JPS59103464A - 画像自動検査装置 - Google Patents
画像自動検査装置Info
- Publication number
- JPS59103464A JPS59103464A JP57213095A JP21309582A JPS59103464A JP S59103464 A JPS59103464 A JP S59103464A JP 57213095 A JP57213095 A JP 57213095A JP 21309582 A JP21309582 A JP 21309582A JP S59103464 A JPS59103464 A JP S59103464A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection
- inspected
- resolution
- section
- concentration meter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、被検査対象物例えばコピー用紙。
印刷物の画像の位置、濃度、解像度を検出するための画
像自動検査装置に関するものである。
像自動検査装置に関するものである。
従来より、例えば電子複写機が所定の動作を行うか否か
の検査として、基準となる原稿を複写して、その複写さ
れた用紙における画像の位置、濃度、解像度を検査して
いた。この画像検査は、検査者がスケール、拡大Ｖンズ
、測定器を駆使して、或いは目視によって行っていた。
の検査として、基準となる原稿を複写して、その複写さ
れた用紙における画像の位置、濃度、解像度を検査して
いた。この画像検査は、検査者がスケール、拡大Ｖンズ
、測定器を駆使して、或いは目視によって行っていた。
しかしながら、従来の検査方法によると、複写位置にお
けるスケールの読み取り誤差、濃度測定の際の検出部の
用紙に対する押圧力の差違、解像度目視検査等における
同一検査者の時間経過に伴う肉体的、精神的影響、或い
は複数検査者の個人差による測定変動があった。
けるスケールの読み取り誤差、濃度測定の際の検出部の
用紙に対する押圧力の差違、解像度目視検査等における
同一検査者の時間経過に伴う肉体的、精神的影響、或い
は複数検査者の個人差による測定変動があった。
このため、正確な画像検査が困難であると共に、検査者
にも多大な負担がかかつていた。
にも多大な負担がかかつていた。
上記の画像検査は、複写されたものに限らず、印刷物に
対して同様であり、従来より、画像検査を自動的に行う
装置が提供されていなかった。
対して同様であり、従来より、画像検査を自動的に行う
装置が提供されていなかった。
この発明は、前記事情に鑑みて成されたものであり、被
検査対象物における画像の位置、濃度。
検査対象物における画像の位置、濃度。
解像度全自動検出することにより、検査者の負担を軽減
すると共に、正確な画像検査を図ることのできる画像自
動検査装置を提供すること全目的とするものである。
すると共に、正確な画像検査を図ることのできる画像自
動検査装置を提供すること全目的とするものである。
前記目的全達成するだめのこの発明に係る画像自動検査
装置の概要は、画像を有する被検査対象物を位置決め載
置するテーブルと、このテーブルに載置された被検査対
象物に対向配置されると共に、被検査対象物における画
像の位置、濃度及び解像度を検出して検出データを出力
する検出部と、この検出部からの検出データに基づいて
、前記画像の位置、濃度及び解像度を数値化処理するデ
ータ処理部とを有することを特徴とするものである。
装置の概要は、画像を有する被検査対象物を位置決め載
置するテーブルと、このテーブルに載置された被検査対
象物に対向配置されると共に、被検査対象物における画
像の位置、濃度及び解像度を検出して検出データを出力
する検出部と、この検出部からの検出データに基づいて
、前記画像の位置、濃度及び解像度を数値化処理するデ
ータ処理部とを有することを特徴とするものである。
以下、この発明の一実施例全図面を参照して説明する。
第１図は、この発明の一実施例である画像自動検査装置
の正面図、第２図はラインセンナ。
の正面図、第２図はラインセンナ。
濃度検出計及びＸ−Ｙテーブルの配置関係を示す概略斜
視図、第３図はＸ−Ｙテーブルの上面図、第４図は画像
自動検査装置のブロックダイヤグラムである。
視図、第３図はＸ−Ｙテーブルの上面図、第４図は画像
自動検査装置のブロックダイヤグラムである。
第１図乃至第６図において、画像自動検査装置は、被検
査対象物を位置決め載置すると共に、Ｘ−Ｙ平面上全移
動可能に駆動する駆動手段６６を含むテーブル系６０と
