JP2003202303A - Ｘ線ｃｔ装置、ｘ線ｃｔ装置の調整方法及びｘ線ｃｔ装置の調整用冶具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 拡大率を変えた場合の被検査体の回転軸の位
置についての調整を容易化する。 【解決手段】 Ｘ線源１を搭載したＸＹテーブル６の操
作にともなって、被検査体５の回転軸近傍の金属線の投
影が移動する方向と移動量の計測値のみを用いて、演算
により徐々に理想的なＸ線焦点座標へ寄りつつ最適値を
求める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線を用いて被検
査体の内部構造を検査するＸ線ＣＴ装置、このＸ線ＣＴ
装置の調整方法及びＸ線ＣＴ装置の調整用冶具に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、Ｘ線源（Ｘ線発生装置、または、
Ｘ線管）と、このＸ線源よりＸ線焦点を経て出射される
Ｘ線を検出する検出器（センサ）とを備え、これらＸ線
源及び検出器の間に被検査体を設置して、この被検査体
の内部構造を検査するように構成されたＸ線ＣＴ装置が
提案されている。このＸ線ＣＴ装置においては、被検査
体は、被検査体回転基台上に設置される。

【０００３】このＸ線ＣＴ装置においては、被検査体を
所定角度ずつ、或いは連続で回転させつつ、この被検査
体のＸ線像を撮像してゆき、得られたデータを再構成す
ることによって、立体像を再生することができる。

【０００４】そして、このようなＸ線ＣＴ装置において
は、被検査体の大きさに合わせてＸ線焦点と被検査体の
距離を変更するため、被検査体回転基台をＸ線源に対す
る接離方向に移動する粗動機構を有するものがある。

【０００５】また、このような線ＣＴ装置において、被
検査体を支持する被検査体回転基台の構成としては、図
１０に示すように、上端部が被検査体１０１が載置され
る載置部となされた回転シャフト１０２を、アンギュラ
コンタクトベアリング１０３のような、玉軸受、あるい
は、円筒コロ軸受けによって支持したものが一般的であ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
なＸ線ＣＴ装置においては、被検査体の大きさや形状が
異なる場合には、この被検査体の大きさや形状に応じ
て、粗動機構を動かし、拡大率を変える必要がある。そ
して、このようにして拡大率を変えた場合には、その都
度、被検査体の回転軸の位置についての調整が必要にな
る。

【０００７】このとき、回転基台の回転軸がどこにある
かについて、例えば、載置部上に載置した金属線からな
る調整用治具等を用いて、検出器（二次元検出器）の受
光面上のどこの座標に調整用冶具の影が投影されるかを
探さなければならず、著しく作業効率の悪いものとなっ
ている。仮に、その座標を受光面上で探し当てたとして
も、Ｘ線焦点から被検査体の回転軸へ下ろした垂線が検
出器の受光面に対して直交しているか否かを確認するの
は容易ではない。そのため、受光面における垂直方向に
比して水平方向が圧縮された状態の投影データが再構成
されてしまうことがある。

【０００８】また、Ｘ線焦点から被検査体の回転軸へ下
ろした垂線に受光面を直交させるために、検出器の角度
を調整すると、再構成の中心、すなわち、回転基台の回
転軸が受光面上へ投影されたときの水平方向の座標が、
受光面の水平方向について中央から大きくはずれてしま
い、再構成可能な領域が著しく狭くなってしまう。

【０００９】ここで、Ｘ線焦点、検出器及び被検査体回
転軸の相互間の距離を測定し、Ｘ線焦点座標を決定する
方法も考えられる。しかしながら、実際には、Ｘ線焦点
は、Ｘ線管の内部にあり、精密な計測は困難である。ま
た、検出器の受光面も、検出器の厚みの中にあって、精
密な位置の計測は困難である。さらに、回転基台の回転
軸も、実際には実体の無い仮想的な直線であり、その位
置の計測は困難である。したがって、特に、拡大率が大
きい場合には、測定誤差が大きくなり、計算結果にも影
響する。

【００１０】一方、回転基台においては、調整用冶具
は、必要に応じて作業者が回転基台に対して締結してい
る。したがって、これらの作業のために、電離放射線
（Ｘ線）遮蔽構造をその都度開閉することになるが、電
離放射線遮蔽構造の開閉は、極力避けるべきである。

【００１１】回転シャフト１０２内に調整用冶具を内蔵
させておけば、電離放射線遮蔽構造を開閉する必要はな
くなるのであるが、回転シャフト１０２内に調整用冶具
を内蔵させるには、玉軸受支持構造の軸中央に、少なく
とも直径３０ｍｍ以上の空洞部を設ける必要がある。し
たがって、回転シャフト１０２の外径が、例えば４０ｍ
ｍである場合において、この回転シャフト１０２が十分
な剛性を有するものとすることが困難となってしまう。
マイクロフォーカスＸ線源を用いるＸ線ＣＴ装置にとっ
て、被検査体１０１の回転精度は、再構成時の重要なフ
ァクターであるので、回転シャフト１０２は十分な剛性
を有するものでなければならないのである。

【００１２】回転シャフト１０２の外径をより大きくし
た場合には、軸受のスパンもより大きくしなければコン
セントリシティを維持することができなくなるので、軸
受のスパンを大きくすることによって、回転基台の全体
が巨大化してしまう。

【００１３】また、図１０に示した回転基台では、回転
シャフト１０２へ動力を伝達するためのカップリング１
０４を用いて、この回転シャフト１０２を高分解能イン
デックスモーター１０５に連結させている。このような
構造においては、連結シャフト１０２の全体を中空構造
にすることは困難である。

【００１４】そこで、本発明は、上述の実情に鑑みて提
案されるものであって、拡大率を変えた場合において
も、被検査体の回転軸の位置についての調整が容易化さ
れたＸ線ＣＴ装置及びＸ線ＣＴ装置の調整方法を提供
し、また、電離放射線遮蔽構造を開閉することなく、被
検査体の回転軸の位置の調整に用いる調整用冶具が使用
できるようになされたＸ線ＣＴ装置の調整用冶具を提供
しようとするものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、焦点サイズ５
μｍ以下の固定したＸ線源を有しこのＸ線源とＸ線二次
元検出器との間に被検査体を設置しこの被検査体をＸ線
焦点からＸ線二次元検出器の受光面に降ろした垂線に直
交する回転軸を中心として回転させて得られる該被検査
体の投影データを再構成して該被検査体の内部微細構造
を１０倍以上に拡大解析するＸ線ＣＴ装置において、上
述の課題を解決するため、上記Ｘ線源を、Ｘ軸がＸ線二
次元検出器の受光面に直交しＹ軸が該受光面に平行であ
り上記被検査体の回転中心とＸ線焦点との間の距離の３
倍以上のストローク及び１μｍ以下の停止位置精度を有
するＸＹ軸駆動手段を備えたＸＹテーブルの上に搭載
し、上記被検査体が、上記ＸＹテーブルにおけるＸＹ平
面に対して直交するＺ軸方向について１μｍ以下の停止
位置精度を有するＺ軸駆動手段により移動操作される回
転基台上に載置されることとしたものである。

