KR20200068180A - 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 - Google Patents
간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20200068180A KR20200068180A KR1020180154840A KR20180154840A KR20200068180A KR 20200068180 A KR20200068180 A KR 20200068180A KR 1020180154840 A KR1020180154840 A KR 1020180154840A KR 20180154840 A KR20180154840 A KR 20180154840A KR 20200068180 A KR20200068180 A KR 20200068180A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- inspection
- ray
- module
- inspection object
- moved
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
- G01N23/043—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using fluoroscopic examination, with visual observation or video transmission of fluoroscopic images
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/04—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/629—Specific applications or type of materials welds, bonds, sealing compounds
Abstract
본 발명은 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이고, 구체적으로 검사 과정에서 간섭을 발생시킬 수 있는 구조를 회피하면서 검사 이미지가 획득되도록 하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이다. 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치는 검사 대상의 이송을 위한 이송 모듈(13); 이송 모듈(13)로부터 검사 대상을 회전시키는 회전 구동 수단(M2); 회전 구동 수단(M2)에 의하여 회전이 되어 검사 위치로 이동된 검사 대상으로 엑스레이를 방출하는 엑스레이 모듈(15); 및 방출된 엑스레이의 서로 다른 각도에 대한 엑스레이 이미지의 획득을 위하여 정해진 위치에 고정되거나, 회전 가능한 디텍터 모듈(17)을 포함한다.
Description
본 발명은 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이고, 구체적으로 검사 과정에서 간섭을 발생시킬 수 있는 구조를 회피하면서 검사 이미지가 획득되도록 하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이다.
엑스레이 검사는 투과 두께에 따른 이미지의 명암 차이를 이용하여 다양한 산업 제품의 비파괴 검사에 적용될 수 있다. 예를 들어 엑스레이 검사는 전자기판, 칩, 배터리 또는 식품의 불량 또는 이물질의 존재 여부의 검사에 적용될 수 있다. 검사를 위하여 검사 부위가 결정되어야 하고 그리고 검사 부위에 엑스레이가 투과되어 해당 부위에 대한 엑스레이 투과 이미지가 얻어져야 한다. 그리고 이미지로부터 검사 대상의 불량 여부가 판단될 수 있다. 그러므로 검사 부위에 대한 정확한 투과 이미지를 얻을 수 있어야 하는 것이 검사의 기본 조건이 된다. 그러나 검사대상에 따라 구조적인 간섭 부위가 형성될 수 있고, 검사대상의 검사 부위에 대한 정확한 검사 이미지를 획득하기 위하여 이와 같은 간섭 부위가 회피될 수 있는 방법이 선택되어야 한다. 엑스레이 검사 장치와 관련된 선행기술에 해당하는 특허공개번호 제10-2017-0012525호는 전자 기판의 솔더링 범프의 엑스레이 검사 방법에 대하여 개시한다. 또한 특허공개번호 제10-2016-0006054호는 기판에 검사대상이 밀집하게 분포된 검사 부위에 대한 결함 검사가 가능하도록 하는 기판의 밀집 검사 부위의 엑스레이 검사 방법에 대하여 개시한다. 제시된 선행기술은 구조적으로 간섭을 발생시키는 검사대상에서 간섭을 회피하면서 검사대상의 이미지가 획득될 수 있는 방법에 대하여 개시하지 않는다.
본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
본 발명의 목적은 간섭 구조를 가진 검사대상에서 간섭을 피하면서 검사 부위의 검사가 가능한 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치는 검사 대상의 이송을 위한 이송 모듈; 이송 모듈로부터 검사 대상을 회전시키는 회전 구동 수단; 회전 구동 수단에 의하여 회전이 되어 검사 위치로 이동된 검사 대상으로 엑스레이를 방출하는 엑스레이 모듈; 및 방출된 엑스레이의 서로 다른 각도에 대한 엑스레이 이미지의 획득을 위하여 정해진 위치에 고정되거나, 회전 가능한 디텍터 모듈을 포함한다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 모듈은 상하 또는 좌우 이동이 가능한 엑스레이 고정 모듈에 결합된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 디텍터 모듈은 조절 모듈에 의하여 회전된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 검사 대상은 검사 지그에 고정되어 이동된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 검사 지그는 이송 모듈로부터 분리되어 회전된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 검사 대상을 이송 모듈에 적재하는 로딩 모듈을 더 포함한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 서로 다른 각도는 10 내지 90 ℃가 된다.