、前記被検査対象物の上方に取着され、被検査対象物に
おける画像の位置。
査対象物を位置決め載置すると共に、Ｘ−Ｙ平面上全移
動可能に駆動する駆動手段６６を含むテーブル系６０と
、前記被検査対象物の上方に取着され、被検査対象物に
おける画像の位置。
濃度、解像度を検出するための検出部６１と、画像自動
検査装置の動作制御及び前記検出部６１からのデータ処
理等を行うコ／トロールボックス６２とから成っている
。
検査装置の動作制御及び前記検出部６１からのデータ処
理等を行うコ／トロールボックス６２とから成っている
。
前記テーブル系６０は、支持台２０と、支持台２０上に
固層されたＸ−Ｙテーブルベース１９と、Ｘ−Ｙテーブ
ルベース１９上を移動可能に設けられたＸ−Ｙテーブル
１５と、Ｘ−Ｙテーブル１５の上面に設けられ被検査対
象物を吸着固定する吸着テーブル１０とから成っている
。
固層されたＸ−Ｙテーブルベース１９と、Ｘ−Ｙテーブ
ルベース１９上を移動可能に設けられたＸ−Ｙテーブル
１５と、Ｘ−Ｙテーブル１５の上面に設けられ被検査対
象物を吸着固定する吸着テーブル１０とから成っている
。
前記Ｘ−Ｙテーブルベース１９は、第２図に示すように
、Ｘ、Ｙ方向に沿って配置したリードスクリュー１１α
、１２αの両端を回動自在に保持し、それらの一端をそ
れぞれモータ１１，１２に連結している０又、Ｘ−Ｙテ
ーブルペース１９上には、前記Ｘ−Ｙテーブル１２の可
動範囲を検出するためのリミットスイッチとして、Ｘ軸
原点スイッチ２７、Ｙ軸原点スイッチ２８．Ｘ軸オーバ
ーリミットスイッチ２９．Ｙ軸オーバーリミット２６が
配置されている。
、Ｘ、Ｙ方向に沿って配置したリードスクリュー１１α
、１２αの両端を回動自在に保持し、それらの一端をそ
れぞれモータ１１，１２に連結している０又、Ｘ−Ｙテ
ーブルペース１９上には、前記Ｘ−Ｙテーブル１２の可
動範囲を検出するためのリミットスイッチとして、Ｘ軸
原点スイッチ２７、Ｙ軸原点スイッチ２８．Ｘ軸オーバ
ーリミットスイッチ２９．Ｙ軸オーバーリミット２６が
配置されている。
前記Ｘ−Ｙテーブル１５の下面には、前記リードスクリ
ュー１１α、１２αと螺合するナツト１５αが設けられ
、リードスクリ３−−１ｉ ａ又はリードスクリュー１
２αの回転に基づいてＸ−Ｙテーブル１５がＸ、Ｙ方向
に移動可能となっている。前記Ｘ−ＹテーテーＬ／１５
．Ｘ−Ｙテーブルベース１９．リードスクリュー１１α
、１２α、モータ１１，１２及びナツト１５αで駆動手
段６３を構成している。
ュー１１α、１２αと螺合するナツト１５αが設けられ
、リードスクリ３−−１ｉ ａ又はリードスクリュー１
２αの回転に基づいてＸ−Ｙテーブル１５がＸ、Ｙ方向
に移動可能となっている。前記Ｘ−ＹテーテーＬ／１５
．Ｘ−Ｙテーブルベース１９．リードスクリュー１１α
、１２α、モータ１１，１２及びナツト１５αで駆動手
段６３を構成している。
前記吸着テーブル１０上には、多数の吸着孔６０が穿設
され、この吸着孔６０には、吸着孔３０がら空気を吸い
込むように、ホース３０全介して真空ポンプ１４が連結
されている。又、吸着テーブル１０上には、被検査対象
物３３を位置決めするためのガイド６１が設けられてい
る。
され、この吸着孔６０には、吸着孔３０がら空気を吸い
込むように、ホース３０全介して真空ポンプ１４が連結
されている。又、吸着テーブル１０上には、被検査対象
物３３を位置決めするためのガイド６１が設けられてい
る。
次に、前記検出部６１について説明する。検出部６１は
、Ｘ−Ｙテーブルベース１９に固着した支柱（図示せず
）に、イメージセンサたるラインセンサ１．低濃度計２
．高濃度計３及び照明装置４７ｉｆ−配置することによ
り構成されている。ラインセ／す１は、前記被検査対象
物′５３と対向する検出面に、アレー状に配列した多数
の検出素子を有し、前記照明装置４から発せられる光に
基づ（被検査対象物３６での反射光を、前記検出素子を
順次制御して、検出するようになっているＯこの２イ／
センサ１の上部には、軸変換機構８とこれを駆動するラ
インセンサ回転モータ５とが設けられ、ラインセンサ１
の角度変換を行えるようになっている。前記低濃度計２
．高濃度計３は、前記被検査対象物６３に対して昇降移
動するように、昇降駆動モータ６．７と昇降機構９α、
９Ａとをそれぞれ有している。又、検出部６１における
前記ラインセンサ１．低濃度計２．高濃度計６の付属装
置として、２インセンサ制御部２２．低濃度計増幅器２
１、高濃度計増幅器２６．照明制御部２４が、それぞれ
前記支持台２０上に配置されている（第２図参照）。前
記２インセンサ制御部２２は、ラインセンサ１の各検出