【００１６】本発明に係るＸ線ＣＴ装置においては、上
記Ｘ線源がＸＹテーブルの上に搭載されているので、回
転基台とＸ線源との位置関係の調整を容易に行うことが
できる。

【００１７】また、本発明に係るＸ線ＣＴ装置の調整方
法は、焦点サイズ５μｍ以下のＸ線源を有しこのＸ線源
とＸ線二次元検出器との間に被検査体を設置しこの被検
査体をＸ線焦点からＸ線二次元検出器の受光面に降ろし
た垂線に直交する回転軸を中心として回転させて得られ
る該被検査体の投影データを再構成して該被検査体の内
部微細構造を１０倍以上に拡大解析するＸ線ＣＴ装置の
調整方法であって、上記Ｘ線源がＸ軸がＸ線二次元検出
器の受光面に直交しＹ軸が該受光面に平行であるＸＹテ
ーブルの上に搭載されており、上記被検査体が上記ＸＹ
テーブルにおけるＸＹ平面に対して直交するＺ軸方向に
ついて移動操作される回転基台上に載置される場合にお
いて、上記Ｘ線焦点から被検査体が載置される回転基台
の回転中心軸上に降ろした垂線をＸ´軸としこのＸ´軸
と直交し、かつ、上記回転基台の回転中心軸に直交する
直線をＹ´軸として空間座標系を定めたとき、上記回転
基台の回転中心軸から半径３００μｍ以内の領域に、張
力によって直線状とした線径２００μｍ未満の一様な太
さの金属線からなる調整用治具を、該回転基台に直立さ
せて該回転中心軸に平行として固定し、上記Ｘ線源の可
動ストローク内で上記調整用治具に最も近接させた初期
位置のＸ線焦点の位置を初回の投影探査点とし、上記Ｘ
線源よりＸ線を照射させ、上記調整用治具を上記回転基
台とともに回転させこの調整用治具の投影像が該投影像
の最大振幅の中点となる位置において該回転基台を静止
させ、上記ＸＹテーブルをＸ軸について駆動してＸ線焦
点を上記調整用冶具から離間させ該調整用冶具の投影像
の上記Ｘ線二次元検出器の受光面上における移動量及び
移動方向を観察し、Ｘ線焦点を上記調整用冶具から離間
させたときの投影像の移動がない場合には調整終了と
し、Ｘ線焦点を上記調整用冶具から離間させたときの投
影像の移動がある場合には上記Ｘ線源を可動ストローク
内で上記調整用治具に最も近接した初回の投影探査点に
戻し上記ＸＹテーブルをＹ軸について駆動してＹ軸上の
いずれかの方向へ初回オフセット量だけ移動させてこれ
を初回の調整起点とし、上記初回の調整起点より上記Ｘ
ＹテーブルをＸ軸について駆動してＸ線焦点を上記調整
用冶具から離間させ該調整用冶具の投影像の上記Ｘ線二
次元検出器の受光面上における移動量及び移動方向ΔＡ
を検出し上記ＸＹテーブルをＹ軸について移動量ΔＤだ
け移動させ上記ＸＹテーブルをＸ軸について駆動してＸ
線焦点を上記調整用冶具に接近させ該調整用冶具の投影
像の上記Ｘ線二次元検出器の受光面上における移動量及
び移動方向ΔＢを検出し、上記各移動量ΔＡ，ΔＢ，Δ
Ｄに基づいて上記Ｘ線焦点から上記調整用冶具タングス
テン線へ降ろした垂線が上記Ｘ軸に平行となるＸ線焦点
の位置を算出して該Ｘ線焦点の位置をＹ軸方向に移動さ
せて該Ｘ線焦点から該調整用冶具へ降ろした垂線を上記
Ｘ軸に平行とし、このときのＸ線焦点の位置を第２回の
投影探査点とし、以後、この投影探査点に基づいて、上
記回転基台の回転位置を上記調整用治具の投影像が該投
影像の最大振幅の中点となる位置に静止させ、上記Ｘ線
焦点を上記調整用冶具から離間させ、該調整用冶具の投
影像の上記Ｘ線二次元検出器の受光面上における移動が
ない場合には調整終了とし、該投影像の移動がある場合
には上記Ｘ線源を可動ストローク内で上記調整用治具に
最も近接した初期位置に戻し、Ｙ軸上のいずれかの方向
へオフセット量だけ移動させて、これを次の調整起点と
し、この調整起点より、Ｘ線焦点を上記調整用冶具から
離間させ、該調整用冶具の投影像の上記Ｘ線二次元検出
器の受光面上における移動量及び移動方向ΔＡを検出
し、上記Ｘ線焦点をＹ軸について移動量ΔＤだけ移動さ
せ、上記Ｘ線焦点を上記調整用冶具に接近させ、該調整
用冶具の投影像の上記Ｘ線二次元検出器の受光面上にお
ける移動量及び移動方向ΔＢを検出し、これら移動量Δ
Ａ，ΔＢ，ΔＤに基づいて、上記Ｘ線焦点から上記調整
用冶具へ降ろした垂線が上記Ｘ軸に平行となるＸ線焦点
の位置を算出して、該Ｘ線焦点から該調整用冶具へ降ろ
した垂線を上記Ｘ軸に平行とすることを繰り返すことに
より、上記Ｘ´軸を上記Ｘ軸に平行に調整することを特
徴とする。

【００１８】本発明に係るＸ線ＣＴ装置の調整方法にお
いては、上記回転基台と上記Ｘ線源との位置関係の調整
を容易に行うことができる。

【００１９】そして、本発明に係るＸ線ＣＴ装置の調整
用冶具は、Ｘ線源を有しこのＸ線源とＸ線検出器との間
に被検査体を設置しこの被検査体をＸ線焦点からＸ線二
次元検出器の受光面に降ろした垂線に直交する回転軸を
中心として回転させて得られる該被検査体の投影データ
を再構成して該被検査体の内部微細構造を解析するＸ線
ＣＴ装置において使用されるＸ線ＣＴ装置の調整用冶具
であって、上記被検査体が載置される回転基台を支持す
る空気軸受の中心部の空洞部内において回転中心軸に平
行で、かつ、該中心から半径３００μｍ以内の領域に位
置し張力によって直線状となされているとともに上記回
転基台上の位置との間で昇降操作される線径１０μｍ以
上５０μｍ未満のタングステン線と、上記空気軸受の中
心部の空洞部内に連結された管状部材と、直径が略々上
記管状部材の内径に対応し該管状部材内に収納された複
数の球体からなる球列とを備え、上記タングステン線
は、外部の駆動手段によって、上記球列を介して上方に
向けて押し出されることによって、上記回転基台上の位
置となされることを特徴とするものである。

【００２０】本発明に係るＸ線ＣＴ装置の調整用冶具に
おいては、電離放射線遮蔽構造を開閉することなく、被
検査体の回転軸の位置の調整に用いる調整用冶具が必要
なときのみに使用できる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。

