JP2005326226A - 欠陥検出装置、配線領域抽出装置、欠陥検出方法および配線領域抽出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板9上に形成された配線を含むパターンを示す参照2値画像において、配線領域に対応する画素値と同じ画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得し、収縮画像中に残存する注目領域に収縮処理を同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像が取得される。続いて、収縮・膨張画像と参照2値画像との差分画像が、配線領域を示す配線画像として生成される。これにより、微細パターン領域である配線領域を容易に抽出することができる。また、配線画像に基づいて配線領域と他の領域とに異なる欠陥検出感度を設定し、欠陥検出感度に従いつつ被検査画像中の欠陥を検出することにより、基板9上のパターンの欠陥を適切に検出することができる。
【選択図】図1
Description
3 撮像部
9 基板
42 前処理部
43 2値画像生成部
44 収縮・膨張部
45 配線領域取得部
45a 微細背景領域取得部
46 検出感度設定部
47 欠陥検出部
48 特定配線領域抽出部
49 膨張部
50 周辺領域取得部
61 参照2値画像
62 収縮画像
63,64 収縮・膨張画像
65,65a,65b,66,68,68a 配線画像
67 被検査2値画像
71 膨張画像
72 周辺領域画像
92,92a,93 配線
94 スルーホール
611,671,711 注目領域
651,652,681 配線領域
721 周辺領域
S11,S14〜S18,S31,S32 ステップ
Claims (16)
- 基板上に形成された幾何学的なパターンの欠陥を検出する欠陥検出装置であって、
基板を撮像する撮像部と、
前記撮像部にて取得された被検査画像に基づく被検査2値画像および参照2値画像のうちの一方の画像中の特定の画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得し、前記収縮画像中に残存する前記注目領域に前記収縮処理と同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像を取得する収縮・膨張部と、
前記収縮・膨張画像と前記一方の画像との差分画像を微細パターン領域を示す微細パターン画像として生成する微細パターン領域取得部と、
前記微細パターン領域と他の領域とに異なる欠陥検出感度を設定する検出感度設定部と、
前記欠陥検出感度に従いつつ前記被検査画像中の欠陥を検出する欠陥検出部と、
を備えることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項1に記載の欠陥検出装置であって、
前記収縮・膨張部および前記微細パターン領域取得部により収縮処理および膨張処理の度合いを変更して生成された2つの微細パターン画像に対して、差分画像を生成することにより前記検出感度設定部にて利用される特定の微細パターン領域を取得する特定微細パターン領域抽出部をさらに備えることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項1または2に記載の欠陥検出装置であって、
前記一方の画像が前記被検査2値画像であり、
前記微細パターン領域取得部が、膨張処理が施された前記参照2値画像で前記微細パターン画像をマスクすることにより修正することを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の欠陥検出装置であって、
前記基板が配線基板であり、前記注目領域が前記被検査2値画像において配線領域に対応する画素値と同じ画素値を有する領域であることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項4に記載の欠陥検出装置であって、
前記撮像部にて取得されるカラー画像または参照用のカラー画像から前記基板上のスルーホールに対応するスルーホール領域を取得するスルーホール領域取得部をさらに備え、
前記微細パターン領域取得部が、前記スルーホール領域に基づいて、前記基板上の前記スルーホール用のランド部および前記スルーホールに対応する領域を実質的に非配線領域として取り扱うことを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項4に記載の欠陥検出装置であって、
前記撮像部にて取得されるカラー画像または参照用のカラー画像から前記基板上のレジストが付与された領域に対応するレジスト領域を取得するレジスト領域取得部と、
前記レジスト領域のみを示す2値画像および非レジスト領域のみを示す2値画像のそれぞれを前記一方の画像として生成する2値画像生成部と、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検出装置。 - 基板上に形成された配線を含む幾何学的なパターンを示す対象画像から配線領域を抽出する配線領域抽出装置であって、
2値画像である対象画像において配線領域に対応する画素値と同じ画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得し、前記収縮画像中に残存する前記注目領域に前記収縮処理と同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像を取得する収縮・膨張部と、
前記収縮・膨張画像と前記対象画像との差分画像を配線領域を示す配線画像として生成する配線領域取得部と、
