JP5480149B2 - 検査対象物の欠陥の発見を支援するシステム及び方法 - Google Patents

Description

本発明は、検査対象物の欠陥の発見を支援するシステム及び方法に関する。特に、本発明は、検査対象物の画像を処理してその欠陥の発見を支援するシステム及び方法に関する。

近年、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、半導体ウェハ等を製造する工場の生産ラインにおいて、製造されたＬＣＤ、ウェハ等の表面を高解像度のカメラで撮影し、撮影データを画像解析することで、ＬＣＤ、ウェハ等の欠陥を自動検査することが行われている。

ここで、ＬＣＤを製作するときに使用されるフォトマスク等の極めて小さなパターンの欠陥を検査する技術として、フォトマスクにおける光学画像と、ＣＡＤデータファイルに含まれる図形データから作成された参照画像とを比較した結果を出力する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、光学画像取得部が、ＣＡＤデータファイルに含まれる図形データが示す図形が描画された試料となるフォトマスクにおける光学画像を取得する。そして、比較回路において、光学画像と、ＣＡＤデータファイルに含まれる図形データをイメージデータに変換して所定のフィルタ処理を施して作成した参照画像とを、所定のアルゴリズムを用いて比較し、欠陥と判定した画像等をレビュー装置に出力している。

特開２００７−８５９９５号公報

このように、ＬＣＤ等の画像を処理することによりその欠陥を検査する技術は既に存在した。
ところで、昨今、ＬＣＤ等における検査面積の巨大化、大量のデータを表示するためのＬＣＤ等の高精細化に伴い、光学画像と参照画像とを比較する画像処理に対するパフォーマンス要求が高くなっている。そこで、特許文献１において、光学画像と参照画像とを比較する比較回路を、光学画像を取得する光学画像ユニット装置とは別の高機能の専用ユニットとすることは考えられる。
しかしながら、画像処理に対するパフォーマンス要求は高機能の専用ユニットを使うことで解決されたとしても、欠陥と判定した画像をレビュー装置に出力する際に、データの転送量の巨大化に伴い、システム内でのデータ通信のためのバンド幅が不足するという問題は解決されない。ここで、バンド幅とは、伝送路容量のことで、転送可能なビットレートで表す。

かかる問題に対し、バンド幅を最大限に取れるようなシステム構成を採るように設計したとしても、比較回路は画像処理に注力する必要があるため、周辺ユニットとの通信能力が、増大化するデータ転送量に釣り合わなくなる可能性がある。
また、転送データ量を小さくするために、欠陥と判定した画像を圧縮することも考えられる。ところが、この処理が、本来の画像処理のパフォーマンスを低下させてしまうという新たな問題が発生する。

本発明の目的は、検査対象物の欠陥部分の画像を判別する画像処理を行うユニットに接続される通信回線のバンド幅が不足するという事態を回避することにある。特に、画像処理ユニットと結果保存ユニットとの間のバンド幅の増大を解消することにある。

かかる目的のもと、本発明は、検査対象物の欠陥の発見を支援するシステムであって、検査対象物を撮影することによって得られた撮影画像を取得する取得部と、取得部に第１の通信回線で接続され、取得部により取得された撮影画像のうち、検査対象物の欠陥部分を含む領域の画像である欠陥画像を判別する判別部と、取得部に第２の通信回線で接続され、判別部により判別された欠陥画像を保存する保存部とを含み、取得部は、撮影画像を判別部に第１の通信回線を介して送信し、かつ、撮影画像を自身のメモリに記憶し、欠陥画像を特定する画像特定情報を判別部から第１の通信回線を介して受信すると、メモリに記憶した撮影画像のうちの画像特定情報により特定される欠陥画像を保存部に第２の通信回線を介して送信する、システムを提供する。

ここで、画像特定情報は、撮影画像の識別番号、欠陥部分の個数、及び、欠陥部分の座標と領域とからなる欠陥エリア情報を含むグループのうち、少なくとも１つを含む、ものであってよい。
また、取得部は、メモリに記憶した撮影画像から欠陥画像を切り出し、欠陥画像を保存部に送信する、ものであってよい。この場合、取得部は、画像特定情報として、メモリに記憶した撮影画像内の欠陥画像が占める領域を特定する領域特定情報を判別部から受信すると、撮影画像内の領域特定情報により特定される領域を欠陥画像として切り出す、ものであってよい。
また、取得部は、メモリに記憶した撮影画像が欠陥画像を含まない旨の情報を判別部から受信すると、撮影画像をメモリから削除する、ものであってよい。

一方、撮影画像は、複数の画像断片を含み、取得部は、メモリに記憶した撮影画像に含まれる複数の画像断片のうちの欠陥画像を含む画像断片を保存部に送信する、ものであってよい。この場合、取得部は、画像特定情報として、メモリに記憶した撮影画像に含まれる複数の画像断片のうちの欠陥画像を含む画像断片を特定する断片特定情報を判別部から受信すると、複数の画像断片のうちの断片特定情報により特定される画像断片を保存部に送信する、ものであってよい。
また、撮影画像は、複数の画像断片を含み、取得部は、メモリに記憶した撮影画像に含まれる複数の画像断片のうちの特定の画像断片が欠陥画像を含まない旨の情報を判別部から受信すると、特定の画像断片をメモリから削除する、ものであってよい。

