WO2013095035A1 - Smt 인라인용 자동 엑스선 검사장치 - Google Patents

Smt 인라인용 자동 엑스선 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
WO2013095035A1
WO2013095035A1 PCT/KR2012/011255 KR2012011255W WO2013095035A1 WO 2013095035 A1 WO2013095035 A1 WO 2013095035A1 KR 2012011255 W KR2012011255 W KR 2012011255W WO 2013095035 A1 WO2013095035 A1 WO 2013095035A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
stage unit
ray
inspection apparatus
automatic
detector
Prior art date
Application number
PCT/KR2012/011255
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
김종현
김만석
류기웅
류기준
Original Assignee
주식회사 쎄크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 쎄크 filed Critical 주식회사 쎄크
Priority to EP12860408.9A priority Critical patent/EP2796862A4/en
Priority to US14/366,614 priority patent/US10330611B2/en
Priority to JP2014548672A priority patent/JP5911972B2/ja
Priority to MX2014007690A priority patent/MX2014007690A/es
Priority to CN201280063323.4A priority patent/CN104024836B/zh
Publication of WO2013095035A1 publication Critical patent/WO2013095035A1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G01N23/046—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using tomography, e.g. computed tomography [CT]
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/40—Imaging
    • G01N2223/419—Imaging computed tomograph

