JPH08328176A - 連続線形走査断層放射線写真システム - Google Patents
連続線形走査断層放射線写真システムInfo
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- JPH08328176A JPH08328176A JP8086706A JP8670696A JPH08328176A JP H08328176 A JPH08328176 A JP H08328176A JP 8086706 A JP8086706 A JP 8086706A JP 8670696 A JP8670696 A JP 8670696A JP H08328176 A JPH08328176 A JP H08328176A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低コスト、更に簡単に高速且つ高解像度を達
成することができる連続線形走査断層放射線写真システ
ムを提供すること。 【解決手段】 二つ以上の線形検出器（40、50、60、7
0）および一つ以上のコリメートＸ線源（10、20）を用
いる連続走査法により高速、高解像度のＸ線断層写真を
発生することができる改良された断層放射線写真システ
ムである。異なる視角の直接Ｘ線影像が各検出器（40、
50、60、70）により発生される。直接Ｘ線影像は次にコ
ンピュータ（100）により組み合わされて試験中の物体
（140）内の異なる平面の断層放射線写真影像を発生す
るか、または試験中の物体に関する有用なデータを得る
ような仕方で分析される。一実施例では、改良された走
査断層放射線写真システムはＸ線源（10、20）または検
出器（40、50、60、70）の運動を必要とせず、単に試験
中の物体（140）の協調線形運動だけを必要とする。走
査が連続であるため、また物体を再結像させずに試験中
の物体のどのデータ平面をも発生することができるた
め、従来の断層放射線写真システムより高速である。
成することができる連続線形走査断層放射線写真システ
ムを提供すること。 【解決手段】 二つ以上の線形検出器（40、50、60、7
0）および一つ以上のコリメートＸ線源（10、20）を用
いる連続走査法により高速、高解像度のＸ線断層写真を
発生することができる改良された断層放射線写真システ
ムである。異なる視角の直接Ｘ線影像が各検出器（40、
50、60、70）により発生される。直接Ｘ線影像は次にコ
ンピュータ（100）により組み合わされて試験中の物体
（140）内の異なる平面の断層放射線写真影像を発生す
るか、または試験中の物体に関する有用なデータを得る
ような仕方で分析される。一実施例では、改良された走
査断層放射線写真システムはＸ線源（10、20）または検
出器（40、50、60、70）の運動を必要とせず、単に試験
中の物体（140）の協調線形運動だけを必要とする。走
査が連続であるため、また物体を再結像させずに試験中
の物体のどのデータ平面をも発生することができるた
め、従来の断層放射線写真システムより高速である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はコンピュータ化断層
放射線写真に関するものであり、特に高速高解像度検査
に連続線形走査法を使用するシステムに関する。
放射線写真に関するものであり、特に高速高解像度検査
に連続線形走査法を使用するシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】断層放射線写真技術は物体内部の選択さ
れた平面の断面影像を作成するのに広く使用されてい
る。従来の断層放射線写真には断層放射線写真システム
を構成する三つの主要構成要素、すなわち、放射線源、
被検査検査、および検出器の何れか二つの協調運動が必
要である。二つの構成要素の協調運動を、これに限定す
るものではないが、線形、円形、楕円形、またはランダ
ムなパターンを含む多様なパターンのどれかで表すこと
ができる。協調運動のどのパターンを選択するかに関係
なく、放射線源、被検査物体、および検出器の構成は、
パターン運動のサイクル中、物体平面内のどの点も常に
影像平面内の同じ点に投影され、物体平面外の点はすべ
て影像平面内の複数の点に投影されるようになってい
る。このようにして、物体内部の所要平面の断面影像が
検出器上に形成される。物体内部の他の平面の影像は検
出器に対して移動して検出器上にぼけた背景を生じ、そ
の上に物体内部の所要焦点面の鮮鋭な断面影像が重な
る。どんなパターンの協調運動をも使用することができ
るが、容易であることから円形パターンが一般に好適で
ある。
れた平面の断面影像を作成するのに広く使用されてい
る。従来の断層放射線写真には断層放射線写真システム
を構成する三つの主要構成要素、すなわち、放射線源、
被検査検査、および検出器の何れか二つの協調運動が必
要である。二つの構成要素の協調運動を、これに限定す
るものではないが、線形、円形、楕円形、またはランダ
ムなパターンを含む多様なパターンのどれかで表すこと
ができる。協調運動のどのパターンを選択するかに関係
なく、放射線源、被検査物体、および検出器の構成は、
パターン運動のサイクル中、物体平面内のどの点も常に
影像平面内の同じ点に投影され、物体平面外の点はすべ
て影像平面内の複数の点に投影されるようになってい
る。このようにして、物体内部の所要平面の断面影像が
検出器上に形成される。物体内部の他の平面の影像は検
出器に対して移動して検出器上にぼけた背景を生じ、そ
の上に物体内部の所要焦点面の鮮鋭な断面影像が重な
る。どんなパターンの協調運動をも使用することができ
るが、容易であることから円形パターンが一般に好適で
ある。
【０００３】Baker 、他に対して発行された「AUTOMATE
D LAMINOGRAPHY SYSTEM FOR INSPECTION OF ELECTRONIC
S 」という名称の米国特許第4,926,452 号は、Ｘ線源お
よび検出器が協調円形パターンで移動している間物体が
静止したままである連続円形走査断層放射線写真システ
ムを記している。移動Ｘ線源は電子ビームを円形走査パ
ターンを成して陽極ターゲット上に偏向させる微小焦点
Ｘ線管から構成されている。生ずるＸ線源の運動は、静
止ビデオカメラで見て取り込み、物体の断面影像を形成
するようにＸ線透過写真を光の影像に変換する回転Ｘ線
検出器と同期している。コンピュータシステムは検査中
の物品を支持し、関係する連続区域を視野まで移動させ
る自動位置決めシステムを制御する。高い影像品質を維
持するために、コンピュータシステムは電子ビームの偏
向および回転光学系の同期を制御し、システム機構の不
正確さについて調節する。
D LAMINOGRAPHY SYSTEM FOR INSPECTION OF ELECTRONIC
S 」という名称の米国特許第4,926,452 号は、Ｘ線源お
よび検出器が協調円形パターンで移動している間物体が
静止したままである連続円形走査断層放射線写真システ
ムを記している。移動Ｘ線源は電子ビームを円形走査パ
ターンを成して陽極ターゲット上に偏向させる微小焦点
Ｘ線管から構成されている。生ずるＸ線源の運動は、静
止ビデオカメラで見て取り込み、物体の断面影像を形成
するようにＸ線透過写真を光の影像に変換する回転Ｘ線
検出器と同期している。コンピュータシステムは検査中
の物品を支持し、関係する連続区域を視野まで移動させ
る自動位置決めシステムを制御する。高い影像品質を維
持するために、コンピュータシステムは電子ビームの偏
向および回転光学系の同期を制御し、システム機構の不
正確さについて調節する。
【０００４】断層放射線写真断面影像は断層放射線写真
システムを構成する三つの主要構成要素、すなわち、
源、物体、および検出器、の内の二つの協調位置決めで
形成された二つ以上の個別影像を組み合わせることによ
りコンピュータのデータ記憶装置の内部に形成すること
もできる。影像は一つの影像の物体焦点面内の点がすべ
て常に、同じ物体の異なる角度から見た図を構成する他
の影像の物体焦点面内の同じ点と組み合わされるように
コンピュータの記憶装置の内部で組み合わされる。個々
の図が円形経路を描く検出器で取り込まれれば、個別影
像から形成された組合せ影像は、個々の影像数が非常に
大きいとき、（上に説明した米国特許第4,926,452 号に
記されているように）連続円形走査影像の外観に近づ
く。多数の個別影像の画素組合せを数学的に移動させる
と物体焦点面の位置の変化を生ずる。したがって、物体
の断面影像を発生するこの方法は、一組の影像から異な
る焦点面の断層放射線写真断面影像を形成することがで
きるという点で、移動してぼかす方法より有利である。
この手法は合成断層放射線写真、すなわちコンピュータ
化合成断面影像法と呼ばれている。
システムを構成する三つの主要構成要素、すなわち、
源、物体、および検出器、の内の二つの協調位置決めで
形成された二つ以上の個別影像を組み合わせることによ
りコンピュータのデータ記憶装置の内部に形成すること
もできる。影像は一つの影像の物体焦点面内の点がすべ
て常に、同じ物体の異なる角度から見た図を構成する他
の影像の物体焦点面内の同じ点と組み合わされるように
コンピュータの記憶装置の内部で組み合わされる。個々
の図が円形経路を描く検出器で取り込まれれば、個別影
像から形成された組合せ影像は、個々の影像数が非常に
大きいとき、（上に説明した米国特許第4,926,452 号に
記されているように）連続円形走査影像の外観に近づ
く。多数の個別影像の画素組合せを数学的に移動させる
と物体焦点面の位置の変化を生ずる。したがって、物体
の断面影像を発生するこの方法は、一組の影像から異な
る焦点面の断層放射線写真断面影像を形成することがで
きるという点で、移動してぼかす方法より有利である。
この手法は合成断層放射線写真、すなわちコンピュータ
化合成断面影像法と呼ばれている。
【０００５】上述の断層放射線写真技術は現在医学的お
よび工業的Ｘ線映像法を含む広い範囲の用途に使用され
ている。断層放射線写真は各層に区別し得る特徴がある
幾つかの層から成る物体を検査するのに特に良く適して
いる。しかし、このような断面影像を作る、従前の幾つ
かの断層放射線写真システムは典型的に解像度および／
または検査の速さに関して欠点があり、したがって、そ
れが稀にしか実施されない原因となっている。これらの
欠点は、しばしば放射線源および検出器の高速協調運動
を高解像断面影像を生成するために十分な精度の程度に
達成することが困難であるという理由による。
よび工業的Ｘ線映像法を含む広い範囲の用途に使用され
ている。断層放射線写真は各層に区別し得る特徴がある
幾つかの層から成る物体を検査するのに特に良く適して
いる。しかし、このような断面影像を作る、従前の幾つ
かの断層放射線写真システムは典型的に解像度および／
または検査の速さに関して欠点があり、したがって、そ
れが稀にしか実施されない原因となっている。これらの
欠点は、しばしば放射線源および検出器の高速協調運動
を高解像断面影像を生成するために十分な精度の程度に
達成することが困難であるという理由による。
【０００６】固定物体を観、被検査物体より視野が小さ
い断層放射線写真システムでは、物体を視野の中で動き
回らせて、ともに繋ぎあわせたとき物体全体の影像を形
成する多数の断層放射線写真を発生させることが必要な
ことがある。これはしばしば物体を、Ｘ、Ｙ、Ｚ位置決
めテーブルのような、機械的ハンドリングシステムで支
持して行なわれる。このときテーブルを動かして物体の
所要位置を視野にもってくる。ＸおよびＹ方向の移動は
検査すべき区域を位置決めし、一方、Ｚ方向の移動は物
体を上下に動かして断面影像を取り込むべき物体内部の
平面を選択する。この方法は物体の各種区域および平面
を効果的に見ることができるようにするが、このような
機械的運動の速度および精度に関連する固有の限界が存
在する。このような制約によりサイクル時間が実際に増
大し、それにより検査を行なうことができる速さが減少
する。更に、これら機械的運動はシステムの解像度およ
び精度を減らす傾向のある振動を発生する。
い断層放射線写真システムでは、物体を視野の中で動き
回らせて、ともに繋ぎあわせたとき物体全体の影像を形
成する多数の断層放射線写真を発生させることが必要な
ことがある。これはしばしば物体を、Ｘ、Ｙ、Ｚ位置決
めテーブルのような、機械的ハンドリングシステムで支
持して行なわれる。このときテーブルを動かして物体の
所要位置を視野にもってくる。ＸおよびＹ方向の移動は
検査すべき区域を位置決めし、一方、Ｚ方向の移動は物
体を上下に動かして断面影像を取り込むべき物体内部の
平面を選択する。この方法は物体の各種区域および平面
を効果的に見ることができるようにするが、このような
機械的運動の速度および精度に関連する固有の限界が存
在する。このような制約によりサイクル時間が実際に増
大し、それにより検査を行なうことができる速さが減少
する。更に、これら機械的運動はシステムの解像度およ
び精度を減らす傾向のある振動を発生する。
【０００７】Baker 、他に対して発行された「LAMINOGR
APHY SYSTEM AND METHOD WITH ELECTROMAGNETICALLY DI
RECTED MULTIPATH RADIATION SOURCE 」という名称の米
国特許第5,259,012号は物体内部の多数の位置を物体を
機械的に移動させずに結像することができるシステムを
記している。物体を回転Ｘ線源と同期回転検出器との間
に置く。物体内部の焦点面を検出器上に結像させ、物体
の断面影像を作成するようにする。電子ビームをターゲ
ット陽極上に偏向させることによりＸ線源を作る。ター
ゲット陽極は電子をターゲットに入射させるＸ線放射線
を放射する。電子ビームは電子ビームをＸおよびＹ方向
に偏向させるＸおよびＹ偏向コイルを備えた電子銃によ
り発生される。偏向電圧信号はＸおよびＹ偏向コイルに
加えられ、Ｘ線源を円形軌跡経路を成して回転させる。
ＸまたはＹ偏向コイルに加えられる別のＤＣ電圧はＸ線
源が辿る円形経路をＸまたはＹ方向にＤＣ電圧の大きさ
に比例する距離だけ移動させる。これにより先に結像し
た領域からＸまたはＹ方向に変位している異なる視野を
生じる。Ｘ線源経路の半径の変化は結像した焦点面のＺ
レベルの変化を生ずる。このシステムは、高解像および
高速断面像を生成する初期のシステムの多くの問題を解
決する。このシステムは、源および検出器の回転に対し
て軸が外れた断面影像を電子的に発生して機械運動の主
要源を排除することにより視野より大きい物体の検査を
許容する点で米国特許第4,926,452号に記されているも
のより改善されている。他に、焦点面の選択は円形走査
の半径の大きさを電子的に決めることにより行い、米国
特許第4,926,452号に記されているシステムから機械的
Ｚ運動を排除している。米国特許第5,259,012号に記さ
れている断面影像を発生する方法は、機械的運動を待つ
必要がないので、米国特許第4,926,452号に記されてい
るシステムの２倍ほどの速さで理論的に実行することが
できる。このシステムには源のパワーおよびスポットの
大きさの制限に関して米国特許第4,926,452号に記され
ているシステムと同じ制限がある。したがって、電子回
路および校正努力にかなりな複雑さが加わるが、全体の
検査速さは２または３倍の改善に過ぎない。米国特許第
5,259,012号に記されているシステムは検査中の物体を
位置決めするのにＸ、Ｙ、またはＺテーブルを必要とし
ないが、システムを稼働するために非常に複雑且つ大き
いＸ線管を必要とする。Ｘ線管の直径は断面結像で被検
査物体の最大水平寸法よりかなり大きくしなければなら
ない。そうしなければ、物体全体を検査するのに、物
体、または検出器およびＸ線管をＸ方向にまたはＹ方向
に移動させなければならない。このシステムの他の短所
は回転検出器結像システムが毎分600回転（ＲＰＭ）以
上で機械アセンブリを回転させることに頼っていること
である。
APHY SYSTEM AND METHOD WITH ELECTROMAGNETICALLY DI
RECTED MULTIPATH RADIATION SOURCE 」という名称の米
国特許第5,259,012号は物体内部の多数の位置を物体を
機械的に移動させずに結像することができるシステムを
記している。物体を回転Ｘ線源と同期回転検出器との間
に置く。物体内部の焦点面を検出器上に結像させ、物体
の断面影像を作成するようにする。電子ビームをターゲ
ット陽極上に偏向させることによりＸ線源を作る。ター
ゲット陽極は電子をターゲットに入射させるＸ線放射線
を放射する。電子ビームは電子ビームをＸおよびＹ方向
に偏向させるＸおよびＹ偏向コイルを備えた電子銃によ
り発生される。偏向電圧信号はＸおよびＹ偏向コイルに
加えられ、Ｘ線源を円形軌跡経路を成して回転させる。
ＸまたはＹ偏向コイルに加えられる別のＤＣ電圧はＸ線
源が辿る円形経路をＸまたはＹ方向にＤＣ電圧の大きさ
に比例する距離だけ移動させる。これにより先に結像し
た領域からＸまたはＹ方向に変位している異なる視野を
生じる。Ｘ線源経路の半径の変化は結像した焦点面のＺ
レベルの変化を生ずる。このシステムは、高解像および
高速断面像を生成する初期のシステムの多くの問題を解
決する。このシステムは、源および検出器の回転に対し
て軸が外れた断面影像を電子的に発生して機械運動の主
要源を排除することにより視野より大きい物体の検査を
許容する点で米国特許第4,926,452号に記されているも
のより改善されている。他に、焦点面の選択は円形走査
の半径の大きさを電子的に決めることにより行い、米国
特許第4,926,452号に記されているシステムから機械的
Ｚ運動を排除している。米国特許第5,259,012号に記さ
れている断面影像を発生する方法は、機械的運動を待つ
必要がないので、米国特許第4,926,452号に記されてい
るシステムの２倍ほどの速さで理論的に実行することが
できる。このシステムには源のパワーおよびスポットの
大きさの制限に関して米国特許第4,926,452号に記され
ているシステムと同じ制限がある。したがって、電子回
路および校正努力にかなりな複雑さが加わるが、全体の
検査速さは２または３倍の改善に過ぎない。米国特許第
5,259,012号に記されているシステムは検査中の物体を
位置決めするのにＸ、Ｙ、またはＺテーブルを必要とし
ないが、システムを稼働するために非常に複雑且つ大き
いＸ線管を必要とする。Ｘ線管の直径は断面結像で被検
査物体の最大水平寸法よりかなり大きくしなければなら
ない。そうしなければ、物体全体を検査するのに、物
体、または検出器およびＸ線管をＸ方向にまたはＹ方向
に移動させなければならない。このシステムの他の短所
は回転検出器結像システムが毎分600回転（ＲＰＭ）以
上で機械アセンブリを回転させることに頼っていること
である。
【０００８】Peugeotに対して発行された「MICROFOCUS
X-RAY SYSTEM」という名称の米国特許第5,020,086号
は、ビームコントローラからの適当な制御信号により円
形走査され、微小焦点Ｘ線管の偏向コイルに印加される
電子ビームから生じる、ターゲット上の円形位置からの
Ｘ線ビームにより物体が走査される、断層写真合成のシ
ステムを開示している。断層写真合成は異なる場所から
放射されるＸ線ビームにより生成される一連のディジタ
ルＸ線影像のレジスタ内混合の周知の方法により行なわ
れる。これはＸ線源を中心軸の周りの円上の多数の点に
設置することにより行なわれる。このシステムは、検出
器が回転する必要がないという点で米国特許第4,926,45
2号に記されているシステムが必要とする幾つかの機械
運動を排除している。しかし、画素の大きさおよび解像
度の実用的限界はPeugeotのシステムを視野の小さい物
品の検査に制限している。他に、このシステムは視野の
もとにある物体を位置決めするのにＸ、Ｙテーブルをや
はり必要としている。このシステムの市販用原型は米国
特許第5,259,012号に記されているシステムよりそれほ
ど速くないが、製造コストはわずかに低かった。
X-RAY SYSTEM」という名称の米国特許第5,020,086号
は、ビームコントローラからの適当な制御信号により円
形走査され、微小焦点Ｘ線管の偏向コイルに印加される
電子ビームから生じる、ターゲット上の円形位置からの
Ｘ線ビームにより物体が走査される、断層写真合成のシ
ステムを開示している。断層写真合成は異なる場所から
放射されるＸ線ビームにより生成される一連のディジタ
ルＸ線影像のレジスタ内混合の周知の方法により行なわ
れる。これはＸ線源を中心軸の周りの円上の多数の点に
設置することにより行なわれる。このシステムは、検出
器が回転する必要がないという点で米国特許第4,926,45
2号に記されているシステムが必要とする幾つかの機械
運動を排除している。しかし、画素の大きさおよび解像
度の実用的限界はPeugeotのシステムを視野の小さい物
品の検査に制限している。他に、このシステムは視野の
もとにある物体を位置決めするのにＸ、Ｙテーブルをや
はり必要としている。このシステムの市販用原型は米国