また、判別部は、判別した欠陥画像を取得部に送信することなく削除する、ものであってよい。
更に、第２の通信回線は、第１の通信回線よりもバンド幅が広い、ものであってよい。

また、本発明は、検査対象物の欠陥の発見を支援する方法であって、取得部が、撮像部が検査対象物を撮像することによって得た撮影画像を撮像部から取得するステップと、取得部が、撮影画像を判別部に第１の通信回線を介して送信するステップと、取得部が、撮影画像を自身のメモリに記憶するステップと、判別部が、取得部から第１の通信回線を介して受信した撮影画像のうち、検査対象物の欠陥部分を含む領域の画像である欠陥画像を判別するステップと、判別部が、欠陥画像を特定する画像特定情報を取得部に第１の通信回線を介して送信するステップと、取得部が、メモリに記憶した撮影画像のうちの画像特定情報により特定される欠陥画像を保存部に第２の通信回線を介して送信するステップとを含む、方法も提供する。

更に、本発明は、検査対象物の欠陥の発見を支援する方法であって、取得部が、撮像部が検査対象物を撮像することによって得た撮影画像の複数の画像断片を撮像部から取得するステップと、取得部が、複数の画像断片を判別部に第１の通信回線を介して送信するステップと、取得部が、複数の画像断片を自身のメモリに記憶するステップと、判別部が、取得部から第１の通信回線を介して受信した複数の画像断片のうち、検査対象物の欠陥部分を含む領域の画像である欠陥画像を判別するステップと、判別部が、メモリに記憶した複数の画像断片のうちの欠陥画像を含む画像断片を特定する断片特定情報と、画像断片内の欠陥画像が占める領域を特定する領域特定情報とを、取得部に第１の通信回線を介して送信するステップと、取得部が、メモリに記憶した複数の画像断片のうちの断片特定情報により特定される画像断片内の領域特定情報により特定される領域を欠陥画像として切り出すステップと、取得部が、切り出した欠陥画像を保存部に送信するステップとを含む、方法も提供する。

本発明によれば、検査対象物の欠陥部分の画像を判別する画像処理を行うユニットに接続される通信回線のバンド幅が不足するという事態を回避することができる。

本発明の実施の形態における欠陥発見支援システムの機能構成を示したブロック図である。 本発明の実施の形態におけるキャプチャユニットがキャプチャ画像を送信キューに格納するまでの概略動作を示した図である。 本発明の実施の形態におけるキャプチャユニットがキャプチャ画像を画像処理ユニットに転送するまでの概略動作を示した図である。 本発明の実施の形態における画像処理ユニットが欠陥なしをキャプチャユニットに返したときの概略動作を示した図である。 本発明の実施の形態における画像処理ユニットが欠陥情報をキャプチャユニットに返したときの概略動作を示した図である。 本発明の実施の形態で生成される欠陥情報の具体例を示した図である。 本発明の実施の形態におけるキャプチャユニットがキャプチャ画像を画像処理ユニットに転送する際の動作例を示したフローチャートである。 本発明の実施の形態における画像処理ユニットが画像解析を行う際の動作例を示したフローチャートである。 本発明の実施の形態におけるキャプチャユニットが画像処理ユニットから情報を受けて処理を行う際の動作例を示したフローチャートである。 本発明の実施の形態を適用可能なコンピュータのハードウェア構成を示した図である。

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、「実施の形態」という）について詳細に説明する。
まず、本実施の形態における欠陥発見支援システムについて説明する。尚、ここでは、検査対象物としてＬＣＤを例にとり説明する。
図１は、このような欠陥発見支援システム１００の全体構成例を示した図である。
図示するように、欠陥発見支援システム１００は、カメラ１０と、キャプチャユニット２０と、画像処理ユニット３０と、結果保存ユニット４０とを含む。

ここで、カメラ１０は、高性能なエリアスキャンカメラ又はラインスキャンカメラであればよい。キャプチャユニット２０及び結果保存ユニット４０は、例えばサーバで実現することができる。また、画像処理ユニット３０は、マルチコアＣＰＵを搭載したブレードサーバで実現することができる。尚、図では、カメラ１０を１つのボックスで表現したが、ＬＣＤ等の検査面積が広い場合には、複数のカメラ１０を設けてそれぞれがＬＣＤ等の表面の小領域を撮影することが好ましい。更に、複数のカメラ１０に対応して、キャプチャユニット２０も複数設けることが好ましい。
また、キャプチャユニット２０と画像処理ユニット３０とは通信回線５２を介して接続され、キャプチャユニット２０と結果保存ユニット４０とは通信回線５４を介して接続されている。ここで、通信回線５２や通信回線５４による接続は、イーサネット（登録商標）スイッチを使ってイーサネット（登録商標）で接続したり、ＩＢスイッチを使ってＩｎｆｉｎｉＢａｎｄで接続したり、ＰＣＩｅブリッジを使ってＰＣＩｅで接続したりすることで実現できる。この場合、通信回線５２は、第１の通信回線の一例であり、通信回線５４は、第２の通信回線の一例である。そして、第２の通信回線のバンド幅は、第１の通信回線のバンド幅よりも広く設定される。