素子を制御して、被検査対象物６６上のパターンを走査
できるようになっている。前記低濃度計増幅器２１．高
濃度計増幅器２６は、それぞれ低濃度計２．高濃度計３
からのデータを増幅して後述するデータ処理部１８に出
力する。
、Ｘ−Ｙテーブルベース１９に固着した支柱（図示せず
）に、イメージセンサたるラインセンサ１．低濃度計２
．高濃度計３及び照明装置４７ｉｆ−配置することによ
り構成されている。ラインセ／す１は、前記被検査対象
物′５３と対向する検出面に、アレー状に配列した多数
の検出素子を有し、前記照明装置４から発せられる光に
基づ（被検査対象物３６での反射光を、前記検出素子を
順次制御して、検出するようになっているＯこの２イ／
センサ１の上部には、軸変換機構８とこれを駆動するラ
インセンサ回転モータ５とが設けられ、ラインセンサ１
の角度変換を行えるようになっている。前記低濃度計２
．高濃度計３は、前記被検査対象物６３に対して昇降移
動するように、昇降駆動モータ６．７と昇降機構９α、
９Ａとをそれぞれ有している。又、検出部６１における
前記ラインセンサ１．低濃度計２．高濃度計６の付属装
置として、２インセンサ制御部２２．低濃度計増幅器２
１、高濃度計増幅器２６．照明制御部２４が、それぞれ
前記支持台２０上に配置されている（第２図参照）。前
記２インセンサ制御部２２は、ラインセンサ１の各検出
素子を制御して、被検査対象物６６上のパターンを走査
できるようになっている。前記低濃度計増幅器２１．高
濃度計増幅器２６は、それぞれ低濃度計２．高濃度計３
からのデータを増幅して後述するデータ処理部１８に出
力する。
次ニ、前記コントロールボックス６２について説明スる
。コントロールボックス６２は、操作７くネル１６と、
駆動制御部１７と、データ処理部１８と、電源ユニット
６２とから成っている。前記操作パネル１６は、この画
像自動検出装置の動作を開始する信号を外部より入力す
るためのものである。前記駆動制御部１７は、駆動手段
６３の駆動。
。コントロールボックス６２は、操作７くネル１６と、
駆動制御部１７と、データ処理部１８と、電源ユニット
６２とから成っている。前記操作パネル１６は、この画
像自動検出装置の動作を開始する信号を外部より入力す
るためのものである。前記駆動制御部１７は、駆動手段
６３の駆動。
ライ／センサ１の回転移動、低濃度計２．高濃度計３の
昇降移動全所定のプログラムに基づいて制御するように
なっている。前記データ処理部１８は、前記ラインセン
サ１．低濃度計２．高濃度計３から得られる信号に対し
てＡ／Ｄ変換、積分等を行うプロセス回路１８αと、該
プロセス回路１８ａからのデータを数値化処理する演算
機能を有すると共に、このデータを収集するための制御
機能を有するデータ処理数値化回路１８Ａとから成って
いる０ 以上のように構成された画像自動検出装置の作用につい
て、第５図をも参照に加えて説明する。
昇降移動全所定のプログラムに基づいて制御するように
なっている。前記データ処理部１８は、前記ラインセン
サ１．低濃度計２．高濃度計３から得られる信号に対し
てＡ／Ｄ変換、積分等を行うプロセス回路１８αと、該
プロセス回路１８ａからのデータを数値化処理する演算
機能を有すると共に、このデータを収集するための制御
機能を有するデータ処理数値化回路１８Ａとから成って
いる０ 以上のように構成された画像自動検出装置の作用につい
て、第５図をも参照に加えて説明する。
この画像自動検出装置において、被検査対象物３３の画
像検査を行うに際して、先ず、被検査対象物３３を吸着
テーブル１０上に載置すると共にガイド６１に被検査対
象物６３の端面をそろえる。
像検査を行うに際して、先ず、被検査対象物３３を吸着
テーブル１０上に載置すると共にガイド６１に被検査対
象物６３の端面をそろえる。
次に、真空ポンプ１４を作動させて、その吸引圧により
被検査対象物′３６を吸着テーブル１０上に密着固定す
る０その後、操作パネル１６上のスタートスイッチを作
動させることにより、画像自動検出装置の動作が開始さ
れる。ここで、駆動制御部１７には、ラインセンサ１の
回転駆動、低濃度計２及び高濃度計６の昇降駆動、Ｘ−
Ｙテーブル１５のＸ、Ｙ方向の移動の駆動プログラムが
、被検査対象物３３の種類毎に記憶されている。被検査
対象物６６の一例會第５図に示す。第５図において、被
検査対象物３３には、複写位置検出用Ｘ軸点パターン６
４．複写位置検出用Ｙ軸点パター／６５．解像度検出用
Ｙ軸パターン４７．解像度検出用Ｘ軸パターン４８，１
ｍ度検出用高濃度パターン５０乃至５２．濃度検出用低
濃度パターン５４乃至５７が印刷あるいは複写されてい
