JPH1114343A - 溝部検査装置 - Google Patents

溝部検査装置

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JPH1114343A
JPH1114343A JP9167535A JP16753597A JPH1114343A JP H1114343 A JPH1114343 A JP H1114343A JP 9167535 A JP9167535 A JP 9167535A JP 16753597 A JP16753597 A JP 16753597A JP H1114343 A JPH1114343 A JP H1114343A
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JP
Japan
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detector
flaw
depth
groove
plane shape
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Application number
JP9167535A
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English (en)
Inventor
Tetsuya Nagao
哲也 長尾
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IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH1114343A publication Critical patent/JPH1114343A/ja
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    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/30Nuclear fission reactors

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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 短時間に誤差なく溝部の健全性を検査し得る
ようにする。 【解決手段】 構造体3に形成された溝部7に沿って移
動可能な走行装置9に、溝部7へ向けて傷平面形状検出
器30と、傷深さ検出器31を取り付けるようにしてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、溝部検査装置に関
するものであり、より詳しくは、短時間に誤差なく溝部
の健全性を検査し得るようにした溝部検査装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、図4に示すような原子炉圧力容
器1は、圧力容器本体2の上部に、容器蓋3を取り付け
て、圧力容器本体2上部に形成したフランジ4と容器蓋
3に形成したフランジ5との間をボルト6で固定する構
造を備えており、容器蓋3のフランジ5には、図5に示
すように、シール溝などの溝部7が形成され、シール溝
などの溝部7にシール材8を介在させて圧力容器本体2
と容器蓋3との間のシールを行わせるようにしている。
【0003】そして、上記原子炉圧力容器1では、定期
点検などのメンテナンス時に、容器蓋3に形成されたシ
ール溝などの溝部7の健全性を確認する作業が行われて
おり、従来は、目視によってシール溝などの溝部7の傷
の有無を調べ、傷が有る場合には、粘土などで傷の型を
取ってレプリカを作成し、レプリカを実際に測ることに
より、傷の大きさや深さなどの寸法を測定するようにし
ている。
【0004】尚、上記と同様の溝部7は、原子炉圧力容
器1のシール溝などの溝部7以外にも各分野で多数存在
しており、ほぼ上記と同様の手段で健全性の確認が行わ
れている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たように、目視で溝部7の傷の有無を調べたりする作業
は、個人差による誤差が入り込む余地があるという問題
があった。
【0006】又、レプリカを作成して傷の寸法測定を行
う場合、レプリカを作ってから実際に寸法を測定するま
での間に時間が掛るという問題があった。
