JPH0862160A - Ｘ線検査装置用ステージ位置表示装置 - Google Patents
Ｘ線検査装置用ステージ位置表示装置Info
- Publication number
- JPH0862160A JPH0862160A JP20170994A JP20170994A JPH0862160A JP H0862160 A JPH0862160 A JP H0862160A JP 20170994 A JP20170994 A JP 20170994A JP 20170994 A JP20170994 A JP 20170994A JP H0862160 A JPH0862160 A JP H0862160A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ線検査装置における、ステージ位置情報を
簡単、安価かつ正確で見易く表示することを目的とす
る。 【構成】 ステージに連結されたシリンダとガラス管と
目盛板からなる表示装置との間を配管チューブで接続
し、前記シリンダ、配管チューブ、ガラス管内に液体を
充てんしたステージ位置表示装置
簡単、安価かつ正確で見易く表示することを目的とす
る。 【構成】 ステージに連結されたシリンダとガラス管と
目盛板からなる表示装置との間を配管チューブで接続
し、前記シリンダ、配管チューブ、ガラス管内に液体を
充てんしたステージ位置表示装置
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線検査装置内に設置
されたステージのステージ位置を表示する、Ｘ線検査装
置用ステージ位置表示装置に関するものである。
されたステージのステージ位置を表示する、Ｘ線検査装
置用ステージ位置表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線検査装置用ステージ表示装置の従来
の技術としては、図４に示すものがある。図において、
１は、Ｘ線発生装置、２は、撮像装置、３及び６は、被
検査物体の検査位置を可変するＸＹステージ、９は、検
査倍率（検査視野）を可変するＺステージ、１２は、Ｘ
線シールド室である。ＸＹステージ３，６は各々モータ
４及びモータ７でＺステージ９は、モータ１０でステー
ジ制御装置１３からの制御信号に従い駆動される。又、
５，８，１１は、各々のモータの位置検出装置で、検出
信号は、ステージ制御装置で処理あるいはステージ制御
装置１３を介し、処理装置１４で処理され、位置情報を
得る。処理装置１４には、操作部１６が接続され、操作
部からの操作信号と、前記モータの位置検出装置５，
８，１１の位置情報により、モータ４，７，１０を回転
し、ステージ３，６，９の位置決めを行う。
の技術としては、図４に示すものがある。図において、
１は、Ｘ線発生装置、２は、撮像装置、３及び６は、被
検査物体の検査位置を可変するＸＹステージ、９は、検
査倍率（検査視野）を可変するＺステージ、１２は、Ｘ
線シールド室である。ＸＹステージ３，６は各々モータ
４及びモータ７でＺステージ９は、モータ１０でステー
ジ制御装置１３からの制御信号に従い駆動される。又、
５，８，１１は、各々のモータの位置検出装置で、検出
信号は、ステージ制御装置で処理あるいはステージ制御
装置１３を介し、処理装置１４で処理され、位置情報を
得る。処理装置１４には、操作部１６が接続され、操作
部からの操作信号と、前記モータの位置検出装置５，
８，１１の位置情報により、モータ４，７，１０を回転
し、ステージ３，６，９の位置決めを行う。
【０００３】同時に、処理装置により、ステージ３，
６，９の位置情報が処理され、表示装置に表示される。
６，９の位置情報が処理され、表示装置に表示される。
【０００４】又、第２の従来技術として、モータ４，
７，１０の検出装置５，８，１１の代わりにステージ
３，６，９に例えば、リニアスケール、直線形ポテンシ
ョメータ等の電気的検出装置２３，２４，２５を取付け
たものがある。
７，１０の検出装置５，８，１１の代わりにステージ
３，６，９に例えば、リニアスケール、直線形ポテンシ
ョメータ等の電気的検出装置２３，２４，２５を取付け
たものがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述の第１の従来技術
は、モータの位置検出を行っているため、モータとステ
ージの間にバックラッシが存在すると、正確な位置表示
が行われないという欠点がある。又、モータとステージ
の間のバックラッシを取除くためには、高精度ステージ
を必要とし、高価になるという欠点がある。第２の従来
技術は、検出装置をステージ側につけ前述の問題を解決
するものだが、電気信号を位置情報に変換するために、
何らかの処理装置が必要であり、システムが複雑かつ高
価になるという欠点がある。
は、モータの位置検出を行っているため、モータとステ
ージの間にバックラッシが存在すると、正確な位置表示
が行われないという欠点がある。又、モータとステージ
の間のバックラッシを取除くためには、高精度ステージ
を必要とし、高価になるという欠点がある。第２の従来
技術は、検出装置をステージ側につけ前述の問題を解決
するものだが、電気信号を位置情報に変換するために、
何らかの処理装置が必要であり、システムが複雑かつ高
価になるという欠点がある。
【０００６】本発明は、これらの欠点を除去し、簡単か
つ安価で正確にわかり易くステージ位置情報を表示する
ことを目的とする。
つ安価で正確にわかり易くステージ位置情報を表示する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、ステージにシリンダを連結し、該シリン