Definitions

  • the present invention relates to an automatic X-ray inspection apparatus, and more particularly, to an inline automatic X-ray inspection apparatus capable of performing two-dimensional and three-dimensional inspection on a substrate by automatically reading a photographed image at high speed while maintaining high accuracy.
  • solder joint area solder ball diameter
  • solder ball diameter solder ball diameter
  • the conventional transmission X-ray inspection equipment requires a professional inspector to visually inspect the transmission image displayed on the screen. Since the early detection of defects is difficult, there is a problem that it is difficult to meet the quality assurance required by the market.
  • AXI automatic X-ray inspection
  • the conventional automatic X-ray inspection apparatus is a state in which the X-ray vacuum tube or detector is inclinedly arranged to accurately read the internal defects (void, crack, etc.) of the substrate by displaying the two-dimensional image as well as the three-dimensional image through the captured image.
  • An oblique type has been developed that allows tomography of the mounting state of the furnace substrate.
  • the stage is integrally assembled to the X-ray vacuum tube, which needs to be moved vertically and horizontally as necessary during the inspection, the stage is rotated due to a structure that cannot be stably supported, such as vibration occurring when the stage rotates at high speed.
  • the precision was significantly lowered and the concentricity of the stage could not be maintained. This is a major obstacle to the photographing of the subject and thus forms a distorted image, which makes it difficult to guarantee a reliable inspection.
  • the present invention provides an automatic X-ray inspection apparatus capable of performing two-dimensional and three-dimensional inspection of an object to be inspected (mounting of a substrate) by automatically reading a high-speed photographed image with high precision so that it can be applied to SMT inline. Its purpose is to.
  • the present invention is a stage unit that supports the inspection object detachably, the X-axis, Y-axis movement and rotation on the plane;
  • An X-ray vacuum tube disposed under the stage unit and irradiating X-rays toward the inspected object set in the stage unit;
  • a detector disposed rotatably on one side of the stage unit to detect X-rays passing through the inspected object, wherein the X-ray vacuum tube is rotated in synchronization with the pivot of the detector, but emits X-rays of the X-ray vacuum tube.
  • the surface is set in parallel with the stage unit, the stage unit provides a automatic X-ray inspection apparatus, characterized in that it comprises a hollow shaft, and a hollow bearing for rotatably supporting the hollow shaft.
  • the stage unit is provided with a cable for transmitting power to the stage unit, the cable may be applied to a flat cable (flat cable) that can prevent the twist or interference between the cables.
  • the flat cable is preferably wound in a spiral direction outside the hollow shaft.
  • the flat cable is seated on a ring-shaped cable receiving member surrounding the hollow shaft, the cable receiving member is preferably formed in a plane on which the flat cable is seated.
  • the hollow bearing is made of a cross roller bearing, the outer ring of the cross roller bearing can be clamped to the bearing housing, the inner ring can be clamped to the hollow shaft, the outer ring and the inner ring is at least three points each clamped, The three points are preferably set at the same angle to each other.
  • the stage unit may include: a slip ring electrically connected to the stage unit and rotating together with the stage unit to transfer power to the stage unit; And a feeding brush applying power by contacting the slip ring.
  • the stage unit receives a driving force from the power transmission unit for CT imaging of the subject to be rotated 360 degrees clockwise and then rotates 360 degrees counterclockwise, and the detector is rotated clockwise and counterclockwise of the stage unit. Each picture can be taken when rotating in the direction.
  • the power transmission unit a drive motor; A drive pulley coupled to the drive shaft of the drive motor; A driven pulley coupled along the lower end of the hollow shaft; An encoder for detecting a rotation angle of the stage unit; And a timing belt connecting the driving pulley, the driven pulley, and the encoder.
  • the drive motor preferably applies a servo motor driven at a drive speed of at least 180 ° / sec.
  • the detector may scan at least 120 frames / sec according to the signal generated by the encoder.
  • the X-ray vacuum tube is kept separated from the stage unit, and can be moved horizontally and vertically.
  • the detector converts ionized X-rays through the object into an electrical signal, amplifies the converted electrical signal into a digital image signal, and converts a plurality of digital image signals transmitted from the detector. It is preferable to further include an image processing unit which performs three-dimensional inspection after high-speed reconstruction.
  • the image processing unit may include at least four GPUs (Graphics Processing Unit Core) to perform a high speed reconstruction.
  • the present invention while maintaining the rotational accuracy during high-speed rotation of the stage unit, it is possible to shoot an image corresponding to twice the conventional, bi-directional shooting when the clockwise and counterclockwise rotation of the stage unit is possible inspection
  • the speed can be greatly improved, and high speed processing using multiple GPU cores can be applied for SMT inline.
  • the present invention uses a hollow bearing, and can set the clamping points arranged at the same angle of at least three points or more to minimize the deformation of the hollow bearing to maintain concentricity with respect to the axis of rotation of the stage unit, use a flat cable or slip By providing a ring and a feeding brush, interference with respect to the rotation of the stage unit can be minimized.
  • FIG. 1 is a front view showing an SMT in-line automatic X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is an enlarged view illustrating the stage unit and the X-ray vacuum tube shown in FIG. 1;
  • FIG. 3 is a side view showing an SMT in-line automatic X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing synchronous movement of the X-ray vacuum tube and the detector shown in FIG.
  • 5 and 6 are a plan view and a side view showing a power transmission unit of the stage unit
  • 7 and 8 are a plan view and a side view showing the bearing structure of the stage unit
  • 9 and 10 are a plan view and a side view showing the arrangement of the flat cable before the stage unit rotates
  • 11 and 12 are a plan view and a side view showing the arrangement of the flat cable after the stage unit rotates 360 degrees
  • 13 and 14 are a plan view and a side view showing an example of supplying power to the stage unit using a slip ring and a cash brush.
  • the SMT inline automatic X-ray inspection apparatus of the present embodiment is a inspection apparatus capable of serving as a two-dimensional and three-dimensional inspection, an X-ray vacuum tube 10, a detector 30, and a stage unit 50. And an image processing unit 70.
  • X-ray vacuum tube 10 The electrons released from the filament in the tube is accelerated to a high voltage between a metal such as tungsten, molybdenum, copper, and the like to collide with the metal target to generate X-rays (X-ray).
  • a metal such as tungsten, molybdenum, copper, and the like to collide with the metal target to generate X-rays (X-ray).
  • the X-ray vacuum tube 10 is disposed vertically below the stage unit 50, and the X-ray radiating surface 10a at the top of the X-ray vacuum tube 10 is always arranged in parallel with the stage unit 50 (Fig. 4). Reference).
  • the X-ray vacuum tube 10 is installed to be capable of vertical movement and horizontal movement, and this movement is performed by driving the first supporter 11 and the second supporter 13 for the purpose of movement.
  • the first supporter 11 is fixedly installed at one side of the X-ray vacuum tube 10 and slidably coupled to the vertical guide rail 15 of the second support 13.
  • the second supporter 13 is slidably coupled to the horizontal guide rail 19 of the third supporter 17.
  • the horizontal guide rail 19 is disposed along a straight direction corresponding to the turning direction of the detector 30, that is, along the X-axis direction, so that the X-ray vacuum tube 10 may move in synchronization with the turning of the detector 30. .
  • the X-ray vacuum tube 10 since the X-ray vacuum tube 10 is driven in a completely separated state from the stage unit 50, the X-ray vacuum tube does not take much load when the X-ray vacuum tube 10 moves, compared to the prior art. (10) can be moved smoothly.
  • the detector 30 converts ionized X-rays passing through each component of the substrate under test into an electrical signal, and amplifies the converted electrical signal into a digital image signal.
  • the detector 30 is disposed at a predetermined interval above the stage unit 50, and is installed to be able to swing at a predetermined angle ⁇ in one direction.
  • the detector 30 has a fourth supporter 31 fixedly coupled to one side, and the fourth supporter 31 is slidably coupled to the guide rail 35 of the fifth supporter 33.
  • the fifth supporter 33 is slidably coupled along the curved guide groove 39 formed in the upper guide plate 37.
  • the detector 30 is vertically disposed such that the center of the detector 30 coincides with the center of the X-ray radiating surface 10a of the X-ray vacuum tube in an initial state.
  • the detector 30 rotates by a predetermined angle during tomography, and the X-ray vacuum tube 10 also moves synchronously with the rotation of the detector 30.
  • the pivot center position of the detector 30 is set to a position corresponding to the height of the stage unit, and the radiation surface 10a of the synchronously moving X-ray vacuum tube 10 is maintained in parallel with the stage unit 50.
  • the stage unit 50 includes a test subject support member 50a, a hollow shaft 54, a hollow bearing 55, a drive motor 57, a power transmission unit, and a cable receiving member 60.
  • the test object support member 50a supports the substrate to be inspected in a removable manner through a conventional clamping unit. This space is formed so that the object to be inspected 50a can pass through to the inside.
  • the test subject support member 50a linearly moves in the X-axis and Y-axis directions on a plane.
  • the stage unit 50 includes first and second support frames 51 and 52.
  • the test object support member 50a is slidably coupled to the X-axis guide rail 51a on the first support frame 51, and the first support frame 51 is on the second support frame 52. It is slidably coupled to the Y-axis direction guide rail 52a.
  • the test subject support member 50a and the first support frame 51 receive a driving force from the driving motors M1 and M2, respectively.
  • the hollow shaft 54 is coupled to the lower end of the second support frame 52 and rotatably supported by the hollow bearing 55 surrounding the outer circumference of the hollow shaft 54.
  • the hollow bearing 55 is supported by a bearing housing 56 surrounding the outer circumference.
  • Such hollow bearing 55 preferably uses a cross roller bearing having an inner ring 55a, an outer ring 55b and a roller 55c disposed between the inner and outer rings 55a and 55b.
  • the inner / outer rings 55a and 55b are fixed by a plurality of first and second clamps C1 and C2 fixed to the hollow shaft 54 and the bearing housing 56, respectively. Accordingly, the inner ring 55a is fixed to the hollow shaft 54 to rotate together with the hollow shaft 54, and the outer ring 55b is fixed to the bearing housing 56 so as not to rotate.
  • the plurality of first clamps C1 clamping the inner ring 55a are arranged at equal intervals, and similarly, the plurality of second clamps C2 clamping the outer ring 55b are also arranged at equal intervals.
  • six first and second clamps C1 and C2 are used.
  • the first and second clamps C1 and C2 are not limited thereto, and at least three or more first and second clamps C1 and C2 may be used.
  • it is preferable that the plurality of first and second clamps C1 and C2 used are disposed at the same angle, respectively.
  • the inner / outer rings 55a and 55b of the hollow bearing 55 are point-supported to a predetermined position, thereby minimizing deformation applied to the hollow bearing 55 to secure rotational accuracy of the stage unit 50. can do.
  • the bearing housing 56 is fixedly installed on the upper surface of the die (D) arranged horizontally.
  • the die D is supported by a plurality of vertical frames F and is positioned at a predetermined height from the bottom surface.
  • the height of the die D is set to an appropriate height in consideration of the moving range of the X-ray vacuum tube 10.
  • the driving motor 57 rotates the stage unit 50 clockwise and counterclockwise alternately through the power transmission unit 360 °, but the high speed servo motor having a driving speed of at least 180 ° / sec or more. It is preferable to use.
  • the drive motor 57 is fixedly installed on any one of the plurality of vertical frames F by the support member 57b, and is connected to a timing belt 58d on a rotating shaft (not shown) of the drive motor 57.
  • the pulley 57a is coupled.
  • the timing belt 58d is connected to the driven pulley 59 connected along the lower end of the hollow shaft 54 and the encoder 58a for detecting the rotation angle of the stage unit 50. At this time, the timing belt 58d may maintain an appropriate belt tension as a part of the timing belt 58d is pressed by the at least one pair of belt tension adjusting units 58b and 58c.
  • the encoder 58a generates a signal every time the stage unit 50 rotates by 1.5 °, and the detector 50 scans 120 frames / sec of the subject under rotation according to the signal. Accordingly, a higher number of projections can obtain a larger number of projections than in the prior art, thereby obtaining more precise and rich image quality. Therefore, the detector 50 photographs 240 frames at a time of 360 ° rotation in a clockwise direction with respect to a part of the board mounting, moves the X-axis and the Y-axis to the other part of the board mounting to be photographed next, and then the subject is counterclockwise. 240 frames can be taken when rotating 360 °.
  • the scanning speed of the detector 50 is exemplified as 120 frames / sec, but the present invention is not limited thereto, and a detector capable of at least 120 frames / sec or more scanning speed may be implemented.
  • the subject is photographed when rotated clockwise from 0 ° to 360 ° clockwise, and when the subject is rotated back to its original position, that is, while the counterclockwise 360 ° is rotated, the photographing is not performed. (loss) occurred.
  • the conventional technology is a structure capable of only unidirectional photographing, whereas the present invention can be photographed in both directions (clockwise and counterclockwise), and thus productivity improvement can be expected.
  • a cable receiving member 60 is fixedly installed on the die D, and the cable receiving member 60 is disposed to surround the bearing housing 56.
  • the cable receiving member 60 has a ring-shaped receiving space 61 in which the flat cable 65 is seated to be movable, and a through hole 63 in which the bearing housing 56 is inserted is formed in the center thereof.
  • the bottom surface of the accommodating space 61 is formed in a flat shape, and one end 67 of the flat cable 65 adjacent to the hollow shaft 54 is fixed to the cable accommodating member 60.
  • the flat cable 65 is wound in a spiral direction along the receiving space 61 of the cable receiving member 60 to prevent twisting or interference between cables.
  • Such a spiral winding arrangement of the flat cable 65 is accommodated as the stage unit 50 rotates clockwise (see FIGS. 11 and 12) and counterclockwise (see FIGS. 9 and 10).
  • the friction force can be reduced by minimizing the contact area with the bottom surface of the accommodating space 61 when flowing in the). Accordingly, since the stage unit 50, which may be generated due to the flat cable 65, minimizes the interference factor of the rotation, the stage unit 50 may maintain the rotation accuracy when the high speed rotation is performed.
  • the stage unit 50 receives power through the flat cable 65
  • the flat cable 65 may be omitted. That is, referring to FIGS. 13 and 14, a plurality of contacts are provided with a circular conductive pattern (not shown) formed on one surface of the slip ring 81 and having a slip ring 81 that rotates together with the stage unit 50.
  • the flat cable 65 can be omitted by providing the feeding brush 83 which contacts the pin 85 and applies electricity to the slip ring 81.
  • the flat cable 65 may be omitted, the factor that may reduce the rotation accuracy when the stage unit 50 rotates at a high speed may be minimized.
  • the image processing unit 70 includes at least four GPUs (Graphics Processing Unit Core) for projecting the image captured by the detector 50, thereby reconstructioning at a rate of about 3 seconds per place of the object under test.
  • the dimensional inspection time can be reduced, so it can be used for SMT inline.
  • the concentricity of the rotation axis of the stage unit 50 has a great influence on obtaining a high quality image.
  • the image processing unit 70 automatically corrects the mechanically generated deviations. This automatic correction is performed by software, and registers a pattern having uniqueness in the rotation center of the stage unit 50, and reconstruction and correction are simultaneously performed by finding a tolerance offset generated every 1.5 ° when rotating at 360 °. Is done.
  • conventional X-ray inspection apparatus requires a certain time to stabilize the voltage / current and the temperature of the target when the line is turned on to operate the equipment after the X-ray voltage / current is off (off), which is the target temperature
  • the focus of the image acquired through X-rays changes according to the step of ascending.
  • the present invention can improve productivity while eliminating the time required for stabilization by applying the ATF (Auto Tube Focus) function to find the focus of the image in real time.
  • an open type X-ray vacuum tube is used to increase the geometric magnification by approaching the X-ray irradiation angle problem and the distance to the product.
  • a closed type X-ray vacuum tube is used. By reducing the volume of the vacuum tube, it is possible to realize cost reduction and simple configuration of the device.
  • the present invention can solve the X-ray irradiation angle problem described above by applying a Wide Angle Close Tube having an irradiation angle of 60 degrees on one side.
  • the present invention relates to an inline automated X-ray inspection apparatus and can be applied to nondestructive inspection fields of electronic components such as semiconductor chips.