【0007】本発明は、上述の実情に鑑み、短時間に誤
差なく溝部の健全性を検査し得るようにした溝部検査装
置を提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、構造体3に形
成された溝部7に沿って移動可能な走行装置9に、溝部
7へ向け、傷平面形状検出器30と、傷深さ検出器31
を取り付けたことを特徴とする溝部検査装置にかかるも
のである。
【0009】この場合において、走行装置9に対し、傷
平面形状検出器30と、傷深さ検出器31が、検出器位
置調整装置17を介して、溝部7の幅方向へ位置調整可
能に取り付けられるようにしても良い。
【0010】走行装置9が、構造体3に磁力吸着可能な
磁石車輪13,14を有していても良い。
【0011】又、本発明は、傷平面形状検出器30から
の傷平面形状検出信号38に基づき傷平面形状信号51
を求める傷平面形状演算部52と、傷深さ検出器31か
らの傷深さ検出信号41に基づき傷深さ信号53を求め
る傷深さ演算部54と、傷平面形状演算部52によって
得られた傷平面形状信号51、及び、傷深さ演算部54
によって得られた傷深さ信号53、並びに、走行装置9
に取り付けた位置検出器16及び検出器位置調整装置1
7の位置検出器28からの位置検出信号34,35を合
成して溝部三次元形状データ信号55を求める三次元デ
ータ作成部56とを備えた演算処理装置50を設けたこ
とを特徴とする溝部検査装置にかかるものである。
【0012】この場合において、演算処理装置50に、
三次元データ作成部56によって得られた溝部三次元形
状データ信号55を三次元画像化する三次元描画部57
を備えるようにしても良い。
【0013】傷平面形状検出器30がカメラであり、傷
深さ検出器31がレーザー寸法計であっても良い。
【0014】上記手段によれば、以下のような作用が得
られる。
【0015】走行装置9にカメラなどの傷平面形状検出
器30とレーザー寸法計などの傷深さ検出器31とを取
り付けて、走行装置9を自走させつつ、傷平面形状検出
器30と傷深さ検出器31で溝部7の傷を検出させるよ
うにしたので、検出が自動化されて、短時間のうちに誤
差なく溝部7の健全性を検査することができるようにな
る。
【0016】又、走行装置9に対して、傷平面形状検出
器30と傷深さ検出器31を、検出器位置調整装置17
を介して、溝部7の幅方向へ位置調整可能に取り付けた
ので、傷平面形状検出器30と傷深さ検出器31の正確
な位置決めを行わせることが可能となる。
【0017】更に、走行装置9に磁石車輪13,14を
取り付けて、構造体3に対して吸着走行させるようにし
たことにより、ガイド等を設けずに、溝部7に沿って走
行装置9の走行を案内させることが可能となる。
【0018】加えて、傷平面形状検出器30からの傷平
面形状検出信号38や、傷深さ検出器31からの傷深さ
検出信号41や、走行装置9の位置検出器16及び検出
器位置調整装置17の位置検出器28からの位置検出信
号34,35を基に、傷平面形状演算部52や傷深さ演
算部54や三次元データ作成部56などを用いて溝部三
次元形状データ信号55を求め、更に、三次元描画部5
7で溝部三次元形状データ信号55を三次元画像として
視覚化できるようにしているので、膨大な検出データを
即座に分かりやすい形にまとめて容易に利用できるよう
にすることができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
示例と共に説明する。
【0020】図1〜図3は、本発明の実施の形態の一例
であり、原子炉圧力容器の容器蓋部分の基本的な構造に
ついては、図4,5と同様であるため、同一の部分につ
いては同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【0021】尚、本実施の形態では、原子炉圧力容器の
容器蓋に対して適用する場合について説明するが、これ
に限るものではない。
【0022】先ず、原子炉圧力容器1の容器蓋3(構造
体)に形成したフランジ5に沿って走行可能な走行装置
9を設ける。
【0023】該走行装置9は、フランジ5の上面に対し
て平行な水平部10と、フランジ5の側面に対して平行
な垂直部11とを有する逆L字型をした走行フレーム1
2と、該走行フレーム12の水平部10に、フランジ5
の上面に磁力吸着すると共にフランジ5の上面に沿って
転動可能に取り付けられた磁石車輪13と、該走行フレ
ーム12の垂直部11に、フランジ5の側面に磁力吸着