以下、欠陥発見支援システム１００を構成する各ユニットの機能について説明する。
カメラ１０は、ＬＣＤの点灯表示画面表面を撮影する。即ち、検査対象のＬＣＤが製造工程ライン上を流れてくると、ＬＣＤ上の決められた画面領域を撮影する。ここで点灯表示画面は、欠陥を発見するための各種テストパターンを含むものとすることができる。そして、撮影で得られた画像データを順次、キャプチャユニット２０に送り込む。

キャプチャユニット２０は、画像を取得する取得部の一例であり、受信部２１、送信キュー２２と、送受信部２３、バッファ２４、画像抽出部２５、送信部２６を備えている。 ここで、受信部２１は、カメラ１０が撮影で得た画像データを順次受信する。
送信キュー２２は、受信部２１が取得した画像データ（以下、「キャプチャ画像」という）を画像処理ユニット３０への転送のために格納する。尚、キャプチャ画像は、検査対象物を撮影することによって得られた撮影画像の一例である。
送受信部２３は、送信キュー２２に格納されたキャプチャ画像を画像処理ユニット３０に転送し、どのキャプチャ画像のどの位置に欠陥が発見されたか、或いは、その欠陥の大きさを示す情報（以下、「欠陥情報」という）を画像処理ユニット３０から受信する。
バッファ２４は、キャプチャ画像を画像処理ユニット３０に送信した後も、一定量のキャプチャ画像を保持する。
画像抽出部２５は、送受信部２３が受信した欠陥情報に基づいて、バッファ２４に保持していたキャプチャ画像から欠陥部分を含む領域の画像データ（以下、「欠陥画像」という）を抽出する。
送信部２６は、画像抽出部２５が抽出した欠陥画像を結果保存ユニット４０に送信する。

画像処理ユニット３０は、欠陥画像を判別する判別部の一例であり、送受信部３１、バッファ３２、画像解析部３３、欠陥情報生成部３４を備えている。
ここで、送受信部３１は、キャプチャユニット２０からキャプチャ画像を受信し、キャプチャ画像に欠陥が見つからなければその旨を、欠陥が見つかれば欠陥情報をキャプチャユニット２０に送信する。
バッファ３２は、送受信部３１がキャプチャユニット２０から受信したキャプチャ画像を格納する。このキャプチャ画像は、画像の解析及び欠陥情報の生成を含む画像処理が終了すると削除される。
画像解析部３３は、バッファ３２に格納されたキャプチャ画像を画像処理して、キャプチャ画像に欠陥があるかどうか、欠陥があればその位置及び大きさ（形状、面積等）を解析する。
欠陥情報生成部３４は、画像解析部３３によりキャプチャ画像に欠陥があると判断された場合に欠陥情報を生成する。尚、後で詳しく述べるが、欠陥情報は、欠陥部分の画像データではなく、欠陥部分を特定するための情報を含み、画像データ量よりも小さなサイズのデータ量である。

結果保存ユニット４０は、欠陥画像の送信を受ける保存部の一例であり、キャプチャユニット２０から受信した欠陥画像を保存する。即ち、欠陥画像を記憶する磁気ディスク装置（ＨＤＤ）を有するファイルサーバである。

次に、本実施の形態における欠陥発見支援システム１００の概略動作を説明する。
図２〜図５は、概略動作における状態を時間順に示した図である。尚、図１に示したキャプチャユニット２０、画像処理ユニット３０内の構成要素については、説明に必要なもののみを示す。

図２は、カメラ１０で撮影して得られた画像データをキャプチャユニット２０が送信キュー２２に格納するときの動作を模式的に示した図である。
まず、カメラ１０は検査対象のＬＣＤを撮影し、画像データを順次キャプチャユニット２０に送信する（１）。
次に、キャプチャユニット２０は、カメラ１０から受信したキャプチャ画像を送信キュー２２に格納する（２）。尚、キャプチャ画像には、キャプチャ画像を一意に識別するための「キャプチャ画像ＩＤ」が付与されており、以下、キャプチャ画像ＩＤが「Ｎ」のキャプチャ画像を「キャプチャ画像＃Ｎ」のように表記する。図では、先に、キャプチャ画像＃１〜＃３が送信キュー２２に格納され、その後、キャプチャ画像＃４、＃５がカメラ１０から送られている。尚、キャプチャ画像中の網かけは欠陥部分を表す。この部分が後の画像解析で欠陥と認識されることになる。