【００２２】本発明に係るＸ線ＣＴ装置は、図１乃至図
３に示すように、コーンビームを発生するＸ線源（Ｘ線
発生装置）１を有して構成される。このＸ線源は、焦点
サイズ５μｍ以下のＸ線焦点を形成するように構成され
ている。そして、このＸ線ＣＴ装置は、Ｘ線源１から発
せられるＸ線を受光するＸ線二次元検出器２を備えてい
る。このＸ線二次元検出器２としては、フラットパネル
ディテクタ（Flat Panel Detector：ＦＰＤ）を用いる
ことができる。そして、Ｘ線源１とＸ線二次元検出器２
との間には、被検査体が載置されて回転操作する回転基
台ユニット３が設けられている。これらＸ線源１、Ｘ線
二次元検出器２及び回転基台ユニット３は、基台３１上
に配設されている。

【００２３】このＸ線ＣＴ装置は、図４に示すように、
Ｘ線源１とＸ線二次元検出器２との間に、回転基台ユニ
ット３の回転基台４上に載置して被検査体を設置し、こ
の被検査体をＸ線焦点からＸ線二次元検出器２の受光面
に降ろした垂線に直交する回転軸（回転基台の回転軸）
を中心として回転させ、得られる被検査体の投影データ
を再構成して、被検査体の内部微細構造を１０倍以上に
拡大解析する装置である。

【００２４】Ｘ線源１は、図１及び図３に示すように、
Ｘ軸がＸ線二次元検出器２の受光面に直交しＹ軸が該受
光面に平行であり被検査体の回転中心とＸ線焦点との間
の距離の３倍以上のストローク（５０ｍｍ程度）及び１
μｍ以下の停止位置精度を有するＸＹ軸駆動手段を備え
たＸＹテーブル６の上に搭載されている。回転基台ユニ
ット３は、粗動手回しハンドル機構７によっても、基台
３１上に配設された一対のガイドレール３０上を移動操
作されることができる。

【００２５】また、回転基台ユニット３の回転基台４
は、ＸＹテーブル６におけるＸＹ平面に対して直交する
Ｚ軸方向について、１μｍ以下の停止位置精度を有する
Ｚ軸駆動手段により移動操作される。

【００２６】さらに、回転基台４は、空気軸受によって
支持されており、この空気軸受に同軸状に直結された
０．２分以下の位置決め精度を持つサーボモーター及び
回転位相検出手段により、これらサーボモーター及び回
転位相検出手段の分解能に応じた各角度位相において、
再構成に必要な上記投影データの取り込み期間中におい
て静止される。また、サーボモーター及び回転位相検出
手段のシャフトには、直径約１０ｍｍの回転軸に沿った
貫通穴が設けられている。空気軸受の中心部の空洞部内
には、回転中心に平行で、かつ、該中心から半径３００
μｍ以内の領域に位置する線径１０μｍ以上５０μｍ未
満のタングステン線からなる調整用タングステン線１５
を有する調整用冶具ユニット５が内蔵されている。この
調整用タングステン線１５は、張力によって直線状とな
されているとともに、回転基台４上の位置との間で昇降
操作される。この調整用タングステン線１５は、線径２
００μｍ以下の金属線からなるものとしてもよい。

【００２７】Ｘ線二次元検出器２は、図２に示すよう
に、角度を調整する角度調整機構となる二軸ステージ８
及びゴニオステージ９によって支持されている。Ｘ線二
次元検出器２は、ゴニオステージ９により、図２中矢印
Ａで示すＸ軸回りの回転調整と、図３中矢印Ｂで示す水
平軸Ｙ´´軸回りの回転調整が可能となっている。ま
た、Ｘ線二次元検出器２は、二軸ステージ８により、図
１中矢印Ｃで示す垂直軸Ｚ´´軸回りの回転調整と、図
１中矢印Ｄで示す水平軸Ｙ´´軸方向の移動調整が可能
となっている。

【００２８】そして、これらＸ線源１よりＸ線二次元検
出器２までは、電離放射線（Ｘ線）の遮蔽箱１０に収納
されている。

【００２９】このＸ線ＣＴ装置において、回転基台ユニ
ット３の回転基台４は、図５に示すように、上述したよ
うに、空気軸受ロータ１２によって支持されている。す
なわち、回転基台４は、空気軸受ロータ１２上に取付け
られており、サーボモータ１３によって回転操作され
る。このサーボモータ１３には、高分解能（５０００パ
ルス以上）のロータリーエンコーダ１４が取付けられて
いる。

【００３０】この回転基台４は、コンセントリシティー
０．１μｍ以下で回転し、かつ、０．２分未満の角度分
解能で位置決め保持されることができる。１回の投影デ
ータの取り込み時間は、最大で２０秒程度である。ＡＣ
サーボモーターと５０００パルス以上のロータリーエン
コーダ及び出力波形を５０逓倍するドライバー等の組み
合わせにより、全周３６０度を１００万分割し、１００
万分の２パルスの範囲で被検査体の回転角度位相を保持
し静止させることが技術的に可能である。これらによっ
て、焦点サイズ５μｍ以下のマイクロフォーカスＸ線源
を搭載したＣＴ装置に対して、十分な品位の被検査体投
影データを取得することができる。

【００３１】この回転基台ユニット３において張力によ
り直線状となされた線径５０μｍ未満のタングステン線
からなる調整用タングステン線１５を支持している調整
用冶具ユニット５は、回転基台４上に突出される位置
と、この回転基台４内に収納される位置とに亘って、空
気軸受ロータ１２に圧入されたスプライン軸受１１をガ
イドに昇降可能となされている。この調整用冶具ユニッ
ト５は、回転基台４上に設けられた被検査体ホルダを取
り外すことによって、随時上昇及び下降させることが可
能である。この調整用冶具ユニット５は、上昇の都度、
回転基台４の回転中心（軸）から半径３００μｍ以内に
調整用タングステン線１５を垂直（回転軸と平行な面
内）に保持する。

【００３２】この調整用冶具ユニット５においては、図
６に示すように、調整用タングステン線１５は、ルビー
キャピラリ２０，２０によって保持されている。このル
ビーキャピラリ２０の外周部に設けられた外周ネジ２１
及びネジ２２は、一種の差動ネジを形成している。すな
わち、ネジ２２を工具で回転規制して外周ネジ２１を回
転させると、この外周ネジ２１の回転角度に対し、ネジ
ピッチの差分だけ、相対的に外周ネジ２１と逆に動く。
これらネジ２１，２２は、ロックナット２３，２４によ
って固定される。

【００３３】この調整用冶具ユニット５のハウジング２
４は、吸収係数の低い金属（アルミなど）からなる。こ
のハウジング２４の基端側には、このハウジング２４が
上昇されたときに回転基台４上の位置決めブロック２５
に対して最外周部が３点で位置決めされる位置決めブロ
ック２６が密着固定されている。