特許第5,259,012号に記されているシステムよりそれほ
ど速くないが、製造コストはわずかに低かった。
【０００９】米国特許第4,926,452号に記されているシ
ステムには良く受け入れられている商業上の成功が幾つ
かあり、米国特許第5,020,086号に記されているシステ
ムおよび米国特許第5,259,012号に記されているシステ
ムの両者には商業上の興味が幾つかあるが、業界は更に
高い検査速度で運動する一方既存の工業用断面検査シス
テムよりコストの低い断面検査システムをなお望んでい
る。新しい断面結像システムが低コストおよび高性能と
いう要求に応えることができれば、商業応用および用法
が現在の技術を越えて急速に成長し、回路板検査に関す
る電子産業への利益が一層大きく増大するであろう。
ステムには良く受け入れられている商業上の成功が幾つ
かあり、米国特許第5,020,086号に記されているシステ
ムおよび米国特許第5,259,012号に記されているシステ
ムの両者には商業上の興味が幾つかあるが、業界は更に
高い検査速度で運動する一方既存の工業用断面検査シス
テムよりコストの低い断面検査システムをなお望んでい
る。新しい断面結像システムが低コストおよび高性能と
いう要求に応えることができれば、商業応用および用法
が現在の技術を越えて急速に成長し、回路板検査に関す
る電子産業への利益が一層大きく増大するであろう。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
幾つかの目的および長所は、電気接続の検査を行なう、
以前のシステムより改善された、低コスト、更に簡単な
方法で、高速且つ高解像度を達成することができる連続
線形走査断層放射線写真システムを提供することであ
る。
幾つかの目的および長所は、電気接続の検査を行なう、
以前のシステムより改善された、低コスト、更に簡単な
方法で、高速且つ高解像度を達成することができる連続
線形走査断層放射線写真システムを提供することであ
る。
【００１１】本発明の一つの目的は、米国特許第5,020,
086号および第5,259,012号に使用されている高価で複雑
な走査ビーム式Ｘ線管を排除し、標準の低価格のＸ線シ
ステムで走査ビームＸ線管を置き換えることである。
086号および第5,259,012号に使用されている高価で複雑
な走査ビーム式Ｘ線管を排除し、標準の低価格のＸ線シ
ステムで走査ビームＸ線管を置き換えることである。
【００１２】本発明の他の目的は、低価格、単軸、高信
頼性の、連続運動システムを用いて高価なＸ、Ｙ位置決
めテーブル（米国特許第5,020,086号）またはＸ、Ｙ、
Ｚテーブル（米国特許第5,259,012号）を排除すること
である。
頼性の、連続運動システムを用いて高価なＸ、Ｙ位置決
めテーブル（米国特許第5,020,086号）またはＸ、Ｙ、
Ｚテーブル（米国特許第5,259,012号）を排除すること
である。
【００１３】本発明の他の目的は、米国特許第5,259,01
2号のシステムに使用されている直径の大きい、高価
で、非常に複雑なＸ線管およびシステムを標準の低価格
Ｘ線システムで置き換えることである。
2号のシステムに使用されている直径の大きい、高価
で、非常に複雑なＸ線管およびシステムを標準の低価格
Ｘ線システムで置き換えることである。
【００１４】本発明の他の目的は、米国特許第4,926,45
2号および第5,259,012号に記されている複雑な回転検出
器システムおよび米国特許第5,020,086号に開示されて
いる直径の大きい高価な真空管検出器を従来の、高信頼
性の、固体の、大量生産される、低価格、高性能の直線
走査式検出器で置き換えることである。
2号および第5,259,012号に記されている複雑な回転検出
器システムおよび米国特許第5,020,086号に開示されて
いる直径の大きい高価な真空管検出器を従来の、高信頼
性の、固体の、大量生産される、低価格、高性能の直線
走査式検出器で置き換えることである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は高速高性能検査
のために連続走査法を使用する非常に改善されたコンピ
ュータ化断層放射線写真装置から構成されている。装置
は検出器の移動、Ｘ線管、Ｘ線のスポット、またはＸ線
のビームを必要としない。必要な運動は結像される物体
の滑らかな直線運動だけである。本発明は回路板上の電
気接続を検査する従来の断層放射線写真システムより高
速である。
のために連続走査法を使用する非常に改善されたコンピ
ュータ化断層放射線写真装置から構成されている。装置
は検出器の移動、Ｘ線管、Ｘ線のスポット、またはＸ線
のビームを必要としない。必要な運動は結像される物体
の滑らかな直線運動だけである。本発明は回路板上の電
気接続を検査する従来の断層放射線写真システムより高
速である。
【００１６】回路板は毎秒約0.3インチの割合の一様な
速度でＸ線断層写真スキャナに送られる。回路板は互い
に約0.7インチ離れている。一様な直線運動を行なう機
構は回路板をそれらの二つの対向する平行側面で支持す
る移動チェーンベルトである。
速度でＸ線断層写真スキャナに送られる。回路板は互い
に約0.7インチ離れている。一様な直線運動を行なう機
構は回路板をそれらの二つの対向する平行側面で支持す
る移動チェーンベルトである。
【００１７】検出器システムは回路板に対して傾いて対
称に設置された最低二つの線形スキャナ検出器（好適に
は四つの線形スキャナ検出器）を備えている。線形スキ
ャナ検出器は試験中の板の底に非常に近接して取付けら
れている。各線形スキャナ検出器には検出器表面にＸ線
に感応な発光体の薄い堆積物があり、約16lp/mmの解像
度を達成している。その他、各線形スキャナ検出器には
パーソナルコンピュータ（ＰＣ）に直接接続するディジ
タル化用電子回路により 8から16ビットのデータ流れを
発生する電子回路が構成されている。
称に設置された最低二つの線形スキャナ検出器（好適に
は四つの線形スキャナ検出器）を備えている。線形スキ
ャナ検出器は試験中の板の底に非常に近接して取付けら
れている。各線形スキャナ検出器には検出器表面にＸ線
に感応な発光体の薄い堆積物があり、約16lp/mmの解像
度を達成している。その他、各線形スキャナ検出器には
パーソナルコンピュータ（ＰＣ）に直接接続するディジ
タル化用電子回路により 8から16ビットのデータ流れを
発生する電子回路が構成されている。
【００１８】Ｘ線源は各Ｘ線管が二つのＸ線の扇形ビー
ムを発するようにコリメートされた少なくとも一つ（好
適には二つ）のＸ線源を備えている。Ｘ線源は好適な断
層放射線写真角度を作るように且つ回路板および線形ス
キャナ検出器から好適な距離に回路板に関して取付けら
れ、それらのスポットサイズおよび検出器に対する回路
板の分離および利用できるＸ線パワーがすべて協同して
適切な光レベルの検出器に高解像度の影像を作るように
している。好適な源は125キロボルト（ＫＶ）で陽極電
流が約0.1ミリアンペア（ｍＡ）から1.0ミリアンペアの
範囲で動作することができる標準Ｘ線管である。二つの
管を使用する場合には、両方の管に単独の高電圧（Ｈ
Ｖ）電源から電力を供給することができる。Ｘ線管の好
適な焦点スポットサイズの直径は約100ミクロンから100
0ミクロンの範囲にある。
ムを発するようにコリメートされた少なくとも一つ（好
適には二つ）のＸ線源を備えている。Ｘ線源は好適な断
層放射線写真角度を作るように且つ回路板および線形ス
キャナ検出器から好適な距離に回路板に関して取付けら
れ、それらのスポットサイズおよび検出器に対する回路
板の分離および利用できるＸ線パワーがすべて協同して
適切な光レベルの検出器に高解像度の影像を作るように
している。好適な源は125キロボルト（ＫＶ）で陽極電
流が約0.1ミリアンペア（ｍＡ）から1.0ミリアンペアの
範囲で動作することができる標準Ｘ線管である。二つの
管を使用する場合には、両方の管に単独の高電圧（Ｈ
Ｖ）電源から電力を供給することができる。Ｘ線管の好
適な焦点スポットサイズの直径は約100ミクロンから100
0ミクロンの範囲にある。
【００１９】各線形スキャナ検出器からのデータは、コ
ンピュータ記憶装置内で、8.5″×12″回路板の完全な
Ｘ線画像を発生するのに使用される。４検出器システム
では、最小記憶所要量は約260メガバイトである。一方
の回路板を第２の回路板の他の影像を得ている間に分析
するシステムについては別に260メガバイトの記憶装置
が必要である。したがって、四つの線形スキャナ検出器
を備え、前に得た四つの影像から成る組合せが分析され
ている間に四つの影像から成る一組を得るシステムには
全部で520メガバイトの記憶装置が必要である。コンピ
ュータ記憶装置を、影像収集用検出器に切り替え、次に
分析用スライス影像を発生する観察分析コンピュータに
切り替えることができるように設計するのが好適である
が、これは絶対必要なことではない。
ンピュータ記憶装置内で、8.5″×12″回路板の完全な
Ｘ線画像を発生するのに使用される。４検出器システム
では、最小記憶所要量は約260メガバイトである。一方
の回路板を第２の回路板の他の影像を得ている間に分析
するシステムについては別に260メガバイトの記憶装置
が必要である。したがって、四つの線形スキャナ検出器
を備え、前に得た四つの影像から成る組合せが分析され
ている間に四つの影像から成る一組を得るシステムには
全部で520メガバイトの記憶装置が必要である。コンピ
ュータ記憶装置を、影像収集用検出器に切り替え、次に
分析用スライス影像を発生する観察分析コンピュータに
切り替えることができるように設計するのが好適である
が、これは絶対必要なことではない。
【００２０】断層放射線写真のスライスは四つの別々の
影像をＸおよびＹの画素位置を移動して物体内の特定の
焦点面に対応させて組み合わせることにより発生され
る。このプロセスにより四つの影像から成る一つの組合
わせからどんな数の焦点面をも発生することができる。
影像をＸおよびＹの画素位置を移動して物体内の特定の
焦点面に対応させて組み合わせることにより発生され
る。このプロセスにより四つの影像から成る一つの組合
わせからどんな数の焦点面をも発生することができる。
【００２１】こうしてから断層放射線写真影像を従来手
法で分析し、回路板上の電気接続の質に関するデータを
得る。
法で分析し、回路板上の電気接続の質に関するデータを
得る。
【００２２】第１の実施例において、本発明は下記から
構成される結像システムである。第１のＸ線源、第１の
Ｘ線源により第１の角度で放射されたＸ線を遮るように
設置された第１の線形Ｘ線検出器、第１のＸ線源により
第２の角度で放射されたＸ線を遮るように設置された第
２の線形Ｘ線検出器、第１のＸ線源と第１および第２の
線形線検出器との間に設置され、更に試験中の物体の支
持体を備え、試験中の物体を、第１の角度および第２の
角度で放射され、試験中の物体を通過してからそれぞれ
第１の線形Ｘ線検出器および第２の線形Ｘ線検出器によ
り検出されるＸ線を通して輸送し、それにより試験中の
物体の第１の放射線透過写真および第２の放射線透過写
真を形成する線形運動システム、および線形運動システ
ム、第１の線形Ｘ線検出器および第２の線形Ｘ線検出器
に接続され、線形運動システムおよび第１および第２の
放射線透過写真影像の形成を調整して試験中の物体の切
断面の放射線透過写真断面影像を作成する制御システ
ム。この実施例は更に第１のコリメータが第１のＸ線源
により放射されたＸ線を第１の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
るように第１のＸ線源に対して設置されている第１のコ
リメータを備えることができる。他に、この結像システ
ムは更に第２のコリメータが第１のＸ線源により放射さ
れたＸ線を第２の線形Ｘ線検出器の方に導き、他の方向
に進行するＸ線を阻止するように構成されるように第１
のＸ線源に対して設置されている第２のコリメータを備
えることができる。或る構成では、結像システムは更に
第１のＸ線源に対して横方向に設置された第２のＸ線
源、第２のＸ線源により第３の角度で放射されたＸ線を
遮るように設置された第３の線形Ｘ線検出器、および第
２のＸ線源により第４の角度で放射されたＸ線を遮るよ
うに設置された第４の線形Ｘ線検出器、を備えている。
或る構成では、結像システムは更に第３のコリメータが
第２のＸ線源により放射されたＸ線を第３の線形Ｘ線検
出器の方に導き、他の方向に進行するＸ線を阻止するよ
うに構成されるように第２のＸ線源に対して設置されて
いる第３のコリメータを備えている。同様に、第４のコ
リメータが第２のＸ線源により放射されたＸ線を第４の
線形Ｘ線検出器の方に導き、他の方向に進行するＸ線を
阻止するように構成されるように第４のコリメータを第
２のＸ線源に対して設置することができる。第１、第
２、第３、および第４の線形Ｘ線検出器は更にモノリシ
ック自己走査線形ホトダイオード配列を備えることがで
きる。他に、Ｘ線シンチレーション材料を第１、第２、
第３、および第４の線形ホトダイオード配列Ｘ線検出器
上に堆積することができる。Ｘ線シンチレーション材料
を更に酸化硫化ガドリニウムから構成することができ
る。或る構成の線形運動システムはコンベアベルトを備
えている。
構成される結像システムである。第１のＸ線源、第１の
Ｘ線源により第１の角度で放射されたＸ線を遮るように
設置された第１の線形Ｘ線検出器、第１のＸ線源により
第２の角度で放射されたＸ線を遮るように設置された第
２の線形Ｘ線検出器、第１のＸ線源と第１および第２の
線形線検出器との間に設置され、更に試験中の物体の支
持体を備え、試験中の物体を、第１の角度および第２の
角度で放射され、試験中の物体を通過してからそれぞれ
第１の線形Ｘ線検出器および第２の線形Ｘ線検出器によ
り検出されるＸ線を通して輸送し、それにより試験中の
物体の第１の放射線透過写真および第２の放射線透過写
真を形成する線形運動システム、および線形運動システ
ム、第１の線形Ｘ線検出器および第２の線形Ｘ線検出器
に接続され、線形運動システムおよび第１および第２の
放射線透過写真影像の形成を調整して試験中の物体の切
断面の放射線透過写真断面影像を作成する制御システ
ム。この実施例は更に第１のコリメータが第１のＸ線源
により放射されたＸ線を第１の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
るように第１のＸ線源に対して設置されている第１のコ
リメータを備えることができる。他に、この結像システ
ムは更に第２のコリメータが第１のＸ線源により放射さ
れたＸ線を第２の線形Ｘ線検出器の方に導き、他の方向
に進行するＸ線を阻止するように構成されるように第１
のＸ線源に対して設置されている第２のコリメータを備
えることができる。或る構成では、結像システムは更に
第１のＸ線源に対して横方向に設置された第２のＸ線
源、第２のＸ線源により第３の角度で放射されたＸ線を
遮るように設置された第３の線形Ｘ線検出器、および第
２のＸ線源により第４の角度で放射されたＸ線を遮るよ
うに設置された第４の線形Ｘ線検出器、を備えている。
或る構成では、結像システムは更に第３のコリメータが
第２のＸ線源により放射されたＸ線を第３の線形Ｘ線検
出器の方に導き、他の方向に進行するＸ線を阻止するよ
うに構成されるように第２のＸ線源に対して設置されて
いる第３のコリメータを備えている。同様に、第４のコ
リメータが第２のＸ線源により放射されたＸ線を第４の
線形Ｘ線検出器の方に導き、他の方向に進行するＸ線を
阻止するように構成されるように第４のコリメータを第
２のＸ線源に対して設置することができる。第１、第
２、第３、および第４の線形Ｘ線検出器は更にモノリシ
ック自己走査線形ホトダイオード配列を備えることがで
きる。他に、Ｘ線シンチレーション材料を第１、第２、
第３、および第４の線形ホトダイオード配列Ｘ線検出器
上に堆積することができる。Ｘ線シンチレーション材料
を更に酸化硫化ガドリニウムから構成することができ
る。或る構成の線形運動システムはコンベアベルトを備
えている。
【００２３】第２の実施例において、本発明は物体内部
の切断平面の断面影像を作成する装置であって、下記か
ら構成されている。試験中の物体を支持し、実質的に直
線状の経路に沿って輸送するようになっている線形運動
システム、Ｘ線を発生する第１のＸ線源であって、線形
運動システムに隣接して設置され、第１のＸ線源により
発生されたＸ線が物体の第１の表面を打ち、線形輸送シ
ステムが物体を直線経路に沿って移動させるにつれて物
体を走査するようになっている第１のＸ線源、実質上線
形に隣接して設置された複数のＸ線検出器素子から構成
され、物体の第１の表面とは反対の第２の表面に隣接し
て設置され、それにより第１の表面を通って物体に入
り、第２の表面を通って物体を出るＸ線を遮って検出す
る、第１のＸ線源に対して第１の角度で設置されている
第１のＸ線検出器素子、複数のＸ線検出器素子により作
成された信号の定期的読取りおよび格納を制御するクロ
ックを備えている第１の線形Ｘ線検出器読出制御システ
ム、第１の線形Ｘ線検出器から所定距離離れて設置さ
れ、実質上線形に隣接して設置された複数のＸ線検出器
素子を備え、実質上物体の第１の表面とは反対の第２の
表面に隣接して設置され、それにより第１の表面を通っ
て物体に入り、第２の表面を通って物体を出るＸ線を遮
って検出する、第１のＸ線源に対して第２の角度で設置
されている第２の線形Ｘ線検出器、複数のＸ線検出器素
子により作成された信号の定期的読取りおよび格納を制
御するクロックを備えている第２の線形Ｘ線検出器読出
制御システム、第１の線形Ｘ線検出器が物体の第１のＸ
線透過写真影像を作成し、第２の線形Ｘ線検出器が物体
の第２のＸ線透過写真影像を作成するように線形運動シ
ステムおよび第１および第２の線形Ｘ線検出器読出制御
システムの運動を制御し調整する制御システム、および
物体の第１および第２のＸ線透過写真影像を受け取り、
物体の第１および第２のＸ線透過写真影像を組み合わせ
て物体の切断平面の断面影像を形成する影像分析システ
ム。或る構成では、装置は更に第１のコリメータが第１
のＸ線源により放射されたＸ線を第１の線形Ｘ線検出器
の方に導き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように
構成されるように第１のＸ線源に対して設置された第１
のコリメータを備えている。同様に、第２のコリメータ
が第１のＸ線源により放射されたＸ線を第２の線形Ｘ線
検出器の方に導き、他の方向に進行するＸ線を阻止する
ように構成されるように第２のコリメータを第１のＸ線
源に対して設置することができる。或る構成では、この
装置は更に、第１のＸ線源に対して横方向に設置された
第２のＸ線源、第２のＸ線源により第３の角度で放射さ
れたＸ線を遮るように設置された第３の線形Ｘ線検出
器、および第２のＸ線源により第４の角度で放射された
Ｘ線を遮るように設置された第４の線形Ｘ線検出器、を
備えている。同様に、第３のコリメータが第２のＸ線源
により放射されたＸ線を第３の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
るように第３のコリメータを第２のＸ線源に対して設置
することができる。第４のコリメータが第２のＸ線源に
より放射されたＸ線を第４の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
るように第４のコリメータを第２のＸ線源に対して設置
することができる。或る構成では、第１、第２、第３、
および第４の線形Ｘ線検出器は更にモノリシック自己走
査線形ホトダイオード配列を備えることができる。Ｘ線
シンチレーション材料を第１、第２、第３、および第４
の線形ホトダイオード配列Ｘ線検出器上に堆積すること
ができる。或る実施例では、Ｘ線シンチレーション材料
を更に酸化硫化ガドリニウムから構成することができ
る。線形運動システムはコンベアベルトを備えることが
できる。
の切断平面の断面影像を作成する装置であって、下記か
ら構成されている。試験中の物体を支持し、実質的に直
線状の経路に沿って輸送するようになっている線形運動
システム、Ｘ線を発生する第１のＸ線源であって、線形
運動システムに隣接して設置され、第１のＸ線源により
発生されたＸ線が物体の第１の表面を打ち、線形輸送シ
ステムが物体を直線経路に沿って移動させるにつれて物
体を走査するようになっている第１のＸ線源、実質上線
形に隣接して設置された複数のＸ線検出器素子から構成
され、物体の第１の表面とは反対の第２の表面に隣接し
て設置され、それにより第１の表面を通って物体に入
り、第２の表面を通って物体を出るＸ線を遮って検出す
る、第１のＸ線源に対して第１の角度で設置されている
第１のＸ線検出器素子、複数のＸ線検出器素子により作
成された信号の定期的読取りおよび格納を制御するクロ
ックを備えている第１の線形Ｘ線検出器読出制御システ
ム、第１の線形Ｘ線検出器から所定距離離れて設置さ
れ、実質上線形に隣接して設置された複数のＸ線検出器
素子を備え、実質上物体の第１の表面とは反対の第２の