본 발명에 따른 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치는 예를 들어 배터리 관리 시스템의 전자 기판에 형성된 납땜(soldering)의 검사가 가능하도록 한다. 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 간섭 구조를 가진 부위에 대한 검사 과정에서 임의의 각도로 검사 대상을 회전시키는 것에 의하여 검사에 적합한 이미지가 획득되도록 한다. 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 검사 대상에 대한 다양한 각도의 검사 이미지를 획득하는 것에 의하여 검사 대상의 정밀한 검사가 가능하도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용되는 검사 대상의 투입 및 배출 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용되는 정상 또는 불량 검사대상의 처리 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치의 작동 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사 대상이 투입되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사대상이 검사 위치로 이송되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사가 이루어지는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사 결과에 따라 검사 대상이 처리되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용되는 검사 대상의 투입 및 배출 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용되는 정상 또는 불량 검사대상의 처리 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치의 작동 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사 대상이 투입되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사대상이 검사 위치로 이송되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사가 이루어지는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사 결과에 따라 검사 대상이 처리되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치는 검사 대상의 이송을 위한 이송 모듈(13); 이송 모듈(13)로부터 검사 대상을 회전시키는 회전 구동 수단(M2); 회전 구동 수단(M2)에 의하여 회전이 되어 검사 위치로 이동된 검사 대상으로 엑스레이를 방출하는 엑스레이 모듈(15); 및 방출된 엑스레이의 서로 다른 각도에 대한 엑스레이 이미지의 획득을 위하여 정해진 위치에 고정되거나, 회전 가능한 디텍터 모듈(17)을 포함한다.
검사 대상은 배터리 관리 시스템의 전자기판 또는 이와 유사한 판 형상의 기판이 될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 다양한 형상을 가지는 검사 대상이 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 의하여 검사가 될 수 있다. 검사 대상에서 검사 부위가 설정될 수 있고, 검사 부위의 위쪽 또는 측면에 간섭 구조가 형성될 수 있고, 이에 따라 검사 대상에 대하여 수직이 되는 방향으로 투과된 수직 엑스레이 이미지에 의한 검사가 어려울 수 있다. 또는 검사 부위 자체의 구조로 인하여 수직 엑스레이 이미지로부터 정확한 검사가 어렵거나, 서로 다른 방향으로부터 투과된 방향 엑스레이 이미지에 의하여 검사 대상에 대한 검사가 이루어질 필요가 있다. 이와 같은 경우 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 의하여 다양한 방향으로 투과된 엑스레이 이미지가 얻어질 수 있고, 이에 의하여 검사 대상에 대한 정확한 검사가 이루어질 수 있다. 다만 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 임의의 방향에 대한 검사가 가능하고 이에 의하여 제한되지 않는다.
이송 모듈(13)에 의하여 검사 대상이 이송될 수 있고, 이송 모듈(13)은 컨베이어 유닛(131) 및 컨베이어 유닛(131)의 구동을 위한 모터와 같은 컨베이어 구동 수단(M3)을 포함할 수 있다. 검사 대상은 판 형상, 박스 형상, 원통 형상 또는 이와 유사한 다양한 형상이 될 수 있고, 검사 대상 전체가 검사 부위가 되거나 또는 검사 대상의 일부가 검사 부위가 될 수 있다. 검사 대상은 컨베이어 유닛(131)에 직접 로딩이 되어 이송이 되거나, 검사 지그에 로딩이 되어 검사 지그의 이송에 의하여 검사 대상이 이송될 수 있다. 이송 모듈(13)에 의하여 검사 대상이 검사 위치로 이송되면, 검사 대상 또는 검사 지그가 회전 구동 수단(M2)에 의하여 회전될 수 있다. 검사 대상 또는 검사 지그는 검사 스테이션(14)에 적재될 수 있고,검사 스테이션(14)은 분리 유닛(141)의 작동에 의하여 이송 모듈(13)로부터 분리될 수 있다. 예를 들어 분리 유닛(141)은 컨베이어 유닛(131)의 아래쪽에 배치되면서 검사 스테이션(14)을 상하로 이동시킬 수 있는 이동 실린더가 될 수 있다. 분리 유닛(141)에 의하여 검사 스테이션(14)이 이송 모듈(13)로부터 위쪽 방향으로 이동되어 분리되면, 회전 구동 수단(M2)에 의하여 검사 대상 또는 검사 스테이션(14)이 회전될 수 있다. 이에 의하여 검사 대상은 이송 모듈(13)의 연장 방향에 대하여 수직이 되는 방향으로 회전되어 검사 위치로 이동될 수 있다. 이후 검사 대상으로 엑스레이 모듈(15)에 의하여 엑스레이가 방출될 수 있다.
