WO2009078415A1 - Appareil d'examen aux rayons x et procédé - Google Patents

Appareil d'examen aux rayons x et procédé Download PDF

Info

Publication number
WO2009078415A1
WO2009078415A1 PCT/JP2008/072886 JP2008072886W WO2009078415A1 WO 2009078415 A1 WO2009078415 A1 WO 2009078415A1 JP 2008072886 W JP2008072886 W JP 2008072886W WO 2009078415 A1 WO2009078415 A1 WO 2009078415A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
ray
imaging surface
work
examining apparatus
ray source
Prior art date
Application number
PCT/JP2008/072886
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Inventor
Kazuhito Koizumi
Tatsuro Wakamatsu
Original Assignee
Uni-Hite System Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Uni-Hite System Corporation filed Critical Uni-Hite System Corporation
Priority to JP2009546271A priority Critical patent/JPWO2009078415A1/ja
Publication of WO2009078415A1 publication Critical patent/WO2009078415A1/fr

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G01N23/044Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using laminography or tomosynthesis

Abstract

Cette invention concerne un appareil d'examen aux rayons X permettant un examen rapide et simple et en plus, un examen de près instantané, si nécessaire. L'appareil d'examen aux rayons X comprend une source de rayons X ayant une région d'irradiation en forme de cône, un mécanisme de retenue pour retenir une pièce à examiner et une caméra à rayons X ayant une surface d'imagerie plate. L'appareil d'examen aux rayons X comprend, en plus, un mécanisme dans lequel la surface de référence de la pièce à examiner et la surface d'imagerie sont parallèles, l'axe optique des rayons X irradiés à partir de la source de rayons X est incliné par rapport à la surface de référence de la pièce à examiner, les rayons X tombent à l'oblique sur la surface d'imagerie, et soit la pièce à examiner, soit la source de rayons X et la caméra à rayons X sont mises en rotation autour de l'axe central de l'appareil sur un cercle tandis que la relation de configuration entre la source de rayons X, le mécanisme de retenue, et la caméra à rayons X est conservée. L'appareil d'examen aux rayons X comprend, en outre, un mécanisme de rotation de la surface d'imagerie pour mettre la surface d'imagerie en rotation autour de son centre (axe central de la surface d'imagerie) ou pour régler librement la surface d'imagerie selon un angle de capture souhaité auquel les données de projection sont acquises. Le mécanisme de rotation de la surface d'imagerie peut fonctionner tout en maintenant constamment la surface d'imagerie sous une orientation prédéterminée par rapport à son axe central.
PCT/JP2008/072886 2007-12-17 2008-12-16 Appareil d'examen aux rayons x et procédé WO2009078415A1 (fr)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009546271A JPWO2009078415A1 (ja) 2007-12-17 2008-12-16 X線検査装置および方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007-324831 2007-12-17
JP2007324831 2007-12-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2009078415A1 true WO2009078415A1 (fr) 2009-06-25

Family

ID=40795530

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2008/072886 WO2009078415A1 (fr) 2007-12-17 2008-12-16 Appareil d'examen aux rayons x et procédé

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPWO2009078415A1 (fr)
WO (1) WO2009078415A1 (fr)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2206465A1 (fr) * 2009-01-08 2010-07-14 Omron Co., Ltd. Procédé d'examen, appareil d'examen et programme d'examen
WO2011089658A1 (fr) * 2010-01-19 2011-07-28 株式会社サキコーポレーション Procédé de correction d'un appareil d'inspection utilisant un outil de correction et appareil d'inspection sur lequel est monté un outil de correction
CN102706909A (zh) * 2012-06-17 2012-10-03 无锡市优耐特石化装备有限公司 一种薄壁容器环缝周向检测装置
WO2013021413A1 (fr) * 2011-08-05 2013-02-14 株式会社島津製作所 Dispositif de radiographie
WO2013039032A1 (fr) * 2011-09-14 2013-03-21 オムロン株式会社 Dispositif de radiographie, procédé et programme de commande du dispositif de radiographie, et support d'informations pour sauvegarder le programme
WO2013105194A1 (fr) * 2012-01-12 2013-07-18 ヤマハ発動機株式会社 Dispositif d'inspection complexe pour carte de circuits imprimés
CN104024836A (zh) * 2011-12-22 2014-09-03 Sec株式会社 用于smt在线的自动x射线检查装置
JP2014190702A (ja) * 2013-03-26 2014-10-06 Nec Corp 検査装置、検査方法及び検査プログラム
KR101467478B1 (ko) * 2013-09-13 2014-12-01 (주)시스트 X선을 이용한 회로소자의 촬영장치 및 방법
KR20160006054A (ko) * 2014-07-08 2016-01-18 (주)자비스 기판의 밀집 검사 부위의 엑스레이 검사 방법
JP2016533481A (ja) * 2013-10-21 2016-10-27 エクスロン インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングYxlon International Gmbh X線検査システム及びそのようなx線検査システムを用いて試験対象物を回転する方法
GB2558605A (en) * 2017-01-09 2018-07-18 Caresoft Global Holdings Ltd Method
WO2019077950A1 (fr) * 2017-10-17 2019-04-25 日本装置開発株式会社 Dispositif d'inspection à rayons x
JP2020128890A (ja) * 2019-02-07 2020-08-27 リョーエイ株式会社 傾斜x線検査方法、傾斜x線検査装置及びその精度評価方法