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pulmonology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

SMT 인라인 자동 엑스선 검사장치가 개시된다. 개시된 검사장치는 피검사체를 장탈착 가능하게 지지하며, 평면상의 X축, Y축 이동 및 회전이 가능한 스테이지유닛; 상기 스테이지유닛 하측에 배치되어 상기 스테이지유닛에 세팅된 상기 피검사체를 향해 엑스선을 조사하는 엑스선 진공튜브; 및 상기 스테이지유닛 상측에 일측으로 선회 가능하게 배치되어 상기 피검사체를 투과한 엑스선을 검출하는 디텍터;를 포함하며, 상기 엑스선 진공튜브는 상기 디텍터의 선회에 대하여 동기 선회하되 상기 엑스선 진공튜브의 엑스레이 방출면이 상기 스테이지유닛과 평행하게 설정되며, 상기 스테이지유닛은 중공축을 구비하고, 상기 중공축을 회전 가능하게 지지하는 중공베어링을 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

SMT 인라인용 자동 엑스선 검사장치
본 발명은 자동 엑스선 검사장치에 관한 것으로, 특히 고정밀도를 유지하면서 고속으로 촬영된 이미지를 자동으로 판독하여 기판에 대한 2차원 및 3차원 검사를 행할 수 있는 인라인 자동 엑스선 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 무선 휴대전화나 디지털 카메라와 같은 전자기기는 점차 소형화되어가는 추세이며, 이에 따라 각 전자기기에 적용되는 기판의 실장도 소형화 및 고밀도화되어 가고 있다.
이러한 SMT(Surface Mount Technology) 분야에서 사용되는 칩 부품으로서는 0402형(0.4mm × 0.2mm)이 등장하고 있으며, 수백 핀의 다(多)핀 BGA(Ball Grid Array)나 CSP(Chip Scale Package)의 양면실장은 일반화되어 가는 추세이다. 이와 더불어 솔더 접합면적(솔더볼 직경)은 점점 작아지고, 무연 솔더화가 진행되면서 솔더 접합에 대한 접합강도 등을 제대로 검사하는 장비가 없어 신뢰성에 대한 불안감은 점점 커지게 되었다. 또한, BGA와 같이 패키지 배면의 솔더 접합부는 육안으로 볼 수가 없고, 인서킷(In-Circuit) 테스터도 고밀도이므로 핀 스페이스가 없어 사용할 수가 없다.
이로 인해 상기와 같이 직접 육안으로 확인할 수 없는 부분에 대하여 투과 X-선 검사장비를 통한 검사의 필요성이 대두되었다.
그런데 제조라인에서 전수검사를 해야 하는 경우, 종래의 투과 X-선 검사장비는 전문 검사자가 화면에 디스플레이되는 투과화상을 육안으로 일일이 검사해야 하므로 검사자의 숙련도에 따라 판정속도 및 정확성에 편차가 크고 접합불량의 조기 발견이 어렵기 때문에, 시장에서 요구하는 정도의 품질보증을 충족시키기 어려운 문제가 있었다.
이러한 문제를 해소하기 위해, 작업자의 육안 검사를 지양하고 촬영된 이미지를 자동으로 판독할 수 있는 자동 엑스선 검사(AXI, Automatic X-ray Inspection)장치가 제안되었다.
이러한 종래의 자동 엑스선 검사장치는 촬영된 이미지를 통해 2차원 이미지는 물론 3차원 이미지를 나타냄으로써 기판의 내부 결함(void, crack 등)까지 정확하게 판독 가능하도록, 엑스선 진공튜브 또는 디텍터가 경사 배치된 상태로 기판의 실장상태를 단층 촬영할 수 있는 오블릭(oblique) 타입이 개발되었다.
그런데 이러한 종래 자동 엑스선 검사장치는 검사 속도가 늦어 SMT 인라인(in-line)용으로 사용하기에는 부적합한 문제가 있었다. 이는 이미지 처리 속도와 기구적인 문제가 복합적으로 작용한 데 따른다.
특히 기구적인 문제의 경우, 예를 들면 엑스선 진공튜브와 스테이지가 일체로 연결되도록 조립됨에 따라 스테이지와 엑스선 진공튜브를 이동할 때 모터에 많은 부하가 걸리게 된다.
아울러 검사 중 필요에 따라 수직 이동 및 수평 이동을 행해야 하는 엑스선 진공튜브에 스테이지가 일체로 조립되어 있으므로, 스테이지가 고속 회전할 때 진동이 발생하는 등 안정적으로 지지될 수 없는 구조로 인해, 스테이지의 회전 정밀도가 현저히 저하되고 스테이지의 동심도가 유지되지 못하는 문제가 있었다. 이는 피검사체의 촬영에 큰 장애가 되고 이로 인해 왜곡된 이미지를 형성하므로 신뢰성있는 검사를 보장하기 어려운 요인이 되었다.
상기 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 SMT 인라인에 적용 가능하도록 고정밀도로 고속 촬영된 이미지를 자동으로 판독하여 피검사체(기판의 실장)의 2차원 및 3차원 검사를 행할 수 있는 자동 엑스선 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 피검사체를 장탈착 가능하게 지지하며, 평면상의 X축, Y축 이동 및 회전이 가능한 스테이지유닛; 상기 스테이지유닛 하측에 배치되어 상기 스테이지유닛에 세팅된 상기 피검사체를 향해 엑스선을 조사하는 엑스선 진공튜브; 및 상기 스테이지유닛 상측에 일측으로 선회 가능하게 배치되어 상기 피검사체를 투과한 엑스선을 검출하는 디텍터;를 포함하며, 상기 엑스선 진공튜브는 상기 디텍터의 선회에 대하여 동기 선회하되 상기 엑스선 진공튜브의 엑스레이 방출면이 상기 스테이지유닛과 평행하게 설정되고, 상기 스테이지유닛은 중공축을 구비하고, 상기 중공축을 회전 가능하게 지지하는 중공베어링을 구비하는 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치를 제공한다.
상기 스테이지유닛은 전원을 상기 스테이지유닛으로 전송하기 위한 케이블을 구비하며, 상기 케이블은 케이블 간 꼬임이나 간섭을 방지할 수 있는 플랫 케이블(flat cable)을 적용할 수 있다. 이 경우, 상기 플랫 케이블은 상기 중공축 외측에 나선방향으로 권회 배치되는 것이 바람직하다.
상기 플랫 케이블은 상기 중공축을 둘러싸는 링 형상의 케이블 수용부재에 안착되며, 상기 케이블 수용부재는 상기 플랫 케이블이 안착되는 면이 평면으로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 중공베어링은 크로스 롤러 베어링으로 이루어지며, 상기 크로스 롤러 베어링의 외륜은 베어링 하우징에 클램핑되고, 내륜은 중공축에 클램핑될 수 있고, 상기 외륜 및 내륜은 클램핑되는 지점이 각각 적어도 3지점이며, 상기 3지점은 서로 동일한 각도로 설정되는 것이 바람직하다.
상기 스테이지유닛은 전원을 상기 스테이지유닛으로 전송하기 위해, 상기 스테이지유닛과 전기적으로 연결되며 상기 스테이지유닛과 함께 회전하는 슬립링; 및 상기 슬립링에 접촉하여 전원을 인가하는 급전브러시;를 포함할 수 있다.
상기 스테이지유닛은 피검사체의 CT 촬영을 위해 동력전달부로부터 구동력을 인가받아 시계방향으로 360도 회전 후, 반시계방향으로 360도 회전하며, 상기 디텍터는 상기 스테이지유닛의 시계방향 회전 시 및 반시계방향으로 회전 시 각각 촬영을 행할 수 있다.
상기 동력전달부는, 구동모터; 상기 구동모터의 구동축에 결합되는 구동 풀리; 상기 중공축의 하단을 따라 결합되는 종동 풀리; 상기 스테이지유닛의 회전 각도를 검출하기 위한 엔코더; 및 상기 구동 풀리, 종동 풀리 및 엔코더를 연결하는 타이밍벨트;를 포함할 수 있다.
상기 구동모터는 적어도 180°/sec의 구동속도로 구동되는 서보 모터(servo motor)를 적용하는 것이 바람직하다.
상기 디텍터는 상기 엔코더에 의해 발생하는 신호에 따라 적어도 120frame/sec로 스캐닝할 수 있다.
상기 엑스선 진공튜브는 상기 스테이지유닛과 분리된 상태를 유지하며, 수평 이동 및 수직 이동할 수 있다.