엑스레이 모듈(15)은 검사 위치로 엑스레이를 방출할 수 있는 다양한 위치에 배치될 수 있지만 바람직하게 이송 모듈(13)의 위쪽에 배치될 수 있다. 엑스레이 모듈(15)은 엑스레이 고정 모듈(11)에 결합될 수 있고, 엑스레이 고정 모듈(11)은 이송 모듈(13)에 대하여 상하로 또는 좌우로 이동 가능한 구조를 가질 수 있다. 엑스레이 고정 모듈(11)은 이송 모듈(13)의 연장 방향에 대하여 수직이 되는 평면을 가지는 판 형상이 될 수 있고, 아래쪽 부분에 이송 방향과 동일 또는 유사한 방향으로 연장되는 고정 랙(112)을 포함할 수 있다. 고정 랙(112)에 엑스레이 모듈(15)이 고정될 수 있고, 엑스레이 모듈(15)로부터 방출된 엑스레이는 이송 모듈(13) 또는 이송 모듈(13)에 대하여 경사진 방향으로 방출될 수 있다. 선택적으로 고정 랙(112)은 회전 가능한 구조를 가질 수 있다. 엑스레이 고정 모듈(11)의 뒤쪽에 엑스레이 고정 모듈(11)과 평행하도록 연장되는 가이드 유닛(111)이 설치될 수 있고, 가이드 유닛(111)에 한 쌍의 가이드 레일(113a, 113b)이 설치될 수 있다. 엑스레이 고정 모듈(11)은 모터와 같은 이동 구동 수단(M1)의 작동에 의하여 한 쌍의 가이드 레일(113a, 113b)을 따라 좌우로 이동될 수 있다. 또한 엑스레이 고정 모듈(11)은 상하 이동 모듈(12)에 의하여 상하로 이동될 수 있다. 구체적으로 가이드 유닛(111)의 아래쪽 부분에 이동 실린더 또는 구동 모터를 포함하는 상하 이동 모듈(12)이 설치될 수 있고, 상하 이동 모듈(12)의 작동에 의하여 가이드 유닛(111)이 상하로 이동되면서 이와 함께 엑스레이 고정 모듈(11)이 상하로 이동될 수 있다. 고정 랙(112)과 마주보는 위치에 한쪽 가장자리가 엑스레이 고정 모듈(11)에 결합된 설치 유닛(114)이 형성될 수 있고, 설치 유닛(114)에 디텍터 모듈(17)이 결합될 수 있다. 구체적으로 설치 유닛(114)에 조절 모듈(16)이 결합될 수 있고, 조절 모듈(16)은 설치 유닛(114)에 결합되는 판 형상의 균형 유닛(163); 균형 유닛(163)에 회전 가능하도록 결합되는 조절 커플러(161); 및 조절 커플러(161)의 회전 각도를 조절하는 모터와 같은 구동 수단(M4)을 포함할 수 있다. 그리고 조절 커플러(161)의 한쪽 끝에 디텍터 모듈(17)이 결합될 수 있고, 조절 커플러(161)의 작동에 회전에 의하여 디텍터 모듈(17)이 다양한 각도로 회전될 수 있다.
검사 대상이 이송 모듈(13)로부터 분리되어 회전되면서 검사 위치로 이동될 수 있고, 검사 대상의 위쪽 면에 디텍터 모듈(17)이 위치할 수 있다. 선택적으로 디텍터 모듈(17)은 미리 결정된 위치에 고정될 수 있고, 엑스레이 모듈(15)에 대한 방향 각도가 조절될 수 있는 구조로 설치될 수 있다. 엑스레이 모듈(15)의 작동에 의하여 엑스레이가 검사 대상으로 방출되어 디텍터 모듈(17)에 의하여 엑스레이 이미지가 획득될 수 있다. 검사 대상의 회전에 의하여 하나 또는 그 이상의 방향에 대한 엑스레이 이미지가 획득될 수 있다. 그리고 이와 같이 획득된 엑스레이 이미지로부터 검사 대상의 정상 여부가 판단될 수 있다.
엑스레이 모듈(15)에 대한 검사 대상의 위치 및 디텍터 모듈(17)의 상대적인 위치는 다양한 방법으로 결정될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
검사를 위한 구성 요소는 다양한 형태의 검사 프레임(F1)에 설치될 수 있고, 검사 프레임(F1)은 밀폐 구조로 만들어질 수 있다. 또한 이송 모듈(13)은 이송 프레임(F2)에 설치될 수 있고, 이송 모듈(13)은 검사 프레임(F1)을 관통하는 형태로 설치될 수 있지만 이에 제한되지 않는다.
