de etapa 50, y un procesador de imagen 70.

El tubo de vacío de rayos X 10 acelera electrones emitidos por calor desde un filamento en el tubo a un alto voltaje entre metales tal como tungsteno, molibdeno, o cobre, lo que permite que los electrones acelerados choquen con un objetivo metálico, y genera rayos X.

El tubo de vacío de rayos X 10 está dispuesto verticalmente bajo la unidad de etapa 50, y una superficie de emisión de rayos X 10a de una parte superior del tubo de vacío de rayos X 10 siempre está dispuesta para ser paralela a la unidad de etapa 50 (ver Figura 4) .

Tal tubo de vacío de rayos X 10 está instalado para poderse mover horizontal y verticalmente, y el movimiento se realiza de conformidad con impulso de un primer soporte 11 y un segundo soporte 13.

El primer soporte 11 está fijado a e instalado en un lado del tubo de vacío de rayos X 10, y acoplado deslizablemente a un riel guía vertical 15 del segundo soporte 13. El segundo soporte 13 está acoplado deslizablemente a un riel guía horizontal 19 de un tercer soporte 17. En este momento, el riel guía horizontal 19 puede disponerse a lo largo de una dirección recta que corresponde a una dirección de giro del detector 30, es decir, una dirección de eje X, de manera que el tubo de vacío de rayos X 10 pueda moverse en sincronización con el giro del detector 30.

Como se describió anteriormente, a medida que se impulsa el tubo de vacío de rayos X 10 en un estado completamente separado de la unidad de almacenamiento 50, ya que no se coloca gran carga en respuesta a movimiento del tubo de vacío de rayos X 10 cuando se compara con la técnica relacionada, la presente invención puede mover suavemente el tubo de vacío de rayos X 10 a través de poca fuerza impulsora.

El detector 30 convierte rayos X, que transmiten cada parte de montaje de una tabla que es un objeto que se va a inspeccionar y son ionizados, en una señal eléctrica, lo que amplifica la señal eléctrica convertida, y convierte la señal amplificada en una señal de imagen digital.

El detector 30 está dispuesto sobre la unidad de etapa 50 para estar espaciado a ciertos intervalos, e instalado para ser girado a cierto grado T a una dirección. En este momento, un cuarto soporte 31 está fijado y acoplado aún lado del detector 30, y está acoplado deslizablemente a un riel guía 35 de un quinto soporte 33. El quinto soporte 33 está acoplado de manera móvil deslizablemente a lo largo de una ranura guía curveada 39 formada en una placa guía superior 37.

Al hacer referencia a la Figura 4, el detector 30 está dispuesto verticalmente de manera que el centro del detector 30 coincida con el centro de la superficie de emisión de rayos X 10a del tubo de vacío de rayos X en un estado inicial. Además, el detector 30 gira en cierto ángulo y se mueve en el escaneo de CT, y el tubo de vacío de rayos X 10 también se mueve en sincronización con el giro del detector 30. En este momento, se establece una ubicación central del giro del detector 30 a una ubicación correspondiente a una altura de la unidad de etapa, y la superficie de emisión 10a del tubo de vacío de rayos X 10 que se mueve en sincronización con el giro del detector 30 se mantiene para ser paralela a la unidad de etapa 50.

La unidad de etapa 50 incluye un miembro de soporte de objeto 50a, un árbol hueco 54, un cojinete hueco 55, un motor impulsor 57, una unidad de transmisión de energía, y un miembro receptor de cable 60.

El miembro de soporte de objeto 50a soporta desprendible/fij amenté la tabla, que es el objeto que se va a inspeccionar, a través de una unidad de sujeción convencional. El miembro de soporte de objeto 50a tiene un espacio formado en un lado interior del mismo para transmitir rayos X. El miembro de soporte de objeto 50a se mueve de manera recta sobre un plano hacia direcciones de eje X y de eje Y.