図３は、キャプチャユニット２０がキャプチャ画像を画像処理ユニット３０に転送するときの動作を模式的に示した図である。
まず、キャプチャユニット２０は、送信キュー２２に格納されたキャプチャ画像を画像処理ユニット３０に送信する（３）。ここでは、図２で送信キュー２２に格納されていたキャプチャ画像＃１〜＃３が画像処理ユニット３０に送信されている途中を示している。その後、カメラ１０からは新たなキャプチャ画像＃４〜＃８が送られ、そのうち、キャプチャ画像＃４、＃５、＃６は送信キュー２２に格納されている。
次に、キャプチャユニット２０は、画像処理ユニット３０に転送済みのキャプチャ画像をバッファ２４に移動する（４）。ここでは、キャプチャ画像＃１〜＃３が画像処理ユニット３０に転送された後の状態を示し、キャプチャ画像＃１〜＃３をバッファ２４に移動している。
即ち、キャプチャユニット２０と画像処理ユニット３０とが、一時的に同じキャプチャ画像を持つことになる。

図４は、画像処理ユニット３０における画像処理で欠陥がないと判定された場合の動作を模式的に示した図である。
まず、画像処理ユニット３０は、図３で送られたキャプチャ画像のうちキャプチャ画像＃１を画像処理し、欠陥がないと判定する（５）。
次に、画像処理ユニット３０は、画像処理後のキャプチャ画像＃１を廃棄する（６）。 そして、画像処理ユニット３０は、キャプチャ画像＃１に欠陥がない旨をキャプチャユニット２０に通知する（７）。
最後に、キャプチャユニット２０は、バッファ２４に保持していたキャプチャ画像＃１を廃棄する（８）。

図５は、画像処理ユニット３０における画像処理で欠陥があると判定された場合の動作を模式的に示した図である。
まず、画像処理ユニット３０は、図３で送られたキャプチャ画像のうちキャプチャ画像＃３を画像処理し、欠陥があることを発見する（９）。
次に、画像処理ユニット３０は、画像処理後のキャプチャ画像＃３を廃棄する（１０）。即ち、欠陥がある場合も、欠陥がない場合と同様にキャプチャ画像は廃棄される。
そして、画像処理ユニット３０は、欠陥情報をキャプチャユニット２０に通知する（１１）。ここで、欠陥情報は、欠陥画像そのものではなく、キャプチャ画像内での欠陥画像の位置や大きさを特定する情報を含むデータである。つまり、欠陥画像のデータ量に比べて、データ量も少ない。
すると、キャプチャユニット２０は、バッファ２４に格納されたキャプチャ画像から欠陥画像を抜き出して結果保存ユニット４０に送信する（１２）。
これにより、結果保存ユニット４０は、欠陥画像を保存する（１３）。
最後に、キャプチャユニット２０は、処理済、つまり、欠陥画像を抜き出し終わったキャプチャ画像を廃棄する（１４）。図では、バッファ２４からキャプチャ画像＃３が廃棄されている。

ここで、図５で画像処理ユニット３０からキャプチャユニット２０に送信された欠陥情報について説明する。
図６は、欠陥情報の具体例を示した図である。
欠陥情報は、前述の通り、画像データそのものでなく、以下のような情報を持つ画像データよりも小さなサイズのデータである。本実施の形態では、欠陥画像を特定する画像特定情報の一例として、欠陥情報を用いている。
図示するように、欠陥情報は、キャプチャ画像ＩＤと、欠陥エリア数と、欠陥エリア情報とを含む。
キャプチャ画像ＩＤは、既に述べた通り、キャプチャ画像を一意に識別するための識別情報である。このキャプチャ画像ＩＤは、ＬＣＤを分割した画面領域を撮影して得られたキャプチャ画像ごとに付与される。例えば、ＬＣＤの画面を４分割して４つのキャプチャ画像を得た場合であれば、４つのキャプチャ画像にそれぞれ、＃５、＃６、＃７、＃８といったキャプチャ画像ＩＤが付与される。尚、ここでは、キャプチャ画像＃５の例を示している。本実施の形態では、画像断片を特定する断片特定情報の一例として、キャプチャ画像ＩＤを用いている。
欠陥エリア数は、キャプチャ画像内で発見された欠陥エリアの個数である。１つのキャプチャ画像に複数の欠陥が含まれることもあり、そのような場合は、各欠陥を含む矩形の領域を欠陥エリアとする。尚、ここでは、キャプチャ画像＃５内に３つの欠陥エリアが発見された場合の例を示している。
欠陥エリア情報は、欠陥エリア数で示された個数分のエリアを特定する情報であり、具体的には、以下の情報を含む。まず、top-leftであり、これはキャプチャ画像の左上隅の点を原点とした場合の欠陥エリアの左上隅の座標を示す。また、widthであり、これは欠陥エリアの幅を示す。更に、heightであり、これは欠陥エリアの高さを示す。尚、ここでは、欠陥エリア数が「３」なので、３個分の欠陥エリア情報を含んでいる。本実施の形態では、欠陥画像が占める領域を特定する領域特定情報の一例として、欠陥エリア情報を設けている。尚、ここでは、領域特定情報として、座標、幅、高さを用いたが、領域を特定できる情報であれば、如何なる情報を用いてもよく、例えば、左上隅の点の座標と右下隅の点の座標等を用いてもよい。
また、この欠陥情報には、欠陥部分の画像の濃度を解析することで得た欠陥の重度の情報や、欠陥のサイズ（面積）の情報を含めてもよい。