도 2는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용되는 검사 대상의 투입 및 배출 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
엑스레이 모듈과 디텍터 모듈이 설치되는 검사실(21)은 밀폐 구조가 될 수 있고, 검사실(21)의 외부에 제어 패널 또는 디스플레이를 포함하는 검사 제어 모듈(22)이 배치될 수 있다. 검사실(21)의 한쪽 부분에 로딩 모듈(23)이 배치될 수 있고, 로딩 모듈(23)은 상하 가이드(231)에 따라 상하 이동이 가능한 구조를 가질 수 있다. 로딩 모듈(23)은 검사실(21)의 외부에 배치될 수 있고, 위에서 설명된 이송 모듈과 연결될 수 있다. 검사 대상은 적절한 이송 수단에 의하여 로딩 모듈(23)의 위치로 이동될 수 있고, 로딩 모듈(23)이 위쪽으로 이동되면서 검사 대상을 분리할 수 있다. 로딩 모듈(23)은 검사 스테이션 또는 이와 유사한 검사 대상의 고정을 위한 수단을 포함할 수 있고, 검사 스테이션에 검사 대상이 고정되면 로딩 모듈(23)이 검사실(21)의 내부로 이동될 수 있다. 이후 검사실(21)의 내부에서 검사 대상이 검사되고, 검사 과정이 검사 제어 모듈(22)에 의하여 제어되면서 디스플레이와 같은 표시 수단에 표시가 될 수 있다. 검사가 완료된 검사 대상은 배출 모듈(24)로 이송될 수 있고, 배출 모듈(24)에 검사가 완료된 검사 대상의 이송을 유도하는 이송 유도 모듈(25)이 배치될 수 있다. 또한 배출 모듈(24)에 검사 대상의 공정 과정에 투입하는 그립 모듈이 배치될 수 있고, 그립 모듈은 적어도 하나의 링크 부재로 이루어진 링크 유닛(261) 및 검사 대상을 고정하는 그립 유닛(262)을 포함할 수 있다.
검사실(21)은 엑스레이의 외부 누출을 방지하기 위한 밀폐 구조를 가질 수 있고, 적절한 차폐 수단에 의하여 검사 대상이 검사실(21)의 내부로 투입되거나, 배출되도록 할 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용되는 정상 또는 불량 검사대상의 처리 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3을 참조하면, 검사실(21)은 차폐 구조로 만들어지면서 입구 및 출구에 각각 검사 대상의 출입을 위한 제1, 2 셔터(31, 33)가 형성될 수 있다. 검사 대상은 제1 셔터(31)의 앞쪽에 위치하여 검사를 위한 대기 상태가 되면 제1 셔터(31)가 열릴 수 있고, 유도 모듈(32)이 작동될 수 있다. 유도 모듈(32)은 검사실(21)의 안쪽에 배치되거나, 이송 모듈(13)을 따라 이동 가능한 구조를 가질 수 있다. 유도 모듈(32)의 앞쪽에 검사 대상이 고정되는 고정 지그(324)가 형성될 수 있고, 고정 지금(324)의 뒤쪽 중앙에 회전 커플러(321)가 형성되고, 회전 커플러(321)에 회전 부재(322)의 한쪽 끝이 결합될 수 있다. 회전 커플러(321)와 회전 부재(322)는 예를 들어 유니버설 조인트 결합 또는 이와 유사한 회전 결합이 될 수 있고, 회전 부재(322)의 다른 끝에 회전 조인트(323)가 결합되어 유도 모듈(32)이 검사실(21)의 내부 구조물 또는 이송 모듈(13)에 결합될 수 있다. 회전 조인트(323)에 의하여 회전 부재(322)가 제1 방향으로 회전될 수 있고, 회전 커플러(321)에 의하여 고정 지그(324)가 제1 방향과 동일하거나, 서로 다른 제2 방향으로 회전될 수 있다. 제1 셔터(31)가 열리면 유도 모듈(32)이 작동되어 고정 지그(324)가 제1 셔터(31)의 외부로 이동되어 검사 대상을 검사실(21)의 내부로 이동시킬 수 있다. 이송 모듈(13)은 검사실(21)의 내부로부터 외부로 연장될 수 있고, 제1 셔터(31)의 맞은 편 부분에 제2 셔터(33)가 설치될 수 있다. 유도 모듈(32)은 이송 모듈(13)을 따라 이동되어 검사 위치로 검사 대상을 이동시킬 수 있다. 검사 위치에서 엑스레이 튜브 및 디텍터에 의하여 검사 대상에 대한 엑스레이 이미지가 획득되어 검사 대상의 정상 여부가 결정될 수 있다. 