る〇前記駆動制御部１７は、被検査対象物３′５におけ
る上記の各パターンｔ−、ラインセンサ１又は低濃度計
２．高濃度計６にて検出できるように、各駆動を制御す
るようになっている。
被検査対象物′３６を吸着テーブル１０上に密着固定す
る０その後、操作パネル１６上のスタートスイッチを作
動させることにより、画像自動検出装置の動作が開始さ
れる。ここで、駆動制御部１７には、ラインセンサ１の
回転駆動、低濃度計２及び高濃度計６の昇降駆動、Ｘ−
Ｙテーブル１５のＸ、Ｙ方向の移動の駆動プログラムが
、被検査対象物３３の種類毎に記憶されている。被検査
対象物６６の一例會第５図に示す。第５図において、被
検査対象物３３には、複写位置検出用Ｘ軸点パターン６
４．複写位置検出用Ｙ軸点パター／６５．解像度検出用
Ｙ軸パターン４７．解像度検出用Ｘ軸パターン４８，１
ｍ度検出用高濃度パターン５０乃至５２．濃度検出用低
濃度パターン５４乃至５７が印刷あるいは複写されてい
る〇前記駆動制御部１７は、被検査対象物３′５におけ
る上記の各パターンｔ−、ラインセンサ１又は低濃度計
２．高濃度計６にて検出できるように、各駆動を制御す
るようになっている。
以下、この駆動制御部１７の駆動プログラムに基づく動
作を、第５図を参照して説明する。先ず、原点位置にあ
ったＸ−Ｙテーブル１５は、ラインセンサ１が複写位置
検出用Ｘ軸点パターン３４を検出できるように、図示移
動軌跡６６に沿って移動する。ラインセンサ１は、前記
Ｘ−Ｙテーブル１５の移動中に、検出面におけるアレー
状に配列された検出素子を順次制御して、複写位置検出
用Ｘ軸点パターン６４の検出を行う。このラインセンサ
１の走査方向を図示矢印３７乃至４０に示す。
作を、第５図を参照して説明する。先ず、原点位置にあ
ったＸ−Ｙテーブル１５は、ラインセンサ１が複写位置
検出用Ｘ軸点パターン３４を検出できるように、図示移
動軌跡６６に沿って移動する。ラインセンサ１は、前記
Ｘ−Ｙテーブル１５の移動中に、検出面におけるアレー
状に配列された検出素子を順次制御して、複写位置検出
用Ｘ軸点パターン６４の検出を行う。このラインセンサ
１の走査方向を図示矢印３７乃至４０に示す。
即ち、ラインセンサ１は、図示走査方向位置′５７乃至
４０までの間に亘って、データ入力を行う。
４０までの間に亘って、データ入力を行う。
そして、このデータに基づいて、データ処理部１８は、
Ｘ−Ｙテーブル１０のＸ軸方向移動距離から前記複写位
置検出用Ｘ軸点パターン３４の長さを算出すると共に、
図示走査方向３８．３９において、被検査対象物６６の
エツジから複写位置検出用Ｘ軸点パターン３４までの距
離を測定することにより、Ｘ軸に対するスキュー（傾き
）と、紙先端の位置ズＶ’に算出することができる。
Ｘ−Ｙテーブル１０のＸ軸方向移動距離から前記複写位
置検出用Ｘ軸点パターン３４の長さを算出すると共に、
図示走査方向３８．３９において、被検査対象物６６の
エツジから複写位置検出用Ｘ軸点パターン３４までの距
離を測定することにより、Ｘ軸に対するスキュー（傾き
）と、紙先端の位置ズＶ’に算出することができる。
次に、ラインセンサ１は、Ｘ−Ｙテープ／ｖ１５の移動
に伴って、複写位置検出用Ｙ軸黒パターン３５の検出を
行う。この際、ラインセンサ１は、複写位置検出用Ｙ軸
点パターンに対して図示矢印４１乃至４４の方向に走査
しなければならないため、前記複写位置検出用Ｘ軸点パ
ターン３４の検出終了後に、９０度の角度回転が行なわ
れる。この回転動作は、前記駆動制御部１７の駆動プロ
グラムに基づいて行なわれる。複写位置検出用Ｙ軸点パ
ターン６５の検出は、前述した複写位置検出用Ｘ軸点バ
ター／６４の検出と同様にして行なわれ、複写位置検出
用Ｙ軸点パターン６５の長さ。
に伴って、複写位置検出用Ｙ軸黒パターン３５の検出を
行う。この際、ラインセンサ１は、複写位置検出用Ｙ軸
点パターンに対して図示矢印４１乃至４４の方向に走査
しなければならないため、前記複写位置検出用Ｘ軸点パ
ターン３４の検出終了後に、９０度の角度回転が行なわ
れる。この回転動作は、前記駆動制御部１７の駆動プロ
グラムに基づいて行なわれる。複写位置検出用Ｙ軸点パ
ターン６５の検出は、前述した複写位置検出用Ｘ軸点バ
ター／６４の検出と同様にして行なわれ、複写位置検出
用Ｙ軸点パターン６５の長さ。
Ｙ軸に対するスキュー及び紙先端の位置ズレが、それぞ
れデータ処理部１８において算出される。
れデータ処理部１８において算出される。
次に、解像度の検出を行う。ｘ−Ｙテーブル１５の移動
によって、ライ／センサ１が解像度検出用Ｙ軸パターン
４７上に達すると、ラインセンサ１は図示矢印方向４５
に沿って検出素子を数回走査して、解像度のリニア特性