【００３４】また、この回転基台ユニット３には、図５
に示すように、外部のシリンダ１７の水平方向の力成分
を垂直方向へ変換するボール列１８が設けられている。
このボール列１８は、これらボール列１８をガイドする
レール部材１９によって支持されている。これらボール
列１８は、シリンダ１７によって押圧操作されると、シ
ャフト２７を介して、調整用冶具ユニット５を上方側に
押し出して、基台部４上に突出させる。すなわち、調整
用冶具ユニット５が上昇しているときのボール列１８
は、略垂直に連なってシャフト２７を押し上げる力のみ
が顕在化し、空気軸受の軸受部空気層に対するラジアル
方向圧縮荷重は完全に無視できる。調整用冶具ユニット
５の回転方向成分の力は、ボ―ル列１８でキャンセルさ
れ、シリンダ１７側へは伝達されない。

【００３５】このような条件下で位置決めされた調整用
冶具ユニット５を空気軸受のロータ１２と一体に所定の
角度回転させると、Ｘ線二次元検出器２の受光面上へ２
次元的に投影された調整用タングステン線１５の投影像
の最大振幅より、ＣＴ再構成計算における被検査体の回
転中心、すなわち、再構成時の計算上の中心を求めるの
に必要な数値（諸元）を画像処理によって得ることがで
きる。

【００３６】画像処理によって取り込まれた調整用タン
グステン線１５の投影像のデータは、次の方法によって
計測処理される。調整用タングステン線１５を通ったＸ
線は、減弱（吸収）されるので、Ｘ線二次元検出器２に
おいては、暗い像として映し出される。例えば、垂直に
置かれた調整用タングステン線１５が投影として撮り込
まれた場合、その投影の上部、中部、下部、各々にて水
平方向に調整用タングステン線１５の中心位置を算出す
るべく計算を行ない、その値から調整用タングステン線
１５の中心位置のずれ、または傾きを知ることができ
る。この場合の傾きとは、Ｘ線二次元検出器２の上下
（垂直）方向の画素の並びに対する調整用タングステン
線１５の傾きばかりでなく、回転基台４全体をその回転
軸と平行に上昇下降させるＺ軸駆動系を有していれば、
上昇端で調整用タングステン線１５の上部、下降端で下
部の線幅を拡大投影して計測することから、回転軸のＸ
線二次元検出器２の受光面に対するあおり方向の傾きを
計算し、回転基台ユニット３、あるいは、角度調整機構
８，９の調整によるＸ線二次元検出器２の角度のいずれ
かを修正することが可能である。なお、この実施の形態
においては、回転基台ユニット３にＺ軸駆動系が内臓さ
れている。

【００３７】調整用タングステン線１５の位置を算出す
る方法は以下の通りである。すなわち、サイズＭ×Ｎの
投影が得られたとして、そのピクセル値を、Ｐ（Ｘ，
Ｙ）とする（ただし、１≦Ｘ≦Ｍ，１≦Ｙ≦Ｎ）。調整
用タングステン線１５が投影された部分のピクセル値
は、背景のピクセル値より低いので、調整用タングステ
ン線１５の投影部分のピクセル値を背景のピクセル値と
の中間程度のピクセル値を閾値Ｔとして設定する。ある
高さ（Ｙ＝Ｙ０）において、画像のピクセル値Ｐ（Ｘ，
Ｙ０）を、１≦Ｘ≦Ｍの範囲で、仮にユーザーが大雑把
な範囲を指定している場合は、〔１≦Ｘmin≦Ｘ≦Ｘmax
≦Ｍ〕の範囲で求め、閾値Ｔと比較する。当然ながら、
調整用タングステン線１５の投影像はある幅を持ってお
り、その結果、〔Ｘｓ≦Ｘ≦Ｘｅ〕の範囲のピクセル値
が閾値Ｔを下回ったとする。これにより、調整用タング
ステン線１５の投影での中心位置Ｘmは、次式により算
出できる。 Ｘm＝（Ｘｓ＋Ｘｅ）／２

【００３８】調整用冶具ユニット５を空気軸受のロータ
１２と一体的に回転させると、Ｘ線二次元検出器２の画
面上での調整用タングステン線１５の投影像が左右に振
れる。この最大振幅を計測し、それぞれの調整用タング
ステン線１５の中心座標を演算し、Ｘ線二次元検出器２
の画面上における空気軸受の回転中心、すなわち、再構
成計算中心を求めることが出来る。

【００３９】なお、調整用冶具ユニット５を被検査体ホ
ルダーと自動的に乗せかえれば、実際の作業上、Ｘ線源
の管電圧、電流を決定した後のＸ線二次元検出器２のキ
ャリブレーションや規準黒画像等の画像処理に必要なデ
ータの取得が、すべて人為的作業なしで行うことができ
る。

【００４０】次に、上述のＸ線ＣＴ装置において、Ｘ線
焦点座標６と二次元検出器２の角度や位置調整を行うア
ルゴリズムを以下に示す。

【００４１】まず、ＸＹテーブル６と回転基台ユニット
３とは、近接可能なので、専用の治工具で相互角度、す
なわち回転基台ユニット３のＺ軸駆動系がＸＹテーブル
６の基準面と直交するように、事前に手動で調整する。
次に、Ｘ線源１よりＸ線を照射しつつ、回転基台を上下
に操作し、調整用タングステン線１５の投影像の幅を計
測すれば、Ｚ軸がＸＹ平面に直交しているか否かを確認
できる。

【００４２】そして、図７に示すフローチャートのステ
ップｓｔ１において、回転基台４に調整用冶具５を、回
転中心軸（Ｚ´軸）に平行でその近傍（半径３００μｍ
以内）にあるように固定する。このとき、調整用冶具５
は、座標が一致する必要はなく、単にＺ´軸と平行であ
れば良い。

【００４３】次に、ステップｓｔ２においては、Ｘ線二
次元検出器２の取りつけ基準面が、ＸＹテーブル６のＹ
軸に平行になるように、スコヤ等で治工具調整をする。
また、ＸＹテーブル６のＸ軸にＸ線二次元検出器２の取
りつけ基準面が垂直になるようにスコヤ等で治工具調整
をする。さらに、電離放射線の遮蔽箱１０を閉じ、Ｘ線
源１を調整用タングステン線１５に移動可能ストローク
内で最近接させ、Ｘ線を照射し、Ｘ線二次元検出器２の
受光面の画素の垂直方向の列に対して、調整用冶具５の
投影像の幅方向の中心線が傾いていたら、角度調整機構
８，９によって、互いに平行になるように、Ｘ線二次元
検出器２の位置を調整する。

【００４４】また、傾き調整後、調整用タングステン線
１５の投影像がＸ線二次元検出器２の受光面水平方向の
幅の中心近傍にあるように、このＸ線二次元検出器の位
置を調整する。

【００４５】すなわち、このとき、Ｘ線源１は、Ｘ軸が
Ｘ線二次元検出器２の受光面に直交しＹ軸が該受光面に
平行であるＸＹテーブルの上に搭載されている。ここ
で、Ｘ線焦点から被検査体が載置される回転基台４の回
転中心軸上に降ろした垂線をＸ´軸とし、このＸ´軸と
直交し、かつ、回転基台４の回転中心Ｚ´軸に直交する
直線をＹ´軸として空間座標系を定める。