검사가 완료되면 검사실(21)의 제2 셔터(33)가 열릴 수 있고, 검사 대상의 검사실(31)의 외부로 배출될 수 있다. 검사실(21)의 외부로 검사대상이 배출되면 제2 셔터(33)가 닫히고, 검사 결과에 따라 검사 대상은 서로 다른 경로로 배출될 수 있다. 예를 들어 불량으로 판정된 검사 대상은 그립 유닛(262)에 의하여 불량 배출 경로(34)에 적재되어 배출될 수 있다. 검사 결과에 따라 검사 대상은 다양한 경로로 배출될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 4는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치의 작동 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 엑스레이 검사 방법은 검사 지그가 이동되고, 유도 실린더가 이동 준비를 하는 단계(P41); 검사 지그에 검사 대상이 적재되어 검사 대상이 검사실로 투입되고, 엑스레이 모듈의 작동이 개시되는 단계(P42); 유도 실린더가 컨베이어 유닛에 의하여 이동되어 회전이 되어 검사 위치로 이동되는 단계(P43); 엑스레이 모듈의 작동에 의하여 검사 대상에 대한 엑스레이 이미지가 획득되는 단계(P44); 엑스레이 모듈의 작동이 중단되고 유도 실린더가 컨베이어 유닛에 의하여 검사실의 외부로 이동되는 단계(P45); 획득된 엑스레이 이미지로부터 검사 대상의 정상 또는 불량 여부가 판단되는 단계(P46); 및 판단 결과에 따라 검사 대상이 서로 다른 경로로 배출되는 단계(P47)를 포함한다.
검사 지그에 적절한 적재 수단에 의하여 검사 대상이 적재될 수 있고, 검사 지그가 밀폐 구조를 가지는 검사실의 내부로 이동될 수 있다(P42). 또는 유도 실린더에 검사 지그가 결합될 수 있고, 검사 지그가 검사실의 외부로 이동되어 검사 대상을 검사실의 내부로 투입시킬 수 있다(P42). 유도 실린더는 컨베이어 유닛을 따라 이동될 수 있고, 이에 따라 검사 대상이 이동될 수 있다. 유도 실린더는 예를 들어 상하로 이동 가능하면서 이와 동시에 회전 가능한 구조를 가질 수 있다. 유도 실린더의 이동 및 회전에 따라 검사 대상이 검사 위치로 이동될 수 있다(P43). 검사 위치는 컨베이어 유닛에 의한 이동 경로로부터 분리되어 위치할 수 있고, 검사 대상은 평면에 대하여 경사진 방향을 향할 수 있다. 엑스레이 모듈의 작동에 의하여 엑스레이 이미지가 획득될 수 있고(P44), 획득된 엑스레이 이미지로부터 검사 대상의 정상 또는 불량 여부가 판단될 수 있다(P46). 이후 판단 결과에 따라 검사 대상은 적절한 배출 경로를 따라 이동될 수 있고(P47), 아래에서 이와 같은 과정에 대하여 구체적으로 설명된다.
도 5는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사 대상이 투입되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5를 참조하면, 좌측은 검사 대상이 검사 지그에 적재되는 과정을 나타낸 것이고, 우측은 유도 실린더에 의하여 검사 대상이 적재된 검사 지그가 검사 위치로 이동되는 과정을 나타낸 것이다. 검사 대상은 검사를 위하여 검사실의 앞쪽에 대기할 수 있고(P511), 검사 지그가 이동되어 검사 대상의 위치로 이동될 수 있고 검사 지그에 형성된 스토퍼가 열릴 수 있다. 이와 함께 검사실의 제1 셔터가 열리고 유도 실린더가 이동되어 검사 지그의 위치로 이동될 수 있다(P521). 검사 대상이 검사 지그에 투입되고(P512), 유도 실린더의 이동에 따른 개시 신호가 발생되어 검사 지그로 전송되면 검사 지그가 정렬이 되고, 완료 신호를 유도 실린더로 전송할 수 있다(P513). 