JP7224598B2 - 傾斜x線検査方法、傾斜x線検査装置及びその精度評価方法 - Google Patents
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Description
以下に本発明の内容を実施形態とともに詳細に説明する。図4は本発明の傾斜X線検査方法の原理図である。10はワーク支持台であり、ワークWはその上に固定される。11はワークWを貫通する仮想直線であり、この仮想直線11上に、X線源12とディテクタ13とをワークWを挟んで正対させて配置する。
図8と図9に本発明の傾斜X線検査装置の実施形態を示す。20は剛性に優れた大型のフレームでありその中央部にワークWが配置される。ワークWは必ずしもワーク支持台10に支持させる必要はなく、例えばロボットアームに支持させることも可能である。
(傾斜X線検査装置の精度評価方法)
1 X線源(従来技術)
2 ディテクタ(従来技術)
3 回転台(従来技術)
10 ワーク支持台
11 仮想直線
12 X線源
13 ディテクタ
14 回転軸線
15 撮影ポイント
20 フレーム
21 上部アーム
22 上部円盤
23 下部アーム
24 下部円盤
30 ゲージ
31 円盤
32 円盤
33 測定アーム
34 マイクロメータ
35 マイクロメータ
36 測定アーム
37 マイクロメータ
38 マイクロメータ
Claims (5)
- 回転軸線のまわりに同一角速度で回転する上部円盤及び下部円盤にそれぞれ斜めに取り付けられたX線源とディテクタとを用いた傾斜X線検査方法であって、
ワークを貫通する仮想直線上に、X線源とディテクタとをワークを挟んで正対させて配置し、ワークを固定したまま、かつ、X線源とディテクタとの正対関係を維持したまま、X線源とディテクタとを前記仮想直線に対して斜めに交差する前記回転軸線のまわりに同一角速度で回転させ、ワークのX線透視画像を得ることを特徴とする傾斜X線検査方法。 - 前記仮想直線がワークを斜めに貫通する直線であり、前記回転軸線が垂直線であることを特徴とする請求項1記載の傾斜X線検査方法。
- ワークが薄肉で大型の平板状部材であることを特徴とする請求項1または2記載の傾斜X線検査方法。
- フレームの上下に設けられ垂直な回転軸線のまわりに同一角速度で回転する上部円盤及び下部円盤と、これらの上部円盤及び下部円盤にそれぞれ斜めに取り付けられたX線源とディテクタとからなり、これらのX線源とディテクタはワークを貫通する仮想直線上における正対関係を維持しつつ回転し、ワークのX線透視画像を得るものであることを特徴とする傾斜X線検査装置。
- 請求項4に記載された傾斜X線検査装置のX線源とディテクタが回転する際の理想的な円軌道からのずれと、ディテクタ上のX線受光位置のずれとの関係を示す演算式を作成し、ゲージとマイクロメータを用いてX線源とディテクタの理想的な円軌道からのずれを測定し、それらの測定値を演算式に代入して傾斜X線検査装置の検出精度を演算することを特徴とする傾斜X線検査装置の精度評価方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019020769A JP7224598B2 (ja) | 2019-02-07 | 2019-02-07 | 傾斜x線検査方法、傾斜x線検査装置及びその精度評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019020769A JP7224598B2 (ja) | 2019-02-07 | 2019-02-07 | 傾斜x線検査方法、傾斜x線検査装置及びその精度評価方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020128890A JP2020128890A (ja) | 2020-08-27 |
JP7224598B2 true JP7224598B2 (ja) | 2023-02-20 |
Family
ID=72174469
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019020769A Active JP7224598B2 (ja) | 2019-02-07 | 2019-02-07 | 傾斜x線検査方法、傾斜x線検査装置及びその精度評価方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7224598B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114295650A (zh) * | 2021-08-24 | 2022-04-08 | 上海超群检测科技股份有限公司 | X射线ct检测装置及检测方法 |
CN114166872B (zh) * | 2021-11-09 | 2024-01-09 | 山东建筑大学 | 用于建筑构件的环绕检测装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002071587A (ja) | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | X線検査装置 |
JP2005021675A (ja) | 2003-06-10 | 2005-01-27 | Shimadzu Corp | 断層撮影装置 |
JP2006340787A (ja) | 2005-06-07 | 2006-12-21 | Shimadzu Corp | 断層撮影装置 |
JP2006340789A (ja) | 2005-06-07 | 2006-12-21 | Shimadzu Corp | 断層撮影装置 |
WO2009078415A1 (ja) | 2007-12-17 | 2009-06-25 | Uni-Hite System Corporation | X線検査装置および方法 |
JP2010271165A (ja) | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Aisin Aw Co Ltd | プリント基板の検査装置 |
JP2018041737A (ja) | 2003-05-09 | 2018-03-15 | 株式会社荏原製作所 | 電子線装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4926452A (en) * | 1987-10-30 | 1990-05-15 | Four Pi Systems Corporation | Automated laminography system for inspection of electronics |
-
2019
- 2019-02-07 JP JP2019020769A patent/JP7224598B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002071587A (ja) | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | X線検査装置 |
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JP2005021675A (ja) | 2003-06-10 | 2005-01-27 | Shimadzu Corp | 断層撮影装置 |
JP2006340787A (ja) | 2005-06-07 | 2006-12-21 | Shimadzu Corp | 断層撮影装置 |
JP2006340789A (ja) | 2005-06-07 | 2006-12-21 | Shimadzu Corp | 断層撮影装置 |
WO2009078415A1 (ja) | 2007-12-17 | 2009-06-25 | Uni-Hite System Corporation | X線検査装置および方法 |
JP2010271165A (ja) | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Aisin Aw Co Ltd | プリント基板の検査装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020128890A (ja) | 2020-08-27 |
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