ダとＸ線シールド室外部に設置した表示装置を、チュー
ブで接続し、シリンダ、チューブ、表示装置内に液体及
び気体を充てんし、ステージの動きに伴い、表示装置内
の液面の位置が変化するようにしたものである。
達成するため、ステージにシリンダを連結し、該シリン
ダとＸ線シールド室外部に設置した表示装置を、チュー
ブで接続し、シリンダ、チューブ、表示装置内に液体及
び気体を充てんし、ステージの動きに伴い、表示装置内
の液面の位置が変化するようにしたものである。
【０００８】
【作用】本発明の動作について説明すると、ステージに
連続されたシリンダは、ステージの動きに応じ、液体を
吐出又は、吸入し、吐出又は、吸入した液体は、チュー
ブを介し、表示装置の液面位置を変化させるので、表示
装置につけられた目盛り表示と液面位置により、簡単か
つ正確にステージ位置情報を表示することができる。
連続されたシリンダは、ステージの動きに応じ、液体を
吐出又は、吸入し、吐出又は、吸入した液体は、チュー
ブを介し、表示装置の液面位置を変化させるので、表示
装置につけられた目盛り表示と液面位置により、簡単か
つ正確にステージ位置情報を表示することができる。
【０００９】
【実施例】以下この発明の一実施例を図１により説明す
る。
る。
【００１０】１は、Ｘ線を発生するＸ線装置、２は、被
検査物体を透過したＸ線像を可視化する撮像装置、３，
６は、被検査物体の検査位置を可変するＸＹステージ、
９は、検査倍率（検査視野）を可変するＺステージ、１
２は、Ｘ線シールド室である。又、４，７，１０は、各
々のステージを駆動するモータ、１３は、モータ４，
７，１０を駆動するステージ制御装置、１６は、ステー
ジ操作を行うための操作部で、ステージ制御装置１３に
接続されている。
検査物体を透過したＸ線像を可視化する撮像装置、３，
６は、被検査物体の検査位置を可変するＸＹステージ、
９は、検査倍率（検査視野）を可変するＺステージ、１
２は、Ｘ線シールド室である。又、４，７，１０は、各
々のステージを駆動するモータ、１３は、モータ４，
７，１０を駆動するステージ制御装置、１６は、ステー
ジ操作を行うための操作部で、ステージ制御装置１３に
接続されている。
【００１１】１７，１８，１９は、それぞれ、Ｘステー
ジ、Ｙステージ、Ｚステージの位置検出用シリンダで、
シリンダロッドが可動側に、シリンダケースが固定側に
連結されている。シリンダ１７，１８，１９のシリンダ
ケースには、各々配管用チューブ２０，２１，２２が接
続され、該チューブの他端は、各々のステージの表示装
置１５に接続される。図２に、シリンダ１７，１８，１
９の構造を示す。シリンダロッド２６は、ステージ可動
部に対し、締結手段又は、接着等で固定されており、シ
リンダケース２７とのしゅう動部は、シール材２８によ
り液体２９が外部に漏れないようにシールされている。
シリンダケース３０には、液体が出入りする出入口３１
が設けられ、出入口３１に配管チューブが接続される。
図３は、表示装置の一例で、３２はガラス管、３３は位
置表示板である。（ａ）は〔ｍｍ〕単位で、（ｂ）は
〔倍〕単位で、（ｃ）は〔°〕単位で、目盛りが入って
おり、各々、距離、倍率、角度を液面で表示する様にな
っている。又、（ｄ）は、Ｘ線倍率変化量が高倍率にな
る程、Ｚ軸の移動量に対し大きく変化することに対応し
てガラス管が先細りとなっており、高倍率における倍率
表示を読取りやすくしたものである。
ジ、Ｙステージ、Ｚステージの位置検出用シリンダで、
シリンダロッドが可動側に、シリンダケースが固定側に
連結されている。シリンダ１７，１８，１９のシリンダ
ケースには、各々配管用チューブ２０，２１，２２が接
続され、該チューブの他端は、各々のステージの表示装
置１５に接続される。図２に、シリンダ１７，１８，１
９の構造を示す。シリンダロッド２６は、ステージ可動
部に対し、締結手段又は、接着等で固定されており、シ
リンダケース２７とのしゅう動部は、シール材２８によ
り液体２９が外部に漏れないようにシールされている。
シリンダケース３０には、液体が出入りする出入口３１
が設けられ、出入口３１に配管チューブが接続される。
図３は、表示装置の一例で、３２はガラス管、３３は位
置表示板である。（ａ）は〔ｍｍ〕単位で、（ｂ）は
〔倍〕単位で、（ｃ）は〔°〕単位で、目盛りが入って
おり、各々、距離、倍率、角度を液面で表示する様にな
っている。又、（ｄ）は、Ｘ線倍率変化量が高倍率にな
る程、Ｚ軸の移動量に対し大きく変化することに対応し
てガラス管が先細りとなっており、高倍率における倍率
表示を読取りやすくしたものである。
【００１２】以下この動作について説明する。
【００１３】操作部１５の操作により、ステージ制御装
置１３がモータ４，７，１０を駆動すると、Ｘステージ
３，Ｙステージ６，Ｚステージ９は、各々モータ４，
７，１０の動きに応じ移動し、各ステージに連結された
シリンダロッドが移動し、液体をシリンダケースから吐
出又は、吸引する。吐出又は、吸引された液体は、配管
チューブを介し、表示装置のガラス管内の液面を変化さ
せる。液面の変化範囲には表示板により、目盛が刻まれ
ており、この目盛りと液面位置により、ステージ位置状
態を知ることができる。
置１３がモータ４，７，１０を駆動すると、Ｘステージ
３，Ｙステージ６，Ｚステージ９は、各々モータ４，
７，１０の動きに応じ移動し、各ステージに連結された
シリンダロッドが移動し、液体をシリンダケースから吐
出又は、吸引する。吐出又は、吸引された液体は、配管
チューブを介し、表示装置のガラス管内の液面を変化さ