すると共にフランジ5の側面に沿って転動可能に取り付
けられた磁石車輪14と、磁石車輪13,14のうちの
一方(図では磁石車輪14となっている)に接続された
モータなどの駆動装置15と、駆動装置15に取り付け
られたロータリーエンコーダなどの位置検出器16とで
構成されている。
【0024】そして、上記走行装置9に対して、検出器
位置調整装置17を取り付ける。
【0025】該検出器位置調整装置17は、フランジ5
の側面に対して平行な垂直アーム部18と、フランジ5
の下面に対して平行な水平アーム部19とを有するL字
型をした本体アーム20と、垂直アーム部18の両端部
に配置されたタイミングプーリ21,22と、タイミン
グプーリ21,22間に掛け渡されたタイミングベルト
23と、水平アーム部19の両端部に配置されたタイミ
ングプーリ24,25と、タイミングプーリ24,25
間に掛け渡されたタイミングベルト26と、垂直アーム
部18上端のタイミングプーリ21に接続されたモータ
などの駆動装置27と、駆動装置27に取り付けられた
ロータリーエンコーダなどの位置検出器28とで構成さ
れている。
【0026】尚、垂直アーム部18下端のタイミングプ
ーリ22と、水平アーム部19右端のタイミングプーリ
24とは、同軸上に設けられて一体的に回転し得るよう
になっている。
【0027】更に、水平アーム部19のタイミングベル
ト26に検出器支持台29を、容器蓋3の半径方向(溝
部7の幅方向)へ移動可能に取り付け、検出器支持台2
9に、図2に示すように、溝部7へ向けて、小型カメラ
などの傷平面形状検出器30と、分解能の優れたレーザ
ー寸法計などの傷深さ検出器31を、溝部7の周方向に
並べて取り付けるようにする。
【0028】そして、図3に示すように、走行装置9の
駆動装置15及び検出器位置調整装置17の駆動装置2
7へ駆動信号32,33を出力すると共に、走行装置9
の位置検出器16及び検出器位置調整装置17の位置検
出器28からの位置検出信号34,35を入力する駆動
機構制御装置36を設ける。
【0029】又、小型カメラなどの傷平面形状検出器3
0へ制御信号37を出力すると共に、小型カメラなどの
傷平面形状検出器30からの映像信号などの傷平面形状
検出信号38を入力するカメラ制御装置などの傷平面形
状検出機構制御装置39を設ける。
【0030】更に、レーザー寸法計などの傷深さ検出器
31へ制御信号40を出力すると共に、レーザー寸法計
などの傷深さ検出器31からのレーザー計測信号などの
傷深さ検出信号41を入力するレーザー寸法計制御装置
などの傷深さ検出機構制御装置42を設ける。
【0031】そして、キーボードなどの入力装置44
と、ディスプレイなどの表示装置45と、軟質粘土製な
どのブロックを切削することにより立体モデルを作成さ
せるようにした3次元プロッタなどの模型作成装置46
や、図示しない2次元プロッタ或いはプリンタなどの印
刷装置を接続され、駆動機構制御装置36と傷平面形状
検出機構制御装置39と傷深さ検出機構制御装置42へ
それぞれ制御指令47〜49を出力するコンピュータな
どの演算処理装置50を設ける。
【0032】加えて、演算処理装置50に、小型カメラ
などの傷平面形状検出器30からの映像信号などの傷平
面形状検出信号38に基づき傷平面形状信号51を求め
る傷平面形状演算部52を設けると共に、レーザー寸法
計などの傷深さ検出器31からのレーザー計測信号など
の傷深さ検出信号41に基づき傷深さ信号53を求める
傷深さ演算部54を設ける。
【0033】更に、傷平面形状演算部52によって得ら
れた傷平面形状信号51と、傷深さ演算部54によって
得られた傷深さ信号53と、走行装置9の位置検出器1
6及び検出器位置調整装置17の位置検出器28からの
位置検出信号34,35とを合成して溝部三次元形状デ
ータ信号55を求める三次元データ作成部56を設け、
三次元データ作成部56によって得られた溝部三次元形
状データ信号55を三次元画像化する三次元描画部57
とを設ける。
【0034】尚、図3では、小型カメラなどの傷平面形
状検出器30からの映像信号などの傷平面形状検出信号
38は、傷平面形状検出機構制御装置39を通して演算
処理装置50へ送られるようになっているが、傷平面形
状検出機構制御装置39を通さずに、直接、演算処理装
置50へ送らせるようにしても良い。
【0035】又、図3では、レーザー寸法計などの傷深
さ検出器31からのレーザー計測信号などの傷深さ検出
信号41は、傷深さ検出機構制御装置42を通して演算