La unidad de etapa 50 incluye primer y segundo cuadros de soporte 51 y 52 para mover el miembro de soporte de objeto 50a hacia las direcciones de eje X y de eje Y. En este momento, el miembro de soporte de objeto 50a está acoplado deslizablemente a un riel guía de eje X 51a sobre el primer cuadro de soporte 51, y el primer cuadro de soporte 51 está acoplado deslizablemente a un riel guía de eje Y 52a sobre el segundo cuadro de soporte 52. El miembro de soporte de objetos 50a y el primer cuadro de soporte 51 reciben fuerzas impulsoras desde motores impulsores MI y M2, respectivamente .

El árbol hueco 54 está acoplado a una parte inferior del segundo cuadro de soporte 52, y es soportado giratoriamente mediante el cojinete hueco 55 que rodea una circunferencia exterior del árbol hueco 54.

Al hacer referencia a las Figuras 7 y 8, el cojinete hueco 55 es soportado mediante el alojamiento de cojinete 56 que rodea una circunferencia exterior del cojinete hueco 55. Tal cojinete hueco 55 puede utilizar un cojinete de rodillo cruzado que incluye un anillo interior 55a, un anillo exterior 55b, y un rodillo 55c dispuesto entre el anillo interior 55a y el anillo exterior 55b.

En este momento, los anillos interiores y exteriores 55a y 55b están fijados por una pluralidad de primeras y segundas abrazadera Cl y C2 fijadas a e instaladas en el árbol hueco 54 y el alojamiento de cojinete 56, respectivamente. De esa forma, el anillo interior 55a está fijado al árbol hueco 54 y gira con el árbol hueco 54, y el anillo exterior 55b está fijado al alojamiento de cojinete 56 y no gira.

La pluralidad de primeras abrazaderas Cl, la cual sujeta el anillo interior 55a, se dispone en el mismo intervalo, y similarmente , la pluralidad de segundas abrazaderas C2 , la cual sujeta el anillo exterior 55b, se dispone en el mismo intervalo. En la modalidad, aunque se utilizan seis primeras abrazaderas Cl y seis segundas abrazaderas C2, la presente invención no está limitada a esto, y pueden utilizarse al menos tres primeras abrazaderas Cl y al menos tres segundas abrazadera C2. Simplemente, la pluralidad de primeras y segundas abrazadera Cl y C2 utilizadas puede disponerse en el mismo ángulo, respectivamente.

Como se describió anteriormente, a medida que el anillo interior 55a y el anillo exterior 55b del cojinete hueco 55 son soportados por punto en ciertas ubicaciones, puede minimizarse la deformación aplicada al cojinete hueco 55, y de esa forma puede asegurarse precisión de rotación de la unidad de etapa 50.

El alojamiento de cojinete 56 está fijado a e instalado en una superficie superior de un dado D dispuesto horizontalmente . En este momento, el dado D es soportado por una pluralidad de cuadros verticales F, y ubicado a cierta altura desde una superficie inferior. Preferiblemente, la altura del dado D se establece a una altura apropiada al considerar un rango de movimiento del tubo de vacío de rayos X 10.

Al hacer referencia a las Figuras 5 y 6, el motor impulsor 57 gira alternativamente 360 grados la unidad de etapa 50 a través de una unidad de transmisión de energía a una dirección en el sentido de las manecillas del reloj y a una dirección en contra del sentido de las manecillas del reloj , y puede utilizar un motor de servidor de alta velocidad que tiene una velocidad impulsora de al menos 180° /segundos o más.

El motor impulsor 57 está fijado a e instalado en cualquiera de la pluralidad de cuadros verticales F mediante un miembro soporte 57b, y una polea impulsora 57a conectada a una correa de tiempo 58d que está acoplada a un árbol de rotación (no mostrado) del motor impulsor 57.

En este momento, la correa de tiempo 58b está conectada a una polea impulsada 59 conectada a lo largo de una parte inferior del árbol hueco 54 y un codificador 58a configurado para detectar un ángulo de rotación de la unidad de etapa 50. En este momento, la correa de tiempo 58d puede mantener una tensión de correa apropiada a medida que se presiona al menos una porción de la correa de tiempo 58d por un par de unidades de ajuste de tensión de correa 58b y 58c.