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05503652A (ja) * 1990-08-30 1993-06-17 フォア ピーアイ システムズ コーポレイション 多軌道断層撮影システム
JPH05157708A (ja) * 1991-12-10 1993-06-25 Toshiba Corp ラミノグラフ
JPH08327563A (ja) * 1995-06-02 1996-12-13 Toshiba Corp ラミノグラフ
JPH10104174A (ja) * 1996-09-13 1998-04-24 Hewlett Packard Co <Hp> 電気接続検査装置
JP2000329710A (ja) * 1999-05-17 2000-11-30 Shimadzu Corp 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置
JP2002139315A (ja) * 2000-09-07 2002-05-17 Daimlerchrysler Ag 構造部分の非破壊壁厚検査方法
JP2002296204A (ja) * 2001-03-30 2002-10-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd X線検査装置及び方法
JP2003344316A (ja) * 2002-05-27 2003-12-03 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 傾斜三次元x線ct画像の再構成方法
JP2004515762A (ja) * 2000-12-06 2004-05-27 テラダイン・インコーポレーテッド 偏心断層合成
JP2004212200A (ja) * 2002-12-27 2004-07-29 Akira Teraoka X線検査装置、及び該x線検査装置の使用方法
JP2004333310A (ja) * 2003-05-08 2004-11-25 Hitachi Kokusai Electric Inc X線断層撮像装置
JP2005121633A (ja) * 2003-08-27 2005-05-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd X線検査装置及びx線検査方法

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05503652A (ja) * 1990-08-30 1993-06-17 フォア ピーアイ システムズ コーポレイション 多軌道断層撮影システム
JPH05157708A (ja) * 1991-12-10 1993-06-25 Toshiba Corp ラミノグラフ
JPH08327563A (ja) * 1995-06-02 1996-12-13 Toshiba Corp ラミノグラフ
JPH10104174A (ja) * 1996-09-13 1998-04-24 Hewlett Packard Co <Hp> 電気接続検査装置
JP2000329710A (ja) * 1999-05-17 2000-11-30 Shimadzu Corp 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置
JP2002139315A (ja) * 2000-09-07 2002-05-17 Daimlerchrysler Ag 構造部分の非破壊壁厚検査方法
JP2004515762A (ja) * 2000-12-06 2004-05-27 テラダイン・インコーポレーテッド 偏心断層合成
JP2002296204A (ja) * 2001-03-30 2002-10-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd X線検査装置及び方法
JP2003344316A (ja) * 2002-05-27 2003-12-03 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 傾斜三次元x線ct画像の再構成方法
JP2004212200A (ja) * 2002-12-27 2004-07-29 Akira Teraoka X線検査装置、及び該x線検査装置の使用方法
JP2004333310A (ja) * 2003-05-08 2004-11-25 Hitachi Kokusai Electric Inc X線断層撮像装置
JP2005121633A (ja) * 2003-08-27 2005-05-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd X線検査装置及びx線検査方法