処理装置50へ送られるようになっているが、傷深さ検
出機構制御装置42を通さずに、直接、演算処理装置5
0へ送らせるようにしても良い。
【0036】更に、図3では、走行装置9の位置検出器
16及び検出器位置調整装置17の位置検出器28から
の位置検出信号34,35は、駆動機構制御装置36を
通して演算処理装置50へ送られるようになっている
が、駆動機構制御装置36を通さずに、直接、演算処理
装置50へ送らせるようにしても良い。
【0037】次に、作動について説明する。
【0038】原子炉圧力容器1の容器蓋3に形成された
シール溝などの溝部7を検査する場合、先ず、容器蓋3
のフランジ5部分に走行装置9を取り付ける。
【0039】具体的には、走行装置9の逆L字型をした
走行フレーム12を、水平部10が容器蓋3のフランジ
5の上面に対して平行となり、垂直部11が容器蓋3の
フランジ5の側面に対して平行となるように配置して、
走行フレーム12の水平部10に取り付けた磁石車輪1
3をフランジ5の上面に対して磁力吸着させると共に、
走行フレーム12の垂直部11に取り付けた磁石車輪1
4をフランジ5の側面に対して磁力吸着させることによ
り、走行装置9を容器蓋3のフランジ5にセットする。
【0040】次に、上記走行装置9に対して取り付けら
れた、検出器位置調整装置17を作動させて、小型カメ
ラなどの傷平面形状検出器30と、レーザー寸法計など
の傷深さ検出器31の位置を溝部7に合うように調整す
る。
【0041】具体的には、演算処理装置50からの制御
指令47により、駆動機構制御装置36を操作して、駆
動機構制御装置36から検出器位置調整装置17のモー
タなどの駆動装置27へ駆動信号33を送らせ、駆動装
置27を駆動して垂直アーム部18上端のタイミングプ
ーリ21を回動し、タイミングベルト23、タイミング
プーリ22、水平アーム部19右端のタイミングプーリ
24、タイミングベルト26、タイミングプーリ25の
順に駆動力を伝達し、水平アーム部19のタイミングベ
ルト26に検出器支持台29を介して取り付けられた小
型カメラなどの傷平面形状検出器30と、レーザー寸法
計などの傷深さ検出器31を容器蓋3の半径方向(溝部
7の幅方向)へ移動させ、小型カメラなどの傷平面形状
検出器30と、レーザー寸法計などの傷深さ検出器31
を溝部7に位置合わせさせる。
【0042】尚、この時の小型カメラなどの傷平面形状
検出器30と、レーザー寸法計などの傷深さ検出器31
の容器蓋3半径方向の位置は、検出器位置調整装置17
のモータなどの駆動装置27に取り付けられたロータリ
ーエンコーダなどの位置検出器28で検出され、検出さ
れた位置検出信号35が、駆動機構制御装置36を介し
て、或いは直接に、演算処理装置50へと送られる。
【0043】こうして、小型カメラなどの傷平面形状検
出器30と、レーザー寸法計などの傷深さ検出器31の
位置が溝部7に合うように位置調整されたら、フランジ
5に沿って走行装置9を走行させるようにする。
【0044】具体的には、演算処理装置50からの制御
指令47により、駆動機構制御装置36を操作して、駆
動機構制御装置36から走行装置9のモータなどの駆動
装置15へ駆動信号32を送らせ、駆動装置15を駆動
して磁石車輪14を転動させることにより、走行装置9
をフランジ5の側面に沿って容器蓋3の周方向に走行さ
せる。
【0045】この際、走行装置9の水平部10に取り付
けた磁石車輪13が、走行装置9や検出器位置調整装置
17の荷重を支持しつつ、フランジ5の上面に沿って従
動する。
【0046】このように、走行装置9に磁石車輪13,
14を取り付けて、容器蓋3のフランジ5部分に対して
吸着走行させるようにしたことにより、ガイド等を設け
ずに、走行装置9をフランジ5に沿って案内させること
が可能となる。
【0047】尚、この時の走行装置9の位置、即ち、小
型カメラなどの傷平面形状検出器30と、レーザー寸法
計などの傷深さ検出器31の容器蓋3周方向の位置は、
走行装置9のモータなどの駆動装置15に取り付けられ
たロータリーエンコーダなどの位置検出器16で検出さ
れ、検出された位置検出信号34が、駆動機構制御装置
36を介して、或いは直接に、演算処理装置50へと送
られる。
【0048】こうして、フランジ5に沿って走行装置9
を走行させると同時に、小型カメラなどの傷平面形状検
出器30と、レーザー寸法計などの傷深さ検出器31に
よって、溝部7を検出させる。
【0049】具体的には、演算処理装置50からの制御
指令48により、カメラ制御装置などの傷平面形状検出