を検出する。Ｙ軸方向の解像度検出が終了すると、ライ
ンセンサ１は再度９０度回転し、Ｘ−Ｙテーブル１５の
移動に伴って、解像度検出用Ｘ軸パターン４８上に達す
る０ここで、図示矢印方向４８に沿って数回走査を行う
ことにより、Ｘ軸方向の解像度のリニア特性の検出を行
う。
によって、ライ／センサ１が解像度検出用Ｙ軸パターン
４７上に達すると、ラインセンサ１は図示矢印方向４５
に沿って検出素子を数回走査して、解像度のリニア特性
を検出する。Ｙ軸方向の解像度検出が終了すると、ライ
ンセンサ１は再度９０度回転し、Ｘ−Ｙテーブル１５の
移動に伴って、解像度検出用Ｘ軸パターン４８上に達す
る０ここで、図示矢印方向４８に沿って数回走査を行う
ことにより、Ｘ軸方向の解像度のリニア特性の検出を行
う。
この後、被検査対象物３３の画像濃度の検出が行なわれ
る。先ず、Ｘ−Ｙテーブル１５の移動に伴って、高濃度
計６が、軌跡４９に沿って濃度検出用高濃度パターン５
０乃至５２上に順次配置される。高濃度計６は先ず、濃
度検出用高濃度パターン５０の位置において、駆動制御
部１７の制御に基づいて下降し、被検査対象物６６を自
重により押圧して高濃度の検出を行う。駆動制御部１７
が、測定完了を確認すると、高濃度計３を上昇移動させ
、次の測定位置即ち濃度測定用高濃度パターン５１．５
２においても同様の動作全行うように制御する。
る。先ず、Ｘ−Ｙテーブル１５の移動に伴って、高濃度
計６が、軌跡４９に沿って濃度検出用高濃度パターン５
０乃至５２上に順次配置される。高濃度計６は先ず、濃
度検出用高濃度パターン５０の位置において、駆動制御
部１７の制御に基づいて下降し、被検査対象物６６を自
重により押圧して高濃度の検出を行う。駆動制御部１７
が、測定完了を確認すると、高濃度計３を上昇移動させ
、次の測定位置即ち濃度測定用高濃度パターン５１．５
２においても同様の動作全行うように制御する。
高濃度の検出が終了すると、駆動制御部１７は、駆動プ
ログラムに基づいて被検査対象物３３の低濃度の検出を
行う。この低濃度の検出は、ｘ−Ｙテーブル１５の移動
に伴って、低濃度計２が、軌跡４９に沿って濃度検出用
低濃度パターン５４乃至５７上に順次配置されることに
より行なわれる。
ログラムに基づいて被検査対象物３３の低濃度の検出を
行う。この低濃度の検出は、ｘ−Ｙテーブル１５の移動
に伴って、低濃度計２が、軌跡４９に沿って濃度検出用
低濃度パターン５４乃至５７上に順次配置されることに
より行なわれる。
低濃度計２は、前記高濃度計３の動作と同様に、各濃度
検出用低濃度パターン５４乃至５７において昇降移動す
ることにより濃度検出を行う。以上の動作により、被検
査対象物３６の画像検査項目が終了する。検査部６１に
おいて収集されたデータは、データ処理部１８に転送さ
れて、プロセス回路１８αにおいてディジタル変換等の
処理がなされ、その後データ数値化処理回ｉ％ １８Ａ
において数値化処理され、この結果がディスプレイ上に
画像表示あるいはプリンターでプリントアウトされる。
検出用低濃度パターン５４乃至５７において昇降移動す
ることにより濃度検出を行う。以上の動作により、被検
査対象物３６の画像検査項目が終了する。検査部６１に
おいて収集されたデータは、データ処理部１８に転送さ
れて、プロセス回路１８αにおいてディジタル変換等の
処理がなされ、その後データ数値化処理回ｉ％ １８Ａ
において数値化処理され、この結果がディスプレイ上に
画像表示あるいはプリンターでプリントアウトされる。
以上説明したように、検出部６１に対してテーブル系５
０の駆動を制御しながら、検査部６１において被検査対
象物６３の画像検査データを収集し、テーブル系６０の
移動情報と前記データとにより画像の位置、解像度、濃
度を自動的に数値化処理することができる。さらに、検
査者の視覚に頼らずに画像検査が行なえるため、検査者
の負担を軽減すると共に、検査精度も飛躍的に向上する
。
０の駆動を制御しながら、検査部６１において被検査対
象物６３の画像検査データを収集し、テーブル系６０の
移動情報と前記データとにより画像の位置、解像度、濃
度を自動的に数値化処理することができる。さらに、検
査者の視覚に頼らずに画像検査が行なえるため、検査者
の負担を軽減すると共に、検査精度も飛躍的に向上する
。
又、濃度測定にあっては、低濃度計２．高濃度計３の自
重によって、被検査対象物３３に対して一定の押圧力を
維持できるため、濃度測定精度の向上をも図ることがで
きる。
重によって、被検査対象物３３に対して一定の押圧力を
維持できるため、濃度測定精度の向上をも図ることがで
きる。