以下、本実施の形態における欠陥発見支援システム１００の動作について詳細に説明する。以下の説明では、図１もあわせて参照されたい。
図７は、カメラ１０からキャプチャ画像を受信して画像処理ユニット３０に転送するまでのキャプチャユニット２０の動作例を示したフローチャートである。
キャプチャユニット２０では、まず、受信部２１がカメラ１０からキャプチャ画像を受信する（ステップ２０１）。そして、受信したキャプチャ画像を送信キュー２２に格納する（ステップ２０２）。
すると、キャプチャ画像が送信キュー２２に格納された旨の情報が受信部２１から送受信部２３へ通知され、送受信部２３が、送信キュー２２からキャプチャ画像を取り出して画像処理ユニット３０に送信する（ステップ２０３）。また、送受信部２３は、転送済みのキャプチャ画像をバッファ２４に格納する（ステップ２０４）。

尚、この動作例では、カメラ１０から送られたキャプチャ画像が送信キュー２２に格納されたときに、送受信部２３がそのキャプチャ画像を取り出して画像処理ユニット３０に転送するようにした。しかしながら、カメラ１０から送られたキャプチャ画像が送信キュー２２に格納されるのとは非同期に、送受信部２３がそのキャプチャ画像を取り出して画像処理ユニット３０に転送するようにしてもよい。例えば、送受信部２３が、送信キュー２２にキャプチャ画像が格納されているかどうかを一定時間間隔でチェックし、キャプチャ画像が格納されていれば、キャプチャ画像を取り出して画像処理ユニット３０に転送するようにしてもよい。

図８は、キャプチャ画像を受信した画像処理ユニット３０の動作例を示したフローチャートである。
画像処理ユニット３０では、まず、送受信部３１がキャプチャ画像を受信し、バッファ３２に格納する（ステップ３０１）。
次に、画像解析部３３が、バッファ３２に格納されたキャプチャ画像を解析する（ステップ３０２）。具体的には、キャプチャ画像と、そのキャプチャ画像に対応するＬＣＤの領域の正しいパターンを示す参照画像とを比較する。例えば、カメラ１０で撮影するＬＣＤの領域が決まっている場合であれば、撮影で得た画像データと共にカメラ１０の識別情報もキャプチャユニット２０に送っておく。そして、カメラ１０の識別情報に基づいてキャプチャ画像に対応するＬＣＤの領域を特定し、この領域の正しいパターンを示す参照画像を参照画像記憶部（図示せず）から読み出せばよい。これにより、画像解析部３３は、キャプチャ画像内の小さなエリアのうち、参照画像の対応するエリアとパターンが異なっているエリアの数と、そのようなエリアの位置及び大きさとを求める。

そして、画像解析部３３は、欠陥エリアの数が「０」であるかどうかを判定する（ステップ３０３）。つまり、キャプチャ画像に欠陥があったかどうかを判定する。
その結果、欠陥エリアの数が「０」であると判定されれば、画像解析部３３は、その旨を送受信部３１に伝え、送受信部３１がキャプチャ画像ＩＤと欠陥がない旨の情報とをキャプチャユニット２０に送信する（ステップ３０４）。そして、送受信部３１は、バッファ３２からこのキャプチャ画像ＩＤに対応するキャプチャ画像を削除する（ステップ３１０）。
一方、欠陥エリアの数が「０」でないと判定されれば、画像解析部３３は、キャプチャ画像ＩＤ、欠陥エリアの数、位置、大きさを欠陥情報生成部３４に伝え、欠陥情報生成部３４が欠陥情報を生成する。即ち、まず、欠陥情報生成部３４は、キャプチャ画像ＩＤを欠陥情報にセットする（ステップ３０５）。次に、欠陥エリア数を欠陥情報にセットする（ステップ３０６）。そして、１つの欠陥エリアについて、欠陥エリアの位置及び大きさを特定する欠陥エリア情報を欠陥情報にセットする（ステップ３０７）。その後、他に欠陥エリアがあるかどうかを判定する（ステップ３０８）。そして、他に欠陥エリアがあれば、ステップ３０７を繰り返す。また、他に欠陥エリアがなければ、生成した欠陥情報を送受信部３１に受け渡し、送受信部３１が欠陥情報をキャプチャユニット２０に送信する（ステップ３０９）。そして、送受信部３１は、バッファ３２からこのキャプチャ画像ＩＤに対応するキャプチャ画像を削除する（ステップ３１０）。

