JP6376698B2 - X線検査装置およびx線検査装置の調整方法 - Google Patents
X線検査装置およびx線検査装置の調整方法 Download PDFInfo
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Description
2 被検査体
3 X線発生器
4 X線検出器
6 XY移動機構
7 回動テーブル
8 回動機構
C1 回動テーブルの回動中心
F X線発生器の焦点
Claims (2)
- 管内が常時真空状態に保たれている密閉管型のX線発生器と、前記X線発生器との間に被検査体を挟むように配置される二次元のX線検出器と、前記X線発生器が搭載されるとともに互いに直交するX方向およびY方向の2方向へ前記X線発生器を移動させるXY移動機構と、前記XY移動機構が搭載される回動テーブルを有しX方向とY方向とに直交するZ方向を回動の軸方向として前記X線発生器および前記XY移動機構を回動させる回動機構とを備えることを特徴とするX線検査装置。
- 請求項1に記載のX線検査装置の調整方法であって、
前記回動機構によって前記X線発生器を回動させたときに前記X線検出器で取得される前記被検査体のX線画像の位置が動かなくなるように、前記XY移動機構によってX方向および/またはY方向へ前記X線発生器を移動させて、Z方向から見たときの前記X線発生器の焦点と前記回動テーブルの回動中心とを一致させることを特徴とするX線検査装置の調整方法。
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