表面に隣接して設置され、それにより第１の表面を通っ
て物体に入り、第２の表面を通って物体を出るＸ線を遮
って検出する、第１のＸ線源に対して第２の角度で設置
されている第２の線形Ｘ線検出器、複数のＸ線検出器素
子により作成された信号の定期的読取りおよび格納を制
御するクロックを備えている第２の線形Ｘ線検出器読出
制御システム、第１の線形Ｘ線検出器が物体の第１のＸ
線透過写真影像を作成し、第２の線形Ｘ線検出器が物体
の第２のＸ線透過写真影像を作成するように線形運動シ
ステムおよび第１および第２の線形Ｘ線検出器読出制御
システムの運動を制御し調整する制御システム、および
物体の第１および第２のＸ線透過写真影像を受け取り、
物体の第１および第２のＸ線透過写真影像を組み合わせ
て物体の切断平面の断面影像を形成する影像分析システ
ム。或る構成では、装置は更に第１のコリメータが第１
のＸ線源により放射されたＸ線を第１の線形Ｘ線検出器
の方に導き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように
構成されるように第１のＸ線源に対して設置された第１
のコリメータを備えている。同様に、第２のコリメータ
が第１のＸ線源により放射されたＸ線を第２の線形Ｘ線
検出器の方に導き、他の方向に進行するＸ線を阻止する
ように構成されるように第２のコリメータを第１のＸ線
源に対して設置することができる。或る構成では、この
装置は更に、第１のＸ線源に対して横方向に設置された
第２のＸ線源、第２のＸ線源により第３の角度で放射さ
れたＸ線を遮るように設置された第３の線形Ｘ線検出
器、および第２のＸ線源により第４の角度で放射された
Ｘ線を遮るように設置された第４の線形Ｘ線検出器、を
備えている。同様に、第３のコリメータが第２のＸ線源
により放射されたＸ線を第３の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
るように第３のコリメータを第２のＸ線源に対して設置
することができる。第４のコリメータが第２のＸ線源に
より放射されたＸ線を第４の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
るように第４のコリメータを第２のＸ線源に対して設置
することができる。或る構成では、第１、第２、第３、
および第４の線形Ｘ線検出器は更にモノリシック自己走
査線形ホトダイオード配列を備えることができる。Ｘ線
シンチレーション材料を第１、第２、第３、および第４
の線形ホトダイオード配列Ｘ線検出器上に堆積すること
ができる。或る実施例では、Ｘ線シンチレーション材料
を更に酸化硫化ガドリニウムから構成することができ
る。線形運動システムはコンベアベルトを備えることが
できる。
【００２４】第３の実施例において、本発明は、物体の
断面影像を作成する方法であって、下記から構成されて
いる。第１のＸ線源を準備する段階、第１のＸ線源によ
り発生されたＸ線を、Ｘ線が物体を第１の角度方向から
打って透過してから、第１の線形Ｘ線検出器で検出する
段階、第１のＸ線源により発生されたＸ線を、Ｘ線が物
体を第２の角度方向から打って透過してから、第２の線
形Ｘ線検出器で検出する段階、物体を第１のＸ線源と第
１および第２の線形Ｘ線検出器との間で実質上直線の経
路に沿って移動させる段階、物体が第１のＸ線源と第１
の線形Ｘ線検出器との間で実質上直線の経路を横断する
につれて、物体の第１のＸ線透過写真影像を第１の線形
Ｘ線検出器で検出されたＸ線で作成する段階、物体が第
１のＸ線源と第２の線形Ｘ線検出器との間で実質上直線
の経路を横断するにつれて、物体の第２のＸ線透過写真
影像を第２の線形Ｘ線検出器で検出されたＸ線で作成す
る段階、および物体の第１および第２のＸ線透過写真影
像を組み合わせて物体の断面影像を形成する段階。或る
構成では、方法は更に第１のＸ線源を、第１のＸ線源に
より放射されたＸ線を第１の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
た第１のコリメータでコリメートする段階を備えてい
る。同様に、方法は更に第１のＸ線源を、第１のＸ線源
により放射されたＸ線を第２の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
た第２のコリメータでコリメートする段階を備えること
ができる。或る構成では、方法は更に、第２のＸ線源を
準備する段階、および第２のＸ線源を第１のＸ線源に対
して横方向に設置する段階、第２のＸ線源により発生さ
れたＸ線を、Ｘ線が物体を第３の角度方向から打って透
過してから、第３の線形Ｘ線検出器で検出で検出する段
階、および第２のＸ線源により発生されたＸ線を、Ｘ線
が物体を第４の角度方向から打って透過してから、第４
の線形Ｘ線検出器で検出で検出する段階、を備えてい
る。この方法は更に、第２のＸ線源を、第２のＸ線源に
より放射されたＸ線を第３の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
た第３のコリメータでコリメートする段階および第２の
Ｘ線源を、第２のＸ線源により放射されたＸ線を第４の
線形Ｘ線検出器の方に導き、他の方向に進行するＸ線を
阻止するように構成された第４のコリメータでコリメー
トする段階、を備えることができる。
断面影像を作成する方法であって、下記から構成されて
いる。第１のＸ線源を準備する段階、第１のＸ線源によ
り発生されたＸ線を、Ｘ線が物体を第１の角度方向から
打って透過してから、第１の線形Ｘ線検出器で検出する
段階、第１のＸ線源により発生されたＸ線を、Ｘ線が物
体を第２の角度方向から打って透過してから、第２の線
形Ｘ線検出器で検出する段階、物体を第１のＸ線源と第
１および第２の線形Ｘ線検出器との間で実質上直線の経
路に沿って移動させる段階、物体が第１のＸ線源と第１
の線形Ｘ線検出器との間で実質上直線の経路を横断する
につれて、物体の第１のＸ線透過写真影像を第１の線形
Ｘ線検出器で検出されたＸ線で作成する段階、物体が第
１のＸ線源と第２の線形Ｘ線検出器との間で実質上直線
の経路を横断するにつれて、物体の第２のＸ線透過写真
影像を第２の線形Ｘ線検出器で検出されたＸ線で作成す
る段階、および物体の第１および第２のＸ線透過写真影
像を組み合わせて物体の断面影像を形成する段階。或る
構成では、方法は更に第１のＸ線源を、第１のＸ線源に
より放射されたＸ線を第１の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
た第１のコリメータでコリメートする段階を備えてい
る。同様に、方法は更に第１のＸ線源を、第１のＸ線源
により放射されたＸ線を第２の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
た第２のコリメータでコリメートする段階を備えること
ができる。或る構成では、方法は更に、第２のＸ線源を
準備する段階、および第２のＸ線源を第１のＸ線源に対
して横方向に設置する段階、第２のＸ線源により発生さ
れたＸ線を、Ｘ線が物体を第３の角度方向から打って透
過してから、第３の線形Ｘ線検出器で検出で検出する段
階、および第２のＸ線源により発生されたＸ線を、Ｘ線
が物体を第４の角度方向から打って透過してから、第４
の線形Ｘ線検出器で検出で検出する段階、を備えてい
る。この方法は更に、第２のＸ線源を、第２のＸ線源に
より放射されたＸ線を第３の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
た第３のコリメータでコリメートする段階および第２の
Ｘ線源を、第２のＸ線源により放射されたＸ線を第４の
線形Ｘ線検出器の方に導き、他の方向に進行するＸ線を
阻止するように構成された第４のコリメータでコリメー
トする段階、を備えることができる。
【００２５】第４の実施例において、本発明は、第１の
Ｘ線源、第１のＸ線源により第１の角度で放射されたＸ
線を遮るように設置された第１の線形Ｘ線検出器、第１
のＸ線源により第２の角度で放射されたＸ線を遮るよう
に設置された第２の線形Ｘ線検出器、第１のＸ線源およ
び第１および第２の線形Ｘ線検出器が取付けられ、更に
試験中の静止物体が通る経路を備え、第１のＸ線源およ
び第１および第２の線形Ｘ線検出器を試験中の静止物体
を通って輸送し、Ｘ線が、試験中の静止物体を通過して
から、第１の角度および第２の角度で放射され且つ、そ
れぞれ、第１の線形Ｘ線検出器および第２の線形Ｘ線検
出器により検出されるように構成され、それにより試験
中の静止物体の第１の放射線透過写真影像および第２の
放射線透過写真影像を形成する線形運動システム、およ
び線形運動システム、第１の線形Ｘ線検出器、および第
２の線形Ｘ線検出器に接続され、線形運動システムおよ
び第１および第２の放射線透過写真影像の形成を調整し
て試験中の静止物体の切断平面の断層放射線写真断面影
像を作成する制御システム、から構成される結像システ
ムである。或る構成では、第１のコリメータが第１のＸ
線源により放射されたＸ線を第１の線形Ｘ線検出器の方
に導き、他の方向に進むＸ線を阻止するように構成され
るように第１のコリメータが第１のＸ線源に対して設置
されている。同様に、第２のコリメータが第１のＸ線源
により放射されたＸ線を第２の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進むＸ線を阻止するように構成されるよ
うに第２のコリメータを第１のＸ線源に対して設置する
ことができる。或る構成では、結像システムは更に第１
のＸ線源に対して横方向に線形運動システムに設置され
ている第２のＸ線源、線形運動システムに設置され、第
２のＸ線源により第３の角度で放射されたＸ線を遮る第
３の線形Ｘ線検出器、および線形運動システムに設置さ
れ、第２のＸ線源により第４の角度で放射されたＸ線を
遮る第４の線形Ｘ線検出器、を備えている。
Ｘ線源、第１のＸ線源により第１の角度で放射されたＸ
線を遮るように設置された第１の線形Ｘ線検出器、第１
のＸ線源により第２の角度で放射されたＸ線を遮るよう
に設置された第２の線形Ｘ線検出器、第１のＸ線源およ
び第１および第２の線形Ｘ線検出器が取付けられ、更に
試験中の静止物体が通る経路を備え、第１のＸ線源およ
び第１および第２の線形Ｘ線検出器を試験中の静止物体
を通って輸送し、Ｘ線が、試験中の静止物体を通過して
から、第１の角度および第２の角度で放射され且つ、そ
れぞれ、第１の線形Ｘ線検出器および第２の線形Ｘ線検
出器により検出されるように構成され、それにより試験
中の静止物体の第１の放射線透過写真影像および第２の
放射線透過写真影像を形成する線形運動システム、およ
び線形運動システム、第１の線形Ｘ線検出器、および第
２の線形Ｘ線検出器に接続され、線形運動システムおよ
び第１および第２の放射線透過写真影像の形成を調整し
て試験中の静止物体の切断平面の断層放射線写真断面影
像を作成する制御システム、から構成される結像システ
ムである。或る構成では、第１のコリメータが第１のＸ
線源により放射されたＸ線を第１の線形Ｘ線検出器の方
に導き、他の方向に進むＸ線を阻止するように構成され
るように第１のコリメータが第１のＸ線源に対して設置
されている。同様に、第２のコリメータが第１のＸ線源
により放射されたＸ線を第２の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進むＸ線を阻止するように構成されるよ
うに第２のコリメータを第１のＸ線源に対して設置する
ことができる。或る構成では、結像システムは更に第１
のＸ線源に対して横方向に線形運動システムに設置され
ている第２のＸ線源、線形運動システムに設置され、第
２のＸ線源により第３の角度で放射されたＸ線を遮る第
３の線形Ｘ線検出器、および線形運動システムに設置さ
れ、第２のＸ線源により第４の角度で放射されたＸ線を
遮る第４の線形Ｘ線検出器、を備えている。
【００２６】第５の実施例では、本発明は静止物体の断
面影像を作成する方法に関係しており、この方法は、第
１のＸ線源を準備する段階、第１のＸ線源により発生さ
れたＸ線をＸ線が静止物体を第１の角度または方向から
打って透過してから第１の線形Ｘ線検出器で検出する段
階、第１のＸ線源により発生されたＸ線をＸ線が静止物
体を第２の角度方向から打って透過してから第２の線形
Ｘ線検出器で検出する段階、第１のＸ線源および第１お
よび第２の線形Ｘ線検出器を、第１のＸ線源からのＸ線
が静止物体を透過し、第１および第２の線形Ｘ線検出器
により検出されるように静止物体を通る実質上直線の経
路に沿って移動させる段階、第１の線形Ｘ線検出器およ
び第１のＸ線源が静止物体を通る実質上直線の経路を横
断するにつれて静止物体の第１のＸ線透過写真影像を第
１の線形Ｘ線検出器により検出されたＸ線で作成する段
階、第２の線形Ｘ線検出器および第１のＸ線源が静止物
体を通る実質上直線の経路を横断するにつれて静止物体
の第２のＸ線透過写真影像を第２の線形Ｘ線検出器によ
り検出されたＸ線で作成する段階、および静止物体の第
１および第２のＸ線透過写真影像を組み合わせて静止物
体の断面影像を形成する段階、から構成されている。或
る構成では、方法は更に第１のＸ線源を第１のＸ線源に
より放射されたＸ線を第１の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
た第１のコリメータでコリメートする段階、および第１
のＸ線源を第１のＸ線源により放射されたＸ線を第２の
線形Ｘ線検出器の方に導き、他の方向に進行するＸ線を
阻止するように構成された第２のコリメータでコリメー
トする段階、を備えている。或る構成では、方法は更に
第２のＸ線源を準備する段階、および第２のＸ線源を第
１のＸ線源に対して横方向に設置する段階、を備えてい
る。この方法は更に第２のＸ線源により発生されたＸ線
をＸ線が静止物体を第３の角度方向から打って透過して
から第３の線形Ｘ線検出器で検出する段階、および第２
のＸ線源により発生されたＸ線をＸ線が静止物体を第４
の角度方向から打って透過してから第４の線形Ｘ線検出
器で検出する段階、を備えている。
面影像を作成する方法に関係しており、この方法は、第
１のＸ線源を準備する段階、第１のＸ線源により発生さ
れたＸ線をＸ線が静止物体を第１の角度または方向から
打って透過してから第１の線形Ｘ線検出器で検出する段
階、第１のＸ線源により発生されたＸ線をＸ線が静止物
体を第２の角度方向から打って透過してから第２の線形
Ｘ線検出器で検出する段階、第１のＸ線源および第１お
よび第２の線形Ｘ線検出器を、第１のＸ線源からのＸ線
が静止物体を透過し、第１および第２の線形Ｘ線検出器
により検出されるように静止物体を通る実質上直線の経
路に沿って移動させる段階、第１の線形Ｘ線検出器およ
び第１のＸ線源が静止物体を通る実質上直線の経路を横
断するにつれて静止物体の第１のＸ線透過写真影像を第
１の線形Ｘ線検出器により検出されたＸ線で作成する段
階、第２の線形Ｘ線検出器および第１のＸ線源が静止物
体を通る実質上直線の経路を横断するにつれて静止物体
の第２のＸ線透過写真影像を第２の線形Ｘ線検出器によ
り検出されたＸ線で作成する段階、および静止物体の第
１および第２のＸ線透過写真影像を組み合わせて静止物
体の断面影像を形成する段階、から構成されている。或
る構成では、方法は更に第１のＸ線源を第１のＸ線源に
より放射されたＸ線を第１の線形Ｘ線検出器の方に導
き、他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成され
た第１のコリメータでコリメートする段階、および第１
のＸ線源を第１のＸ線源により放射されたＸ線を第２の
線形Ｘ線検出器の方に導き、他の方向に進行するＸ線を
阻止するように構成された第２のコリメータでコリメー
トする段階、を備えている。或る構成では、方法は更に
第２のＸ線源を準備する段階、および第２のＸ線源を第
１のＸ線源に対して横方向に設置する段階、を備えてい
る。この方法は更に第２のＸ線源により発生されたＸ線
をＸ線が静止物体を第３の角度方向から打って透過して
から第３の線形Ｘ線検出器で検出する段階、および第２
のＸ線源により発生されたＸ線をＸ線が静止物体を第４
の角度方向から打って透過してから第４の線形Ｘ線検出
器で検出する段階、を備えている。
【００２７】本発明のこれらのおよび他の特徴は好適実
施例の下記詳細説明および付図を参照することにより明
らかになるであろう。
施例の下記詳細説明および付図を参照することにより明
らかになるであろう。
【００２８】
【発明の実施の形態】図１、図２、図３、および図４に
図示したのは本発明による連続線形走査断層放射線写真
システムの、それぞれ、斜視図、上面図、側面図、およ
び端面図である。図１、図２、図３、および図４を参照
すれば、第１のＸ線源10および第２のＸ線源20がコンベ
アシステム30の対向面の上方にそれに沿って設置されて
いる。第１のＸ線源10は前コリメータ32および後コリメ
ータ34を備えている。同様に、第２のＸ線源20は前コリ
メータ36および後コリメータ38を備えている。第１の線
形Ｘ線検出器40が第２の線形Ｘ線検出器50に隣接して中
心線（図示せず）の右（正のＸ方向）に第１のＸ線源10
を第２のＸ線源20に接続することにより規定されるＹ方
向に沿って設置されている。第３の線形Ｘ線検出器60が
第４のＸ線検出器70に隣接して第１および第２のＸ線源
10、20を接続する中心線の左（負のＸ方向）に設置され
ている。第１、第２、第３、および第４の線形Ｘ線検出
器40、50、60、70の各々はコンベアシステム30の下に設
置されている。コンベアシステム30は更に第１のチェー
ン駆動機構80および第１の案内レール82を第１の側に、
第２のチェーン駆動機構84および第２の案内レール86を
第２の側に備えている。同期駆動モータ90が第１および
第２のチェーン駆動機構80、84に接続されている。同期
駆動モータ90はモータ電源および制御線104により制御
コンピュータおよび影像分析システム100に接続されて
いる。制御コンピュータおよび影像分析システム100は
検出器電源、制御、および信号線106により第１、第
２、第３、および第４の線形Ｘ線検出器40、50、60、70
にも接続されている。
図示したのは本発明による連続線形走査断層放射線写真
システムの、それぞれ、斜視図、上面図、側面図、およ
び端面図である。図１、図２、図３、および図４を参照
すれば、第１のＸ線源10および第２のＸ線源20がコンベ
アシステム30の対向面の上方にそれに沿って設置されて
いる。第１のＸ線源10は前コリメータ32および後コリメ
ータ34を備えている。同様に、第２のＸ線源20は前コリ
メータ36および後コリメータ38を備えている。第１の線
形Ｘ線検出器40が第２の線形Ｘ線検出器50に隣接して中
心線（図示せず）の右（正のＸ方向）に第１のＸ線源10
を第２のＸ線源20に接続することにより規定されるＹ方
向に沿って設置されている。第３の線形Ｘ線検出器60が
第４のＸ線検出器70に隣接して第１および第２のＸ線源
10、20を接続する中心線の左（負のＸ方向）に設置され
ている。第１、第２、第３、および第４の線形Ｘ線検出
器40、50、60、70の各々はコンベアシステム30の下に設
置されている。コンベアシステム30は更に第１のチェー
ン駆動機構80および第１の案内レール82を第１の側に、
第２のチェーン駆動機構84および第２の案内レール86を
第２の側に備えている。同期駆動モータ90が第１および
第２のチェーン駆動機構80、84に接続されている。同期
駆動モータ90はモータ電源および制御線104により制御
コンピュータおよび影像分析システム100に接続されて
いる。制御コンピュータおよび影像分析システム100は
検出器電源、制御、および信号線106により第１、第
２、第３、および第４の線形Ｘ線検出器40、50、60、70
にも接続されている。
【００２９】動作中、回路板120a、120b、120cはチェー
ン駆動機構80、84に設置され、案内レール82、86により
コンベアシステム30を通して案内される。本発明の動作
を説明する目的で、回路板120の大きさを約8.5インチ×
12インチであるように取ってある。他の大きさをも使用
することができ、これらの寸法は決して制限しようとす
ることを意味しない。回路板120a、120b、120cはチェー
ン駆動機構80、84により毎秒約0.3インチの速度で同期
駆動モータ90により滑らかに前進する。回路板120a、12
0b、120cは互いに約0.7インチ離れている。同期駆動モ
ータ90はモータ電源および制御線104を通して制御およ
び影像分析コンピュータ100により動作する。図１およ
び図２に示したように、ａ）回路板120cの検査は完了し
ており、ｂ）回路板120bの検査は進行中であり、ｃ）回
路板120aはコンベアシステム30に丁度乗せられてしまっ
たところで、回路板120bの検査が終了した直後に検査さ
れることになる。
ン駆動機構80、84に設置され、案内レール82、86により
コンベアシステム30を通して案内される。本発明の動作
を説明する目的で、回路板120の大きさを約8.5インチ×
12インチであるように取ってある。他の大きさをも使用