機構制御装置39を操作して、傷平面形状検出機構制御
装置39から小型カメラなどの傷平面形状検出器30へ
制御信号37を出力させ、小型カメラなどの傷平面形状
検出器30に溝部7を撮影させるようにする。
【0050】そして、得られた映像信号などの傷平面形
状検出信号38が、カメラ制御装置などの傷平面形状検
出機構制御装置39を介して、或いは直接に、演算処理
装置50へ送られる。
【0051】又、演算処理装置50からの制御指令49
により、レーザー寸法計制御装置などの傷深さ検出機構
制御装置42を操作して、傷深さ検出機構制御装置42
からレーザー寸法計などの傷深さ検出器31へ制御信号
40を出力させ、レーザー寸法計制御装置などの傷深さ
検出機構制御装置42に溝部7を深さ方向にレーザー寸
法計測させるようにする。
【0052】そして、得られたレーザー計測信号などの
傷深さ検出信号41が、レーザー寸法計制御装置などの
傷深さ検出機構制御装置42を介して、或いは直接に、
演算処理装置50へ送られる。
【0053】こうして、小型カメラなどの傷平面形状検
出器30で撮影されている映像信号などの傷平面形状検
出信号38や、レーザー寸法計などの傷深さ検出器31
でレーザー寸法計測されているレーザー計測信号などの
傷深さ検出信号41は、ディスプレイなどの表示装置4
5によって同時に表示させることができる。
【0054】尚、溝部7が複数条設けられている場合に
は、走行装置9が一周したら、検出器位置調整装置17
を用いて、小型カメラなどの傷平面形状検出器30と、
レーザー寸法計などの傷深さ検出器31の位置を別の溝
部7に合うように調整して、上記を繰返すようにする。
そして、全ての溝部7に対して上記を行わせたら、検出
を終了させるようにする。
【0055】一方、演算処理装置50は、小型カメラな
どの傷平面形状検出器30とレーザー寸法計などの傷深
さ検出器31による溝部7の検出と同時に、或いは、検
出後しばらくしてから、傷平面形状演算部52で、小型
カメラなどの傷平面形状検出器30からの映像信号など
の傷平面形状検出信号38に基づき、傷の大きさや広さ
や形状などの傷平面形状信号51を求めると共に、傷深
さ演算部54で、レーザー寸法計などの傷深さ検出器3
1からのレーザー計測信号などの傷深さ検出信号41に
基づき、傷深さ信号53を求める。
【0056】そして、演算処理装置50は、三次元デー
タ作成部56で、傷平面形状演算部52によって得られ
た傷平面形状信号51と、傷深さ演算部54によって得
られた傷深さ信号53に、走行装置9の位置検出器16
及び検出器位置調整装置17の位置検出器28からの位
置検出信号34,35を加え、これらの信号を合成して
溝部三次元形状データ信号55を求める。
【0057】更に、演算処理装置50は、三次元描画部
57で、三次元データ作成部56によって得られた溝部
三次元形状データ信号55を三次元画像化する。
【0058】こうして、三次元描画部57で得られた三
次元画像は、ディスプレイなどの表示装置45によって
表示される。又、必要に応じて、3次元プロッタなどの
模型作成装置46で立体モデルとして再現させるように
することもできる。或いは、図示しない2次元プロッタ
やプリンタなどの印刷装置で印刷させるようにすること
もできる。
【0059】このように、本発明によれば、走行装置9
に小型カメラなどの傷平面形状検出器30とレーザー寸
法計などの傷深さ検出器31とを取り付けて、走行装置
9を自走させつつ、小型カメラなどの傷平面形状検出器
30とレーザー寸法計などの傷深さ検出器31で溝部7
の傷を検出させるようにしたので、検出が自動化され
て、短時間のうちに誤差なく溝部7の健全性を検査する
ことができるようになる。
【0060】又、走行装置9に対して、小型カメラなど
の傷平面形状検出器30とレーザー寸法計などの傷深さ
検出器31を、検出器位置調整装置17を介して、溝部
7の幅方向へ位置調整可能に取り付けたので、小型カメ
ラなどの傷平面形状検出器30とレーザー寸法計などの
傷深さ検出器31の正確な位置決めを行わせることが可
能となる。
【0061】更に、走行装置9に磁石車輪13,14を
取り付けて、容器蓋3などの構造体のフランジ5部分に
対して吸着走行させるようにしたことにより、ガイド等
を設けずに、フランジ5の溝部7に沿って走行装置9の
走行を案内させることが可能となる。
【0062】加えて、小型カメラなどの傷平面形状検出
器30からの映像信号などの傷平面形状検出信号38