본 발명은, 상기 디텍터는 상기 피검사체를 투과한 엑스선이 이온화된 것을 전기적 신호로 변환하고, 이 변환된 전기적 신호를 증폭하여 디지털 영상 신호로 변환하며, 상기 디텍터로부터 전송된 다수의 디지털 영상 신호를 고속 리컨스트럭션(reconstruction) 후, 3차원 검사를 행하는 이미지처리부를 더 포함하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 이미지처리부는 고속 리컨스트럭션을 수행하기 위해 적어도 4개의 GPU 코어(Graphics Processing Unit Core)를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 본 발명에 있어서는, 스테이지유닛의 고속 회전 시 회전 정밀도를 유지시키면서 종래의 2배에 해당하는 이미지를 촬영할 수 있고, 스테이지유닛의 시계방향 및 반시계방향 회전 시 양방향 촬영이 가능하므로 검사 속도를 크게 향상시킬 수 있으며, 다수의 GPU 코어를 사용하여 고속 처리가 가능함에 따라 SMT 인라인용으로 적용할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명은 중공베어링을 사용하고, 이 중공베어링의 변형을 최소화하도록 적어도 3점 이상의 동일 각도로 배치된 클램핑 지점을 설정하여 스테이지유닛의 회전축에 대한 동심도를 유지할 수 있고, 플랫 케이블을 사용하거나 슬립링과 급전브러시를 구비함으로써 스테이지유닛의 회전에 대하여 간섭을 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 SMT 인라인 자동 엑스선 검사장치를 나타내는 정면도이고,
도 2는 도 1에 도시된 스테이지유닛 및 엑스선 진공튜브를 나타내는 확대도이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 SMT 인라인 자동 엑스선 검사장치를 나타내는 측면도이고,
도 4는 도 1에 도시된 엑스선 진공튜브와 디텍터의 동기 이동을 나타내는 개략도이고,
도 5 및 도 6은 스테이지유닛의 동력전달부를 나타내는 평면도 및 측면도이고,
도 7 및 도 8은 스테이지유닛의 베어링 구조를 나타내는 평면도 및 측면도이고,
도 9 및 도 10은 스테이지유닛이 회전하기 전 플랫 케이블의 배치를 보여주는 평면도 및 측면도이고,
도 11 및 도 12는 스테이지유닛이 360도 회전한 후 플랫 케이블의 배치를 보여주는 평면도 및 측면도이고,
도 13 및 도 14는 슬립링 및 금전브러시를 이용하여 스테이지유닛에 전원을 공급하는 예를 보여주는 평면도 및 측면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일 실시예에 따른 SMT 인라인 자동 엑스선 검사장치를 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에 그 상세한 설명을 생략한다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 실시예의 SMT 인라인 자동 엑스선 검사장치는 2차원 및 3차원 검사를 겸할 수 있는 검사장치로, 엑스선 진공튜브(10), 디텍터(30), 스테이지유닛(50) 및 이미지처리부(70)를 포함한다.
엑스선 진공튜브(10) 튜브 내의 필라멘트에서 열 방출된 전자를 텅스텐, 몰리브덴, 구리 등의 금속 사이에서 고전압으로 가속시키고, 가속된 전자를 금속 타겟에 추돌시켜 엑스선(X-ray)을 발생시킨다.
상기 엑스선 진공튜브(10)는 스테이지유닛(50)의 하측에 수직으로 배치되며, 항상 엑스선 진공튜브(10) 상단의 엑스선 방사면(10a)이 스테이지유닛(50)과 평행하게 배치된다(도 4 참조).
이와 같은 엑스선 진공튜브(10)는 수직 이동 및 수평 이동 가능하게 설치되며, 이러한 이동은 위해 제1 서포터(11) 및 제2 서포터(13)를 구동에 따라 이루어진다.
제1 서포터(11)는 엑스선 진공튜브(10)의 일측에 고정 설치되며 제2 서포트(13)의 수직가이드레일(15)에 슬라이딩 가능하게 결합된다. 또한 제2 서포터(13)는 제3 서포터(17)의 수평가이드레일(19)에 슬라이딩 가능하게 결합된다. 이 경우 수평가이드레일(19)은 디텍터(30)의 선회방향에 대응하는 직선방향 즉, X축 방향을 따라 배치되어 엑스선 진공튜브(10)가 디텍터(30)의 선회에 따라 동기 이동이 가능하다.
이와 같이 본 발명은 엑스선 진공튜브(10)가 스테이지유닛(50)과 완전히 분리된 상태로 구동함에 따라 엑스선 진공튜브(10) 이동시 종래기술에 비해 모터에 많은 부하가 걸리지 않아 적은 구동력으로 엑스선 진공튜브(10)를 원활하게 이동시킬 수 있다.
디텍터(detector)(30)는 피검사체인 기판의 각 실장부품을 투과한 엑스선이 이온화된 것을 전기적 신호로 변환하고, 이 변환된 전기적 신호를 증폭하여 디지털 영상 신호로 변환한다.
상기 디텍터(30)는 스테이지유닛(50) 상측에 소정 간격을 두고 배치되며, 일방향으로 소정 각도(θ) 선회 가능하도록 설치된다. 이 경우 디텍터(30)는 제4 서포터(31)가 일측에 고정 결합되고, 제4 서포터(31)는 제5 서포터(33)의 가이드레일(35)에 슬라이딩 가능하게 결합된다. 제5 서포터(33)는 상부가이드판(37)에 형성된 곡선 가이드홈(39)을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 결합된다.
도 4를 참고하면, 상기 디텍터(30)는 초기 상태에서 디텍터(30)의 중심이 엑스선 진공튜브의 엑스선 방사면(10a)의 중심과 일치하도록 수직으로 배치된다. 또한 디텍터(30)는 단층촬영 시 소정 각도만큼 선회 이동하고, 엑스선 진공튜브(10)도 디텍터(30)의 선회에 따라 동기 이동한다. 이때 디텍터(30)의 선회 중심위치는 스테이지유닛의 높이와 대응하는 위치로 설정되며, 동기 이동한 엑스선 진공튜브(10)의 방사면(10a)은 스테이지유닛(50)과 평행하게 유지된다.
스테이지유닛(50)은 피검사체 지지부재(50a), 중공축(54), 중공베어링(55), 구동모터(57), 동력전달부, 케이블 수용부재(60)를 포함한다.
피검사체 지지부재(50a)는 통상의 클램핑 유닛을 통해 피검사체인 기판을 장탈착 가능하게 지지한다. 피검사체 지지부재(50a)는 내측으로 엑스선 통과할 수 있도록 이 공간이 형성된다. 상기 피검사체 지지부재(50a)는 평면상에서 X축 및 Y축 방향으로 직선이동한다.
이러한 피검사체 지지부재(50a)의 X축 및 Y축 이동을 위해, 스테이지유닛(50)은 제1 및 제2 지지프레임(51,52)을 구비한다. 이 경우, 피검사체 지지부재(50a)는 제1 지지프레임(51) 상의 X축 방향 가이드레일(51a)에 슬라이딩 가능하게 결합되고, 제1 지지프레임(51)은 제2 지지프레임(52) 상의 Y축 방향 가이드레일(52a)에 슬라이딩 가능하게 결합된다. 상기 피검사체 지지부재(50a) 및 제1 지지프레임(51)은 각각 구동모터(M1,M2)로부터 구동력을 전달받는다.
중공축(54)은 제2 지지프레임(52) 하단에 결합되며, 중공축(54)의 외주를 둘러싸는 중공베어링(55)에 의해 회전 가능하게 지지된다.
도 7 및 도 8을 참고하면, 중공베어링(55)은 외주를 둘러싸는 베어링 하우징(56)에 의해 지지된다. 이와 같은 중공베어링(55)은 내륜(55a), 외륜(55b) 및 내/외륜(55a,55b) 사이에 배치되는 롤러(55c)를 구비하는 크로스 롤러 베어링(cross roller bearing)을 사용하는 것이 바람직하다.