유도 실린더가 상승되어 검사 지그와 결합되고, 다시 유도 실린더가 검사실의 내부로 이동되면서 검사 대상이 검사실의 내부로 이동될 수 있고, 이후 스토퍼가 닫히면 아래에서 설명되는 검사 과정이 개시될 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사대상이 검사 위치로 이송되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 6을 참조하면, 검사 지그가 결합된 유도 실린더가 이송 모듈에서 이송되도록 정렬되면, 제1 셔터가 닫히고 이에 의하여 검사실이 차폐가 될 수 있다(P61). 유도 실린더가 이송 모듈을 따라 검사 위치로 이송될 수 있고, 이와 함께 엑스레이 모듈이 켜질 수 있다(P62). 유도 실린더가 이송 모듈에 의하여 정해진 위치로 이동되면 유도 실린더가 상승이 되면서 검사 지그가 이송 모듈로부터 분리될 수 있다. 이후 유도 실린더가 회전이 되어 검사 대상이 검사 위치로 이동될 수 있다(P63). 그리고 검사 위치에서 엑스레이 모듈 및 디텍터에 의하여 엑스레이 이미지가 획득될 수 있고, 하나의 검사 대상에 대하여 서로 다른 방향 각도로 다수 개의 엑스레이 이미지가 획득될 수 있다. 또한 하나의 검사 대상에 대하여 서로 다른 부위에 대한 엑스레이 이미지가 획득될 수 있다(P64). 이와 같은 방법으로 적어도 하나의 엑스레이 이미지가 획득되면 엑스레이 모듈이 작동이 중단되고(off), 유도 실린더가 회전이 되고, 다시 하강이 되어 검사 지그가 이송 모듈에 위치할 수 있다(P66). 이와 같이 검사 지그 또는 유도 실린더가 이송 가능한 상태가 되면 컨베이어 유닛의 작동에 의하여 검사 대상이 검사실의 외부로 배출될 수 있다(P67). 검사 대상의 배출을 위하여 제2 셔터가 개방될 수 있고, 유도 실린더가 검사실의 외부로 이동되면 제2 셔터가 닫힐 수 있다. 이후 엑스레이 이미지에 의하여 검사 대상의 정상 여부가 판단될 수 있다.
도 7은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사가 이루어지는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 7을 참조하면, 제2 셔터가 열리면, 이송 모듈을 따라 유도 실린더가 검사실의 외부로 이동될 수 있다(P71). 검사가 완료된 검사 대상이 검사실 외부로 이동되면 획득된 엑스레이 이미지로부터 검사 대상의 정상 여부가 판정될 수 있다(P72). 만약 검사 대상의 판정 과정(P73)에서 정상으로 판정되면(YES), 정상 배출 경로를 통하여 검사 대상이 배출될 수 있다(P74). 이에 비하여 불량으로 판정이 되면(NO), 불량 배출 경로로 배출될 수 있다(P75). 그리고 이와 같은 검사 대상의 배출 경로로 이동을 위하여 검사 대상이 검사 지그로부터 분리가 될 수 있다.
도 8은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사 결과에 따라 검사 대상이 처리되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 8을 참조하면, 검사 완료가 되면 분리를 위한 준비 신호가 발생될 수 있고(P811), 검사 지그의 분리 위치에서 컨베이어 유닛이 정지될 수 있다(P812). 이와 함께 유도 실린더가 작동 준비가 되고(P821), 작동 준비 신호를 검사 지그의 작동을 위한 제어 모듈로 전송할 수 있다(P822). 이에 따라 검사 지그를 고정하고 있는 스토퍼가 개방이 되고(P813), 검사 지그의 분리 준비가 완료되었는지 여부가 판단될 수 있다(P814). 만약 분리 준비를 위한 준비가 완료되지 않았다면(NO), 준비 신호의 발생 단계로 이행될 수 있다(P811). 이에 비하여 분리 준비가 완료되었다면, 유도 실린더가 상승이 되고, 위에서 설명된 그립 모듈에 의하여 검사 대상이 검사 지그로부터 분리되거나, 검사 지그 자체가 유도 실린더로부터 분리할 수 있다. 이후 유도 실린더가 다시 대기 상태가 되기 위하여 후진될 수 있다(P84). 이와 같이 분리된 검사 대상은 정상 배출 경로 또는 불량 배출 경로에 적재될 수 있고, 완료 신호를 발생시킬 수 있다. 그리고 이와 같이 배출 경로에 대한 적재가 완료되면 완료 신호를 발생시킬 수 있다(P85). 이에 따라 다시 검사 대상의 검사실에 대한 투입 과정이 진행될 수 있다(P83).