゛ この発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、この発明の要旨の範囲内で種々の変形例を包含するこ
とは言うまでもない。例えば、画像自動検査装置の周囲
の光度が一定に保持できるのであれば、前記実施例にお
ける低濃度計２．高濃度計６による濃度測定を、ライン
センサ１において兼用させることもできる。このように
すれば、濃度測定を非接触で行い得るため、検出部の昇
降移動子Ｒｋ Ｆｉｔｌ除できる。更に、ラインセンサ
１の代りに、マトリクスセ／す（ｘ ｈｉｔ ｘ ｙｂ
ｉｔ ） ｆ駆使すれば、Ｘ軸、Ｙ軸のパターン測定毎
に角度変換を要することがなく、角度変換のための駆動
手段をも削除することが可能となる。又、前記実施例に
おいては、検出部６１を２インセンサ１．低濃度計２．
高濃度計３で構成したため％Ｘ−Ｙテーブル１５を移動
して画像検査データ全収集したが、画像の位置、解像度
、濃度を１つのラインセンサ又はマトリクスセンサで検
出するようにすれば、テーブル系６０を固定して検出部
６１を移動するようにしてもよい。
、この発明の要旨の範囲内で種々の変形例を包含するこ
とは言うまでもない。例えば、画像自動検査装置の周囲
の光度が一定に保持できるのであれば、前記実施例にお
ける低濃度計２．高濃度計６による濃度測定を、ライン
センサ１において兼用させることもできる。このように
すれば、濃度測定を非接触で行い得るため、検出部の昇
降移動子Ｒｋ Ｆｉｔｌ除できる。更に、ラインセンサ
１の代りに、マトリクスセ／す（ｘ ｈｉｔ ｘ ｙｂ
ｉｔ ） ｆ駆使すれば、Ｘ軸、Ｙ軸のパターン測定毎
に角度変換を要することがなく、角度変換のための駆動
手段をも削除することが可能となる。又、前記実施例に
おいては、検出部６１を２インセンサ１．低濃度計２．
高濃度計３で構成したため％Ｘ−Ｙテーブル１５を移動
して画像検査データ全収集したが、画像の位置、解像度
、濃度を１つのラインセンサ又はマトリクスセンサで検
出するようにすれば、テーブル系６０を固定して検出部
６１を移動するようにしてもよい。
以上説明したように、この発明によると、被検査対象物
における画像の位置、濃度、解像度を自動検出すること
ができる画像自動検査装置を提供することができる。従
って、検査者の負担を大幅に軽減すると共に、検査精度
の向上と検査時間の短縮全図ることができる。
における画像の位置、濃度、解像度を自動検出すること
ができる画像自動検査装置を提供することができる。従
って、検査者の負担を大幅に軽減すると共に、検査精度
の向上と検査時間の短縮全図ることができる。
第１図はこの発明の一実施例である画像自動検査装置の
正面図、第２図は２インセンサ、濃度検出計及びＸ−Ｙ
テーブルの配置関係を示す概略斜視図、第３図はＸ−Ｙ
テーブルの上面図、＃Ｉ４図は画像自動検査装置のブロ
ックダイヤグラム、第５図は被検査対象物の画像検査の
動作を説明するための概略説明図である０ １・・・ラインセンサ、 ２・・・低濃度計、 ６
・・・高濃度計、 １０・・・吸着テーブル、 １
５・・・Ｘ−Ｙテーブル、 １７・・・駆動制御部、
１８・・・データ処理部、 ６０・・・検出部、
６１・・・テーブル系、６３・・・駆動手段。 手続補正層 特許庁長官 殿 １、事件の表示 昭和５７年特許願第２１３０９５月 ２、発明の名称 画像自動検査装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県用崎市幸区堀用町７２番地４、代理人 ５、補正命令の日付 自発 ６、補正の対象 別紙 補正の内容゛ （１） 明細書第３ページ第２行にか１１記載の「対し
て同様であり」を「対しても同様であり」に訂正する。 （２） 同第４ページ第４行に記載の「第２図」を「第
３図」に訂正する。 （３） 同第４ページ第６行に記載の「第３図」を「第
２図」に訂正する。 （４） 同第６ページ第４行に記載の「ホース３０」を
「ホース１３」に訂正する。 （５） 同第１０ページ第１２行に記載のｒＸ−Ｙテー
ブル１０」を「吸着テーブル１０」に訂正する。 （６） 同第１２ページ第１行に記載の「図示矢印方向
４８」を「図示矢印方向４６」に訂正する。 （７） 同第１２ページ第１９行から最終行にかけて記
載の「軌跡４９」を「軌跡５３」に訂正する。 （８） 同第１５ページ第１３行に記載の「第２図」を
「第３図」に訂正する。 （９） 同第１５ページ第１５行に記載の「第３図」を
「第２図」に訂正する。 （１０） 同第１６ページ第２行に記載の「６０・・・
検出部」及び「６１・・・テーブル系」をそれぞれ１６
０・・・テーブル系」及び「６１・・・検出部」に訂正
する。 （１１） 第４図を添付図面のごとく訂正する。