이 경우 내/외륜(55a,55b)은 각각 중공축(54) 및 베어링 하우징(56)에 각각 고정 설치된 다수의 제1 및 제2 클램프(C1,C2)에 의해 고정된다. 이에 따라 내륜(55a)은 중공축(54)에 고정되어 중공축(54)과 함께 회전하고, 외륜(55b)은 베어링 하우징(56)에 고정되어 회전하지 않는다.
상기 내륜(55a)을 클램핑하는 다수의 제1 클램프(C1)는 각각 동일한 간격으로 배열되고, 마찬가지로 외륜(55b)을 클램핑하는 다수의 제2 클램프(C2)도 각각 동일한 간격으로 배열된다. 본 실시예에서는 제1 및 제2 클램프(C1,C2)를 각각 6개씩 사용하였으나, 이에 국한되지 않고 제1 및 제2 클램프(C1,C2)를 각각 적어도 3개 이상 사용하면 족하다. 다만, 사용되는 다수의 제1 및 제2 클램프(C1,C2)는 각각 동일한 각도로 배치되는 것이 바람직하다.
이와 같이 중공베어링(55)의 내/외륜(55a,55b)을 소정 위치로 점 지지함에 따라 이상 지지함에 따라 중공베어링(55)에 가해지는 변형을 최소화함으로써 스테이지유닛(50)의 회전 정밀도를 확보할 수 있다.
상기 베어링 하우징(56)은 수평으로 배치되는 다이(D)의 상면에 고정 설치된다. 이 경우 다이(D)는 다수의 수직프레임(F)에 의해 지지되어 바닥면으로부터 소정 높이에 위치한다. 바람직하게는 다이(D)의 높이는 엑스선 진공튜브(10)의 이동 범위를 고려하여 적절한 높이로 설정한다.
도 5 및 도 6을 참고하면, 구동모터(57)는 동력전달부를 통해 스테이지유닛(50)을 시계방향 및 반시계방향으로 번갈아 360°회전시키되 구동속도가 적어도 180°/sec 이상인 고속 서보 모터를 사용하는 것이 바람직하다.
상기 구동모터(57)는 지지부재(57b)에 의해 다수의 수직프레임(F) 중 어느 하나에 고정 설치되며, 구동모터(57)의 회전축(미도시)에는 타이밍벨트(58d)와 연결되는 구동 풀리(57a)가 결합된다.
이 경우 타이밍벨트(58d)는 중공축(54)의 하단을 따라 연결되는 종동 풀리(59)와 스테이지유닛(50)의 회전 각도를 검출하기 위한 엔코더(58a)에 연결된다. 이때, 타이밍벨트(58d)는 적어도 한 쌍의 벨트장력조절부(58b,58c)에 일부가 가압됨에 따라 적절한 벨트 장력을 유지할 수 있다.
상기 엔코더(58a)는 스테이지유닛(50)이 1.5°회전 시마다 신호를 발생시키고, 이 신호에 따라 디텍터(50)는 회전하고 있는 피검사체를 120frame/sec을 스캐닝한다. 이에 따라 고속 촬영을 통해 종래에 비해 많은 수의 프로젝션(projection)을 획득할 수 있어 보다 정밀하고 풍부한 영상품질을 얻을 수 있다. 따라서 디텍터(50)는 기판 실장의 일 부분에 대하여 시계방향으로 360°회전 시 240프레임을 촬영하고, 다음 촬영할 기판 실장의 타 부분으로 X축 및 Y축 이동한 후, 피검사체가 반시계방향으로 360°원위치 회전 시 240프레임을 촬영할 수 있다.
본 실시예에서는 디텍터(50)의 스캐닝 속도를 120frame/sec로 예를 들었으나, 이에 국한되지 않고 적어도 120frame/sec 이상의 스캐닝 속도가 구현될 수 있는 디텍터이면 족하다.
이와 관련하여 종래에는 피검사체를 ０°에서 360°시계방향 회전 시에 촬영이 이루어지며, 다시 원위치로 회전하는 경우 즉, 반시계방향으로 360°회전하는 동안에는 촬영이 이루어지지 않아 그 회전시간만큼 손실(loss)이 발생하였다.
이와 같이 종래기술은 단방향 촬영만 가능한 구조인데 반해, 본 발명은 양방향(시계방향 및 반시계방향)으로 촬영이 가능하므로 생산성 향상을 기대할 수 있다.
또한 상기 다이(D)에는 케이블 수용부재(60)가 고정 설치되며, 이 케이블 수용부재(60)는 베어링 하우징(56)을 감싸도록 배치된다. 상기 케이블 수용부재(60)는 플랫 케이블(65)이 유동 가능하게 안착되는 링형상의 수용공간(61)이 형성되며 중앙에는 베어링 하우징(56)이 삽입되는 관통구멍(63)이 형성된다. 이 경우 수용공간(61)의 바닥면은 평면으로 형성되고, 플랫 케이블(65)은 중공축(54)에 인접한 일단(67)이 케이블 수용부재(60)에 고정된다.
도 9 내지 도 12를 참고하면, 플랫 케이블(flat cable)(65)은 케이블 간 꼬임이나 간섭을 방지할 수 있도록 케이블 수용부재(60)의 수용공간(61)을 따라 나선방향으로 권회 배치된다.
이와 같은 플랫 케이블(65)의 나선방향 권회 배치는 스테이지유닛(50)이 시계방향 회전(도 11 및 도 12 참조) 및 반시계방향으로 회전(도 9 및 도 10 참조)함에 따라 수용공간(61) 내에서 유동할 때 수용공간(61)의 바닥면과 접촉면적을 최소화하여 마찰력을 줄일 수 있다. 이에 따라 플랫 케이블(65)로 인해 발생할 수 있는 스테이지유닛(50)이 회전 간섭 요인을 최소화함으로써, 스테이지유닛(50)이 고속회전 시 회전 정밀도를 유지할 수 있다.
상기에서는 스테이지유닛(50)이 플랫 케이블(65)을 통해 전원을 인가받는 예를 설명하였으나, 이에 국한되지 않고 플랫 케이블(65)을 생략할 수 있다. 즉, 도 13 및 도 14를 참고하면, 스테이지유닛(50)과 함께 회전하는 슬립링(81)을 구비하고, 상기 슬립링(81)의 일면에 형성된 원형 도전패턴(미도시)에 다수의 접촉핀(85)을 접촉시켜 슬립링(81)으로 전기를 인가하는 급전브러시(83)를 구비함으로써 플랫 케이블(65)을 생략할 수 있다.
이 경우, 플랫 케이블(65)을 생략할 수 있으므로 스테이지유닛(50)이 고속 회전 시 회전 정밀도를 저하시킬 수 있는 요인을 최소화할 수 있다.
이미지처리부(70)는 디텍터(50)에 의해 촬영된 프로젝션을 적어도 4개의 GPU 코어(Graphics Processing Unit Core)를 구비하고, 이를 통해 고속 리컨스트럭션(reconstruction)함으로써 피검사체의 한곳 당 대략 3초 대로 3차원 검사시간을 줄일 수 있어 SMT 인라인 용으로 사용할 수 있다.
또한 본 발명의 경우 스테이지유닛(50)의 회전축에 대한 동심도가 고품질 영상을 얻는데 큰 영향이 있다. 특히 기구적인 문제로 인해 동심도에 편차가 발행할 수 있는데, 상기 이미지처리부(70)는 이와 같이 기구적으로 발생하는 편차를 자동 보정한다. 이러한 자동보정은 소프트웨어적으로 이루어지며 스테이지유닛(50)의 회전 중심에 유일성을 갖는 패턴을 등록하고, 360°로 회전 시 매 1.5°마다 발생하는 공차 오프셋(offset)을 찾아 리컨스트럭션과 동시에 보정이 이루어진다.
한편, 통상의 엑스선 검사장치는 엑스선 전압/전류가 오프(off) 된 후 설비 가동을 위해 선을 온(on) 하면 전압/전류 및 타겟의 온도가 안정화되는데 일정한 시간이 필요하며 이는 타겟의 온도가 올라가는 단계에 따라서 엑스선을 통해 획득된 영상의 초점(Focus)이 달라지는 현상으로 나타난다. 본 발명은 실시간으로 영상의 Focus을 찾아내는 ATF(Auto Tube Focus) 기능 적용함으로써 상기 안정화에 소요되는 시간을 생략함과 동시에 생산성을 향상시킬 수 있다.
더욱이 종래의 오블릭 CT(Oblique CT)의 경우 엑스선 조사각 문제와 제품과의 거리를 접근시켜 기하학적 배율을 높이기 위해 오픈 타입 엑스선 진공튜브를 사용하는데, 본 발명의 경우, 클로즈 타입 엑스선 진공튜브를 사용하여 진공튜브의 체적을 줄여 원가절감과 동시에 기구의 구성을 심플하게 구현할 수 있다. 이 경우 본 발명은 편측 60도의 조사각을 갖는 와이드 앵글 클로즈 튜브(Wide Angle Close Tube)를 적용하여 상술한 엑스선 조사각 문제를 해소할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.
본 발명은 인라인 자동 엑스선 검사장치에 관한 것으로 반도체 칩 등 전자부품의 비파괴 검사분야에 적용할 수 있다.