Cited By (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8509512B2 (en) 2009-01-08 2013-08-13 Omron Corporation Examination method, examination apparatus and examination program
EP2206465A1 (fr) * 2009-01-08 2010-07-14 Omron Co., Ltd. Procédé d'examen, appareil d'examen et programme d'examen
WO2011089658A1 (fr) * 2010-01-19 2011-07-28 株式会社サキコーポレーション Procédé de correction d'un appareil d'inspection utilisant un outil de correction et appareil d'inspection sur lequel est monté un outil de correction
JPWO2013021413A1 (ja) * 2011-08-05 2015-03-05 株式会社島津製作所 放射線撮影装置
WO2013021413A1 (fr) * 2011-08-05 2013-02-14 株式会社島津製作所 Dispositif de radiographie
CN103733053A (zh) * 2011-08-05 2014-04-16 株式会社岛津制作所 射线摄影装置
WO2013039032A1 (fr) * 2011-09-14 2013-03-21 オムロン株式会社 Dispositif de radiographie, procédé et programme de commande du dispositif de radiographie, et support d'informations pour sauvegarder le programme
US20150003578A1 (en) * 2011-12-22 2015-01-01 Sec Co., Ltd. Automatic x-ray inspection apparatus for smt inline process
CN104024836A (zh) * 2011-12-22 2014-09-03 Sec株式会社 用于smt在线的自动x射线检查装置
EP2796862A4 (fr) * 2011-12-22 2015-08-12 Sec Co Ltd Appareil automatique d'examen aux rayons x pour procédé en ligne de montage en surface
US10330611B2 (en) * 2011-12-22 2019-06-25 Sec Co., Ltd. Automatic X-ray inspection apparatus for SMT inline process
JP2013142678A (ja) * 2012-01-12 2013-07-22 Yamaha Motor Co Ltd プリント基板の複合検査装置
CN104081193A (zh) * 2012-01-12 2014-10-01 雅马哈发动机株式会社 印刷基板的复合检查装置
WO2013105194A1 (fr) * 2012-01-12 2013-07-18 ヤマハ発動機株式会社 Dispositif d'inspection complexe pour carte de circuits imprimés
US9329139B2 (en) 2012-01-12 2016-05-03 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Complex inspection device for printed-substrate
KR101621255B1 (ko) * 2012-01-12 2016-05-16 야마하하쓰도키 가부시키가이샤 프린트 기판의 복합 검사 장치
CN102706909A (zh) * 2012-06-17 2012-10-03 无锡市优耐特石化装备有限公司 一种薄壁容器环缝周向检测装置
JP2014190702A (ja) * 2013-03-26 2014-10-06 Nec Corp 検査装置、検査方法及び検査プログラム
KR101467478B1 (ko) * 2013-09-13 2014-12-01 (주)시스트 X선을 이용한 회로소자의 촬영장치 및 방법
US10209204B2 (en) 2013-10-21 2019-02-19 Yxlon International Gmbh X-ray inspection system and method for rotating a test object by means of such an X-ray inspection system
JP2016533481A (ja) * 2013-10-21 2016-10-27 エクスロン インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングYxlon International Gmbh X線検査システム及びそのようなx線検査システムを用いて試験対象物を回転する方法
KR101654825B1 (ko) * 2014-07-08 2016-09-22 (주)자비스 기판의 밀집 검사 부위의 엑스레이 검사 방법
KR20160006054A (ko) * 2014-07-08 2016-01-18 (주)자비스 기판의 밀집 검사 부위의 엑스레이 검사 방법
GB2558605A (en) * 2017-01-09 2018-07-18 Caresoft Global Holdings Ltd Method
GB2558605B (en) * 2017-01-09 2021-11-10 Caresoft Global Holdings Ltd Methodology to extract 3D CAD from CT Scan Output
US11475627B2 (en) 2017-01-09 2022-10-18 Caresoft Global Holdings Limited Method of obtaining 3D model data of a plurality of components of an object
WO2019077950A1 (fr) * 2017-10-17 2019-04-25 日本装置開発株式会社 Dispositif d'inspection à rayons x
JP2019074415A (ja) * 2017-10-17 2019-05-16 日本装置開発株式会社 X線検査装置
JP2020128890A (ja) * 2019-02-07 2020-08-27 リョーエイ株式会社 傾斜x線検査方法、傾斜x線検査装置及びその精度評価方法
JP7224598B2 (ja) 2019-02-07 2023-02-20 リョーエイ株式会社 傾斜x線検査方法、傾斜x線検査装置及びその精度評価方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2009078415A1 (ja) 2011-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2009078415A1 (fr) Appareil d&#39;examen aux rayons x et procédé
KR102630155B1 (ko) 구강내 3d 엑스선 시스템용 롤링 요크 마운트
JP2005304782A5 (fr)
EP1992286A3 (fr) Appareil d&#39;imagerie à rayons X
JP2007296358A5 (fr)
JP2019088940A (ja) 医療画像診断のためのx線撮影装置
JP2021520259A (ja) フランクフルト平面を用いたx線医療用撮影装置のアラインメント
EP2466295A3 (fr) Procédé et appareil d&#39;inspection de laminographie
GB2556796A (en) Vein visualization device
JP2010502334A (ja) 医療用x線イメージング装置
JP2013515564A5 (fr)
JP2006255098A5 (fr)
JP2016209466A (ja) 内視鏡装置及び内視鏡装置の制御方法
KR101163523B1 (ko) 엑스선 필터부가 구비된 엑스선 촬영장치
KR101110696B1 (ko) 엑스선 촬영장치용 디텍터의 회전 지지장치
CN103284686B (zh) 一种手持式裂隙灯的照明系统
US9730667B2 (en) Control apparatus and tomography apparatus
CN102543243A (zh) 集成毛细管式平行x射线聚焦透镜
JP6661391B2 (ja) 放射線画像撮影装置
WO2012115371A3 (fr) Appareil d&#39;imagerie par tomographie aux rayons x
CN207703462U (zh) 可调节的光学镜头测试固定云台
JP2020513973A5 (fr)
JP2011064662A (ja) 透視用テーブル付ct装置
CN204484149U (zh) 一种用于x光机照射的定位装置
JP2013137287A (ja) 断層撮影装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08861886

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2009546271

Country of ref document: JP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 08861886

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1