【００４６】そして、ステップｓｔ３において、図８に
示すように、Ｘ線源１を調整用タングステン線１５に最
近接させた状態で、回転基台４を回転させ、調整用タン
グステン線１５の投影像の最大振幅の中点に投影像がく
る位置で、回転基台４を静止させる。この位置を、初回
投影探査点とする。

【００４７】次に、ステップｓｔ４において、図８に示
すように、ＸＹテーブル６のＸ軸をΔＸだけ後退させ、
Ｘ線二次元検出器２から遠ざけたとき、ステップｓｔ５
において、調整用タングステン線１５の投影像のデータ
をＸ線二次元検出器２の画素単位で計測した投影の幅
（Ｙ軸方向）の中心線座標が、Ｘ線二次元検出器２の受
光面上においてＹ軸方向のプラス方向あるいはマイナス
方向いずれかの方向へ動くか、または、動かないかを観
測し、動かなければ、調整終了とし、ステップｓｔ１５
に進む。

【００４８】調整用タングステン線１５の投影像の中心
線座標が動くときは、ステップｓｔ６に進み、（好まし
くはその動く方向と同じ方向へ）ＸＹテーブル６のＹ軸
を操作し、図８に示すように、初回投影探査点からＸ線
焦点１を初回オフセット量だけＹ軸方向に移動させ、Ｘ
線焦点座標調整の初回起点とする。このときのオフセッ
ト量は、調整用タングステン線１５の回転軌跡半径より
大きくてもよい。この状態で、ステップｓｔ７で、Ｘ線
源１を搭載したＸＹテーブル６のＸ軸をΔＸ後退させ、
Ｘ線二次元検出器２から遠ざけたとき、調整用タングス
テン線１５の投影像をＸ線二次元検出器２の画素単位で
計測した投影の幅（Ｙ軸方向）の中心線座標が、Ｘ線二
次元検出器２の受光面上でいずれかの方向へ動くかを観
測し、かつ、動き量をＸ線二次元検出器２上の画素数量
と画素ピッチ（ピクセルピッチ）とから実寸法に換算
し、ΔＡとする。ただし、後述する数式においては、画
素の実寸法要素は、計算上消去される。

【００４９】次に、ステップｓｔ８で、図８に示すよう
に、初期オフセットと逆の方向へ、Ｘ線源１をＹ軸方向
に移動距離ΔＤだけ移動させる。この移動距離ΔＤは、
初期オフセット量より大きい値でよい。そして、ステッ
プｓｔ９で、Ｘ線源１をＸ軸に沿ってΔＸ前進させ、調
整用タングステン線１５に近づける。そして、ステップ
ｓｔ１０で、再度、Ｘ線源１をΔＸだけ後退させたとき
の、調整用タングステン線１５の投影像の中心線のＸ線
二次元検出器２の受光面上での動き量をΔＢとし、動く
方向も観測する。

【００５０】以上の数値（ΔＡ、ΔＢ、ΔＤ）と、観測
された調整用タングステン線１５の投影像の移動方向か
ら、以下の計算により、Ｘ線焦点から初回の探査で静止
した調整用タングステン線１５の中心線に下ろした垂線
が、ＸＹテーブル７のＸ軸と平行である座標へと初回の
起点からみて移動すべきＹ軸移動量ΔＹを算出する。

【００５１】ここで、移動距離ΔＡとΔＢを計測した時
の、Ｘ線二次元検出器２における調整用タングステン線
１５の投影像の移動方向が逆の場合には、ステップｓｔ
１２に進み、下記の式によって、Ｙ軸移動量ΔＹを算出
し、ステップｓｔ１３に進む。 ΔＹ＝ΔＡ・ΔＤ／（ΔＡ＋ΔＢ）

【００５２】また、移動距離ΔＡとΔＢを計測した時
の、Ｘ線二次元検出器２における調整用タングステン線
１５の投影像の移動方向が同じ場合には、ステップｓｔ
１４に進み、下記の式によって、Ｙ軸移動量ΔＹを算出
し、ステップｓｔ１３に進む。 ΔＹ＝ΔＡ・ΔＤ／｜ΔＡ−ΔＢ｜

【００５３】なお、これらの式は、Ｘ線焦点、Ｘ線二次
元検出器２、回転基台４の回転軸の相互間距離には無関
係な方程式となっている。

【００５４】そして、ステップｓｔ１３では、図８に示
すように、Ｘ線焦点をＹ軸方向に初回の起点からΔＹだ
け移動させ、ここを２回目の投影探査点とし、ステップ
ｓｔ３に戻る。すなわち、以後は、上述のステップｓｔ
３乃至ステップｓｔ１３までの過程が、ステップｓｔ５
において調整完了とされるまで繰り返される。この繰返
しにおいて、投影探査点は更新されてゆき、Ｘ´軸が徐
々にＸ軸に平行となることとなる。

【００５５】ステップｓｔ５で調整完了とされてステッ
プｓｔ１５に進むと、調整用タングステン線１５の最大
振幅中点における投影像の中心線のＸ線二次元検出器２
受光面上の座標が該受光面の幅の水平画素列中心近傍座
標に来るように微調整する。この作業で求められた受光
面上の中心座標は、Ｚ´軸が投影された座標であって、
再構成計算上の中心値となる。

【００５６】そして、ステップｓｔ１６において、Ｚ軸
駆動系を操作し、あらかじめ調整用タングステン線１５
がＸ´Ｙ´平面と交差する近傍にマーカを設け、Ｘ´Ｙ
´平面中心に等間隔動かしたＺ軸移動スパンに対する検
出器２受光面における調整用タングステン線１５のマー
カの投影の移動スパンを予め計測された画素ピッチによ
って計算し、両者を比較して、被検査体のＺ´軸（垂
直）方向の投影の垂直拡大率を算出する。また、調整用
タングステン線１５を回転基台４とともに回転させ、そ
の最大振幅位置両端のいずれかに静止させ、その投影の
中心線座標を中心にＸＹテーブル６のＹ軸駆動系によっ
てＸ線源１を等間隔移動させ、調整用タングステン線１
５の投影中心線の移動距離とＹ軸駆動系の移動スパンを
比較して被検査体Ｙ´軸（水平）方向の水平拡大率を計
測する。また、この水平拡大率が上述の垂直拡大率と同
じであることを確認し、ステップｓｔ１７に進んで調整
完了となる。

【００５７】上述のような動作は、図９に示すように、
Ｘ線源１及びＸ線二次元検出器２をコントローラを介し
てパーソナルコンピュータ２９に接続し、このパーソナ
ルコンピュータ２９により、多軸モータ制御基板及び複
数のサーボモータドライバを介して複数のサーボモータ
２８を制御することにより、自動化して行うことができ
る。