Claims (12)

  1. 피검사체를 장탈착 가능하게 지지하며, 평면상의 X축, Y축 이동 및 회전이 가능한 스테이지유닛;
    상기 스테이지유닛 하측에 배치되어 상기 스테이지유닛에 세팅된 상기 피검사체를 향해 엑스선을 조사하는 엑스선 진공튜브; 및
    상기 스테이지유닛 상측에 일측으로 선회 가능하게 배치되어 상기 피검사체를 투과한 엑스선을 검출하는 디텍터;를 포함하며,
    상기 엑스선 진공튜브는 상기 디텍터의 선회에 대하여 동기 선회하되 상기 엑스선 진공튜브의 엑스레이 방출면이 상기 스테이지유닛과 평행하게 설정되며,
    상기 스테이지유닛은 중공축을 구비하고, 상기 중공축을 회전 가능하게 지지하는 중공베어링을 구비하고,
    상기 디텍터는 상기 피검사체를 투과한 엑스선이 이온화된 것을 전기적 신호로 변환하고, 이 변환된 전기적 신호를 증폭하여 디지털 영상 신호로 변환하며,
    상기 디텍터로부터 전송된 다수의 디지털 영상 신호를 고속 리컨스트럭션(reconstruction) 후 3차원 검사를 행하는 이미지처리부를 더 포함하고, 상기 이미지 처리부는 고속 리컨스트럭션을 수행하기 위해 적어도 4개의 GPU 코어(Graphics Processing Unit Core)를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지유닛은 전원을 상기 스테이지유닛으로 전송하기 위한 케이블을 구비하며, 상기 케이블은 케이블 간 꼬임이나 간섭을 방지할 수 있는 플랫 케이블(flat cable)인 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 플랫 케이블은 상기 중공축 외측에 나선방향으로 권회 배치되는 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 플랫 케이블은 상기 중공축을 둘러싸는 링형상의 케이블 수용부재에 안착되며, 상기 케이블 수용부재는 상기 플랫 케이블이 안착되는 면이 평면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 중공베어링은 크로스 롤러 베어링으로 이루어지며, 상기 크로스 롤러 베어링의 외륜은 베어링 하우징에 클램핑되고, 내륜은 중공축에 클램핑되는 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 외륜 및 내륜은 클램핑되는 지점이 각각 적어도 3지점이며, 상기 3지점은 서로 동일한 각도로 설정되는 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지유닛은
    전원을 상기 스테이지유닛으로 전송하기 위해, 상기 스테이지유닛과 전기적으로 연결되며 상기 스테이지유닛과 함께 회전하는 슬립링; 및
    상기 슬립링에 접촉하여 전원을 인가하는 급전브러시;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지유닛은 피검사체의 CT 촬영을 위해 동력전달부로부터 구동력을 인가받아 시계방향으로 360도 회전 후, 반시계방향으로 360도 회전하며,
    상기 디텍터는 상기 스테이지유닛의 시계방향 회전 시 및 반시계방향으로 회전 시 각각 촬영을 행하는 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 동력전달부는
    구동모터;
    상기 구동모터의 구동축에 결합되는 구동 풀리;
    상기 중공축의 하단을 따라 결합되는 종동 풀리;
    상기 스테이지유닛의 회전 각도를 검출하기 위한 엔코더; 및
    상기 구동 풀리, 종동 풀리 및 엔코더를 연결하는 타이밍벨트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 구동모터는 적어도 180°/sec의 구동속도로 구동하는 서보 모터(servo motor)인 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 디텍터는 상기 엔코더에 의해 발생하는 신호에 따라 적어도 120frame/sec로 스캐닝하는 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 엑스선 진공튜브는 상기 스테이지유닛과 분리된 상태를 유지하며, 수평 이동 및 수직 이동하는 것을 특징으로 하는 자동 엑스선 검사장치.
PCT/KR2012/011255 2011-12-22 2012-12-21 Smt 인라인용 자동 엑스선 검사장치 WO2013095035A1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP12860408.9A EP2796862A4 (en) 2011-12-22 2012-12-21 AUTOMATIC X-RAY EXAMINATION APPARATUS FOR ON-LINE SURFACE MOUNTING METHOD
US14/366,614 US10330611B2 (en) 2011-12-22 2012-12-21 Automatic X-ray inspection apparatus for SMT inline process
JP2014548672A JP5911972B2 (ja) 2011-12-22 2012-12-21 Ｓｍｔインライン用の自動ｘ線検査装置
MX2014007690A MX2014007690A (es) 2011-12-22 2012-12-21 Aparato de inspeccion automatica por rayos x para procedimiento en linea de tecnologia de montaje superficial.
CN201280063323.4A CN104024836B (zh) 2011-12-22 2012-12-21 用于smt在线的自动x射线检查装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110139909A KR101181845B1 (ko) 2011-12-22 2011-12-22 Ｓｍｔ 인라인용 자동 엑스선 검사장치
KR10-2011-0139909 2011-12-22