図９は、画像処理ユニット３０から情報を受信したキャプチャユニット２０の動作例を示したフローチャートである。
キャプチャユニット２０では、まず、送受信部２３が情報を受信する（ステップ２２１）。
次に、その情報が欠陥情報であるかどうかを判定する（ステップ２２２）。
その結果、欠陥情報でないと判定されれば、つまり、キャプチャ画像ＩＤとキャプチャ画像に欠陥がなかった旨の情報であると判定されれば、送受信部２３は、バッファ２４に格納されたそのキャプチャ画像ＩＤに対応するキャプチャ画像を削除する（ステップ２２９）。
一方、欠陥情報であると判定されれば、送受信部２３は、欠陥情報を画像抽出部２５に伝え、画像抽出部２５が、欠陥情報からキャプチャ画像ＩＤを取り出す（ステップ２２３）。そして、キャプチャ画像ＩＤに対応するキャプチャ画像をバッファ２４から読み出す（ステップ２２４）。次に、画像抽出部２５は、欠陥情報から１つの欠陥エリア情報を取り出す（ステップ２２５）。そして、欠陥エリア情報によって特定される欠陥エリアの画像、つまり、欠陥画像をキャプチャ画像から切り出す（ステップ２２６）。すると、この切り出された欠陥画像は画像抽出部２５から送信部２６に渡され、送信部２６が、欠陥画像を結果保存ユニット４０に送信する（ステップ２２７）。その後、画像抽出部２５は、欠陥エリア情報がまだあるかどうかを判定する（ステップ２２８）。そして、欠陥エリア情報がまだあれば、ステップ２２５〜２２７の処理を繰り返す。また、欠陥エリア情報がもうなければ、その旨を送受信部２３に返す。そして、送受信部２３が、バッファ２４に格納されたそのキャプチャ画像ＩＤに対応するキャプチャ画像を削除する（ステップ２２９）。

尚、この動作例では、ステップ２２６でキャプチャ画像から欠陥画像を切り出す都度、ステップ２２７で欠陥画像を結果保存ユニット４０に送信するようにした。しかしながら、ステップ２２６でキャプチャ画像から切り出した欠陥画像を、ステップ２２８で欠陥エリア情報がないと判定されるまで保持しておき、欠陥エリア情報がないと判定されてからまとめて結果保存ユニット４０に送信するようにしてもよい。

ところで、本実施の形態では、欠陥情報にキャプチャ画像ＩＤと欠陥エリア情報とを含めたが、これらの一方のみを欠陥情報に含めるようにしてもよい。
例えば、欠陥情報に欠陥エリア情報のみを含める場合を考える。この場合は、画像処理ユニット３０に転送されたキャプチャ画像と、バッファ２４に格納されたキャプチャ画像とが、キャプチャ画像ＩＤ以外の方法で紐付けされていることが前提となる。例えば、１つのキャプチャ画像を画像処理ユニット３０に転送してバッファ２４に格納し、キャプチャ画像の処理が終わるとそのキャプチャ画像を画像処理ユニット３０からもバッファ２４からも削除して次のキャプチャ画像の処理に移るといった場合である。この場合は、画像処理ユニット３０から欠陥エリア情報を伝えることにより、キャプチャユニット２０は、バッファ２４に格納された１つのキャプチャ画像から欠陥エリア情報に基づいて欠陥画像を切り出すことができる。

また、欠陥情報にキャプチャ画像ＩＤのみを含める場合を考える。この場合は、複数のキャプチャ画像を画像処理ユニット３０に転送してバッファ２４に格納し、キャプチャユニット２０は、欠陥画像を含むキャプチャ画像のキャプチャ画像ＩＤを通知されると、バッファ２４に格納されたキャプチャ画像の中から通知されたキャプチャ画像ＩＤを有するキャプチャ画像を選択して結果保存ユニット４０に送信する。即ち、バッファ２４に格納されたキャプチャ画像から欠陥画像を切り出さずに、欠陥画像を含むキャプチャ画像の全体を結果保存ユニット４０に送信する。キャプチャ画像を小さなサイズに設定しておけば、キャプチャ画像全体を送信しても通信の負荷はそれほど大きくならない。

以上、本発明の実施の形態について詳細に説明してきた。
本実施の形態では、このような動作を行うことにより、従来技術の問題点が次のように解決される。
・画像処理ユニット３０が欠陥画像を送信することがなくなるので、画像処理ユニット３０に必要な転送バンド幅は小さなものですむようになる。一方で、キャプチャユニット２０に必要な転送バンド幅は大きくなるが、キャプチャユニット２０にはサーバのようなユニットが使われるため、転送バンド幅の拡張は画像処理ユニット３０よりも容易かつ安価に行え、問題とはならない。
・画像処理ユニット３０において欠陥画像の圧縮のような余分な処理を行わなくてよくなり、画像処理ユニット３０が本来の画像解析に使える時間に影響を与えることがなくなる。