검사가 완료된 검사 대상의 처리는 다양한 방법으로 이루어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치는 예를 들어 배터리 관리 시스템의 전자 기판에 형성된 납땜(soldering)의 검사가 가능하도록 한다. 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 간섭 구조를 가진 부위에 대한 검사 과정에서 임의의 각도로 검사 대상을 회전시키는 것에 의하여 검사에 적합한 이미지가 획득되도록 한다. 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 검사 대상에 대한 다양한 각도의 검사 이미지를 획득하는 것에 의하여 검사 대상의 정밀한 검사가 가능하도록 한다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
11: 엑스레이 고정 모듈 12: 상하 이동 모듈
13: 이송 모듈 14: 검사 스테이션
15: 엑스레이 모듈 16: 조절 모듈
17: 디텍터 모듈 21: 검사실
22: 검사 제어 모듈 23: 로딩 모듈
24: 배출 모듈 25: 이송 유도 모듈
31, 33: 제1, 2 셔터 32: 유도 모듈
34: 불량 배출 경로 111: 가이드 유닛
112: 고정 랙 113a, 113b: 가이드 레일
114: 설치 유닛 131: 컨베이어 유닛
141: 분리 유닛 161: 조절 커플러
163: 균형 유닛 231: 상하 가이드
261: 링크 유닛 262: 그립 유닛
321: 회전 커플러 322: 회전 부재
323: 회전 조인트 324: 고정 지그
F1: 검사 프레임 F2: 이송 프레임
M1: 이동 구동 수단 M2: 회전 구동 수단
M3: 컨베이어 구동 수단 M4: 구동 수단
13: 이송 모듈 14: 검사 스테이션
15: 엑스레이 모듈 16: 조절 모듈
17: 디텍터 모듈 21: 검사실
22: 검사 제어 모듈 23: 로딩 모듈
24: 배출 모듈 25: 이송 유도 모듈
31, 33: 제1, 2 셔터 32: 유도 모듈
34: 불량 배출 경로 111: 가이드 유닛
112: 고정 랙 113a, 113b: 가이드 레일
114: 설치 유닛 131: 컨베이어 유닛
141: 분리 유닛 161: 조절 커플러
163: 균형 유닛 231: 상하 가이드
261: 링크 유닛 262: 그립 유닛
321: 회전 커플러 322: 회전 부재
323: 회전 조인트 324: 고정 지그
F1: 검사 프레임 F2: 이송 프레임
M1: 이동 구동 수단 M2: 회전 구동 수단
M3: 컨베이어 구동 수단 M4: 구동 수단
Claims (7)
- 검사 대상의 이송을 위한 이송 모듈(13);
이송 모듈(13)로부터 검사 대상을 회전시키는 회전 구동 수단(M2);
회전 구동 수단(M2)에 의하여 회전이 되어 검사 위치로 이동된 검사 대상으로 엑스레이를 방출하는 엑스레이 모듈(15); 및
방출된 엑스레이의 서로 다른 각도에 대한 엑스레이 이미지의 획득을 위하여 정해진 위치에 고정되거나, 회전 가능한 디텍터 모듈(17)을 포함하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치. - 청구항 1에 있어서, 엑스레이 모듈(15)은 상하 또는 좌우 이동이 가능한 엑스레이 고정 모듈(11)에 결합되는 것을 특징으로 하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치.
- 청구항 1에 있어서, 디텍터 모듈(17)은 조절 모듈(16)에 의하여 회전되는 것을 특징으로 하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치.
- 청구항 1에 있어서, 검사 대상은 검사 지그에 고정되어 이동되는 것을 특징으로 하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치.
- 청구항 4에 있어서, 검사 지그는 이송 모듈(13)로부터 분리되어 회전되는 것을 특징으로 하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치.
- 청구항 1에 있어서, 검사 대상을 이송 모듈(13)에 적재하는 로딩 모듈(23)을 더 포함하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치.