することができ、これらの寸法は決して制限しようとす
ることを意味しない。回路板120a、120b、120cはチェー
ン駆動機構80、84により毎秒約0.3インチの速度で同期
駆動モータ90により滑らかに前進する。回路板120a、12
0b、120cは互いに約0.7インチ離れている。同期駆動モ
ータ90はモータ電源および制御線104を通して制御およ
び影像分析コンピュータ100により動作する。図１およ
び図２に示したように、ａ）回路板120cの検査は完了し
ており、ｂ）回路板120bの検査は進行中であり、ｃ）回
路板120aはコンベアシステム30に丁度乗せられてしまっ
たところで、回路板120bの検査が終了した直後に検査さ
れることになる。
【００３０】Ｘ線発生およびコリメーション Ｘ線源10および20はコリメータ32、34、36、38によりコ
リメートされて第１および第２のＸ線源10、20により放
射された放射の角度的広がりをＸ方向およびＹ方向の両
方向に制限するので、各Ｘ線源10、20はＸ線の二つの扇
形ビームを発生する。第１のＸ線源10はＸ線130、132の
ビームを発するが、第２のＸ線源20はＸ線134、136のビ
ームを発する。Ｘ線源10、20は従来手法で回路板120bの
断面影像の作成に適切な断層放射線写真を発生する場所
に取付けられている。たとえば、図１および図４で見る
ことができるように、Ｘ線源10、20は回路板120bの法線
（Ｚ方向）に対して±45度に設置されている。他に、Ｘ
線源10、20は回路板120bおよび線形Ｘ線検出器40、50、
60、70から所定距離に設置されて、1)Ｘ線源10、20の焦
点スポットサイズと、2)回路板120bと線形Ｘ線検出器4
0、50、60、70との間の分離距離（典型的には１インチ
以下）と、3)Ｘ線源10、20のパワー出力と、の組合せが
すべて協同して線形Ｘ線検出器40、50、60、70で高解像
度影像を発生するのに十分なレベルを発生するようにな
っている。
リメートされて第１および第２のＸ線源10、20により放
射された放射の角度的広がりをＸ方向およびＹ方向の両
方向に制限するので、各Ｘ線源10、20はＸ線の二つの扇
形ビームを発生する。第１のＸ線源10はＸ線130、132の
ビームを発するが、第２のＸ線源20はＸ線134、136のビ
ームを発する。Ｘ線源10、20は従来手法で回路板120bの
断面影像の作成に適切な断層放射線写真を発生する場所
に取付けられている。たとえば、図１および図４で見る
ことができるように、Ｘ線源10、20は回路板120bの法線
（Ｚ方向）に対して±45度に設置されている。他に、Ｘ
線源10、20は回路板120bおよび線形Ｘ線検出器40、50、
60、70から所定距離に設置されて、1)Ｘ線源10、20の焦
点スポットサイズと、2)回路板120bと線形Ｘ線検出器4
0、50、60、70との間の分離距離（典型的には１インチ
以下）と、3)Ｘ線源10、20のパワー出力と、の組合せが
すべて協同して線形Ｘ線検出器40、50、60、70で高解像
度影像を発生するのに十分なレベルを発生するようにな
っている。
【００３１】好適なＸ線源10、20は陽極電流が約0.1mA
から1.0mAまでの範囲で最大125キロボルトの電圧で動作
できる標準工業用Ｘ線管である。第１および第２のＸ線
管10、20には共に単一の高電圧（ＨＶ）電源（図示せ
ず）により電力が供給されることができる。Ｘ線管10、
20の好適スポットサイズの直径は100ミクロンから1000
ミクロンまでの範囲である。
から1.0mAまでの範囲で最大125キロボルトの電圧で動作
できる標準工業用Ｘ線管である。第１および第２のＸ線
管10、20には共に単一の高電圧（ＨＶ）電源（図示せ
ず）により電力が供給されることができる。Ｘ線管10、
20の好適スポットサイズの直径は100ミクロンから1000
ミクロンまでの範囲である。
【００３２】検査中の回路板120bはＸ線源10、20が発生
したＸ線により照射されている。第１のＸ線源10から放
射されたＸ線の角度的広がりは、1)前コリメータ32によ
りＸ方向に、回路板120bの第１の小部分だけおよび照射
される回路板120bの第１の小部分を通過してから第１の
線形Ｘ線検出器40の前面を照射するように構成された狭
い扇形ビームのＸ線130にコリメートされ、2)後コリメ
ータ34によりＸ方向に、回路板120bの第３の小部分だけ
および照射される回路板120bの第３の小部分を通過して
から第３の線形Ｘ線検出器60の前面を照射するように構
成された狭い扇形ビームのＸ線132にコリメートされ
る。同様に、第２のＸ線源20から放射されたＸ線は、1)
前コリメータ36によりＸ方向に、回路板120bの第２の小
部分だけおよび回路板120bの第２の小部分を通過してか
ら第２の線形Ｘ線検出器50の前面を照射するように構成
された狭い扇形ビームのＸ線134にコリメートされ、2)
後コリメータ38によりＸ方向に、回路板120bの第４の小
部分だけおよび回路板120bの第４の小部分を通過してか
ら第４の線形Ｘ線検出器70の前面を照射するように構成
された狭い扇形ビームのＸ線136にコリメートされる。
したがって、第１の線形Ｘ線検出器40は、第１のＸ線源
10により発生され、前コリメータ32により放射されたＸ
線だけを受け、第２の線形Ｘ線検出器50は、第２のＸ線
源20により発生され、前コリメータ36により放射された
Ｘ線だけを受け、第３の線形Ｘ線検出器60は第１のＸ線
源10により発生され、後コリメータ34により放射された
Ｘ線だけを受け、第４の線形Ｘ線検出器70は第２のＸ線
源20により発生され、後コリメータ38により放射された
Ｘ線だけを受ける。他に、図２および図４に最も良く示
すように、Ｘ線の狭い扇形ビーム130、132、134、136の
各々はそのそれぞれのコリメータ32、34、36、38により
Ｙ方向に、Ｘ線がそのそれぞれの線形Ｘ線検出器40、5
0、60、70の水平範囲（Ｙ方向）を越えて広がらないよ
うにコリメートされている。
したＸ線により照射されている。第１のＸ線源10から放
射されたＸ線の角度的広がりは、1)前コリメータ32によ
りＸ方向に、回路板120bの第１の小部分だけおよび照射
される回路板120bの第１の小部分を通過してから第１の
線形Ｘ線検出器40の前面を照射するように構成された狭
い扇形ビームのＸ線130にコリメートされ、2)後コリメ
ータ34によりＸ方向に、回路板120bの第３の小部分だけ
および照射される回路板120bの第３の小部分を通過して
から第３の線形Ｘ線検出器60の前面を照射するように構
成された狭い扇形ビームのＸ線132にコリメートされ
る。同様に、第２のＸ線源20から放射されたＸ線は、1)
前コリメータ36によりＸ方向に、回路板120bの第２の小
部分だけおよび回路板120bの第２の小部分を通過してか
ら第２の線形Ｘ線検出器50の前面を照射するように構成
された狭い扇形ビームのＸ線134にコリメートされ、2)
後コリメータ38によりＸ方向に、回路板120bの第４の小
部分だけおよび回路板120bの第４の小部分を通過してか
ら第４の線形Ｘ線検出器70の前面を照射するように構成
された狭い扇形ビームのＸ線136にコリメートされる。
したがって、第１の線形Ｘ線検出器40は、第１のＸ線源
10により発生され、前コリメータ32により放射されたＸ
線だけを受け、第２の線形Ｘ線検出器50は、第２のＸ線
源20により発生され、前コリメータ36により放射された
Ｘ線だけを受け、第３の線形Ｘ線検出器60は第１のＸ線
源10により発生され、後コリメータ34により放射された
Ｘ線だけを受け、第４の線形Ｘ線検出器70は第２のＸ線
源20により発生され、後コリメータ38により放射された
Ｘ線だけを受ける。他に、図２および図４に最も良く示
すように、Ｘ線の狭い扇形ビーム130、132、134、136の
各々はそのそれぞれのコリメータ32、34、36、38により
Ｙ方向に、Ｘ線がそのそれぞれの線形Ｘ線検出器40、5
0、60、70の水平範囲（Ｙ方向）を越えて広がらないよ
うにコリメートされている。
【００３３】Ｘ線検出、影像形成、およびデータの処理 コンベアシステム30は試験中の回路板120bを四つのコリ
メートされたＸ線扇形ビーム130、132、134、136を通し
て輸送する。回路板120bを通過するＸ線は線形Ｘ線検出
器40、50、60、70により検出される。各線形Ｘ線検出器
40、50、60、70は試験中の回路板120bを通過したＸ線の
パターンを検出器電源、制御および信号線106により制
御コンピュータおよび影像分析システム100に処理のた
め送られる電気信号に変換する。
メートされたＸ線扇形ビーム130、132、134、136を通し
て輸送する。回路板120bを通過するＸ線は線形Ｘ線検出
器40、50、60、70により検出される。各線形Ｘ線検出器
40、50、60、70は試験中の回路板120bを通過したＸ線の
パターンを検出器電源、制御および信号線106により制
御コンピュータおよび影像分析システム100に処理のた
め送られる電気信号に変換する。
【００３４】好適実施例の線形Ｘ線検出器40、50、60、
70の幅は約8.5インチであり、水平解像度（Ｘ方向）は
約16-20線対/ミリメートル（lp/mm）である。これは卓
上走査の用語で表せば400から500線対/インチまたは800
または1000ドット/インチに対応する。各線形Ｘ線検出
器40、50、60、70には制御コンピュータおよび影像分析
システム100に直接接続する８から16ビットのディジタ
ルデータ流れを発生するディジタル電子回路が組み込ま
れている。線形Ｘ線検出器40、50、60、70は机上出版用
スキャナに使用される標準線形走査検出器から形成され
ている。各線形Ｘ線検出器40、50、60、70には検出器感
光域の前に直接付着するＸ線感応蛍光体の薄い皮膜があ
る。典型的には、Ｘ線感応蛍光体酸化硫化ガドリニウム
であるが、他の材料、たとえば、タングステン酸カドミ
ウム、も使用することができる。各線形Ｘ線検出器40、
50、60、70からのデータは試験中の回路板120bがそれぞ
れの検出器の上を通るにつれて8.5″×12″の試験中の
回路板120bの完全なＸ線透過写真画像を発生する（図６
（ａ）−（ｄ）参照）。
70の幅は約8.5インチであり、水平解像度（Ｘ方向）は
約16-20線対/ミリメートル（lp/mm）である。これは卓
上走査の用語で表せば400から500線対/インチまたは800
または1000ドット/インチに対応する。各線形Ｘ線検出
器40、50、60、70には制御コンピュータおよび影像分析
システム100に直接接続する８から16ビットのディジタ
ルデータ流れを発生するディジタル電子回路が組み込ま
れている。線形Ｘ線検出器40、50、60、70は机上出版用
スキャナに使用される標準線形走査検出器から形成され
ている。各線形Ｘ線検出器40、50、60、70には検出器感
光域の前に直接付着するＸ線感応蛍光体の薄い皮膜があ
る。典型的には、Ｘ線感応蛍光体酸化硫化ガドリニウム
であるが、他の材料、たとえば、タングステン酸カドミ
ウム、も使用することができる。各線形Ｘ線検出器40、
50、60、70からのデータは試験中の回路板120bがそれぞ
れの検出器の上を通るにつれて8.5″×12″の試験中の
回路板120bの完全なＸ線透過写真画像を発生する（図６
（ａ）−（ｄ）参照）。
【００３５】線形Ｘ線検出器40、50、60、70はビデオカ
メラで普通に見られる電荷結合素子（ＣＣＤ）と同じで
ある。ビデオカメラに使用されている電荷結合素子は典
型的には個別の感光素子の二次元配列がその上に形成さ
れている固体集積回路チップである。線形Ｘ線検出器4
0、50、60、70は単一チップ上に形成された個別の感光
素子の線形または一次元配列である。線形配列は普通空
港で手荷物の低解像度Ｘ線透過写真影像を作る防護ステ
ーションでの手荷物スキャナに使用されている。
メラで普通に見られる電荷結合素子（ＣＣＤ）と同じで
ある。ビデオカメラに使用されている電荷結合素子は典
型的には個別の感光素子の二次元配列がその上に形成さ
れている固体集積回路チップである。線形Ｘ線検出器4
0、50、60、70は単一チップ上に形成された個別の感光
素子の線形または一次元配列である。線形配列は普通空
港で手荷物の低解像度Ｘ線透過写真影像を作る防護ステ
ーションでの手荷物スキャナに使用されている。
【００３６】放射線写真線走査（ＲＬＳ）検出器と言わ
れている適切な一つの線形Ｘ線検出器はイリノイ州リン
カンシャのBio-Imaging Research，Inc.から市販されて
いる。Charls R.Smithおよび Joseph W.Erker の“Low
cost, high resolution x-ray detector system for di
gital radiography and computed tomography ”という
表題の論文（SPIE X-RayDetector Physics and Applica
tions II, Vol.2009,1993,pp.31-35）にはこの装置の詳
細な説明が載っている。IL-C8-6000ターボセンサと言わ
れている他の適切な線形検出器はカナダのWaterlooにあ
る Dalsaから入手できる。線形配列の他の生産者は、ダ
イオード配列、型式番号 RL2048S、を生産しているEG&G
Reticonであり、前記ダイオード配列 RL2048Sは中心間
隔が25ミクロンの2048個のホトダイオードセンサ素子を
有するモノリシック自己走査線形ホトダイオード配列で
ある。この装置は一列のホトダイオードから構成され、
各ホトダイオードには光電流を取り込む関連記憶装置容
量および独立の集積シフトレジスタにより読み出すため
の多数のスイッチがある。したがって、本発明に使用す
ることができる線形配列装置の幾つかを市場から入手す
ることができる。
れている適切な一つの線形Ｘ線検出器はイリノイ州リン
カンシャのBio-Imaging Research，Inc.から市販されて
いる。Charls R.Smithおよび Joseph W.Erker の“Low
cost, high resolution x-ray detector system for di
gital radiography and computed tomography ”という
表題の論文（SPIE X-RayDetector Physics and Applica
tions II, Vol.2009,1993,pp.31-35）にはこの装置の詳
細な説明が載っている。IL-C8-6000ターボセンサと言わ
れている他の適切な線形検出器はカナダのWaterlooにあ
る Dalsaから入手できる。線形配列の他の生産者は、ダ
イオード配列、型式番号 RL2048S、を生産しているEG&G
Reticonであり、前記ダイオード配列 RL2048Sは中心間
隔が25ミクロンの2048個のホトダイオードセンサ素子を
有するモノリシック自己走査線形ホトダイオード配列で
ある。この装置は一列のホトダイオードから構成され、
各ホトダイオードには光電流を取り込む関連記憶装置容
量および独立の集積シフトレジスタにより読み出すため
の多数のスイッチがある。したがって、本発明に使用す
ることができる線形配列装置の幾つかを市場から入手す
ることができる。
【００３７】長さ8.5″の線形Ｘ線検出器40、50、60、7
0を単一ユニットにすることが望ましいが、当業者は短
いユニットを組み合わせて所要全体長さを得ることがで
きることを理解するであろう。すなわち、各々が６″の
長さである上述のIL-C8-6000ターボセンサの二つを一つ
の端が他の端と並んで揃うようにわずかに互い違いに取
付けて幅12インチの回路板を覆うようにすることができ
る。代わりに、所要長さのＸ線シンチレーションスクリ
ーンと長さの短い線形センサとの間にレンズ系またはフ
ァイバー光学レデューサーを設置することができる。ス
クリーン上に生じた影像はレンズ系により長さの短い線
形センサ上に焦点を結び、または適切な縮小用ファイバ
ー光学により線形センサに導かれる。
0を単一ユニットにすることが望ましいが、当業者は短
いユニットを組み合わせて所要全体長さを得ることがで
きることを理解するであろう。すなわち、各々が６″の
長さである上述のIL-C8-6000ターボセンサの二つを一つ
の端が他の端と並んで揃うようにわずかに互い違いに取
付けて幅12インチの回路板を覆うようにすることができ
る。代わりに、所要長さのＸ線シンチレーションスクリ
ーンと長さの短い線形センサとの間にレンズ系またはフ
ァイバー光学レデューサーを設置することができる。ス
クリーン上に生じた影像はレンズ系により長さの短い線
形センサ上に焦点を結び、または適切な縮小用ファイバ
ー光学により線形センサに導かれる。
【００３８】線形Ｘ線検出器40、50、60、70からのデー
タは制御コンピュータおよび影像分析システム100の中
の記憶バンクに格納される。解像度が800ＤＰＩで幅が
8.5インチのシステムでは、8.5インチ幅（Ｘ方向）に沿
って6800画素があり、これは試験中の回路板120bの幅に
対応する。800ＤＰＩの解像度では、試験中の回路板120
bの12インチの長さが長さ方向（Ｙ方向）に沿う9600画
素に対応する。したがって、8.5″×12″の回路板120b
の完全な影像を格納するのに使用される記憶バンクは98
00×9600×8 ビットまたは約65メガバイトの記憶容量を
備える必要がある。４個の線形Ｘ線検出器40、50、60、
70が存在するので、全部で260メガバイトの記憶装置が
必要である。他に、システムが次の回路板120bの影像を
得る間に一つの回路板120cの影像を分析しようとする場
合には、制御コンピュータおよび影像分析システム100
内部の記憶バンクは全部で520メガバイトにするのに２
倍にしなければならない。記憶バンクは記憶バンクの前
半を線形Ｘ線検出器40、50、60、70に接続する一方前の
回路板の影像が入っている記憶装置の後半を制御コンピ
ュータおよび影像分析システム100の影像分析部分に接
続している間に影像を得るように設計される。記憶バン
クの前半への影像の取得および記憶バンクの後半でのデ
ータの影像分析が完了すると、記憶バンクの前半が線形
Ｘ線検出器40、50、60、70から切り離され、制御コンピ
ュータおよび影像分析システム100の影像分析部分に接
続される。同様に、記憶バンクの後半が制御コンピュー
タおよび影像分析システム100の影像分析部分から切り
離され、線形Ｘ線検出器40、50、60、70に接続される。
タは制御コンピュータおよび影像分析システム100の中
の記憶バンクに格納される。解像度が800ＤＰＩで幅が
8.5インチのシステムでは、8.5インチ幅（Ｘ方向）に沿
って6800画素があり、これは試験中の回路板120bの幅に
対応する。800ＤＰＩの解像度では、試験中の回路板120
bの12インチの長さが長さ方向（Ｙ方向）に沿う9600画
素に対応する。したがって、8.5″×12″の回路板120b
の完全な影像を格納するのに使用される記憶バンクは98
00×9600×8 ビットまたは約65メガバイトの記憶容量を
備える必要がある。４個の線形Ｘ線検出器40、50、60、
70が存在するので、全部で260メガバイトの記憶装置が
必要である。他に、システムが次の回路板120bの影像を
得る間に一つの回路板120cの影像を分析しようとする場
合には、制御コンピュータおよび影像分析システム100
内部の記憶バンクは全部で520メガバイトにするのに２
倍にしなければならない。記憶バンクは記憶バンクの前
半を線形Ｘ線検出器40、50、60、70に接続する一方前の
回路板の影像が入っている記憶装置の後半を制御コンピ
ュータおよび影像分析システム100の影像分析部分に接
続している間に影像を得るように設計される。記憶バン
クの前半への影像の取得および記憶バンクの後半でのデ
ータの影像分析が完了すると、記憶バンクの前半が線形
Ｘ線検出器40、50、60、70から切り離され、制御コンピ
ュータおよび影像分析システム100の影像分析部分に接
続される。同様に、記憶バンクの後半が制御コンピュー
タおよび影像分析システム100の影像分析部分から切り
離され、線形Ｘ線検出器40、50、60、70に接続される。
【００３９】断層放射線写真断面影像の形成 先に記したとおり、第１、第２、第３、および第４の線
形Ｘ線検出器40、50、60、70は検査中の物体、たとえ
ば、回路板120b、の従来のＸ線透過写真影像を作成す
る。物体の断層放射線写真断面影像は得られた四つのＸ
線透過写真影像から従来手法で形成される。この技術は
Richardに対して発行された米国特許第3,818,220号「V
ARIABLE DEPTH LAMINAGRAPHY」およびRichardに対して
発行された米国特許第3,499,146号「VARIABLE DEPTH LA
MINAGRAPHY WITH MEANS FOR HIGHLIGHTING THE DETAIL
OF SELECTED LAMINA」に詳細に説明されている。
形Ｘ線検出器40、50、60、70は検査中の物体、たとえ