El codificador 58a genera una señal en cualquier momento que la unidad de etapa 50 gira 1.5 grados, y el detector 30 escanea el objeto giratorio a 120 cuadros/segundo de conformidad con la señal. Por lo tanto, puede adquirirse un gran número de proyecciones a través del escaneo de alta velocidad cuando se compara con la técnica relacionada, y de esa forma puede obtenerse más precisión y calidad de imagen abundante. Por lo tanto, el detector 30 puede escanear 240 cuadros con respecto a una porción de montaje de sustrato en respuesta al girar 360 grados a una dirección en el sentido de las manecillas del reloj, y después el detector se mueve a la otra orientación del montaje de sustrato que se va a escanear a una dirección de eje X y una dirección de eje Y, el detector puede escanear 240 cuadros en respuesta al objeto que gira 360 grados hacia una ubicación original hacia una dirección en contra del sentido de las manecillas del reloj .

La modalidad ha ejemplificado que la velocidad de escaneo del detector 30 es 120 cuadros/segundo, pero la presente invención no está limitado a esto, y puede utilizarse cualquier detector implementado para tener la velocidad de escaneo de al menos 120 cuadros/segundo o más.

Con respecto a esto, en la técnica relacionada, se realiza el escaneo sobre el objeto en respuesta a girar de 0 grados a 360 grados a una dirección en el sentido de las manecillas del reloj , y el escaneo no se realiza en respuesta al girar a una ubicación original de nuevo, es decir, durante la rotación de 360 grados a una dirección en contra del sentido de las manecillas del reloj . Por lo tanto, ocurre pérdida por el tiempo de rotación.

De esa forma, la técnica relacionada tiene una estructura que puede realizar escaneo únicamente unidireccional, pero la presente invención puede realizar escaneo bidireccional (dirección en el sentido de las manecillas del reloj y dirección en contra el sentido de las manecillas del reloj), y puede esperarse mejor en productividad .

Además, el miembro receptor de cable 60 está fijado a e instalado en el dado D, y el miembro receptor de cable 60 está dispuesto para rodear el alojamiento de cojinete 56. Un espacio receptor en forma de anillo 61, en el cual se coloca de manera fluida un cable plano 65, está formado en el miembro receptor de cable 60, y un orificio de paso 63, dentro del cual se inserta el alojamiento de cojinete 56, está formado en el centro del miembro receptor de cable 60. En este momento, se forma una superficie inferior del espacio receptor 61 en un plano, y un extremo 67 del cable plano 65 cerca del árbol hueco 54 se fija al miembro receptor de cable 60.

Al hacer referencia a las Figuras 9 a 12, el cable plano 65 está dispuesto de manera bobinada a lo largo del espacio receptor 61 del miembro receptor de cable 60 hacia una dirección en espiral para prevenir torsión o interferencia entre cables.

La disposición de manera bobinada del cable plano 65 en la dirección en espiral puede minimizar un área de contacto con una superficie interior del espacio receptor 61 y reducir fuerza de fricción en respuesta a que el cable plano 65 se mueve en el espacio receptor 61 de conformidad con la rotación de la unidad de etapa 50 a la dirección en el sentido de las manecillas del reloj (ver Figuras 11 y 12) y en la dirección en contra del sentido de las manecillas del reloj (ver Figuras 9 y 10) . De esa forma, un factor de interferencia de rotación de la unidad de estado 50, que puede ocurrir mediante el cable plano 65, se minimiza de manera que pueda mantenerse la precisión de rotación en respuesta a la unidad de etapa 50 que gira a alta velocidad.

Como se describió anteriormente, se ha descrito el ejemplo en el cual la unidad de etapa 50 recibe energía a través del cable plano 65, pero la presente invención no está limitado a esto, y se omitirá el cable plano 65. Es decir, al hacer referencia a las Figuras 13 y 14, la unidad de etapa 50 incluye un anillo deslizante 81 que gira con la unidad de etapa 50, y una escobilla de alimentación de energía 83 que lleva una pluralidad de terminales de contacto 65 en contacto con un patrón conductivo circular (no mostrado) formado en una superficie del anillo deslizante 81 y aplica electricidad al anillo deslizante 81, de manera que puede omitirse el cable plano 65.