更に、次のような利点も挙げられる。
・欠陥画像を抜き出す処理もキャプチャユニット２０にオフロードされるため、画像処理ユニット３０が本来の画像解析にかけることのできる時間が増加する。
・キャプチャユニット２０では、メモリやディスクの拡張が画像処理ユニット３０よりも容易かつ安価に行える。従って、キャプチャユニット２０に大きなバッファを持たせることにより、システム全体での画像処理量が増大する。

ところで、本実施の形態では、キャプチャユニット２０をサーバで実現し、画像処理ユニット３０をブレードサーバで実現するものとした。しかしながら、キャプチャユニット２０は、例えばＰＣ（Personal Computer）等、一般のコンピュータで実現してもよい。
また、画像処理ユニット３０も、ＣＡＢ（Cell Accelerator Board）を組み込んだＰＣ等、一般のコンピュータで実現することができる。

そこで、これらの処理を一般のコンピュータで行うものとして、そのハードウェア構成について説明する。
図１０は、このようなコンピュータのハードウェア構成の一例を示した図である。図示するように、コンピュータは、演算手段であるＣＰＵ（Central Processing Unit）９０ａと、Ｍ／Ｂ（マザーボード）チップセット９０ｂを介してＣＰＵ９０ａに接続されたメインメモリ９０ｃと、同じくＭ／Ｂチップセット９０ｂを介してＣＰＵ９０ａに接続された表示機構９０ｄとを備える。また、Ｍ／Ｂチップセット９０ｂには、ブリッジ回路９０ｅを介して、ネットワークインターフェイス９０ｆと、磁気ディスク装置（ＨＤＤ）９０ｇと、音声機構９０ｈと、キーボード／マウス９０ｉと、フレキシブルディスクドライブ９０ｊとが接続されている。

尚、図１０において、各構成要素は、バスを介して接続される。例えば、ＣＰＵ９０ａとＭ／Ｂチップセット９０ｂの間や、Ｍ／Ｂチップセット９０ｂとメインメモリ９０ｃの間は、ＣＰＵバスを介して接続される。また、Ｍ／Ｂチップセット９０ｂと表示機構９０ｄとの間は、ＡＧＰ（Accelerated Graphics Port）を介して接続されてもよいが、表示機構９０ｄがＰＣＩ Ｅｘｐｒｅｓｓ対応のビデオカードを含む場合、Ｍ／Ｂチップセット９０ｂとこのビデオカードの間は、ＰＣＩ Ｅｘｐｒｅｓｓ（ＰＣＩｅ）バスを介して接続される。また、ブリッジ回路９０ｅと接続する場合、ネットワークインターフェイス９０ｆについては、例えば、ＰＣＩ Ｅｘｐｒｅｓｓを用いることができる。また、磁気ディスク装置９０ｇについては、例えば、シリアルＡＴＡ（AT Attachment）、パラレル転送のＡＴＡ、ＰＣＩ（Peripheral Components Interconnect）を用いることができる。更に、キーボード／マウス９０ｉ、及び、フレキシブルディスクドライブ９０ｊについては、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）を用いることができる。

ここで、本発明は、全てハードウェアで実現してもよいし、全てソフトウェアで実現してもよい。また、ハードウェア及びソフトウェアの両方により実現することも可能である。また、本発明は、コンピュータ、データ処理システム、コンピュータプログラムとして実現することができる。このコンピュータプログラムは、コンピュータにより読取り可能な媒体に記憶され、提供され得る。ここで、媒体としては、電子的、磁気的、光学的、電磁的、赤外線又は半導体システム（装置又は機器）、或いは、伝搬媒体が考えられる。また、コンピュータにより読取り可能な媒体としては、半導体、ソリッドステート記憶装置、磁気テープ、取り外し可能なコンピュータディスケット、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリーメモリ（ＲＯＭ）、リジッド磁気ディスク、及び光ディスクが例示される。現時点における光ディスクの例には、コンパクトディスク−リードオンリーメモリ（ＣＤ−ＲＯＭ）、コンパクトディスク−リード／ライト（ＣＤ−Ｒ／Ｗ）及びＤＶＤが含まれる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態には限定されない。本発明の精神及び範囲から逸脱することなく様々に変更したり代替態様を採用したりすることが可能なことは、当業者に明らかである。

１０…カメラ、２０…キャプチャユニット、２１…受信部、２２…送信キュー、２３…送受信部、２４…バッファ、２５…画像抽出部、２６…送信部、３０…画像処理ユニット、３１…送受信部、３２…バッファ、３３…画像解析部、３４…欠陥情報生成部

Claims (11)