ば、回路板120b、の従来のＸ線透過写真影像を作成す
る。物体の断層放射線写真断面影像は得られた四つのＸ
線透過写真影像から従来手法で形成される。この技術は
Richardに対して発行された米国特許第3,818,220号「V
ARIABLE DEPTH LAMINAGRAPHY」およびRichardに対して
発行された米国特許第3,499,146号「VARIABLE DEPTH LA
MINAGRAPHY WITH MEANS FOR HIGHLIGHTING THE DETAIL
OF SELECTED LAMINA」に詳細に説明されている。
【００４０】図５は試験物体140の内部の所定平面の断
層放射線写真断面影像を四つの放射線透過写真影像16
0、260、360、460から作る手法を例示する試験物体140
を示す（図６（ａ）−（ｄ）参照）。試験物体140には
その内部のそれぞれ異なる平面152、154、および156に
矢印142、円144、および十字146の形状を成すパターン
が埋め込まれている。
層放射線写真断面影像を四つの放射線透過写真影像16
0、260、360、460から作る手法を例示する試験物体140
を示す（図６（ａ）−（ｄ）参照）。試験物体140には
その内部のそれぞれ異なる平面152、154、および156に
矢印142、円144、および十字146の形状を成すパターン
が埋め込まれている。
【００４１】図６（ａ）−（ｄ）に四つの線形Ｘ線検出
器40、50、60、70により作られた放射線透過写真影像を
示す。試験物体140は図１−図４に示すようにコンベア
システム30に矢印142が負のＸ方向、すなわち、回路板1
20aの方を指す状態で設置されている。図６（ｂ）は第
１の線形Ｘ線検出器40により作られた試験物体140の放
射線透過写真影像160を示す。矢印142は影像162aを形成
し、円144は影像162cを形成し、十字146は影像162xを形
成する。図６（ａ）は第２の線形Ｘ線検出器50により作
られた試験物体140の放射線透過写真影像260を示す。矢
印142は影像262aを形成し、円144は影像262cを形成し、
十字146は影像262xを形成する。図６（ｄ）は第３の線
形Ｘ線検出器60により作られた試験物体140の放射線透
過写真影像360を示す。矢印142は影像362aを形成し、円
144は影像362cを形成し、十字146は影像362xを形成す
る。図６（ｃ）は第４の線形Ｘ線検出器70により作られ
た試験物体140の放射線透過写真影像460を示す。矢印14
2は影像462aを形成し、円144は影像462cを形成し、十字
146は影像462xを形成する。
器40、50、60、70により作られた放射線透過写真影像を
示す。試験物体140は図１−図４に示すようにコンベア
システム30に矢印142が負のＸ方向、すなわち、回路板1
20aの方を指す状態で設置されている。図６（ｂ）は第
１の線形Ｘ線検出器40により作られた試験物体140の放
射線透過写真影像160を示す。矢印142は影像162aを形成
し、円144は影像162cを形成し、十字146は影像162xを形
成する。図６（ａ）は第２の線形Ｘ線検出器50により作
られた試験物体140の放射線透過写真影像260を示す。矢
印142は影像262aを形成し、円144は影像262cを形成し、
十字146は影像262xを形成する。図６（ｄ）は第３の線
形Ｘ線検出器60により作られた試験物体140の放射線透
過写真影像360を示す。矢印142は影像362aを形成し、円
144は影像362cを形成し、十字146は影像362xを形成す
る。図６（ｃ）は第４の線形Ｘ線検出器70により作られ
た試験物体140の放射線透過写真影像460を示す。矢印14
2は影像462aを形成し、円144は影像462cを形成し、十字
146は影像462xを形成する。
【００４２】四つの放射線透過写真影像160、260、36
0、460からの試験物体140の内部の所定平面の断層放射
線写真断面影像の形成は四つの放射線透過写真影像16
0、260、360、460を所定平面における影像を他の平面に
おける影像を犠牲にして補強するように共に加え合わせ
ることにより行なわれる。四つの放射線透過写真影像16
0、260、360、460を共に加え合わせて平面152における
矢印142の断層放射線写真断面影像500を形成する仕方を
図７に示す。図７に示すように、四つの放射線透過写真
影像160、260、360、460の各々をそれぞれの各影像につ
いて適切な距離だけＸ方向に、および／またはＹ方向に
矢印の四つの影像162a、262a、362a、462aを実質上互い
に重ねる距離だけ移動させ、それにより矢印562の補強
影像を断層放射線写真断面影像 500に形成する。矢印56
2の補強影像を囲む区域は円162c、262c、362c、462cの
四つの影像および十字162x、262x、362x、462xの四つの
影像から構成されている。円および十字の影像は異なる
位置の周りに散乱しているので、それらは矢印の影像16
2a、262a、362a、462aを重ねる場合のように互いに補強
することはない。同様に、四つの放射線透過写真影像16
0 、260、360、460を共に加え合わせて平面154にある円
144の、または平面156にある十字146の、または試験物
体140内部の他の所定平面の断層放射線写真断面影像を
形成することができる。
0、460からの試験物体140の内部の所定平面の断層放射
線写真断面影像の形成は四つの放射線透過写真影像16
0、260、360、460を所定平面における影像を他の平面に
おける影像を犠牲にして補強するように共に加え合わせ
ることにより行なわれる。四つの放射線透過写真影像16
0、260、360、460を共に加え合わせて平面152における
矢印142の断層放射線写真断面影像500を形成する仕方を
図７に示す。図７に示すように、四つの放射線透過写真
影像160、260、360、460の各々をそれぞれの各影像につ
いて適切な距離だけＸ方向に、および／またはＹ方向に
矢印の四つの影像162a、262a、362a、462aを実質上互い
に重ねる距離だけ移動させ、それにより矢印562の補強
影像を断層放射線写真断面影像 500に形成する。矢印56
2の補強影像を囲む区域は円162c、262c、362c、462cの
四つの影像および十字162x、262x、362x、462xの四つの
影像から構成されている。円および十字の影像は異なる
位置の周りに散乱しているので、それらは矢印の影像16
2a、262a、362a、462aを重ねる場合のように互いに補強
することはない。同様に、四つの放射線透過写真影像16
0 、260、360、460を共に加え合わせて平面154にある円
144の、または平面156にある十字146の、または試験物
体140内部の他の所定平面の断層放射線写真断面影像を
形成することができる。
【００４３】上述の好適実施例は検出器、Ｘ線管、Ｘ線
のスポット、またはＸ線のビーム運動を必要としない高
速高解像度検査についての連続走査システムおよび方法
を述べている。必要な運動は結像しようとする試験物体
の滑らかな線形運動だけである。しかし、当業者は結像
しようとする試験物体が静止したままでＸ線検出器、Ｘ
線管、Ｘ線のビームが結像しようとする静止試験物体に
対して滑らかな線形運動を実施、それにより互いに加え
合わせて先に述べたとおり静止試験物体内部の所定平面
の断層放射線写真断面影像を形成することができる放射
線透過写真影像を発生するものが同等なシステムである
ことを理解するであろう。図８は結像しようとする試験
物体が静止したままでＸ線管およびＸ線検出器が結像し
ようとする静止試験物体に対して滑らかな線形運動を実
施するこのような同等システムの一例を示している。図
８で、同じ参照番号を前の図で示した実施例の対応する
同じ要素に対して使用してある。
のスポット、またはＸ線のビーム運動を必要としない高
速高解像度検査についての連続走査システムおよび方法
を述べている。必要な運動は結像しようとする試験物体
の滑らかな線形運動だけである。しかし、当業者は結像
しようとする試験物体が静止したままでＸ線検出器、Ｘ
線管、Ｘ線のビームが結像しようとする静止試験物体に
対して滑らかな線形運動を実施、それにより互いに加え
合わせて先に述べたとおり静止試験物体内部の所定平面
の断層放射線写真断面影像を形成することができる放射
線透過写真影像を発生するものが同等なシステムである
ことを理解するであろう。図８は結像しようとする試験
物体が静止したままでＸ線管およびＸ線検出器が結像し
ようとする静止試験物体に対して滑らかな線形運動を実
施するこのような同等システムの一例を示している。図
８で、同じ参照番号を前の図で示した実施例の対応する
同じ要素に対して使用してある。
【００４４】図８に示すように、第１のＸ線源10および
第２のＸ線源20はＣ形チャンネル支持ユニット604の上
腕602に取付けられており、回路板支持ユニット608に設
置されている回路板120の対向辺に沿ってその上方に設
置されるようになっている。回路板支持ユニット608に
はその上方に回路板120を、Ｘ線ビーム130、132、134、
136が、Ｘ線源10、20からＸ線検出器40、50、60、70ま
でのそれらの経路で、回路板120だけを通過するよう
に、すなわち、回路板支持ユニット608を通らないよう
に、設置される開口610がある。第１のＸ線源10は前コ
リメータ32および後コリメータ34を備えている。同様
に、第２のＸ線源20は前コリメータ36および後コリメー
タ38を備えている（図８には示してない）。第１、第
２、第３、および第４の線形Ｘ線検出器40、50、60、70
はＣ形チャンネル支持ユニット604の下腕606に取付けら
れている。第１の線形Ｘ線検出器40は第２の線形Ｘ線検
出器50に隣接して中心線（図示せず）の右（正のＸ方
向）に第１のＸ線源10を第２のＸ線源20に接続すること
により規定されるＹ方向に沿って設置されている。第３
の線形Ｘ線検出器60は第４の線形Ｘ線検出器70に隣接し
て第１および第２のＸ線源10、20を接続する中心線の左
（負のＸ方向）に設置されている。第１、第２、第３、
および第４の線形Ｘ線検出器40、50、60、70の各々はし
たがって回路板120、回路板支持ユニット開口610および
回路板支持ユニット下部腕606の下にある。Ｃ形チャン
ネル支持ユニット604は、滑りレール612に取付けられ、
それによりＣ形チャンネル支持ユニット604を、取付け
られた第１および第２のＸ線源 10、20、および第１、
第２、第３、および第４の線形Ｘ線検出器40、50、60、
70と共に、ユニットとして正および負のＸ方向に移動で
きるようにしている。同期駆動モータ90（図１）は滑り
レール612上のＣ形チャンネル支持ユニット604の運動を
制御する。先に説明したとおり、同期駆動モータ90は制
御コンピュータおよび画像分析システム100に接続され
ている（図１）。制御コンピュータおよび画像分析シス
テム100は第１、第２ 、第３、および第４の線形Ｘ線検
出器40、50、60、70にも接続されている。
第２のＸ線源20はＣ形チャンネル支持ユニット604の上
腕602に取付けられており、回路板支持ユニット608に設
置されている回路板120の対向辺に沿ってその上方に設
置されるようになっている。回路板支持ユニット608に
はその上方に回路板120を、Ｘ線ビーム130、132、134、
136が、Ｘ線源10、20からＸ線検出器40、50、60、70ま
でのそれらの経路で、回路板120だけを通過するよう
に、すなわち、回路板支持ユニット608を通らないよう
に、設置される開口610がある。第１のＸ線源10は前コ
リメータ32および後コリメータ34を備えている。同様
に、第２のＸ線源20は前コリメータ36および後コリメー
タ38を備えている（図８には示してない）。第１、第
２、第３、および第４の線形Ｘ線検出器40、50、60、70
はＣ形チャンネル支持ユニット604の下腕606に取付けら
れている。第１の線形Ｘ線検出器40は第２の線形Ｘ線検
出器50に隣接して中心線（図示せず）の右（正のＸ方
向）に第１のＸ線源10を第２のＸ線源20に接続すること
により規定されるＹ方向に沿って設置されている。第３
の線形Ｘ線検出器60は第４の線形Ｘ線検出器70に隣接し
て第１および第２のＸ線源10、20を接続する中心線の左
（負のＸ方向）に設置されている。第１、第２、第３、
および第４の線形Ｘ線検出器40、50、60、70の各々はし
たがって回路板120、回路板支持ユニット開口610および
回路板支持ユニット下部腕606の下にある。Ｃ形チャン
ネル支持ユニット604は、滑りレール612に取付けられ、
それによりＣ形チャンネル支持ユニット604を、取付け
られた第１および第２のＸ線源 10、20、および第１、
第２、第３、および第４の線形Ｘ線検出器40、50、60、
70と共に、ユニットとして正および負のＸ方向に移動で
きるようにしている。同期駆動モータ90（図１）は滑り
レール612上のＣ形チャンネル支持ユニット604の運動を
制御する。先に説明したとおり、同期駆動モータ90は制
御コンピュータおよび画像分析システム100に接続され
ている（図１）。制御コンピュータおよび画像分析シス
テム100は第１、第２ 、第３、および第４の線形Ｘ線検
出器40、50、60、70にも接続されている。
【００４５】動作中、図８の実施例は下記事項を除き、
先に説明した図１の実施例と同じように働く。図１の実
施例では、回路板の線形走査は第１および第２のＸ線源
10、20、および第１、第２、第３、および第４の線形Ｘ
線検出器40、50、60、70を固定または静止位置に保持
し、回路板120a、120b、120cをＸ線ビーム130、132、13
4、136を貫いてコンベアシステムの上を移動させること
により行なわれる。図８の実施例では、Ｘ線ビーム13
0、132、134、136による回路板の走査は回路板120a、12
0b、120cを回路板支持ユニット608上の固定または静止
位置に保持し、Ｃ形チャンネル支持ユニット604を第１
および第２のＸ線源 10、20、および第１、第２、第
３、および第４の線形Ｘ線検出器40、50、60、70を取付
けた状態で滑りレール612を介して回路板120を通って移
動させることにより行なわれる。当業者は図１および図
８の実施例によりこのようにして行なわれる線形走査は
同等であることを理解するであろう。
先に説明した図１の実施例と同じように働く。図１の実
施例では、回路板の線形走査は第１および第２のＸ線源
10、20、および第１、第２、第３、および第４の線形Ｘ
線検出器40、50、60、70を固定または静止位置に保持
し、回路板120a、120b、120cをＸ線ビーム130、132、13
4、136を貫いてコンベアシステムの上を移動させること
により行なわれる。図８の実施例では、Ｘ線ビーム13
0、132、134、136による回路板の走査は回路板120a、12
0b、120cを回路板支持ユニット608上の固定または静止
位置に保持し、Ｃ形チャンネル支持ユニット604を第１
および第２のＸ線源 10、20、および第１、第２、第
３、および第４の線形Ｘ線検出器40、50、60、70を取付
けた状態で滑りレール612を介して回路板120を通って移
動させることにより行なわれる。当業者は図１および図
８の実施例によりこのようにして行なわれる線形走査は
同等であることを理解するであろう。
【００４６】連続線形走査断層放射線写真に関する本発
明のシステムおよび方法はその精神および不可欠の特性
から逸脱することなく他の特定の形態で具体化すること
ができることが理解されよう。したがって、当業者に明
らかな連続線形走査断層放射線写真システムおよび方法
の他の多数の実施例が存在する。説明した実施例はすべ
ての点において例示専用であって限定するものではない
と考えるものとする。本発明の範囲は、それ故、前記の
説明ではなく、付記した特許請求の範囲により示され
る。特許請求の範囲と同等の意味および範囲に入る変更
はすべてそれらの範囲内に包含されるものとする。以
下、本願発明の実施の形態を列挙する。
明のシステムおよび方法はその精神および不可欠の特性
から逸脱することなく他の特定の形態で具体化すること
ができることが理解されよう。したがって、当業者に明
らかな連続線形走査断層放射線写真システムおよび方法
の他の多数の実施例が存在する。説明した実施例はすべ
ての点において例示専用であって限定するものではない
と考えるものとする。本発明の範囲は、それ故、前記の
説明ではなく、付記した特許請求の範囲により示され
る。特許請求の範囲と同等の意味および範囲に入る変更
はすべてそれらの範囲内に包含されるものとする。以
下、本願発明の実施の形態を列挙する。
【００４７】１． 第１のＸ線源（10）、前記第１のＸ
線源（10）から第１の角度で放射されたＸ線（132）を
遮るように設置されている第１の線形Ｘ線検出器（6
0）、前記第１のＸ線源（10）から第２の角度で放射さ
れたＸ線（130）を遮るように設置されている第２の線
形Ｘ線検出器（40）、前記第１のＸ線源（10）と前記第
１および第２の線形Ｘ線検出器（60、40）との間に設置
され、更に試験中の物体（140）用の支持体（80、84）
を備え、前記試験中の物体（140）を前記第１の角度お
よび前記第２の角度で放射され、試験中の物体を（14
0）を通過してから、前記第１の線形Ｘ線検出器（60）
および前記第２の線形Ｘ線検出器（40）によりそれぞれ
検出される前記Ｘ線（132、130）を通って輸送するよう
に構成され、それにより前記試験中の物体（140）の第
１の放射線透過写真影像（360）および第２の放射線透
過写真影像（160）を形成する線形運動システム（3
0）、前記線形運動システム（30）、前記第１の線形Ｘ
線検出器（60）および前記第２の線形Ｘ線検出器（40）
に接続され、前記線形運動システム（30）および前記第
１および第２の放射線透過写真影像（360、160）を調整
して前記試験中の物体（140）の切断平面（152、154、1
56）の放射線透過写真断面影像（500）を作る制御シス
テム（100）、から構成されていることを特徴とする連
続線形走査断層放射線写真システム。
線源（10）から第１の角度で放射されたＸ線（132）を
遮るように設置されている第１の線形Ｘ線検出器（6
0）、前記第１のＸ線源（10）から第２の角度で放射さ
れたＸ線（130）を遮るように設置されている第２の線
形Ｘ線検出器（40）、前記第１のＸ線源（10）と前記第
１および第２の線形Ｘ線検出器（60、40）との間に設置
され、更に試験中の物体（140）用の支持体（80、84）
を備え、前記試験中の物体（140）を前記第１の角度お
よび前記第２の角度で放射され、試験中の物体を（14
0）を通過してから、前記第１の線形Ｘ線検出器（60）
および前記第２の線形Ｘ線検出器（40）によりそれぞれ
検出される前記Ｘ線（132、130）を通って輸送するよう
に構成され、それにより前記試験中の物体（140）の第
１の放射線透過写真影像（360）および第２の放射線透
過写真影像（160）を形成する線形運動システム（3
0）、前記線形運動システム（30）、前記第１の線形Ｘ
線検出器（60）および前記第２の線形Ｘ線検出器（40）
に接続され、前記線形運動システム（30）および前記第
１および第２の放射線透過写真影像（360、160）を調整
して前記試験中の物体（140）の切断平面（152、154、1
56）の放射線透過写真断面影像（500）を作る制御シス
テム（100）、から構成されていることを特徴とする連
続線形走査断層放射線写真システム。
【００４８】２． 第１のＸ線源（10）、前記第１のＸ
線源（10）から第１の角度で放射されたＸ線（132）を
遮るように設置されている第１の線形Ｘ線検出器（6
0）、前記第１のＸ線源（10）から第２の角度で放射さ
れたＸ線（130）を遮るように設置されている第２の線
形Ｘ線検出器（40）、前記第１のＸ線源（10）および前
記第１および第２の線形Ｘ線検出器（60、40）が取付け
られ、更に試験中の静止物体（140）が通る経路を備え
ており、前記第１のＸ線源（10）および前記第１および
第２の線形Ｘ線検出器（60、40）を前記試験中の静止物
体（140）を通って輸送し、前記第１の角度および前記
第２の角度で放射された前記Ｘ線が前記試験中の静止物
体（140）を通過してから前記第１の線形Ｘ線検出器（6
0）および前記第２の線形Ｘ線検出器（40）によりそれ
ぞれ検出され、それにより前記試験中の静止物体（14
0）の第１の放射線透過写真影像（360）および第２の放
射線透過写真影像（160）を形成するように構成されて
いる線形運動システム（604、612）、前記線形運動シス
テム（604、612）、前記第１の線形Ｘ線検出器（60）お
よび前記第２の線形Ｘ線検出器（40）に接続され、前記
線形運動システム（604、612）および前記第１および第
２の放射線透過写真影像（360、160）を調整して前記試
験中の物体（140）の切断平面（152、154、156）の放射
線透過写真断面影像（500）を作る制御システム（10
0）、から構成されていることを特徴とする連続線形走
