JPH0680420B2 - Ｘ線ｃｔ装置 - Google Patents
Ｘ線ｃｔ装置Info
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- JPH0680420B2 JPH0680420B2 JP60208086A JP20808685A JPH0680420B2 JP H0680420 B2 JPH0680420 B2 JP H0680420B2 JP 60208086 A JP60208086 A JP 60208086A JP 20808685 A JP20808685 A JP 20808685A JP H0680420 B2 JPH0680420 B2 JP H0680420B2
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- JP
- Japan
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- ray
- detector
- ray source
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- turntable
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
- G01N23/046—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using tomography, e.g. computed tomography [CT]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/40—Imaging
- G01N2223/419—Imaging computed tomograph
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、Ｘ線CT装置に係り、特に多数個の小さな被検
体を同時に測定するのに好適なＸ線CT置に関する。
体を同時に測定するのに好適なＸ線CT置に関する。
たとえば、IC等の製造ラインの自動検査システムとして
Ｘ線CT装置がある。
Ｘ線CT装置がある。
一般に、この種のＸ線CT装置の代表的なシステムとし
て、第１図に示す様な方式が知られており、上記に述べ
た目的に対応して製造されている。
て、第１図に示す様な方式が知られており、上記に述べ
た目的に対応して製造されている。
すなわち、第１図はターンテーブル４の円周部に被検体
４が等間隔に配置され、前記ターンテーブル３を挟ん
で、Ｘ線源１と検出器５とがそれぞれ対向して直線往復
運動を行なつている。
４が等間隔に配置され、前記ターンテーブル３を挟ん
で、Ｘ線源１と検出器５とがそれぞれ対向して直線往復
運動を行なつている。
被検体が、多数個でかつ小さい場合でも、図に示した様
な配置により測定することは可能であるが、下記の技術
的問題がある。
な配置により測定することは可能であるが、下記の技術
的問題がある。
（１）被検体３に比べて、有効視野２が大きいため、画
素寸法を小さくとることが出来ず、高い分解能を得るこ
とは、困難になり、小さな被検体の精度検査には、適し
ていない。
素寸法を小さくとることが出来ず、高い分解能を得るこ
とは、困難になり、小さな被検体の精度検査には、適し
ていない。
（２）Ｘ線源１と検出器５間の距離は、必然的に大きく
なり、高いＸ線強度が必要になる。検出器も大きく、装
置全体が大型になる。
なり、高いＸ線強度が必要になる。検出器も大きく、装
置全体が大型になる。
上記の理由により、例えば、小さな部品等の製造ライン
にCT装置の自動検査システムを信頼性よく設置すること
を難してしている。
にCT装置の自動検査システムを信頼性よく設置すること
を難してしている。
本発明の目的は、同時に多数個の小さな被検体を高い精
度でかつ早いスビードで検査することが可能で、かつ装
置を小型化して、工場等の製造ラインにおける自動検査
装置として適用することが可能なＸ線CT装置を提供する
ことにある。
度でかつ早いスビードで検査することが可能で、かつ装
置を小型化して、工場等の製造ラインにおける自動検査
装置として適用することが可能なＸ線CT装置を提供する
ことにある。
第２図は、本発明によるＸ線CT装置の一実施例を示す平
面図である。
面図である。
同図において、Ｘ線CT装置は、Ｘ線源１、Ｘ線フアンビ
ーム２、被検体３、テーンテーブル４および検出器５か
ら構成され、本実施例の場合、小さな被検体に対応した
小型のターンテーブル４とし、それらを多数台、Ｘ線源
１の移動方向に並列に配置している。このCT装置の測定
方法は、Ｘ線源１と検出器５を同期させて、Ｘ線を被検
体３に照射させつつ平行に等速度で移動される。その
際、Ｘ線源１の１回の並進動作ごとに、ターンテーブル
４は、Ｘ線フアンビームの拡り角度で回転させる。１つ
のスライス面の測定が完了するとターンテーブル４が紙
面に垂直方向に移動して次のスライス面を測定する。
ーム２、被検体３、テーンテーブル４および検出器５か
ら構成され、本実施例の場合、小さな被検体に対応した
小型のターンテーブル４とし、それらを多数台、Ｘ線源
１の移動方向に並列に配置している。このCT装置の測定
方法は、Ｘ線源１と検出器５を同期させて、Ｘ線を被検
体３に照射させつつ平行に等速度で移動される。その
際、Ｘ線源１の１回の並進動作ごとに、ターンテーブル
４は、Ｘ線フアンビームの拡り角度で回転させる。１つ
のスライス面の測定が完了するとターンテーブル４が紙
面に垂直方向に移動して次のスライス面を測定する。
このシステムは、１つの被検体３に注目すれば、従来の
CT装置と全く同様であるが、Ｘ線源１と検出器５の間隔
を小さくすることができ、その結果、有効視野６が小さ
くなり、画素寸法を小さくとれ、高精度の画像が得られ
る。また、被検体３を設置するターンテーブル４を多数
台、直線上に配置することが可能になる。その結果、こ
のCT装置はコンパクトになる故、例えば、製造ラインの
自動検査システムとして組合せることができる。
CT装置と全く同様であるが、Ｘ線源１と検出器５の間隔
を小さくすることができ、その結果、有効視野６が小さ
くなり、画素寸法を小さくとれ、高精度の画像が得られ
る。また、被検体３を設置するターンテーブル４を多数
台、直線上に配置することが可能になる。その結果、こ
のCT装置はコンパクトになる故、例えば、製造ラインの
自動検査システムとして組合せることができる。
以下説明したことから明らかなように、本発明によるＸ
線CT装置によれば、同時に多数個の小さな被検体を高い
精度でかつ速いスピードで検査することができ、かつ装
