JP5010207B2 - パターン検査装置及び半導体検査システム - Google Patents
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Description
輪郭抽出手段103は、回路パターンを撮影した画像108から、回路パターンの輪郭データ109を抽出する。具体的には、図4に示すような画像401に対し、微分フィルタや2次微分フィルタ等の画像フィルタを掛け、回路パターンを強調した画像を生成し、二値化処理や細線化処理等を行って、回路パターンの輪郭データ402を抽出する。
101 画像データ保存手段
102 設計データ保存手段
103 輪郭抽出手段
104 非直線部位抽出手段
105 角部位抽出手段
106 欠陥検出手段
107 データ記憶手段
108 画像
109、402 輪郭データ
110 非直線部位の情報
111、405、801 設計データ
112 角部位の情報
113 欠陥データ
200 電子計算機
201 SEM
202 データ表示手段
203 データ演算手段
204 データ入力手段
206 ネットワーク
210 半導体検査システム
301 位置決め手段
302 照合位置
401 回路パターンの撮影画像
403 非直線部位
404 非直線部位の方向情報
406 角部位
407 角部位の方向情報
408 欠陥情報
Claims (15)
- 半導体デバイスの撮影画像と当該半導体デバイスの設計データとの比較に基づいて、撮影画像に含まれたパターンの欠陥部位を検出するパターン検査装置において、
半導体デバイスの撮影画像からパターンの輪郭データを抽出する輪郭抽出手段と、
輪郭データからパターンの非直線部位を抽出する非直線部位抽出手段と、
当該半導体デバイスの設計データからパターンの角部位を抽出する角部位抽出手段と、
前記非直線部位抽出手段によって撮影画像から抽出したパターンの非直線部位と、前記角部位抽出手段によって設計データから抽出したパターンの角部位とを対応させ、パターンの角部位との対応がとれなかった非直線部位を、パターンの欠陥部位として検出する欠陥検出手段と
を備えることを特徴とするパターン検査装置。 - 前記欠陥検出手段は、位置的に対応する角部位がない非直線部位、並びに位置的に対応する非直線部位がない角部位を欠陥部位として判断する
ことを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。 - 前記欠陥検出手段は、パターンの非直線部位の方向からパターンの凸部の方向を検出し、パターンの角部位の方向からパターンの角部の方向を検出し、非直線部位の位置と角部位の位置とを比較し、非直線部位から検出したパターンの凸部の方向と角部位から検出したパターンの角部の方向とを比較してパターンの欠陥部位を検出する
ことを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。 - 前記欠陥検出手段は、位置的に対応する角部位がない非直線部位、並びに位置的に対応する非直線部位がない角部位を欠陥部位として判断し、
さらに、位置的に対応しても凸部の方向と角部の方向とが対応しないパターンの非直線部位及び角部位も欠陥部位として判断する
ことを特徴とする請求項3記載のパターン検査装置。 - 前記非直線部位抽出手段がパターンの輪郭データから抽出した非直線部位のデータと、当該輪郭データから当該抽出した非直線部位を除いた直線部位のデータとを、互いに判別可能な形式で保存するデータ保存手段をさらに備え、
前記欠陥検出手段は、前記データ保存手段に保存された非直線部位のデータを用いてパターンの欠陥部位を検出する
ことを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。 - 前記データ保存手段に保存された直線部位のデータを用いて、直線パターンのパターン幅やパターン長等を検査する検査手段をさらに備える
ことを特徴とする請求項5記載のパターン検査装置。 - 検査対象となる半導体デバイスの撮影画像と、設計データと、欠陥部位の位置情報とを表示する表示手段をさらに備える
ことを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。 - 走査型電子顕微鏡と、
該走査型電子顕微鏡が撮影した半導体デバイスの撮影画像と半導体デバイスの設計データとの比較に基づいて半導体デバイスを検査する電子計算機と
を備え、
前記電子計算機は、
半導体デバイスの撮影画像からパターンの輪郭データを抽出する輪郭抽出工程と、
輪郭データからパターンの非直線部位を抽出する非直線部位抽出工程と、
当該半導体デバイスの設計データからパターンの角部位を抽出する角部位抽出工程と、
前記非直線部位抽出手段によって撮影画像から抽出したパターンの非直線部位と、前記角部位抽出手段によって設計データから抽出したパターンの角部位とを対応させ、パターンの角部位との対応がとれなかった非直線部位を、パターンの欠陥部位として検出する欠陥検出工程とを行うソフトウェアプログラムと、
前記走査型電子顕微鏡を制御するソフトウェアプログラムと
を実行することを特徴とする半導体検査システム。 - 前記電子計算機は、
ネットワーク経由又は外部接続型のメモリ経由で前記走査型電子顕微鏡が撮影した半導体デバイスの画像と、当該半導体デバイスの設計データとを受信する手段を備える
ことを特徴とする請求項8記載の半導体検査システム。 - 前記欠陥検出工程では、位置的に対応する角部位がない非直線部位、並びに位置的に対応する非直線部位がない角部位を欠陥部位として判断する
ことを特徴とする請求項8記載の半導体検査システム。 - 前記欠陥検出工程では、パターンの非直線部位の方向からパターンの凸部の方向を検出し、パターンの角部位の方向からパターンの角部の方向を検出し、非直線部位の位置と角部位の位置とを比較し、非直線部位から検出したパターンの凸部の方向と角部位から検出したパターンの角部の方向とを比較してパターンの欠陥部位を検出する
ことを特徴とする請求項8記載の半導体検査システム。 - 前記欠陥検出工程では、位置的に対応する角部位がない非直線部位、並びに位置的に対応する非直線部位がない角部位を欠陥部位として判断し、
さらに、位置的に対応しても凸部の方向と角部の方向とが対応しないパターンの非直線部位及び角部位も欠陥部位として判断する
ことを特徴とする請求項11記載の半導体検査システム。 - 前記電子計算機は、データ保存手段を備え、
前記非直線部位抽出工程でパターンの輪郭データから抽出した非直線部位のデータと、当該輪郭データから当該抽出した非直線部位を除いた直線部位のデータとを、互いに判別可能な形式で前記データ保存手段に保存するデータ保存工程をさらに実行し、
前記欠陥検出工程では、前記データ保存手段に保存された非直線部位のデータを用いてパターンの欠陥部位を検出する
ことを特徴とする請求項8記載の半導体検査システム。 - 前記電子計算機は、前記データ保存手段に保存された直線部位のデータを用いて、直線パターンのパターン幅やパターン長等を検査する検査工程をさらに実行する
ことを特徴とする請求項13記載の半導体検査システム。 - 前記電子計算機は、表示手段を備え、
検査対象となる半導体デバイスの撮影画像と、設計データと、欠陥部位の位置情報とを前記表示手段に表示する表示工程をさらに実行する
ことを特徴とする請求項8記載の半導体検査システム。
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