査断層放射線写真システム。
線源（10）から第１の角度で放射されたＸ線（132）を
遮るように設置されている第１の線形Ｘ線検出器（6
0）、前記第１のＸ線源（10）から第２の角度で放射さ
れたＸ線（130）を遮るように設置されている第２の線
形Ｘ線検出器（40）、前記第１のＸ線源（10）および前
記第１および第２の線形Ｘ線検出器（60、40）が取付け
られ、更に試験中の静止物体（140）が通る経路を備え
ており、前記第１のＸ線源（10）および前記第１および
第２の線形Ｘ線検出器（60、40）を前記試験中の静止物
体（140）を通って輸送し、前記第１の角度および前記
第２の角度で放射された前記Ｘ線が前記試験中の静止物
体（140）を通過してから前記第１の線形Ｘ線検出器（6
0）および前記第２の線形Ｘ線検出器（40）によりそれ
ぞれ検出され、それにより前記試験中の静止物体（14
0）の第１の放射線透過写真影像（360）および第２の放
射線透過写真影像（160）を形成するように構成されて
いる線形運動システム（604、612）、前記線形運動シス
テム（604、612）、前記第１の線形Ｘ線検出器（60）お
よび前記第２の線形Ｘ線検出器（40）に接続され、前記
線形運動システム（604、612）および前記第１および第
２の放射線透過写真影像（360、160）を調整して前記試
験中の物体（140）の切断平面（152、154、156）の放射
線透過写真断面影像（500）を作る制御システム（10
0）、から構成されていることを特徴とする連続線形走
査断層放射線写真システム。
【００４９】３． 更に前記第１のＸ線源（10）により
放出されたＸ線（132）を前記第１の線形Ｘ線検出器（6
0）に向かって導き他の方向に進行するＸ線を阻止する
よう構成されるように前記第１のＸ線源（10）に対して
設置されている第１のコリメータ（34）、前記第１のＸ
線源（10）により放出されたＸ線（130）を前記第２の
線形Ｘ線検出器（40）に向かって導き他の方向に進行す
るＸ線を阻止するよう構成されるように前記第１のＸ線
源（10）に対して設置されている第２のコリメータ（3
2）、を備えていることを特徴とする請求項１または２
に記載の連続線形走査断層放射線写真システム。
放出されたＸ線（132）を前記第１の線形Ｘ線検出器（6
0）に向かって導き他の方向に進行するＸ線を阻止する
よう構成されるように前記第１のＸ線源（10）に対して
設置されている第１のコリメータ（34）、前記第１のＸ
線源（10）により放出されたＸ線（130）を前記第２の
線形Ｘ線検出器（40）に向かって導き他の方向に進行す
るＸ線を阻止するよう構成されるように前記第１のＸ線
源（10）に対して設置されている第２のコリメータ（3
2）、を備えていることを特徴とする請求項１または２
に記載の連続線形走査断層放射線写真システム。
【００５０】４． 更に前記第１のＸ線源（10）に対し
て横方向に設置されている第２のＸ線源（20）、前記第
２のＸ線源（20）により第３の角度で放射されるＸ線
（136）を遮るように設置されている第３の線形Ｘ線検
出器（70）、前記第２のＸ線源（20）により第４の角度
で放射されるＸ線（134）を遮るように設置されている
第４の線形Ｘ線検出器（50）、を備えていることを特徴
とする請求項３に記載の連続線形走査断層放射線写真シ
ステム。
て横方向に設置されている第２のＸ線源（20）、前記第
２のＸ線源（20）により第３の角度で放射されるＸ線
（136）を遮るように設置されている第３の線形Ｘ線検
出器（70）、前記第２のＸ線源（20）により第４の角度
で放射されるＸ線（134）を遮るように設置されている
第４の線形Ｘ線検出器（50）、を備えていることを特徴
とする請求項３に記載の連続線形走査断層放射線写真シ
ステム。
【００５１】５． 更に前記第２のＸ線源（20）により
放出されたＸ線（136）を前記第３の線形Ｘ線検出器（7
0）に向かって導き他の方向に進行するＸ線を阻止する
よう構成されるように前記第２のＸ線源（20）に対して
設置されている第３のコリメータ（38）、前記第２のＸ
線源（20）により放出されたＸ線（134）を前記第４の
線形Ｘ線検出器（50）に向かって導き他の方向に進行す
るＸ線を阻止するよう構成されるように前記第２のＸ線
源（20）に対して設置されている第４のコリメータ（3
6）、を備えていることを特徴とする請求項４に記載の
連続線形走査断層放射線写真システム。
放出されたＸ線（136）を前記第３の線形Ｘ線検出器（7
0）に向かって導き他の方向に進行するＸ線を阻止する
よう構成されるように前記第２のＸ線源（20）に対して
設置されている第３のコリメータ（38）、前記第２のＸ
線源（20）により放出されたＸ線（134）を前記第４の
線形Ｘ線検出器（50）に向かって導き他の方向に進行す
るＸ線を阻止するよう構成されるように前記第２のＸ線
源（20）に対して設置されている第４のコリメータ（3
6）、を備えていることを特徴とする請求項４に記載の
連続線形走査断層放射線写真システム。
【００５２】６． 前記第１および第２の線形Ｘ線検出
器（60、40）は更にＸ線に感応するモノリシック自己走
査線形ホトダイオード配列を備えていることを特徴とす
る請求項１または２に記載の連続線形走査断層放射線写
真システム。
器（60、40）は更にＸ線に感応するモノリシック自己走
査線形ホトダイオード配列を備えていることを特徴とす
る請求項１または２に記載の連続線形走査断層放射線写
真システム。
【００５３】７． 物体（140）の断面影像（500）を作
成する方法であって、第１のＸ線源（10）を準備する段
階、前記第１のＸ線源（10）により発生されたＸ線（13
2）を、前記Ｘ線（132）が前記物体（140）を第１の角
度方向から打って透過してから、第１の線形Ｘ線検出器
（60）で検出する段階、前記第１のＸ線源（10）により
発生されたＸ線（130）を、前記Ｘ線（130）が前記物体
（140）を第２の角度方向から打って透過してから、第
２の線形Ｘ線検出器（40）で検出する段階、前記物体
（140）を前記第１のＸ線源（10）と前記第１および第
２の線形Ｘ線検出器（60、40）との間で実質上直線の経
路に沿って移動させる段階、前記物体（140）が前記第
１のＸ線源（10）と前記第１の線形Ｘ線検出器（60）と
の間を前記実質上直線の経路に沿って横断するにつれて
前記物体（140）の第１の放射線透過写真影像（360）を
前記第１の線形Ｘ線検出器（60）で検出された前記Ｘ線
で作成する段階、前記物体（140）が前記第１のＸ線源
（10）と前記第２の線形Ｘ線検出器（40）との間を前記
実質上直線の経路に沿って横断するにつれて前記物体
（140）の第２の放射線透過写真影像（160）を前記第２
の線形Ｘ線検出器（40）で検出された前記Ｘ線で作成す
る段階、前記物体（140）の前記第１および第２の放射
線透過写真影像（360、160）を組み合わせて前記物体
（140）の断面影像（500）を形成する段階、から構成さ
れることを特徴とする方法。
成する方法であって、第１のＸ線源（10）を準備する段
階、前記第１のＸ線源（10）により発生されたＸ線（13
2）を、前記Ｘ線（132）が前記物体（140）を第１の角
度方向から打って透過してから、第１の線形Ｘ線検出器
（60）で検出する段階、前記第１のＸ線源（10）により
発生されたＸ線（130）を、前記Ｘ線（130）が前記物体
（140）を第２の角度方向から打って透過してから、第
２の線形Ｘ線検出器（40）で検出する段階、前記物体
（140）を前記第１のＸ線源（10）と前記第１および第
２の線形Ｘ線検出器（60、40）との間で実質上直線の経
路に沿って移動させる段階、前記物体（140）が前記第
１のＸ線源（10）と前記第１の線形Ｘ線検出器（60）と
の間を前記実質上直線の経路に沿って横断するにつれて
前記物体（140）の第１の放射線透過写真影像（360）を
前記第１の線形Ｘ線検出器（60）で検出された前記Ｘ線
で作成する段階、前記物体（140）が前記第１のＸ線源
（10）と前記第２の線形Ｘ線検出器（40）との間を前記
実質上直線の経路に沿って横断するにつれて前記物体
（140）の第２の放射線透過写真影像（160）を前記第２
の線形Ｘ線検出器（40）で検出された前記Ｘ線で作成す
る段階、前記物体（140）の前記第１および第２の放射
線透過写真影像（360、160）を組み合わせて前記物体
（140）の断面影像（500）を形成する段階、から構成さ
れることを特徴とする方法。
【００５４】８． 静止物体（140）の断面影像（500）
を作成する方法であって、第１のＸ線源（10）を準備す
る段階、前記第１のＸ線源（10）により発生されたＸ線
（132）を、前記Ｘ線（132）が前記物体（140）を第１
の角度方向から打って透過してから、第１の線形Ｘ線検
出器（60）で検出する段階、前記第１のＸ線源（10）に
より発生されたＸ線（130）を、前記Ｘ線（130）が前記
物体（140）を第２の角度方向から打って透過してか
ら、第２の線形Ｘ線検出器（40）で検出する段階、前記
第１のＸ線源（10）および前記第１および第２の線形Ｘ
線検出器（60、40）を前記静止物体（140）を通る実質
上直線の経路に沿って移動させ、前記第１のＸ線源（1
0）からの前記Ｘ線（132、130）が前記静止物体（140）
を透過し、前記第１および第２の線形Ｘ線検出器（60、
40）により検出されるようにする段階、前記第１の線形
Ｘ線検出器（60）および前記第１のＸ線源（10）が前記
静止物体（140）を通る実質上直線の経路を横断するに
つれて前記静止物体（140）の第１の放射線透過写真影
像（360）を前記第１の線形Ｘ線検出器（60）で検出さ
れた前記Ｘ線で作成する段階、前記第２の線形Ｘ線検出
器（40）および前記第１のＸ線源（10）が前記静止物体
（140）を通る実質上直線の経路を横断するにつれて前
記静止物体（140）の第２の放射線透過写真影像（160）
を前記第２の線形Ｘ線検出器（40）で検出された前記Ｘ
線で作成する段階、前記静止物体（140）の前記第１お
よび第２の放射線透過写真影像（360、160）を組み合わ
せて前記静止物体（140）の断面影像（500）を形成する
段階、から構成されていることを特徴とする方法。
を作成する方法であって、第１のＸ線源（10）を準備す
る段階、前記第１のＸ線源（10）により発生されたＸ線
（132）を、前記Ｘ線（132）が前記物体（140）を第１
の角度方向から打って透過してから、第１の線形Ｘ線検
出器（60）で検出する段階、前記第１のＸ線源（10）に
より発生されたＸ線（130）を、前記Ｘ線（130）が前記
物体（140）を第２の角度方向から打って透過してか
ら、第２の線形Ｘ線検出器（40）で検出する段階、前記
第１のＸ線源（10）および前記第１および第２の線形Ｘ
線検出器（60、40）を前記静止物体（140）を通る実質
上直線の経路に沿って移動させ、前記第１のＸ線源（1
0）からの前記Ｘ線（132、130）が前記静止物体（140）
を透過し、前記第１および第２の線形Ｘ線検出器（60、
40）により検出されるようにする段階、前記第１の線形
Ｘ線検出器（60）および前記第１のＸ線源（10）が前記
静止物体（140）を通る実質上直線の経路を横断するに
つれて前記静止物体（140）の第１の放射線透過写真影
像（360）を前記第１の線形Ｘ線検出器（60）で検出さ
れた前記Ｘ線で作成する段階、前記第２の線形Ｘ線検出
器（40）および前記第１のＸ線源（10）が前記静止物体
（140）を通る実質上直線の経路を横断するにつれて前
記静止物体（140）の第２の放射線透過写真影像（160）
を前記第２の線形Ｘ線検出器（40）で検出された前記Ｘ
線で作成する段階、前記静止物体（140）の前記第１お
よび第２の放射線透過写真影像（360、160）を組み合わ
せて前記静止物体（140）の断面影像（500）を形成する
段階、から構成されていることを特徴とする方法。
【００５５】９． 更に前記第１のＸ線源（10）により
放射されたＸ線（132）を前記第１の線形Ｘ線検出器（6
0）の方に導き他の方向に進行するＸ線を阻止するよう
に構成されている第１のコリメータ（34）によりコリメ
ートする段階、前記第１のＸ線源（10）により放射され
たＸ線（130）を前記第２の線形Ｘ線検出器（40）の方
に導き他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成さ
れている第１のコリメータ（32）によりコリメートする
段階、を備えていることを特徴とする請求項７または８
に記載の方法。
放射されたＸ線（132）を前記第１の線形Ｘ線検出器（6
0）の方に導き他の方向に進行するＸ線を阻止するよう
に構成されている第１のコリメータ（34）によりコリメ
ートする段階、前記第１のＸ線源（10）により放射され
たＸ線（130）を前記第２の線形Ｘ線検出器（40）の方
に導き他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成さ
れている第１のコリメータ（32）によりコリメートする
段階、を備えていることを特徴とする請求項７または８
に記載の方法。
【００５６】１０． 更に第２のＸ線源（20）を準備す
る段階、前記第２のＸ線源（20）を前記第１のＸ線源
（10）に関して横方向に設置する段階、前記第２のＸ線
源（20）により発生されたＸ線（136）を、前記Ｘ線（1
36）が前記物体（140）を第３の角度方向から打って透
過してから、第３の線形Ｘ線検出器（70）により検出す
る段階、前記第２のＸ線源（20）により発生されたＸ線
（134）を、前記Ｘ線（134）が前記物体（140）を第４
の角度方向から打って透過してから、第４の線形Ｘ線検
出器（50）により検出する段階、前記第２のＸ線源（2
0）を、前記第２のＸ線源（20）により発生されたＸ線
（136）を前記第３の線形Ｘ線検出器（70）の方に導き
他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成された第
３のコリメータ（38）でコリメートする段階、前記第２
のＸ線源（20）を、前記第２のＸ線源（20）により発生
されたＸ線（134）を前記第４の線形Ｘ線検出器（50）
の方に導き他の方向に進行するＸ線を阻止するように構
成された第４のコリメータ（36）でコリメートする段
階、を備えていることを特徴とする請求項７または８に
記載の方法。
る段階、前記第２のＸ線源（20）を前記第１のＸ線源
（10）に関して横方向に設置する段階、前記第２のＸ線
源（20）により発生されたＸ線（136）を、前記Ｘ線（1
36）が前記物体（140）を第３の角度方向から打って透
過してから、第３の線形Ｘ線検出器（70）により検出す
る段階、前記第２のＸ線源（20）により発生されたＸ線
（134）を、前記Ｘ線（134）が前記物体（140）を第４
の角度方向から打って透過してから、第４の線形Ｘ線検
出器（50）により検出する段階、前記第２のＸ線源（2
0）を、前記第２のＸ線源（20）により発生されたＸ線
（136）を前記第３の線形Ｘ線検出器（70）の方に導き
他の方向に進行するＸ線を阻止するように構成された第
３のコリメータ（38）でコリメートする段階、前記第２
のＸ線源（20）を、前記第２のＸ線源（20）により発生
されたＸ線（134）を前記第４の線形Ｘ線検出器（50）
の方に導き他の方向に進行するＸ線を阻止するように構
成された第４のコリメータ（36）でコリメートする段
階、を備えていることを特徴とする請求項７または８に
記載の方法。
【００５７】１１． Ｘ線を前記第１および第２の線形
Ｘ線検出器（60、40）で検出する前記段階は更にＸ線に
感応するモノリシック自己走査線形ホトダイオード配列
を準備する段階を備えていることを特徴とする請求項７
または８に記載の方法。
Ｘ線検出器（60、40）で検出する前記段階は更にＸ線に
感応するモノリシック自己走査線形ホトダイオード配列
を準備する段階を備えていることを特徴とする請求項７
または８に記載の方法。
【００５８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、高速高
性能検査のために連続走査法を使用する非常に改善され
たコンピュータ化断層放射線写真装置から構成される。
この装置は、検出器、Ｘ線管、Ｘ線のスポット、または
Ｘ線のビーム運動ではなく、結像しようとする物体の滑
らかな直線運動だけである。従って、従来よりも、高速
な連続線形走査断層放射線写真システムを提供すること
ができる。
性能検査のために連続走査法を使用する非常に改善され
たコンピュータ化断層放射線写真装置から構成される。
この装置は、検出器、Ｘ線管、Ｘ線のスポット、または
Ｘ線のビーム運動ではなく、結像しようとする物体の滑
らかな直線運動だけである。従って、従来よりも、高速
な連続線形走査断層放射線写真システムを提供すること
ができる。
【図１】本発明による連続線形走査断層放射線写真シス
テムの斜視図を示す。
テムの斜視図を示す。
【図２】図１の連続線形走査断層放射線写真システムの
上面図を示す。
上面図を示す。
【図３】図１および図２の連続線形走査断層放射線写真
システムの側面図を示す。
システムの側面図を示す。
【図４】図１、図２、および図３の連続線形走査断層放
射線写真システムの回路板挿入端から見た端面図を示
す。
射線写真システムの回路板挿入端から見た端面図を示
す。
【図５】断層放射線写真を実証する試験物体を示す。
【図６】四つの線形Ｘ線検出器の各々に形成された図５
に示す試験物体の従来の放射線透過写真影像を示す。
に示す試験物体の従来の放射線透過写真影像を示す。
【図７】図６（ａ）−（ｄ）に示す従来の放射線透過写
真影像の組合せから得られる一焦点面での試験物体の断
面断層放射線写真影像を示す。
真影像の組合せから得られる一焦点面での試験物体の断
面断層放射線写真影像を示す。
【図８】本発明による連続線形走査断層放射線写真シス
テムの代わりの実施例の斜視図を示す。
テムの代わりの実施例の斜視図を示す。
10，20 Ｘ線源 30，604，612 線形運動システム 32，34，36，38 コリメータ 40，50，60，70 線形Ｘ線検出器 80，84 物体の支持体 100 制御システム 130，132 Ｘ線 140 試験中の物体 152，154，156 切断平面 160，360 放射線透過写真影像 500 物体の断面影像
Claims (1)
- 【請求項１】 第１のＸ線源（10）、 前記第１のＸ線源（10）から第１の角度で放射されたＸ
線（132）を遮るように設置されている第１の線形Ｘ線
検出器（60）、 前記第１のＸ線源（10）から第２の角度で放射されたＸ
線（130）を遮るように設置されている第２の線形Ｘ線
検出器（40）、 前記第１のＸ線源（10）と前記第１および第２の線形Ｘ
線検出器（60、40）との間に設置され、更に試験中の物
体（140）用の支持体（80、84）を備え、前記試験中の
物体（140）を前記第１の角度および前記第２の角度で
放射され、試験中の物体を（140）を通過してから、前
記第１の線形Ｘ線検出器（60）および前記第２の線形Ｘ
線検出器（40）によりそれぞれ検出される前記Ｘ線（13
2、130）を通って輸送するように構成され、それにより
前記試験中の物体（140）の第１の放射線透過写真影像
（360）および第２の放射線透過写真影像（160）を形成
する線形運動システム（30）、 前記線形運動システム（30）、前記第１の線形Ｘ線検出
器（60）および前記第２の線形Ｘ線検出器（40）に接続
され、前記線形運動システム（30）および前記第１およ
び第２の放射線透過写真影像（360、160）を調整して前
記試験中の物体（140）の切断平面（152、154、156）の
放射線透過写真断面影像（500）を作る制御システム（1
00）、から構成されていることを特徴とする連続線形走
査断層放射線写真システム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US419-794 | 1995-04-11 | ||
| US08/419,794 US5583904A (en) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | Continuous linear scan laminography system and method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08328176A true JPH08328176A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=23663791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8086706A Ceased JPH08328176A (ja) | 1995-04-11 | 1996-04-09 | 連続線形走査断層放射線写真システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5583904A (ja) |