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2013095035A1 true WO2013095035A1 (ko) 2013-06-27

Family

ID=47074154

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2012/011255 WO2013095035A1 (ko) 2011-12-22 2012-12-21 Smt 인라인용 자동 엑스선 검사장치

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10330611B2 (ko)
EP (1) EP2796862A4 (ko)
JP (1) JP5911972B2 (ko)
KR (1) KR101181845B1 (ko)
CN (1) CN104024836B (ko)
MX (1) MX2014007690A (ko)
WO (1) WO2013095035A1 (ko)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101471463B1 (ko) * 2013-05-13 2014-12-11 (주)자비스 피복형 평면 케이블을 구비한 엑스레이 회전검사판
US9784699B2 (en) * 2015-03-03 2017-10-10 Panalytical B.V. Quantitative X-ray analysis—matrix thickness correction
KR101723056B1 (ko) * 2015-06-26 2017-04-20 주식회사 포디컬쳐 3차원 스캐너 영상 정렬을 위한 구동 방법
KR101761793B1 (ko) * 2017-01-09 2017-07-26 (주)자비스 회전 및 평면 이동 구조의 엑스레이 장치
CN109444179B (zh) * 2017-09-01 2024-02-13 无锡日联科技股份有限公司 全自动半导体元器件x射线检测设备
CN108593687B (zh) * 2018-04-27 2021-05-25 中国科学院高能物理研究所 一种基于三维层析成像的快速缺陷检测方法
CN109061754A (zh) * 2018-07-12 2018-12-21 昆山善思光电科技有限公司 点料追扫机
KR102148748B1 (ko) * 2018-12-05 2020-08-27 (주)자비스 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치
KR102257984B1 (ko) * 2019-11-22 2021-05-28 (주)자비스 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법
CN111208156A (zh) * 2020-03-16 2020-05-29 苏州博鲁特智能科技有限公司 一种扁平快速ct检测设备及检测方法
JP6955802B1 (ja) * 2020-11-26 2021-10-27 日本装置開発株式会社 Ｘ線検査装置用の回転機構、ｘ線検査装置およびｘ線検査装置用の回転機構の調整方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0535302A (ja) * 1991-07-31 1993-02-12 Taiyo Ltd 制御装置
JPH10512532A (ja) * 1995-10-10 1998-12-02 ベロイト・テクノロジーズ・インコーポレイテッド 紙の中心巻取方法及び装置
KR20090031081A (ko) * 2007-09-21 2009-03-25 주식회사 쎄크 엑스-레이 검사장치 및 방법
KR100923366B1 (ko) * 2007-11-16 2009-10-23 대우조선해양 주식회사 개별 회전이 가능한 고소작업 로봇 플랫폼
KR100933502B1 (ko) * 2009-09-16 2009-12-31 이호기술단(주) 지중 매설형 통신 광케이블 보호관