【００５８】なお、このＸ線ＣＴ装置の調整方法におい
ては、回転基台４側に、ＸＹテーブルの機能をもたせる
ことは原理的に可能である。しかし、Ｘ線焦点は、Ｘ線
二次元検出器の垂直方向においても、受光面幅の中心で
ある事が望ましい。そのため、被検査体の高さ（Ｚ´軸
方向）に応じて、被検査体を上下し、投影部位を選択す
るＺ軸駆動系は被検査体回転基台側に必要である。ま
た、遮蔽箱１０の大きさは有限であり、被検査体の外形
が著しく大きく、拡大率が要求されなければＸ線焦点と
Ｘ線二次元検出器２の中央に回転基台４を移動すること
（拡大率１倍）まで考慮すると、Ｘ´軸方向高精度位置
決め機構が長大化するか、あるいは、別の粗動機構を準
備しなければならない。特に、粗動機構を追加する場合
は、４軸も回転基台の周囲に設けねばならなくなり、機
構が複雑化し、かつ、巨大化してしまう。Ｘ線源が一体
形工業用Ｘ線装置で小型である場合には、上述した実施
の形態のように、両軸とも５０ｍｍ前後のストロークの
高精度位置決め機能を有するＸＹテーブル上にＸ線源自
体を搭載し、機能を分散化する方が、機構が小型化さ
れ、有利である。

【００５９】また、Ｘ線源の下部のＸＹテーブル基準面
からＸ線焦点までの高さは、設計的におおよそ決められ
ている。Ｘ´Ｙ´平面上のＸ線焦点座標に比べ、Ｚ軸方
向の座標は、Ｘ線ＣＴの再構成計算上それほど重要な数
値ではない。言いかえれば、Ｘ´軸、Ｙ´軸の高さは、
Ｘ線源の設計上の数値を用いて計算する程度で十分であ
る。しかしながら、上述のフローチャートで示した調整
の後、調整用タングステン線１５を交換し、Ｙ´軸近傍
の水平な金属線からなる調整用冶具を回転基台軸受部ロ
ータに固定し、上述の手順と同様にして、Ｙ軸駆動操作
をＺ軸駆動操作に置換した別の調整を行えば、Ｘ線焦点
の高さを求め、上記設計値を検証することができる。焦
点サイズが５μｍ未満であるＸ線源を用いて、被検査体
の既知の特定された部位を拡大し、その投影データを再
構成する場合は、その特定部位をこのように検証された
座標原点近傍に設定して投影データを求めれば、より解
像度や信頼性の高いＣＴ画像が得られる。

【００６０】そして、図８において、静止した調整用タ
ングステン線１５からＸ線二次元検出器２までの距離を
Ｌ１、調整用タングステン線１５からＸ線焦点までの距
離をＬ２とし、さらに、Ｘ線焦点のＹ軸方向移動距離Δ
Ｄに対応する調整タングステン線１５の投影像の移動距
離をΔＣとすると、以下の方程式で、Ｌ１、Ｌ２を求め
ることができる。 Ｌ１＝ΔＣ・ΔＸ・（ΔＡ＋ΔＢ＋ΔＣ）／（ΔＤ・
（ΔＡ＋ΔＢ）） Ｌ２＝ΔＣ・ΔＸ／（ΔＡ＋ΔＢ）

【００６１】このようにしてＬ１、Ｌ２を求めれば、Ｘ
線焦点とＸ線二次元検出器２との距離等が計算される。

【００６２】なお、上述の実施の形態においては、図８
中のΔＳを定める以下の比例関係式よりΔＳを消去し、
さらに、Ｌ１、Ｌ２を消去して、ΔＹを求める式を得
た。 Ｌ１：（Ｌ２＋ΔＸ）＝（ΔＳ−ΔＡ）：ΔＹ Ｌ１：Ｌ２＝ΔＳ：ΔＹ ΔＹ＝ΔＡ／（Ｌ１（１／Ｌ２−１／（Ｌ２＋ΔＸ））

【００６３】さらに、上述のＸ線ＣＴ装置において、調
整用タングステン線１５の投影像の中心線の振幅中心を
探査後、Ｘ線２次元検出器２を微動することにより、Ｘ
線２次元検出器２の受光面上における中心線座標画素が
交代する送り量と一画素分の実寸法を比較演算し、ピク
セル単位（画素単位）未満の精度で、回転基台４の回転
中心をＸ線２次元検出器２上の座標として求めることが
できる。

【００６４】

【発明の効果】上述のように、本発明に係るＸ線ＣＴ装
置においては、被検査体を支持する回転基台を空気軸受
によって支持することにより、コンセントリシティーを
０．１μｍ以下と向上させることだでき、焦点サイズ５
μｍ以下のマイクロフォーカスＸ線源を用いるＸ線ＣＴ
装置においても、理想的なブレの無い投影データ取り込
み精度を実現することができる。

【００６５】また、このＸ線ＣＴ装置においては、空気
軸受回転サーボモーターと回転位相検出手段を直結する
ことによるカップリング等介在させない構造を有するこ
とによって、ロータ位置決め精度を向上させるととも
に、空気軸受ロータの中空部と直結駆動シャフト中心の
空洞を外部駆動力伝達空間として利用し、人為的な載せ
換え作業や遮蔽箱の開閉等を伴わずに、調整用冶具等を
用いた作業を遂行することができる。

【００６６】さらに、直結シャフトの中空部空間にボー
ル列を埋めて、水平方向の外部駆動力を垂直方向に変換
して伝達することによって、空気軸受の軸受部空気層を
圧縮することなく、すなわち、コンセントリシティーを
損なわずに、調整用治具等を上昇位置決め、下降待避す
ることが、人為的作業なしに可能となり、駆動源と駆動
機構を水平展開できるので、上昇下降に必要なストロー
クのいかんによらず、駆動機構の存在が装置全高に影響
することがない。

【００６７】また、Ｘ線焦点の座標、回転基台の座標及
びＸ線二次元検出器の座標が決定された後、その座標の
まま上記調整用治具等を上昇位置決めし、所定の角度回
転させ、最大振幅時の調整用冶具の投影データの中心を
計測演算することで、被検査体回転中心を実際に投影デ
ータを取りこむ検出器画素の単位で予め知ることができ
る。このことにより、再構成計算上の中心を求めるのに
必用な諸元を、実際のＸ線二次元検出器上の画素座標と
して容易に特定できるので、作業の時間を著しく短縮す
ることができる。

【００６８】そして、本発明に係るＸ線ＣＴ装置の調整
方法においては、実際にＸ線を照射して行うＸ線焦点座
標に関する調整が、一つの調整用治具を回転基台に固定
すれば、決められたアルゴリズムによって完了する。

【００６９】Ｘ線二次元検出器の画素サイズは予め知ら
された有限な数値であるから、このＸ線二次元検出器に
微動ステージを設け調整精度を向上させたとしても、こ
のアルゴリズムが無限のループを形成することは無い。
また、調整用治具は、回転基台の回転軸と単に平行であ
れば良く、座標が一致している必要は無い。したがっ
て、調整用治具の自動昇降機構などの実現が容易であ
る。困難なＸ線二次元検出器、Ｘ線焦点、回転基台の回
転軸の相互距離測定を精密に行う必要も無い。