を備えることを特徴とする配線領域抽出装置。 - 請求項7に記載の配線領域抽出装置であって、
前記収縮・膨張部および前記配線領域取得部により収縮処理および膨張処理の度合いを変更して生成された2つの配線画像に対して、差分画像を生成することにより特定の配線領域を取得する特定配線領域抽出部をさらに備えることを特徴とする配線領域抽出装置。 - 請求項7または8に記載の配線領域抽出装置であって、
基板を撮像して取得されるカラー画像または参照用のカラー画像から前記基板上のスルーホールに対応するスルーホール領域を取得するスルーホール領域取得部をさらに備え、
前記配線領域取得部が、前記スルーホール領域に基づいて、前記基板上の前記スルーホール用のランド部および前記スルーホールに対応する領域を実質的に非配線領域として取り扱うことを特徴とする配線領域抽出装置。 - 請求項7または8に記載の配線領域抽出装置であって、
基板を撮像して取得されるカラー画像または参照用のカラー画像から前記基板上のレジストが付与された領域に対応するレジスト領域を取得するレジスト領域取得部と、
前記レジスト領域のみを示す2値画像および非レジスト領域のみを示す2値画像のそれぞれを前記対象画像として生成する2値対象画像生成部と、
をさらに備えることを特徴とする配線領域抽出装置。 - 基板上に形成された幾何学的なパターンの欠陥を検出する欠陥検出装置であって、
基板を撮像する撮像部と、
前記撮像部にて取得された被検査画像に基づく被検査2値画像および参照2値画像のうちの一方の画像中の特定の画素値を有する注目領域に膨張処理を施して膨張画像を取得する膨張部と、
前記膨張画像と前記一方の画像との差分画像を前記注目領域の周辺領域を示す周辺領域画像として生成する周辺領域取得部と、
前記周辺領域と他の領域とに異なる欠陥検出感度を設定する検出感度設定部と、
前記欠陥検出感度に従いつつ前記被検査画像中の欠陥を検出する欠陥検出部と、
を備えることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項11に記載の欠陥検出装置であって、
前記一方の画像が前記被検2値査画像であり、
前記周辺領域取得部が、膨張処理が施された前記参照2値画像で前記周辺領域画像をマスクすることにより修正することを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項11または12に記載の欠陥検出装置であって、前記基板が配線基板であり、前記注目領域が前記被検査2値画像において配線領域に対応する画素値と同じ画素値を有する領域であり、
前記欠陥検出装置が、
前記被検査2値画像および前記参照2値画像のうちの一方の画像中の背景に対応する画素値を有する背景領域に収縮処理を施して収縮画像を取得し、前記収縮画像中に残存する前記背景領域に前記収縮処理と同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像を取得する収縮・膨張部と、
前記収縮・膨張画像と前記一方の画像との差分画像を微細背景領域を示す微細背景画像として生成することにより、前記周辺領域から前記微細背景領域を分離する微細背景領域取得部と、
をさらに備え、
前記検出感度設定部が、前記微細背景領域に前記周辺領域とは異なる欠陥検出感度を設定することを特徴とする欠陥検出装置。 - 基板上に形成された幾何学的なパターンの欠陥を検出する欠陥検出方法であって、
基板を撮像する工程と、
撮像により取得された被検査画像に基づく被検査2値画像および参照2値画像のうちの一方の画像中の特定の画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得する工程と、
前記収縮画像中に残存する前記注目領域に前記収縮処理と同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像を取得する工程と、
前記収縮・膨張画像と前記一方の画像との差分画像を微細パターン領域を示す微細パターン画像として生成する工程と、
前記微細パターン領域と他の領域とに異なる欠陥検出感度を設定する工程と、
前記欠陥検出感度に従いつつ前記被検査画像中の欠陥を検出する工程と、
を備えることを特徴とする欠陥検出方法。 - 基板上に形成された配線を含む幾何学的なパターンを示す対象画像から配線領域を抽出する配線領域抽出方法であって、
2値画像である対象画像において配線領域に対応する画素値と同じ画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得する工程と、
前記収縮画像中に残存する前記注目領域に前記収縮処理と同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像を取得する工程と、
前記収縮・膨張画像と前記対象画像との差分画像を配線領域を示す配線画像として生成する工程と、
を備えることを特徴とする配線領域抽出方法。 - 基板上に形成された幾何学的なパターンの欠陥を検出する欠陥検出方法であって、
基板を撮像する工程と、
撮像により取得された被検査画像に基づく被検査2値画像および参照2値画像のうちの一方の画像中の特定の画素値を有する注目領域に膨張処理を施して膨張画像を取得する工程と、
前記膨張画像と前記一方の画像との差分画像を前記注目領域の周辺領域を示す周辺領域画像として生成する工程と、
前記周辺領域と他の領域とに異なる欠陥検出感度を設定する工程と、
前記欠陥検出感度に従いつつ前記被検査画像中の欠陥を検出する工程と、
を備えることを特徴とする欠陥検出方法。
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