置自体の小型化が達成できることにより、更に、被検体
がそれぞれ載置される複数のターンテーブルが直線上に
配列される構造にしたことにより、本発明によるＸ線CT
装置を製造ラインの自動検査システムとして容易にかつ
適宜に組み合わせることができる。
線CT装置によれば、同時に多数個の小さな被検体を高い
精度でかつ速いスピードで検査することができ、かつ装
置自体の小型化が達成できることにより、更に、被検体
がそれぞれ載置される複数のターンテーブルが直線上に
配列される構造にしたことにより、本発明によるＸ線CT
装置を製造ラインの自動検査システムとして容易にかつ
適宜に組み合わせることができる。
第１図は従来のＸ線CT装置の例を示す平面図、第２図は
本発明によるＸ線CT装置の一実施例を示す平面図であ
る。 １…Ｘ線源、２…Ｘ線フアンビーム、３…被検体、４…
ターンテーブル、５…検出器、６…有効視野。
本発明によるＸ線CT装置の一実施例を示す平面図であ
る。 １…Ｘ線源、２…Ｘ線フアンビーム、３…被検体、４…
ターンテーブル、５…検出器、６…有効視野。
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ線源と、このＸ線源からのＸ線を検出す
る検出器と、被検体を前記Ｘ線の有効視野内に配置させ
るように載置するターンターブルとから構成され、前記
Ｘ線源と前記検出器は共に直線往復動し、前記ターンタ
ーブルは前記直線往復動方向に複数並設されたことを特
徴とするＸ線CT装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60208086A JPH0680420B2 (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | Ｘ線ｃｔ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60208086A JPH0680420B2 (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | Ｘ線ｃｔ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6267432A JPS6267432A (ja) | 1987-03-27 |
| JPH0680420B2 true JPH0680420B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=16550406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60208086A Expired - Lifetime JPH0680420B2 (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | Ｘ線ｃｔ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0680420B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5561696A (en) * | 1987-10-30 | 1996-10-01 | Hewlett-Packard Company | Method and apparatus for inspecting electrical connections |
| US4926452A (en) * | 1987-10-30 | 1990-05-15 | Four Pi Systems Corporation | Automated laminography system for inspection of electronics |
| US5621811A (en) * | 1987-10-30 | 1997-04-15 | Hewlett-Packard Co. | Learning method and apparatus for detecting and controlling solder defects |
| US4852131A (en) * | 1988-05-13 | 1989-07-25 | Advanced Research & Applications Corporation | Computed tomography inspection of electronic devices |
| US5583904A (en) * | 1995-04-11 | 1996-12-10 | Hewlett-Packard Co. | Continuous linear scan laminography system and method |
| US5687209A (en) * | 1995-04-11 | 1997-11-11 | Hewlett-Packard Co. | Automatic warp compensation for laminographic circuit board inspection |
| US7254211B2 (en) * | 2004-09-14 | 2007-08-07 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for performing computed tomography |
| JP4488885B2 (ja) * | 2004-12-17 | 2010-06-23 | 株式会社日立製作所 | Ｃｔ装置 |
| CN101839871B (zh) * | 2010-05-18 | 2011-12-28 | 华南理工大学 | 一种x射线分层摄影检测方法与系统 |
| DE102012019851B4 (de) | 2012-10-10 | 2018-03-22 | Seidenader Maschinenbau Gmbh | Inspektionssystem zum Erstellen von wenigstens zwei Aufnahmen eines Guts |
| JP6994952B2 (ja) * | 2018-01-12 | 2022-01-14 | 株式会社ミツトヨ | 計測用ｘ線ｃｔ装置、及び、その校正方法 |
-
1985
- 1985-09-20 JP JP60208086A patent/JPH0680420B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6267432A (ja) | 1987-03-27 |
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