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000116631A (ja) * 1998-10-16 2000-04-25 Toshiba Corp Ｘ線診断装置
JP3638465B2 (ja) * 1999-03-15 2005-04-13 株式会社日立国際電気 Ｘ線断層撮像装置及びそのステージ位置調整方法
JP2000329710A (ja) * 1999-05-17 2000-11-30 Shimadzu Corp 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置
JP3693318B2 (ja) * 2000-01-19 2005-09-07 株式会社日立国際電気 エックス線可変斜視角透視装置
JP2001319951A (ja) * 2000-05-10 2001-11-16 Fujitsu Ltd 接続検査方法及び接続検査装置
US6965661B2 (en) * 2001-06-19 2005-11-15 Hitachi, Ltd. Radiological imaging apparatus and radiological imaging method
JP4386812B2 (ja) * 2003-08-27 2009-12-16 パナソニック株式会社 Ｘ線検査装置
JP3924757B2 (ja) * 2004-01-16 2007-06-06 小林製薬株式会社 消臭効果のスクリーニング方法または評価方法
WO2005078419A1 (ja) * 2004-02-18 2005-08-25 Pony Industry Co., Ltd. 放射線透視撮影装置及びこれを用いた放射線透視撮影方法
JP4959223B2 (ja) * 2006-05-16 2012-06-20 東芝Ｉｔコントロールシステム株式会社 断層撮影装置
JP2008122337A (ja) * 2006-11-15 2008-05-29 Comscantecno Co Ltd 多機能ｘ線検査装置
US20080298546A1 (en) * 2007-05-31 2008-12-04 General Electric Company Cargo container inspection method
JP4881796B2 (ja) * 2007-06-08 2012-02-22 日立アロカメディカル株式会社 Ｘ線ｃｔ装置
JP5166834B2 (ja) * 2007-11-15 2013-03-21 株式会社庄内クリエート工業 Ｘ線検査装置
WO2009078415A1 (ja) * 2007-12-17 2009-06-25 Uni-Hite System Corporation Ｘ線検査装置および方法
US7713073B2 (en) * 2008-01-25 2010-05-11 Transpower Technology Co., Ltd. Power adapter
EP2106973A1 (fr) * 2008-04-03 2009-10-07 Delphi Technologies, Inc. Module de commande sous volant et méthode d'assemblage associée
US20110255660A1 (en) * 2008-12-22 2011-10-20 Omron Corporation X-ray inspection method and x-ray inspection apparatus
US9001963B2 (en) * 2009-08-06 2015-04-07 Koninklijke Philips N.V. Method and apparatus for generating computed tomography images with offset detector geometries
JP5458771B2 (ja) * 2009-09-24 2014-04-02 株式会社島津製作所 放射線断層像撮影装置
DE102010005284A1 (de) * 2010-01-21 2011-07-28 Siemens Aktiengesellschaft, 80333 Vorrichtung und Verfahren für ein Computertomographiegerät zur Datenübertragung sowie Computertomographiegerät
DE102010010723B4 (de) * 2010-03-09 2017-05-04 Yxlon International Gmbh Verwendung einer Laminographieanlage
US8509385B2 (en) * 2010-10-05 2013-08-13 General Electric Company X-ray tube with improved vacuum processing

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0535302A (ja) * 1991-07-31 1993-02-12 Taiyo Ltd 制御装置
JPH10512532A (ja) * 1995-10-10 1998-12-02 ベロイト・テクノロジーズ・インコーポレイテッド 紙の中心巻取方法及び装置
KR20090031081A (ko) * 2007-09-21 2009-03-25 주식회사 쎄크 엑스-레이 검사장치 및 방법
KR100923366B1 (ko) * 2007-11-16 2009-10-23 대우조선해양 주식회사 개별 회전이 가능한 고소작업 로봇 플랫폼
KR100933502B1 (ko) * 2009-09-16 2009-12-31 이호기술단(주) 지중 매설형 통신 광케이블 보호관

Also Published As

Publication number Publication date
JP5911972B2 (ja) 2016-04-27
JP2015502555A (ja) 2015-01-22
CN104024836A (zh) 2014-09-03
KR101181845B1 (ko) 2012-09-11
EP2796862A4 (en) 2015-08-12
US10330611B2 (en) 2019-06-25
CN104024836B (zh) 2016-12-28
EP2796862A1 (en) 2014-10-29
US20150003578A1 (en) 2015-01-01
MX2014007690A (es) 2014-10-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2013095035A1 (ko) Smt 인라인용 자동 엑스선 검사장치
WO2012121558A1 (ko) 영상 선명도가 개선된 비전검사장치
CN109855563B (zh) 检测方法以及检测设备
CN112824874A (zh) 线缆检测设备
AU752862B2 (en) Device and method for the optical inspection of concealed soldered connections
WO2012134146A1 (ko) 스테레오 비전과 격자 무늬를 이용한 비전검사장치
CN112577970A (zh) 一种检测方法、检测设备的对准方法以及检测设备
US6498642B1 (en) Endoscope inspection system
WO2009121051A2 (en) X-ray inspection systems and methods
WO2012150782A1 (ko) 편광판과 다중 격자 무늬를 이용한 비전검사장치
KR101761793B1 (ko) 회전 및 평면 이동 구조의 엑스레이 장치
CN115015115A (zh) 回转体器件全表面检测装置和方法
KR20200068180A (ko) 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치
CN112798611B (zh) 一种双工位线路板视觉检测系统
WO2012134145A1 (ko) 서로 다른 색깔의 다중 격자 무늬를 이용한 비전검사장치
CN217304950U (zh) 外形检测设备
CN217719502U (zh) 一种半导体晶圆光学检测设备和系统
KR100625641B1 (ko) Ｘ선 검사장치와 이를 이용한 검사방법
CN218974154U (zh) 一种外观检测装置
KR0149715B1 (ko) 시각인식장치를 채용한 인쇄회로기판 검사시스템
CN218496577U (zh) 一种视频引伸计及试验机
KR0171690B1 (ko) 단층 및 투시 검사장치 및 검사방법
CN218974198U (zh) 快速外观检测装置及检测设备
CN211552754U (zh) 电路板背钻孔的孔偏光学检测装置
US20230260128A1 (en) Inspection system

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12860408

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2012860408

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14366614

Country of ref document: US

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2014548672

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: MX/A/2014/007690

Country of ref document: MX