| JP (1) | JPH08328176A (ja) |
| DE (1) | DE19604802C2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006276011A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Surescan Corp | 撮像検査装置 |
| JP2015158407A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| JP2015158406A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| JP2015190940A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
Families Citing this family (52)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5687209A (en) * | 1995-04-11 | 1997-11-11 | Hewlett-Packard Co. | Automatic warp compensation for laminographic circuit board inspection |
| DE19756697A1 (de) * | 1997-12-19 | 1999-07-01 | Manfred Dr Ing Pfeiler | Vorrichtung zur Stückgut-Röntgentomosynthese |
| US6236709B1 (en) | 1998-05-04 | 2001-05-22 | Ensco, Inc. | Continuous high speed tomographic imaging system and method |
| US6314201B1 (en) | 1998-10-16 | 2001-11-06 | Agilent Technologies, Inc. | Automatic X-ray determination of solder joint and view delta Z values from a laser mapped reference surface for circuit board inspection using X-ray laminography |
| US6201850B1 (en) | 1999-01-26 | 2001-03-13 | Agilent Technologies, Inc. | Enhanced thickness calibration and shading correction for automatic X-ray inspection |
| JP3926055B2 (ja) * | 1999-03-03 | 2007-06-06 | 株式会社ブリヂストン | タイヤの内部検査方法及び装置 |
| US6628745B1 (en) * | 2000-07-01 | 2003-09-30 | Martin Annis | Imaging with digital tomography and a rapidly moving x-ray source |
| US6825856B1 (en) | 2000-07-26 | 2004-11-30 | Agilent Technologies, Inc. | Method and apparatus for extracting measurement information and setting specifications using three dimensional visualization |
| US6373917B1 (en) * | 2000-08-30 | 2002-04-16 | Agilent Technologies, Inc. | Z-axis elimination in an X-ray laminography system using image magnification for Z plane adjustment |
| US6671349B1 (en) | 2000-11-13 | 2003-12-30 | Olganix Corporation | Tomosynthesis system and registration method |
| US6748046B2 (en) * | 2000-12-06 | 2004-06-08 | Teradyne, Inc. | Off-center tomosynthesis |
| DE10102324A1 (de) * | 2001-01-19 | 2002-07-25 | Philips Corp Intellectual Pty | Röntgeneinrichtung für die Tomosynthese |
| US6324249B1 (en) | 2001-03-21 | 2001-11-27 | Agilent Technologies, Inc. | Electronic planar laminography system and method |
| JP2003156454A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-05-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ｘ線検査装置とその制御方法と調整方法 |
| US6853744B2 (en) * | 2001-12-14 | 2005-02-08 | Agilent Technologies, Inc. | System and method for confirming electrical connection defects |
| US6847900B2 (en) * | 2001-12-17 | 2005-01-25 | Agilent Technologies, Inc. | System and method for identifying solder joint defects |
| US6970531B2 (en) * | 2002-10-07 | 2005-11-29 | General Electric Company | Continuous scan RAD tomosynthesis system and method |
| US6738450B1 (en) | 2002-12-10 | 2004-05-18 | Agilent Technologies, Inc. | System and method for cost-effective classification of an object under inspection |
| GB0306259D0 (en) * | 2003-03-19 | 2003-04-23 | Pilkington Plc | Method to determine the optical quality of a glazing |
| US7231013B2 (en) * | 2003-03-21 | 2007-06-12 | Agilent Technologies, Inc. | Precise x-ray inspection system utilizing multiple linear sensors |
| US6895072B2 (en) | 2003-03-26 | 2005-05-17 | Heimann Systems Corp. | Apparatus and method for non-destructive inspection of material in containers |
| GB0307345D0 (en) * | 2003-03-29 | 2003-05-07 | Pilkington Plc | Glazing inspection |
| US7433507B2 (en) * | 2003-07-03 | 2008-10-07 | Ge Medical Systems Global Technology Co. | Imaging chain for digital tomosynthesis on a flat panel detector |
| US7436991B2 (en) * | 2003-08-29 | 2008-10-14 | Agilent Technologies, Inc. | Image buffers and access schedules for image reconstruction systems |
| US7200534B2 (en) * | 2005-03-07 | 2007-04-03 | Agilent Technologies, Inc. | Radiographic imaging systems and methods for designing same |
| US7261466B2 (en) * | 2005-06-01 | 2007-08-28 | Endicott Interconnect Technologies, Inc. | Imaging inspection apparatus with directional cooling |
| US7354197B2 (en) * | 2005-06-01 | 2008-04-08 | Endicott Interconnect Technologies, Inc. | Imaging inspection apparatus with improved cooling |
| US7505554B2 (en) * | 2005-07-25 | 2009-03-17 | Digimd Corporation | Apparatus and methods of an X-ray and tomosynthesis and dual spectra machine |
| US20070189460A1 (en) * | 2006-02-15 | 2007-08-16 | Buck Dean C | Precise x-ray inspection system |
| US7319737B2 (en) * | 2006-04-07 | 2008-01-15 | Satpal Singh | Laminographic system for 3D imaging and inspection |
| CN101071109B (zh) * | 2006-05-08 | 2010-05-12 | 清华大学 | 一种多段直线轨迹成像的货物安全检查系统 |
| CN101074935B (zh) * | 2006-05-19 | 2011-03-23 | 清华大学 | 探测器阵列及设备 |
| US20080089567A1 (en) * | 2006-10-11 | 2008-04-17 | Eliasson Tracy K | Artifact reduction in an x-ray imaging system |
| EA010609B1 (ru) * | 2006-10-24 | 2008-10-30 | Закрытое Акционерное Общество "Рентгенпром" ( Зао "Рентгенпром") | Способ рентгеновского контроля объекта исследования и установка для его реализации |
| TR200904838T1 (tr) * | 2006-12-28 | 2009-10-21 | Nuctech Company Limited | Binoküler steryoskobik taramalı radyografik görüntülemeye ilişkin metot ve sistem |
| US7529336B2 (en) | 2007-05-31 | 2009-05-05 | Test Research, Inc. | System and method for laminography inspection |
| EP2165314B1 (en) * | 2007-06-06 | 2014-08-20 | De La Rue International Limited | Apparatus for analysing a security document |
| WO2008149052A1 (en) * | 2007-06-06 | 2008-12-11 | De La Rue International Limited | Apparatus and method for analysing a security document |
| EP2168104A1 (en) | 2007-06-06 | 2010-03-31 | De La Rue International Limited | Apparatus for analysing a security document |
| CN101358936B (zh) * | 2007-08-02 | 2011-03-16 | 同方威视技术股份有限公司 | 一种利用双视角多能量透射图像进行材料识别的方法及系统 |
| US8331525B2 (en) | 2007-10-01 | 2012-12-11 | Pratt & Whitney Rocketdyne, Inc. | Characteristic X-ray computed laminography system for home made explosives (HME) detection |
| US20090232277A1 (en) * | 2008-03-14 | 2009-09-17 | General Electric Company | System and method for inspection of items of interest in objects |
| JP5559471B2 (ja) * | 2008-11-11 | 2014-07-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出装置、放射線画像取得システム、放射線検査システム、及び放射線検出方法 |
| US7986764B2 (en) * | 2008-12-08 | 2011-07-26 | Morpho Detection, Inc. | X-ray laminography device, object imaging system, and method for operating a security system |
| US20110142201A1 (en) * | 2009-12-15 | 2011-06-16 | General Electric Company | Multi-view imaging system and method |
| CN101839871B (zh) * | 2010-05-18 | 2011-12-28 | 华南理工大学 | 一种x射线分层摄影检测方法与系统 |
| GB201010233D0 (en) | 2010-06-18 | 2010-07-21 | Univ Nottingham Trent | Improvements in or relating to sample analysis |
| CN103558862B (zh) * | 2013-10-21 | 2017-04-05 | 华南理工大学 | 一种x射线物象点自主精密追踪控制系统及方法 |
| US9874507B2 (en) * | 2015-04-28 | 2018-01-23 | Delta Subsea, Llc | Systems, apparatuses, and methods for measuring submerged surfaces |
| JP2020020730A (ja) * | 2018-08-03 | 2020-02-06 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | Ｘ線透過検査装置及びｘ線透過検査方法 |
| US10684118B1 (en) * | 2019-04-09 | 2020-06-16 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Apparatus for determining an orientation of a die |
| US11992350B2 (en) * | 2022-03-15 | 2024-05-28 | Sigray, Inc. | System and method for compact laminography utilizing microfocus transmission x-ray source and variable magnification x-ray detector |
Family Cites Families (82)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2511853A (en) * | 1950-06-20 | Radiographic scanning unit | ||
| US2720596A (en) * | 1955-10-11 | Spiral laminagraph | ||
| US2259708A (en) * | 1937-06-14 | 1941-10-21 | Schiebold Ernst | Testing materials by x-ray |
| BE468984A (ja) * | 1939-11-02 | |||
| US2667585A (en) * | 1951-02-15 | 1954-01-26 | Hartford Nat Bank & Trust Co | Device for producing screening images of body sections |
| DE1033844B (de) * | 1951-09-04 | 1958-07-10 | Ialicenciaia Talalmanyokat Ert | Roentgenapparat fuer Bewegungsbestrahlung |
| BE533316A (ja) * | 1953-11-14 | |||
| NL207028A (ja) * | 1956-05-09 | |||
| CH355225A (de) * | 1958-01-22 | 1961-06-30 | Foerderung Forschung Gmbh | Verfahren und Einrichtung zum Kontrollieren und Korrigieren der Lage des durch einen Kathodenstrahl erzeugten Brennflecks auf der Antikathode einer Röntgenröhre |
| US3149257A (en) * | 1962-04-25 | 1964-09-15 | Dean E Wintermute | X-ray devices for use on the human body |
| US3499146A (en) * | 1966-10-10 | 1970-03-03 | Albert G Richards | Variable depth laminagraphy with means for highlighting the detail of selected lamina |
| US3780291A (en) * | 1971-07-07 | 1973-12-18 | American Science & Eng Inc | Radiant energy imaging with scanning pencil beam |
| US3818220A (en) * | 1971-11-03 | 1974-06-18 | A Richards | Variable depth laminagraphy |
| US3832546A (en) * | 1972-04-14 | 1974-08-27 | Xonics Inc | X-ray system with aligned source and slits |
| DE2218384C3 (de) * | 1972-04-15 | 1980-03-20 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Holographisches Verfahren zur Herstellung eines dreidimensionalen Bildes aus einer Serie von zweidimensionalen Bildern unterschiedlicher Perspektive |