【００７０】そして、本発明においては、被検査体の形
状が変わり、回転基台の位置を変更するか、あるいは、
Ｘ線二次元検出器の位置を変更し、その結果被検査体の
投影の拡大率が変わっても、再構成に必要な、Ｘ線二次
元検出器の受光面上の回転中心の座標が変化しない位置
にＸ線焦点座標を決めることが可能である。すなわち、
被検査体の回転軸に直交し、かつ、検出器受光面に直交
するＸ´軸上にＸ線焦点座標を調整することができる。
作業効率は著しく向上する。

【００７１】また、Ｘ線焦点座標は、電源投入直後Ｘ線
管内部で微少な移動をすることがあるが、本発明におい
ては、調整後、調整用治具を用いてＸ線源へ電源投入直
後の投影データの比較を行えば、投影データ取得にふさ
わしくない状況を把握し、その時間帯を避けることが容
易である。Ｘ線管の陽極ターゲット等は固有の寿命を持
つが、これらを交換した時の新たな理想的焦点座標は本
提案のアルゴリズムによってすみやかに探査することが
できる。

【００７２】このように、本発明においては、Ｘ線源を
搭載したＸＹテーブルの操作にともなって、被検査体回
転軸近傍の金属線の投影が移動する方向と移動量の計測
値のみを用いて演算し、徐々に理想的なＸ線焦点座標へ
寄りつつ最適値を求めることができる。

【００７３】すなわち、本発明は、拡大率を変えた場合
においても、被検査体の回転軸の位置についての調整が
容易化されたＸ線ＣＴ装置及びＸ線ＣＴ装置の調整方法
を提供し、また、電離放射線遮蔽構造を開閉することな
く、被検査体の回転軸の位置の調整に用いる調整用冶具
が使用できるようになされたＸ線ＣＴ装置の調整用冶具
を提供することができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るＸ線ＣＴ装置の構成を示す平面図
である。

【図２】上記Ｘ線ＣＴ装置の機構の角度調整機構の構成
を示す側面図である。

【図３】上記Ｘ線ＣＴ装置の構成を示す側面図である。

【図４】上記Ｘ線ＣＴ装置の原理を示す斜視図である。

【図５】上記Ｘ線ＣＴ装置の要部（回転基台ユニット）
の構成を示す縦断面図である。

【図６】上記Ｘ線ＣＴ装置の要部（回転基台）の構成を
示す縦断面図である。

【図７】本発明に係るＸ線ＣＴ装置の調整方法の手順を
示すフローチャートである。

【図８】上記Ｘ線ＣＴ装置の調整方法を説明する平面図
である。

【図９】上記Ｘ線ＣＴ装置の構成を示すブロック図であ
る。

【図１０】従来のＸ線ＣＴ装置の要部の構成を示す縦断
面図である。

【符号の説明】

１ Ｘ線源、２ Ｘ線二次元検出器、３ 回転基台ユニ
ット、４ 回転基台、５，１５ 調整用冶具、６ ＸＹ
テーブル、１０ 遮蔽箱

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 片貝 賢一 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 宮澤 達雄 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 DA09 FA06 GA06 GA13 HA08 HA13 HA14 JA08 JA11 KA03 PA12