せる。液面の変化範囲には表示板により、目盛が刻まれ
ており、この目盛りと液面位置により、ステージ位置状
態を知ることができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明は、ガラス管
と目盛板からなる表示装置とシリンダ及び、これらを接
続する配管チューブ及びシリンダ、配管チューブ、ガラ
ス管に充てんされた液体のみの構成で簡単で、安価にス
テージ位置状態を表示することが可能である。
と目盛板からなる表示装置とシリンダ及び、これらを接
続する配管チューブ及びシリンダ、配管チューブ、ガラ
ス管に充てんされた液体のみの構成で簡単で、安価にス
テージ位置状態を表示することが可能である。
【００１５】又、配管チューブは、自在に配管が可能な
ため、Ｘ線シールド室外部の見やすい位置に表示するこ
とが可能である。また、複雑な処理装置を要することな
く、目盛板表示を変えることにより容易に、ステージの
動きに合った位置表示が可能である。さらに、シリンダ
がステージに連結されているため、モータとステージの
間のバックラッシを考慮する必要がなく、安価で、正確
である。
ため、Ｘ線シールド室外部の見やすい位置に表示するこ
とが可能である。また、複雑な処理装置を要することな
く、目盛板表示を変えることにより容易に、ステージの
動きに合った位置表示が可能である。さらに、シリンダ
がステージに連結されているため、モータとステージの
間のバックラッシを考慮する必要がなく、安価で、正確
である。
【図１】本発明の実施例を示す全体構造図。
【図２】本発明のシリンダ部の詳細図。
【図３】本発明の表示装置部の実施例の正面図。
【図４】従来技術の全体構造図。
１ Ｘ線発生装置 ２ 撮像装置 ３ Ｘステージ ６ Ｙステージ ９ Ｚステージ ４，７，１０ モータ １２ Ｘ線シールド室 １５ 表示装置 １７，１８，１９ シリンダ ２０，２１，２２ 配管チューブ
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ線を発生するＸ線発生装置と、被検査
物体を透過したＸ線像を可視化する撮像装置と、被検査
物体とＸ線発生装置及び撮像装置の相対的位置を可変す
る位置決めステージと、Ｘ線の漏洩を防止するＸ線シー
ルド室を具備したＸ線検査装置において、位置決めステ
ージにＸ線シールド室の外側まで引出されたチューブが
接続されたシリンダを連結し、該シリンダ及びチューブ
内に液体及び気体を充てんし、ステージの位置に応じ
て、チューブ内の液面位置を変化させるようにしたこと
を特徴とするＸ線検査装置用ステージ位置表示装置。 - 【請求項２】 前記Ｘ線検査用ステージ位置表示装置に
おいて、液面可変範囲に、該ステージの移動状態が、一
目瞭然で判別できる目盛りを具備したことを特徴とする
Ｘ線検査装置用ステージ位置表示装置。 - 【請求項３】 Ｘ線検査装置において、ステージ位置状
態表示を、外部から見易く、正確で、安価に表示するこ
とを特徴とするＸ線検査装置用ステージ位置表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20170994A JPH0862160A (ja) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | Ｘ線検査装置用ステージ位置表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20170994A JPH0862160A (ja) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | Ｘ線検査装置用ステージ位置表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0862160A true JPH0862160A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16445634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20170994A Pending JPH0862160A (ja) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | Ｘ線検査装置用ステージ位置表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0862160A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006184267A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-07-13 | Nagoya Electric Works Co Ltd | Ｘ線検査装置、ｘ線検査方法およびｘ線検査プログラム |
-
1994
- 1994-08-26 JP JP20170994A patent/JPH0862160A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006184267A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-07-13 | Nagoya Electric Works Co Ltd | Ｘ線検査装置、ｘ線検査方法およびｘ線検査プログラム |
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