| US3742229A (en) * | 1972-06-29 | 1973-06-26 | Massachusetts Inst Technology | Soft x-ray mask alignment system |
| US3812288A (en) * | 1972-11-21 | 1974-05-21 | Edax Int Inc | Television display system |
| US3928769A (en) * | 1973-03-19 | 1975-12-23 | Trw Inc | Laminographic instrument |
| US3894234A (en) * | 1974-01-28 | 1975-07-08 | Us Navy | Radial scanner |
| US3984684A (en) * | 1974-02-06 | 1976-10-05 | Douglas Fredwill Winnek | Three-dimensional radiography |
| US3962579A (en) * | 1974-02-28 | 1976-06-08 | Douglas Fredwill Winnek | Three-dimensional radiography |
| US4032785A (en) * | 1974-03-28 | 1977-06-28 | United States Steel Corporation | Tire inspection machine presenting an x-ray image of the entire width of the tire |
| DE2559658A1 (de) * | 1974-08-28 | 1977-09-29 | Emi Ltd | Radiographisches geraet |
| US4007375A (en) * | 1975-07-14 | 1977-02-08 | Albert Richard D | Multi-target X-ray source |
| GB1579341A (en) * | 1976-04-28 | 1980-11-19 | Emi Ltd | X-ray generating tubes |
| FR2351422A1 (fr) * | 1976-05-14 | 1977-12-09 | Thomson Csf | Dispositif detecteur, localisateur solide d'impacts de rayonnement ionisants |
| US4064440A (en) * | 1976-06-22 | 1977-12-20 | Roder Frederick L | X-ray or gamma-ray examination device for moving objects |
| DE2647167C2 (de) * | 1976-10-19 | 1987-01-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Vorrichtung zur Herstellung von Schichtaufnahmen mit Röntgen- oder ähnlich durchdringenden Strahlen |
| DE2658533C2 (de) * | 1976-12-23 | 1987-02-26 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Vorrichtung zur Darstellung von Körperlängsschichten |
| US4075489A (en) * | 1977-01-21 | 1978-02-21 | Simulation Physics | Method and apparatus involving the generation of x-rays |
| US4130759A (en) * | 1977-03-17 | 1978-12-19 | Haimson Research Corporation | Method and apparatus incorporating no moving parts, for producing and selectively directing x-rays to different points on an object |
| US4179100A (en) * | 1977-08-01 | 1979-12-18 | University Of Pittsburgh | Radiography apparatus |
| US4139776A (en) * | 1977-09-22 | 1979-02-13 | Cgr Medical Corporation | System for circular and complex tomography |
| US4234792A (en) * | 1977-09-29 | 1980-11-18 | Raytheon Company | Scintillator crystal radiation detector |
| US4228353A (en) * | 1978-05-02 | 1980-10-14 | Johnson Steven A | Multiple-phase flowmeter and materials analysis apparatus and method |
| US4260898A (en) * | 1978-09-28 | 1981-04-07 | American Science And Engineering, Inc. | X-ray imaging variable resolution |
| US4211927A (en) * | 1978-11-24 | 1980-07-08 | Cgr Medical Corporation | Computerized tomography system |
| US4392235A (en) * | 1979-08-16 | 1983-07-05 | General Electric Company | Electronically scanned x-ray tomography system |
| US4287425A (en) * | 1979-12-31 | 1981-09-01 | Pfizer, Incorporated | Construction of a CT scanner using heavy ions or protons |
| US4352021A (en) * | 1980-01-07 | 1982-09-28 | The Regents Of The University Of California | X-Ray transmission scanning system and method and electron beam X-ray scan tube for use therewith |
| DE3010780A1 (de) * | 1980-03-20 | 1981-09-24 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Strahlendiagnostikeinrichtung |
| US4400620A (en) * | 1980-06-26 | 1983-08-23 | Blum Alvin S | Photon emission tomographic apparatus |
| DE3028996A1 (de) * | 1980-07-31 | 1982-03-04 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Kurzzeit-tomosyntheseanordnung |
| DE3037621A1 (de) * | 1980-10-04 | 1982-05-27 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Durchleuchtungsanordnung zur aufnahme von schichtbildern eines dreidimensionalen objektes |
| US4414682A (en) * | 1980-11-17 | 1983-11-08 | American Science And Engineering, Inc. | Penetrating radiant energy imaging system with multiple resolution |
| EP0054596B1 (fr) * | 1980-12-18 | 1985-05-29 | International Business Machines Corporation | Procédé d'inspection et de tri automatique d'objets présentant des configurations avec des tolérances dimensionnelles et des critères de rejet variables selon l'emplacement, équipement et circuits de mise en oeuvre |
| US4415980A (en) * | 1981-03-02 | 1983-11-15 | Lockheed Missiles & Space Co., Inc. | Automated radiographic inspection system |
| US4426722A (en) * | 1981-03-12 | 1984-01-17 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | X-Ray microbeam generator |
| US4385434A (en) * | 1981-06-08 | 1983-05-31 | Visidyne, Inc. | Alignment system |
| DE3134076A1 (de) * | 1981-08-28 | 1983-03-10 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | "vorrichtung zur schichtweisen darstellung eines koerpers" |
| US4472824A (en) * | 1982-08-04 | 1984-09-18 | The Perkin-Elmer Corporation | Apparatus for effecting alignment and spacing control of a mask and wafer for use in X-ray lithography |
| US4491956A (en) * | 1982-09-10 | 1985-01-01 | Winnek Douglas Fredwill | Method and apparatus for making three-dimensional radiographs |
| JPS59157505A (ja) * | 1983-02-28 | 1984-09-06 | Hitachi Ltd | パタ−ン検査装置 |
| US5020086A (en) * | 1983-07-05 | 1991-05-28 | Ridge, Inc. | Microfocus X-ray system |
| US4521902A (en) * | 1983-07-05 | 1985-06-04 | Ridge, Inc. | Microfocus X-ray system |
| GB2149630A (en) * | 1983-09-20 | 1985-06-12 | British Gas Corp | Real time radiographic inspection |
| US4575751A (en) * | 1983-11-15 | 1986-03-11 | Rca Corporation | Method and subsystem for plotting the perimeter of an object |
| US4561104A (en) * | 1984-01-16 | 1985-12-24 | Honeywell Inc. | Automated inspection of hot steel slabs |
| US4688241A (en) * | 1984-03-26 | 1987-08-18 | Ridge, Inc. | Microfocus X-ray system |
| US4618970A (en) * | 1984-04-05 | 1986-10-21 | Imatron, Inc. | Beam positioning arrangement for use in a scanning electron beam computed tomography scanner and method |
| US4731855A (en) * | 1984-04-06 | 1988-03-15 | Hitachi, Ltd. | Pattern defect inspection apparatus |
| JPH0676975B2 (ja) * | 1984-09-26 | 1994-09-28 | 新技術事業団 | 表面原子配列構造の観察方法 |
| JPS61293657A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 半田付け外観検査方法 |
| JPH0646550B2 (ja) * | 1985-08-19 | 1994-06-15 | 株式会社東芝 | 電子ビ−ム定位置照射制御方法および電子ビ−ム定位置照射制御装置 |
| JPH0680420B2 (ja) * | 1985-09-20 | 1994-10-12 | 株式会社日立製作所 | Ｘ線ｃｔ装置 |
| JPH0678993B2 (ja) * | 1985-11-15 | 1994-10-05 | 株式会社日立メデイコ | Ｘ線ｃｔ装置 |
| US4688939A (en) * | 1985-12-27 | 1987-08-25 | At&T Technologies, Inc. | Method and apparatus for inspecting articles |
| US4720633A (en) * | 1986-01-17 | 1988-01-19 | Electro-Scan Corporation | Scanning electron microscope for visualization of wet samples |
| DE3605141A1 (de) * | 1986-02-18 | 1987-08-20 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Digitaler positionsgeber |
| US4809308A (en) * | 1986-02-20 | 1989-02-28 | Irt Corporation | Method and apparatus for performing automated circuit board solder quality inspections |
| US4803639A (en) * | 1986-02-25 | 1989-02-07 | General Electric Company | X-ray inspection system |
| US4718075A (en) * | 1986-03-28 | 1988-01-05 | Grumman Aerospace Corporation | Raster scan anode X-ray tube |
| US4730350A (en) * | 1986-04-21 | 1988-03-08 | Albert Richard D | Method and apparatus for scanning X-ray tomography |
| US4926452A (en) * | 1987-10-30 | 1990-05-15 | Four Pi Systems Corporation | Automated laminography system for inspection of electronics |
| US5081656A (en) * | 1987-10-30 | 1992-01-14 | Four Pi Systems Corporation | Automated laminography system for inspection of electronics |
| US5097492A (en) * | 1987-10-30 | 1992-03-17 | Four Pi Systems Corporation | Automated laminography system for inspection of electronics |
| FR2626432B1 (fr) * | 1988-01-25 | 1995-10-13 | Commissariat Energie Atomique | Appareil de tomographie a rayons x |
| EP0336282B1 (de) * | 1988-04-08 | 1992-06-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Plasma-Röntgenröhre, insbesondere zur Röntgen-Vorionisierung von Gaslasern, Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung mit einer solchen Röntgenröhre und Verwendung letzterer |
| US4852131A (en) * | 1988-05-13 | 1989-07-25 | Advanced Research & Applications Corporation | Computed tomography inspection of electronic devices |
| US4977328A (en) * | 1989-03-02 | 1990-12-11 | U.S. Philips Corporation | Method of detecting a marker provided on a specimen |
| US5259012A (en) * | 1990-08-30 | 1993-11-02 | Four Pi Systems Corporation | Laminography system and method with electromagnetically directed multipath radiation source |
| US5199054A (en) * | 1990-08-30 | 1993-03-30 | Four Pi Systems Corporation | Method and apparatus for high resolution inspection of electronic items |
-
1995
- 1995-04-11 US US08/419,794 patent/US5583904A/en not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-02-09 DE DE19604802A patent/DE19604802C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-04-09 JP JP8086706A patent/JPH08328176A/ja not_active Ceased
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006276011A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Surescan Corp | 撮像検査装置 |
| JP2015158407A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| JP2015158406A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| JP2015190940A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
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| US5583904A (en) | 1996-12-10 |
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