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 焦点サイズ５μｍ以下のＸ線源を有し、
   このＸ線源とＸ線二次元検出器との間に被検査体を設置
   し、この被検査体をＸ線焦点からＸ線二次元検出器の受
   光面に降ろした垂線に直交する回転軸を中心として回転
   させて得られる該被検査体の投影データを再構成して、
   該被検査体の内部微細構造を１０倍以上に拡大解析する
   Ｘ線ＣＴ装置において、 上記Ｘ線源は、Ｘ軸がＸ線二次元検出器の受光面に直交
   しＹ軸が該受光面に平行であり上記被検査体の回転中心
   とＸ線焦点との間の距離の３倍以上のストローク及び１
   μｍ以下の停止位置精度を有するＸＹ軸駆動手段を備え
   たＸＹテーブルの上に搭載されており、 上記被検査体は、上記ＸＹテーブルにおけるＸＹ平面に
   対して直交するＺ軸方向について１μｍ以下の停止位置
   精度を有するＺ軸駆動手段により移動操作される回転基
   台上に載置されることを特徴とするＸ線ＣＴ装置。
2. 【請求項２】 上記回転基台は、空気軸受によって支持
   されており、この空気軸受に同軸状に直結された０．２
   分以下の位置決め精度を持つサーボモーター及び回転位
   相検出手段により、これらサーボモーター及び回転位相
   検出手段の分解能に応じた各角度位相において、再構成
   に必要な上記投影データの取り込み期間中において静止
   されることを特徴とする請求項１記載のＸ線ＣＴ装置。
3. 【請求項３】 上記サーボモーター及び上記回転位相検
   出手段のシャフトには、直径約１０ｍｍの回転軸に沿っ
   た貫通穴が設けられていることを特徴とする請求項２記
   載のＸ線ＣＴ装置。
4. 【請求項４】 上記空気軸受の中心部の空洞部内に、回
   転中心に平行で、かつ、該中心から半径３００μｍ以内
   の領域に位置する線径１０μｍ以上５０μｍ未満のタン
   グステン線からなる調整用冶具が内蔵されており、 上記調整用冶具は、張力によって直線状となされている
   とともに、上記回転基台上の位置との間で昇降操作され
   ることを特徴とする請求項１記載のＸ線ＣＴ装置。
5. 【請求項５】 焦点サイズ５μｍ以下のＸ線源を有しこ
   のＸ線源とＸ線二次元検出器との間に被検査体を設置し
   この被検査体をＸ線焦点からＸ線二次元検出器の受光面
   に降ろした垂線に直交する回転軸を中心として回転させ
   て得られる該被検査体の投影データを再構成して該被検
   査体の内部微細構造を１０倍以上に拡大解析するＸ線Ｃ
   Ｔ装置の調整方法であって、 上記Ｘ線源が、Ｘ軸がＸ線二次元検出器の受光面に直交
   しＹ軸が該受光面に平行であるＸＹテーブルの上に搭載
   されており、 上記被検査体が、上記ＸＹテーブルにおけるＸＹ平面に
   対して直交するＺ軸方向について移動操作される回転基
   台上に載置される場合において、 上記Ｘ線焦点から被検査体が載置される回転基台の回転
   中心軸上に降ろした垂線をＸ´軸とし、このＸ´軸と直
   交し、かつ、上記回転基台の回転中心軸に直交する直線
   をＹ´軸として空間座標系を定めたとき、 上記回転基台の回転中心軸から半径３００μｍ以内の領
   域に、張力によって直線状とした線径２００μｍ未満の
   一様な太さの金属線からなる調整用治具を、該回転基台
   に直立させて該回転中心軸に平行として固定し、 上記Ｘ線源の可動ストローク内で上記調整用治具に最も
   近接させた初期位置のＸ線焦点の位置を初回の投影探査
   点とし、 上記Ｘ線源よりＸ線を照射させ、上記調整用治具を上記
   回転基台とともに回転させ、この調整用治具の投影像が
   該投影像の最大振幅の中点となる位置において該回転基
   台を静止させ、 上記ＸＹテーブルをＸ軸について駆動して、Ｘ線焦点を
   上記調整用冶具から離間させ、該調整用冶具の投影像の
   上記Ｘ線二次元検出器の受光面上における移動量及び移
   動方向を観察し、 Ｘ線焦点を上記調整用冶具から離間させたときの投影像
   の移動がない場合には、調整終了とし、 Ｘ線焦点を上記調整用冶具から離間させたときの投影像
   の移動がある場合には、上記Ｘ線源を可動ストローク内
   で上記調整用治具に最も近接した初回の投影探査点に戻
   し、上記ＸＹテーブルをＹ軸について駆動して、Ｙ軸上
   のいずれかの方向へ初回オフセット量だけ移動させて、
   これを初回の調整起点とし、 上記初回の調整起点より、上記ＸＹテーブルをＸ軸につ
   いて駆動して、Ｘ線焦点を上記調整用冶具から離間さ
   せ、該調整用冶具の投影像の上記Ｘ線二次元検出器の受
   光面上における移動量及び移動方向ΔＡを検出し、 上記ＸＹテーブルをＹ軸について移動量ΔＤだけ移動さ
   せ、上記ＸＹテーブルをＸ軸について駆動して、Ｘ線焦
   点を上記調整用冶具に接近させ、該調整用冶具の投影像
   の上記Ｘ線二次元検出器の受光面上における移動量及び
   移動方向ΔＢを検出し、 上記各移動量ΔＡ，ΔＢ，ΔＤに基づいて、上記Ｘ線焦
   点から上記調整用冶具タングステン線へ降ろした垂線が
   上記Ｘ軸に平行となるＸ線焦点の位置を算出して、該Ｘ
   線焦点の位置をＹ軸方向に移動させて、該Ｘ線焦点から
   該調整用冶具へ降ろした垂線を上記Ｘ軸に平行とし、こ
   のときのＸ線焦点の位置を第２回の投影探査点とし、 以後、この投影探査点に基づいて、上記回転基台の回転
   位置を上記調整用治具の投影像が該投影像の最大振幅の
   中点となる位置に静止させ、上記Ｘ線焦点を上記調整用
   冶具から離間させ、該調整用冶具の投影像の上記Ｘ線二
   次元検出器の受光面上における移動がない場合には、調
   整終了とし、該投影像の移動がある場合には、上記Ｘ線
   源を可動ストローク内で上記調整用治具に最も近接した
   初期位置に戻し、Ｙ軸上のいずれかの方向へオフセット
   量だけ移動させて、これを次の調整起点とし、この調整
   起点より、Ｘ線焦点を上記調整用冶具から離間させ、該
   調整用冶具の投影像の上記Ｘ線二次元検出器の受光面上
   における移動量及び移動方向ΔＡを検出し、上記Ｘ線焦
   点をＹ軸について移動量ΔＤだけ移動させ、上記Ｘ線焦
   点を上記調整用冶具に接近させ、該調整用冶具の投影像
   の上記Ｘ線二次元検出器の受光面上における移動量及び
   移動方向ΔＢを検出し、これら移動量ΔＡ，ΔＢ，ΔＤ
   に基づいて、上記Ｘ線焦点から上記調整用冶具へ降ろし
   た垂線が上記Ｘ軸に平行となるＸ線焦点の位置を算出し
   て、該Ｘ線焦点から該調整用冶具へ降ろした垂線を上記
   Ｘ軸に平行とすることを繰り返すことにより、上記Ｘ´
   軸を上記Ｘ軸に平行に調整することを特徴とするＸ線Ｃ
   Ｔ装置の調整方法。
6. 【請求項６】 上記回転基台を所定の角度回転させ、上
   記調整用冶具の投影像の最大振幅を計測し、この回転基
   台の回転中心軸をもとめることを特徴とする請求項５記
   載のＸ線ＣＴ装置の調整方法。
7. 【請求項７】 上記Ｘ線二次元検出器の受光面と上記Ｘ
   ´軸が直交する理想的な座標へとＸ線焦点位置が調整さ
   れた後、上記調整用治具がＸ´−Ｙ´平面と交差する近
   傍にマーカを設け、Ｚ軸駆動系により回転基台と一体に
   マーカをＹ´軸中心に等間隔移動させ、Ｚ軸駆動系移動
   スパンに対する上記Ｘ線二次元検出器の受光面における
   マーカの投影の移動スパンを、予め計測された画素ピッ
   チによって計算し、両者を比較して、被検査体の垂直方
   向拡大率を算出することを特徴とする請求項５記載のＸ
   線ＣＴ装置の調整方法。
8. 【請求項８】 上記垂直方向拡大率の算出後に、上記Ｘ
   ＹテーブルのＹ軸駆動系によってＸ線源を上記Ｚ軸中心
   に等間隔移動させ、Ｙ軸駆動系移動スパンに対する上記
   Ｘ線二次元検出器の受光面におけるマーカの投影の移動
   スパンを、予め計測された画素ピッチによって計算し、
   両者を比較して、被検査体の水平方向拡大率を算出する
   ことを特徴とする請求項７記載のＸ線ＣＴ装置の調整方
   法。
9. 【請求項９】 Ｘ線源を有しこのＸ線源とＸ線検出器と
   の間に被検査体を設置しこの被検査体をＸ線焦点からＸ
   線二次元検出器の受光面に降ろした垂線に直交する回転
   軸を中心として回転させて得られる該被検査体の投影デ
   ータを再構成して該被検査体の内部微細構造を解析する
   Ｘ線ＣＴ装置において使用されるＸ線ＣＴ装置の調整用
   冶具であって、 上記被検査体が載置される回転基台を支持する空気軸受
   の中心部の空洞部内において、回転中心軸に平行で、か
   つ、該中心から半径３００μｍ以内の領域に位置し、張
   力によって直線状となされているとともに、上記回転基
   台上の位置との間で昇降操作される線径１０μｍ以上５
   ０μｍ未満のタングステン線と、 上記空気軸受の中心部の空洞部内に連結された管状部材
   と、 直径が略々上記管状部材の内径に対応し該管状部材内に
   収納された複数の球体からなる球列とを備え、 上記タングステン線は、外部の駆動手段によって、上記
   球列を介して上方に向けて押し出されることによって、
   上記回転基台上の位置となされることを特徴とするＸ線
   ＣＴ装置の調整用冶具。
10. 【請求項１０】 上記管状部材は、中途部分が円弧状に
    屈曲されており、側方からの上記球列に加えられる力を
    上方に向けることを特徴とする請求項９記載のＸ線ＣＴ
    装置の調整用冶具。
11. 【請求項１１】 上記タングステン線は、ルビーキャピ
    ラリで支持されて金属製ハウジングによって支持されて
    おり、この金属製ハウジングに取付けられた差動ネジに
    よって張力を与えられていることを特徴とする請求項９
    記載のＸ線ＣＴ装置の調整用冶具。
12. 【請求項１２】 上記金属製ハウジングは、上記タング
    ステン線を、上昇端において、空気軸受の中心より半径
    ３００μｍ以内の領域に位置決めすることを特徴とする
    請求項９記載のＸ線ＣＴ装置の調整用冶具。