- 청구항 1에 있어서, 서로 다른 각도는 10 내지 90 ℃가 되는 것을 특징으로 하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180154840A KR102148748B1 (ko) | 2018-12-05 | 2018-12-05 | 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180154840A KR102148748B1 (ko) | 2018-12-05 | 2018-12-05 | 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20200068180A true KR20200068180A (ko) | 2020-06-15 |
| KR102148748B1 KR102148748B1 (ko) | 2020-08-27 |
Family
ID=71081509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020180154840A KR102148748B1 (ko) | 2018-12-05 | 2018-12-05 | 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102148748B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112229858A (zh) * | 2020-11-02 | 2021-01-15 | 衡阳市瑞启新能源有限公司 | 一种锂电池生产用质检流水线的质检设备及其质检方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110088139A (ko) * | 2010-01-28 | 2011-08-03 | 주식회사 쎄크 | 인라인 ｃｔ 검사시스템 및 그 검사방법 |
| KR101181845B1 (ko) * | 2011-12-22 | 2012-09-11 | 주식회사 쎄크 | Ｓｍｔ 인라인용 자동 엑스선 검사장치 |
| KR20160006054A (ko) | 2014-07-08 | 2016-01-18 | (주)자비스 | 기판의 밀집 검사 부위의 엑스레이 검사 방법 |
| KR20160031812A (ko) * | 2014-09-15 | 2016-03-23 | (주)자비스 | 엘이디 패키지의 엑스레이 검사 장치 |
| KR20160065645A (ko) * | 2014-12-01 | 2016-06-09 | (주)자비스 | 엑스레이 검사 트레이 모듈 및 이에 의한 경사 방향 검사가 가능한 엑스레이 검사 장치 |
| KR20170012525A (ko) | 2017-01-20 | 2017-02-02 | (주)자비스 | 전자 기판의 엑스레이 검사 방법 |
-
2018
- 2018-12-05 KR KR1020180154840A patent/KR102148748B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110088139A (ko) * | 2010-01-28 | 2011-08-03 | 주식회사 쎄크 | 인라인 ｃｔ 검사시스템 및 그 검사방법 |
| KR101181845B1 (ko) * | 2011-12-22 | 2012-09-11 | 주식회사 쎄크 | Ｓｍｔ 인라인용 자동 엑스선 검사장치 |
| KR20160006054A (ko) | 2014-07-08 | 2016-01-18 | (주)자비스 | 기판의 밀집 검사 부위의 엑스레이 검사 방법 |
| KR20160031812A (ko) * | 2014-09-15 | 2016-03-23 | (주)자비스 | 엘이디 패키지의 엑스레이 검사 장치 |
| KR20160065645A (ko) * | 2014-12-01 | 2016-06-09 | (주)자비스 | 엑스레이 검사 트레이 모듈 및 이에 의한 경사 방향 검사가 가능한 엑스레이 검사 장치 |
| KR20170012525A (ko) | 2017-01-20 | 2017-02-02 | (주)자비스 | 전자 기판의 엑스레이 검사 방법 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112229858A (zh) * | 2020-11-02 | 2021-01-15 | 衡阳市瑞启新能源有限公司 | 一种锂电池生产用质检流水线的质检设备及其质检方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102148748B1 (ko) | 2020-08-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101975562B1 (ko) | 내부 결함 및 접합 부위의 검사가 가능한 엑스레이 검사 장치 | |
| KR101707220B1 (ko) | 배터리 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 배터리 검사 방법 | |
| US8983030B2 (en) | Inspection machine for printed circuit board | |
| CN108307656B (zh) | X射线检查方法以及x射线检查装置 | |
| JP4097934B2 (ja) | 局部的なデジタル式放射線探傷検査のための方法及び装置 | |
| KR101654818B1 (ko) | 엑스레이 검사 트레이 모듈 및 이에 의한 경사 방향 검사가 가능한 엑스레이 검사 장치 | |
| KR20160068414A (ko) | 엑스레이 검사를 위한 이동 스테이지 및 이를 가진 엑스레이 검사 장치 | |
| JP3011360B2 (ja) | Ｘ線非破壊検査装置 | |
| KR101957667B1 (ko) | 선형 축 이동 구조의 엑스레이 검사 장치 | |
| KR102148748B1 (ko) | 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 | |
| KR101673544B1 (ko) | 배터리 자동 연속 검사 장치 | |
| KR20210021067A (ko) | 비파괴 자동 검사 시스템 | |
| JP2009236633A (ja) | Ｘ線異物検査装置 | |
| JP7401232B2 (ja) | 非破壊検査装置 | |
| KR102270832B1 (ko) | 다중 검사 및 다중 배출 경로 구조의 엑스레이 검사 장치 | |
| KR100748108B1 (ko) | 음극선관용 패널의 검사장치 및 그 방법 | |
| WO2016024648A1 (ko) | 대면적 평면 검사 장치 | |
| KR101962710B1 (ko) | 튜브 구조 부품의 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법 | |
| KR20160014760A (ko) | 교체 방식 모듈 구조의 엑스레이 검사 장치 | |
| KR102242093B1 (ko) | 메탈 마스크 검사 장치 | |
| KR101657982B1 (ko) | 엘이디 패키지의 엑스레이 검사 장치 | |
| KR20160105753A (ko) | 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 | |
| KR20210048145A (ko) | 웨이퍼 검사용 엑스레이 장치 및 그에 의한 엑스레이 검사 방법 | |
| JP2002296204A (ja) | Ｘ線検査装置及び方法 | |
| KR20150082808A (ko) | 교체 방식 모듈 구조의 엑스레이 검사 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right |