En este momento, ya que puede omitirse el cable plano 65, puede minimizarse el factor, que puede degradar precisión de rotación, en respuesta a rotación de alta velocidad de la unidad de etapa 50.

El procesador de imagen 70 puede incluir al menos cuatro núcleos de unidad de procesamiento de gráficos, y realizar reconstrucción de alta velocidad sobre las proyecciones escaneadas mediante el detector 50 a través de los núcleos de GPU de manera que la presente invención pueda reducir tiempo de inspección 3D a aproximadamente tres segundos por un punto del objeto, y de esa forma la presente invención puede utilizarse para un procedimiento en línea de SMT .

Además, en la presente invención, la concentricidad del árbol de rotación de la unidad de etapa 50 afecta el obtener la imagen de alta calidad. En particular, puede ocurrir una variación en la concentricidad debido a problemas mecánicos, y el procesador de imagen 70 corrige automáticamente la variación que ocurre mecánicamente. Se realiza la corrección automática en software, y se realiza la corrección automática al registrar un patrón que tiene singularidad en el centro de rotación de la unidad de etapa 50, encontrando un desplazamiento de tolerancia que ocurre cada 1.5 grados en la rotación de 360 grados, y que realiza simultáneamente reconstrucción y corrección.

Por otro lado, el aparato de inspección por rayos X general requiere cierto tiempo para estabilizar una corriente/voltaje y una temperatura de un objetivo en respuesta a encender el voltaje/corriente de rayos X para operación de equipo después que se apaga el voltaje/corriente de rayos X, y esto se representó por el fenómeno en el cual se cambia un enfoque de una imagen adquirida a través de rayos X de conformidad con un paso de elevación de la temperatura del objetivo. La presente invención puede aplicar un enfoque de tubo automático (ATF, por sus siglas en inglés) que encuentra un enfoque de una imagen en tiempo real para omitir el tiempo requerido para la estabilización y para mejorar simultáneamente productividad.

Además, la CT oblicua de la técnica relacionada emplea un tubo de vacío de rayos X tipo abierto que puede mejorar ampliación geométrica con el fin de resolver un problema de ángulo de radiación de rayos X. La presente invención puede utilizar un tubo de vacío de rayos X tipo cerrado para reducir un volumen del tubo de vacío, de manera que puedan reducirse costos, y al mismo tiempo, puede implementarse simplemente una configuración de un mecanismo. En este momento, la presente invención puede aplicar un tubo de cierre de ángulo amplio que tiene un ángulo de radiación de 60 grados de un lado para resolver el problema de radiación de rayos X descrito anteriormente.

Las modalidades y ventajas ilustrativas anteriores son simplemente ilustrativas y no se van a interpretar como limitando el presente concepto inventivo. La descripción de las modalidades ilustrativas pretende ser ilustrativa, y no limitar el alcance de las reivindicaciones, y serán evidentes muchas alternativas, modificaciones, y variaciones para aquellos expertos en la técnica.

La presente invención se refiere a un aparato de inspección automática de rayos X en línea y puede aplicar campos de inspección no destructivos de partes electrónicas tal como chips semiconductores.

Se hace constar que con relación a esta fecha, el mejor método conocido por la solicitante para llevar a la práctica la citada invención, es el que resulta claro de la presente descripción de la invención.

Claims (12)

REIVINDICACIONES Habiéndose descrito la invención como antecede, se reclama como propiedad lo contenido en las siguientes reivindicaciones:

1.- Un aparato de inspección automática de rayos X, caracterizado porque comprende: una unidad de etapa configurada para soportar fij a/desprendiblemente un objeto que se va a inspeccionar, la unidad de etapa se puede mover sobre un eje X y un eje Y en un plano y puede girar; un tubo de vacío de rayos X dispuesto bajo la unidad de etapa para irradiar el objeto dispuesto sobre la unidad de etapa con rayos X; un detector dispuesto sobre la unidad de etapa para girar hacia un lado, y configurado para detectar rayos X transmitidos a través del objeto; y un procesador de imagen configurado para realizar reconstrucción de alta velocidad en una pluralidad de señales de imagen digital transferidas desde el detector, y entonces realizar inspección tridimensional, el procesador de imagen incluye al menos cuatro núcleos de unidad de procesamiento de gráficos para realizar la reconstrucción de alta velocidad, en donde el tubo de vacío de rayos X gira en sincronización con el giro del detector, y una superficie de emisión de rayos X del tubo de vacío de rayos X está dispuesta para ser paralela a la unidad de etapa, la unidad de etapa incluye un árbol hueco, y un cojinete hueco configurado para soportar de manera giratoria el árbol hueco, y el detector convierte los rayos X, que transmiten el objeto y son ionizados, en una señal eléctrica, y amplifica la señal eléctrica convertida, y convierte la señal eléctrica amplificada en una señal de imagen digital.

2. - El aparato de inspección automática por rayos X de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque la unidad de etapa incluye un cable configurado para transmitir energía a la unidad de almacenamiento, y el cable es un cable plano configurado para prevenir torsión o interferencia entre cables.

3. - El aparato de inspección automática por rayos X de conformidad con la reivindicación 2, caracterizado porque el cable plano está dispuesto de manera bobinada en un exterior del árbol hueco en una dirección en espiral.

4. - El aparato de inspección automática por rayos X de conformidad con la reivindicación 3, caracterizado porque el cable plano es colocado sobre un miembro receptor de cable en forma de anillo que rodea el árbol hueco, y el miembro receptor de cable está formado de manera que una superficie, sobre la cual se coloca el cable plano, sea un plano .

5.- El aparato de inspección automática por rayos X de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque el cojinete hueco incluye un cojinete de rodillo cruzado, y un anillo exterior del cojinete de rodillo cruzado es sujetado a un alojamiento de cojinete, y un anillo interior del cojinete de rodillo cruzado es sujetado al árbol hueco .

6. - El aparato de inspección automática por rayos X de conformidad con la reivindicación 5, caracterizado porque los puntos sujetados del anillo exterior y el anillo interior son al menos tres, respectivamente, y los tres puntos se establecen en el mismo ángulo.

7. - El aparato de inspección automática por rayos X de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque la unidad de etapa incluye: transmitir la energía a la unidad de etapa, un anillo deslizante conectado eléctricamente a la unidad de etapa y que gira con la unidad de etapa; y una escobilla de alimentación de energía configurada para estar en contacto con el anillo deslizante y aplicar la energía.

8. - El aparato de inspección automática de rayos X de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque la unidad de etapa recibe fuerza impulsora de una unidad de transmisión de energía para girar 360 grados en una dirección en el sentido de las manecillas del reloj, y entonces para girar 360 grados en una dirección en contra del sentido de las manecillas del reloj, para realizar un escaneo de tomografía computarizada del objeto, y el detector realiza el escaneo en respuesta a la rotación en el sentido de las manecillas del reloj y la rotación en contra del sentido de las manecillas del reloj de la unidad de etapa .

9. - El aparato de inspección automática por rayos X de conformidad con la reivindicación 8, caracterizado porque la unidad de transmisión de energía incluye: un motor impulsor; una polea impulsora acoplada a un árbol impulsor del motor impulsor; una polea impulsada acoplada a lo largo de una pared interior del árbol hueco; un codificador configurado para detectar un ángulo de rotación de la unidad de etapa; y una correa de tiempo configurada para conectar la polea impulsora, la polea impulsada, y el codificador.

10.- El aparato de inspección automática por rayos X de conformidad con la reivindicación 9, caracterizado porque el motor impulsor es un servomotor impulsado a una velocidad impulsora de al menos 180° /segundo .

11. - El aparato de inspección automática por rayos X de conformidad con la reivindicación 10, caracterizado porque el detector realiza el escaneo a al menos 120 cuadros/2 ° de conformidad con una señal generada mediante el codificador.

12. - El aparato de inspección automática por rayos X de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque el tubo de vacío de rayos X mantiene un estado separado de la unidad de etapa, y se mueve vertical y horizontalmente .