正面図、第２図は２インセンサ、濃度検出計及びＸ−Ｙ
テーブルの配置関係を示す概略斜視図、第３図はＸ−Ｙ
テーブルの上面図、＃Ｉ４図は画像自動検査装置のブロ
ックダイヤグラム、第５図は被検査対象物の画像検査の
動作を説明するための概略説明図である０ １・・・ラインセンサ、 ２・・・低濃度計、 ６
・・・高濃度計、 １０・・・吸着テーブル、 １
５・・・Ｘ−Ｙテーブル、 １７・・・駆動制御部、
１８・・・データ処理部、 ６０・・・検出部、
６１・・・テーブル系、６３・・・駆動手段。 手続補正層 特許庁長官 殿 １、事件の表示 昭和５７年特許願第２１３０９５月 ２、発明の名称 画像自動検査装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県用崎市幸区堀用町７２番地４、代理人 ５、補正命令の日付 自発 ６、補正の対象 別紙 補正の内容゛ （１） 明細書第３ページ第２行にか１１記載の「対し
て同様であり」を「対しても同様であり」に訂正する。 （２） 同第４ページ第４行に記載の「第２図」を「第
３図」に訂正する。 （３） 同第４ページ第６行に記載の「第３図」を「第
２図」に訂正する。 （４） 同第６ページ第４行に記載の「ホース３０」を
「ホース１３」に訂正する。 （５） 同第１０ページ第１２行に記載のｒＸ−Ｙテー
ブル１０」を「吸着テーブル１０」に訂正する。 （６） 同第１２ページ第１行に記載の「図示矢印方向
４８」を「図示矢印方向４６」に訂正する。 （７） 同第１２ページ第１９行から最終行にかけて記
載の「軌跡４９」を「軌跡５３」に訂正する。 （８） 同第１５ページ第１３行に記載の「第２図」を
「第３図」に訂正する。 （９） 同第１５ページ第１５行に記載の「第３図」を
「第２図」に訂正する。 （１０） 同第１６ページ第２行に記載の「６０・・・
検出部」及び「６１・・・テーブル系」をそれぞれ１６
０・・・テーブル系」及び「６１・・・検出部」に訂正
する。 （１１） 第４図を添付図面のごとく訂正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１画像を有する被検査対象物を位置決め載置するテ
ーブルと、このテーブルに載置された被検査対象物に対
向配置されると共に、被検査対象物における画像の位置
、濃度及び解像度を検出して検出データを出力する検出
部と、この検出部からの検出データに基づいて、前記画
像の位置、濃度及び解像度を数値化処理するデータ処理
部とを有することを特徴とする画像自動検査装置。 （２）前記テーブルと検出部とは、相対移動して被検査
対象物の複数位置について検出データを得ることを特徴
とする特許請求の範囲第１項に記載の画像自動検査装置
。 （３）前記検出部は画像の位置及び解像度の検出を行な
う第１のセンサと、画像の濃度を検出する第２のセンサ
とであることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
の画像自動検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57213095A JPS59103464A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | 画像自動検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57213095A JPS59103464A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | 画像自動検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59103464A true JPS59103464A (ja) | 1984-06-14 |
Family
ID=16633474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57213095A Pending JPS59103464A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | 画像自動検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59103464A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS631245A (ja) * | 1986-06-20 | 1988-01-06 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像自動検査装置 |