や、レーザー寸法計などの傷深さ検出器31からのレー
ザー計測信号などの傷深さ検出信号41や、走行装置9
の位置検出器16及び検出器位置調整装置17の位置検
出器28からの位置検出信号34,35を基に、傷平面
形状演算部52や傷深さ演算部54や三次元データ作成
部56を用いて溝部三次元形状データ信号55を求め、
更に、三次元描画部57で、溝部三次元形状データ信号
55を三次元画像として視覚化できるようにしているの
で、膨大な検出データを即座に分かりやすい形にまとめ
て容易に利用できるようにすることができる。
【0063】尚、本発明は、上述の実施の形態にのみ限
定されるものではなく、原子炉圧力容器の容器蓋のシー
ル溝以外にも適用可能であること、その他、本発明の要
旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ること
は勿論である。
【0064】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の溝部検査
装置によれば、短時間に誤差なく溝部の健全性を検査す
ることができるという優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の一例にかかる部分拡大側
断面図である。
【図2】図1のII−II矢視図である。
【図3】図1の概略制御系統図である。
【図4】原子炉圧力容器の概略側断面図である。
【図5】図4の部分拡大側断面図である。
【符号の説明】
3 容器蓋(構造体) 7 溝部 9 走行装置 13,14 磁石車輪 16,28 位置検出器 17 検出器位置調整装置 30 傷平面形状検出器 31 傷深さ検出器 34,35 位置検出信号 38 傷平面形状検出信号 41 傷深さ検出信号 50 演算処理装置 51 傷平面形状信号 52 傷平面形状演算部 53 傷深さ信号 54 傷深さ演算部 55 溝部三次元形状データ信号 56 三次元データ作成部 57 三次元描画部
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G01N 21/88 G01N 21/88 Z G21C 17/003 G21C 17/00 E

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 構造体(3)に形成された溝部(7)に
    沿って移動可能な走行装置(9)に、溝部(7)へ向
    け、傷平面形状検出器(30)と、傷深さ検出器(3
    1)を取り付けたことを特徴とする溝部検査装置。
  2. 【請求項2】 走行装置(9)に対し、傷平面形状検出
    器(30)と、傷深さ検出器(31)が、検出器位置調
    整装置(17)を介して、溝部(7)の幅方向へ位置調
    整可能に取り付けられた請求項1記載の溝部検査装置。
  3. 【請求項3】 走行装置(9)が、構造体(3)に磁力
    吸着可能な磁石車輪(13)(14)を有する請求項1
    又は2記載の溝部検査装置。
  4. 【請求項4】 傷平面形状検出器(30)からの傷平面
    形状検出信号(38)に基づき傷平面形状信号(51)
    を求める傷平面形状演算部(52)と、傷深さ検出器
    (31)からの傷深さ検出信号(41)に基づき傷深さ
    信号(53)を求める傷深さ演算部(54)と、傷平面
    形状演算部(52)によって得られた傷平面形状信号
    (51)、及び、傷深さ演算部(54)によって得られ
    た傷深さ信号(53)、並びに、走行装置(9)に取り
    付けた位置検出器(16)及び検出器位置調整装置(1
    7)の位置検出器(28)からの位置検出信号(34)
    (35)を合成して溝部三次元形状データ信号(55)
    を求める三次元データ作成部(56)とを備えた演算処
    理装置(50)を設けたことを特徴とする溝部検査装
    置。
  5. 【請求項5】 演算処理装置(50)に、三次元データ
    作成部(56)によって得られた溝部三次元形状データ
    信号(55)を三次元画像化する三次元描画部(57)
    を備えた請求項4記載の溝部検査装置。
  6. 【請求項6】 傷平面形状検出器(30)がカメラであ
    り、傷深さ検出器(31)がレーザー寸法計である請求
    項1〜5いずれかに記載の溝部検査装置。
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