1. 検査対象物の欠陥の発見を支援するシステムであって、
   前記検査対象物を撮影することによって得られた撮影画像を取得する取得部と、
   前記取得部に第１の通信回線で接続され、当該取得部により取得された前記撮影画像のうち、前記検査対象物の欠陥部分を含む領域の画像である欠陥画像を判別する判別部と、
   前記取得部に第２の通信回線で接続され、前記判別部により判別された前記欠陥画像を保存する保存部と
   を含み、
   前記第２の通信回線は、前記第１の通信回線よりもバンド幅が広く、
   前記取得部は、前記撮影画像を前記判別部に前記第１の通信回線を介して送信し、かつ、当該撮影画像を自身のメモリに記憶し、前記欠陥画像を特定する画像特定情報を当該判別部から当該第１の通信回線を介して受信すると、当該メモリに記憶した当該撮影画像のうちの当該画像特定情報により特定される当該欠陥画像を前記保存部に前記第２の通信回線を介して送信する、
   システム。
2. 前記画像特定情報は、前記撮影画像の識別番号、前記欠陥部分の個数、及び、前記欠陥部分の座標と領域とからなる欠陥エリア情報を含むグループのうち、少なくとも１つを含む、請求項１のシステム。
3. 前記取得部は、前記メモリに記憶した前記撮影画像から前記欠陥画像を切り出し、当該欠陥画像を前記保存部に送信する、請求項１のシステム。
4. 前記取得部は、前記画像特定情報として、前記メモリに記憶した前記撮影画像内の前記欠陥画像が占める領域を特定する領域特定情報を前記判別部から受信すると、当該撮影画像内の当該領域特定情報により特定される領域を当該欠陥画像として切り出す、請求項３のシステム。
5. 前記取得部は、前記メモリに記憶した前記撮影画像が前記欠陥画像を含まない旨の情報を前記判別部から受信すると、当該撮影画像を当該メモリから削除する、請求項１のシステム。
6. 前記撮影画像は、複数の画像断片を含み、
   前記取得部は、前記メモリに記憶した前記撮影画像に含まれる複数の画像断片のうちの前記欠陥画像を含む画像断片を前記保存部に送信する、請求項１のシステム。
7. 前記取得部は、前記画像特定情報として、前記メモリに記憶した前記撮影画像に含まれる複数の画像断片のうちの前記欠陥画像を含む画像断片を特定する断片特定情報を前記判別部から受信すると、当該複数の画像断片のうちの当該断片特定情報により特定される画像断片を前記保存部に送信する、請求項６のシステム。
8. 前記撮影画像は、複数の画像断片を含み、
   前記取得部は、前記メモリに記憶した前記撮影画像に含まれる複数の画像断片のうちの特定の画像断片が前記欠陥画像を含まない旨の情報を前記判別部から受信すると、当該特定の画像断片を当該メモリから削除する、請求項１のシステム。
9. 前記判別部は、判別した前記欠陥画像を前記取得部に送信することなく削除する、請求項１のシステム。
10. 検査対象物の欠陥の発見を支援する方法であって、
    取得部が、撮像部が前記検査対象物を撮像することによって得た撮影画像を当該撮像部から取得するステップと、
    前記取得部が、前記撮影画像を判別部に第１の通信回線を介して送信するステップと、
    前記取得部が、前記撮影画像を自身のメモリに記憶するステップと、
    前記判別部が、前記取得部から前記第１の通信回線を介して受信した前記撮影画像のうち、前記検査対象物の欠陥部分を含む領域の画像である欠陥画像を判別するステップと、
    前記判別部が、前記欠陥画像を特定する画像特定情報を前記取得部に前記第１の通信回線を介して送信するステップと、
    前記取得部が、前記メモリに記憶した前記撮影画像のうちの前記画像特定情報により特定される前記欠陥画像を保存部に前記第１の通信回線よりもバンド幅が広い第２の通信回線を介して送信するステップと
    を含む、方法。
11. 検査対象物の欠陥の発見を支援する方法であって、
    取得部が、撮像部が前記検査対象物を撮像することによって得た撮影画像の複数の画像断片を当該撮像部から取得するステップと、
    前記取得部が、前記複数の画像断片を判別部に第１の通信回線を介して送信するステップと、
    前記取得部が、前記複数の画像断片を自身のメモリに記憶するステップと、
    前記判別部が、前記取得部から前記第１の通信回線を介して受信した前記複数の画像断片のうち、前記検査対象物の欠陥部分を含む領域の画像である欠陥画像を判別するステップと、
    前記判別部が、前記メモリに記憶した前記複数の画像断片のうちの前記欠陥画像を含む画像断片を特定する断片特定情報と、当該画像断片内の前記欠陥画像が占める領域を特定する領域特定情報とを、前記取得部に前記第１の通信回線を介して送信するステップと、
    前記取得部が、前記メモリに記憶した前記複数の画像断片のうちの前記断片特定情報により特定される画像断片内の前記領域特定情報により特定される領域を前記欠陥画像として切り出すステップと、
    前記取得部が、切り出した前記欠陥画像を保存部に前記第１の通信回線よりもバンド幅が広い第２の通信回線を介して送信するステップと
    を含む、方法。

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