| JPS631244A (ja) * | 1986-06-20 | 1988-01-06 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像検査装置 |
| JPS63193673A (ja) * | 1987-02-05 | 1988-08-10 | Fuji Xerox Co Ltd | カラ−画像自動検査装置 |
| JPS63198480A (ja) * | 1987-02-13 | 1988-08-17 | Fuji Xerox Co Ltd | カラ−画像自動検査装置 |
| JPS63198481A (ja) * | 1987-02-13 | 1988-08-17 | Fuji Xerox Co Ltd | カラ−画像自動検査装置 |
-
1982
- 1982-12-03 JP JP57213095A patent/JPS59103464A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS631245A (ja) * | 1986-06-20 | 1988-01-06 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像自動検査装置 |
| JPS631244A (ja) * | 1986-06-20 | 1988-01-06 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像検査装置 |
| JPS63193673A (ja) * | 1987-02-05 | 1988-08-10 | Fuji Xerox Co Ltd | カラ−画像自動検査装置 |
| JPS63198480A (ja) * | 1987-02-13 | 1988-08-17 | Fuji Xerox Co Ltd | カラ−画像自動検査装置 |
| JPS63198481A (ja) * | 1987-02-13 | 1988-08-17 | Fuji Xerox Co Ltd | カラ−画像自動検査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59103464A (ja) | 画像自動検査装置 | |
| JPH0616169B2 (ja) | 画像輪郭線デ−タ作成装置 | |
| CN87104449A (zh) | 计量装置 | |
| JP2002228422A (ja) | 基板の厚さを測定するためのオンライン測定装置及びその測定方法 | |
| US5001841A (en) | Apparatus for inspecting a profile of a rod | |
| JPH0797024B2 (ja) | 反射像歪の測定方法 | |
| US20090110263A1 (en) | Coplanarity inspection device for printed circuit boards | |
| JPS6336264Y2 (ja) | ||
| JPS63102294A (ja) | 電子部品の検査装置 | |
| JPH0821605B2 (ja) | Ｘ線検査装置 | |
| JP2560462B2 (ja) | 膜厚測定装置 | |
| JPH09126763A (ja) | 垂直度測定方法及び垂直度測定装置 | |
| CN114486951B (zh) | 一种x线探测器用tft面板测试系统及方法 | |
| CN117367284B (zh) | 靶材尺寸及孔位同步检测系统及检测方法 | |
| JP2900564B2 (ja) | 部品吸着検出装置 | |
| CN216116663U (zh) | 一种fov检测装置 | |
| CN213813380U (zh) | 一种检测贴片表观的设备 | |
| JPH0750668Y2 (ja) | 指針型メータの調整検査装置 | |
| JPS61235841A (ja) | スキヤナにおける原画貼込み及び原画トリミングデ−タ抽出方法ならびにその装置 | |
| JP2002098934A (ja) | 検査装置 | |
| JPH0422145B2 (ja) | ||
| JPH02176506A (ja) | 原子燃料寸法計測装置 | |
| JPH084571Y2 (ja) | 指針形メータの調整検査装置 | |
| JP2510375Y2 (ja) | 折曲げワ―ク撮像装置 | |
| JPH0750669Y2 (ja) | 指針型メータの調整検査装置 |