JP6731370B2 - 画像処理システム及び画像処理を行うためのコンピュータープログラム - Google Patents
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Description
2 識別失敗画像データ
3 識別成功画像データ
4 学習用画像データ
5 設計データ
6 設計データ
7 識別結果画像データ
8 失敗領域画像指示部
9 識別部
10 識別用画像データ
11 類似画像検索部
12 外乱特定部
13 外乱画像生成部
121 コントラスト差分検出部
122 輝度差分検出部
123 ノイズ差分検出部
124 コントラスト差分判定部
125 輝度差分判定部
126 ノイズ差分判定部
127 輝度反転検出部
128 輝度反転判定部
131 コントラスト差分加算部
132 輝度差分加算部
133 ノイズ差分加算部
134 輝度反転部
121a 識別失敗画像の最大値
121b 識別失敗画像の最小値
121c 識別成功画像の最大値
121d 識別成功画像の最小値
123a 識別失敗画像のノイズ
123b 識別成功画像のノイズ
Claims (12)
- 照合画像を用いて画像を探索する演算処理装置を備えた画像処理システムにおいて、
前記画像を表示する表示装置と、
前記画像の一部を選択する入力装置と、
前記探索の対象となる画像を記憶するメモリと、
前記演算処理装置の画像識別に要する画像データを機械学習する機械学習エンジンを備え、
前記演算処理装置は、前記機械学習エンジンによる識別に失敗した画像に対応する情報を用いて、前記メモリに記憶された前記機械学習エンジンによる識別に成功した画像の探索を行い、
当該探索によって得られた識別に成功した画像に、前記入力装置によって選択された前記識別に失敗した画像の部分画像に基づいて得られる情報を付加して前記機械学習エンジンの機械学習用画像データを生成することを特徴とする画像処理システム。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、前記入力装置によって選択された部分画像と、前記識別に成功した画像の当該部分画像に対応する対応画像との差分を示す差分情報を求め、前記機械学習エンジンは、当該差分情報を用いて、前記機械学習用画像データを生成することを特徴とする画像処理システム。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、前記識別に失敗した画像に対応する設計データを用いて、前記識別に成功した画像の探索を実行することを特徴とする画像処理システム。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、前記識別に失敗した画像の部分画像と前記識別に成功した画像のコントラスト、輝度値、及びノイズの差分演算を行い、当該差分演算の結果に基づいて、前記機械学習用画像データを生成する付加情報とすることを特徴とする画像処理システム。 - 請求項1において、
前記表示装置は、前記機械学習エンジンによる識別結果と、前記画像を併せて表示するように構成されている画像処理システム。 - 請求項1において、
前記入力装置は、前記識別に失敗した画像から画素単位で複数個所の前記部分画像を指定することを特徴とする画像処理システム。 - 請求項1において、
前記演算処理装置による識別に成功した画像の探索の結果、複数の識別に成功した画像が得られた場合、前記機械学習エンジンは、前記入力装置の入力によって選択された識別に成功した画像を用いて、前記機械学習用画像データを生成することを特徴とする画像処理システム。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、前記識別に成功した画像の探索の結果、画像が見つからない場合、その旨を前記表示装置に表示することを特徴とする画像処理システム。 - 請求項1において、
前記機械学習エンジンは、前記探索の結果、画像が見つからない場合、前記識別に失敗した画像を表示すると共に、前記入力装置でユーザーによる輪郭線の真値付け作業を可能とすることを特徴とする画像処理システム。 - 請求項1において、
前記入力装置は、前記識別に失敗した画像の部分画像に対し、真値を付与するように構成されている画像処理システム。 - プロセッサによって実行されるコンピューター命令を記憶したコンピューター読み取り可能な記憶媒体であって、前記コンピューター命令は、画像から線情報を識別する識別器の学習データを生成するために、識別に失敗した画像データと類似の識別に成功した画像データの探索を行い、当該探索によって得られた識別に成功した画像データに、前記識別に失敗した画像の部分的な選択に基づいて得られる情報を付加して、補正画像データを生成するものであることを特徴とするプロセッサによって実行されるコンピューター命令を記憶したコンピューター読み取り可能な記憶媒体。
- 請求項11において、
前記コンピューター命令は、前記識別に失敗した画像の中から選択された部分画像と、前記識別に成功した画像の当該部分画像に対応する対応画像との差分を示す差分情報を求め、当該差分情報を用いて、前記補正画像データを生成させることを特徴とするプロセッサによって実行されるコンピューター命令を記憶したコンピューター読み取り可能な記憶媒体。
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JP2021117548A (ja) * | 2020-01-22 | 2021-08-10 | 富士通株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法及び画像処理プログラム |
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Family Cites Families (24)
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JP3434976B2 (ja) * | 1996-06-28 | 2003-08-11 | 三菱電機株式会社 | 画像処理装置 |
JP3449392B2 (ja) | 1996-08-27 | 2003-09-22 | 日本電信電話株式会社 | 識別関数学習方法 |
JP2001148012A (ja) * | 1999-11-19 | 2001-05-29 | Minolta Co Ltd | 対応点探索方法および装置 |
JP2005149455A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-06-09 | Sharp Corp | 画像照合装置、画像照合方法、画像照合プログラムおよび画像照合プログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体 |
JP2007052575A (ja) * | 2005-08-17 | 2007-03-01 | Konica Minolta Holdings Inc | メタデータ付与装置およびメタデータ付与方法 |
JP5010207B2 (ja) * | 2006-08-14 | 2012-08-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン検査装置及び半導体検査システム |
US20110106734A1 (en) | 2009-04-24 | 2011-05-05 | Terrance Boult | System and appartus for failure prediction and fusion in classification and recognition |
KR101034117B1 (ko) * | 2009-11-13 | 2011-05-13 | 성균관대학교산학협력단 | 영상에서 관심 영역 지정 및 윤곽선 영상을 이용한 객체 인식 방법 및 장치 |
JP5546317B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2014-07-09 | 株式会社デンソーアイティーラボラトリ | 外観検査装置、外観検査用識別器の生成装置及び外観検査用識別器生成方法ならびに外観検査用識別器生成用コンピュータプログラム |
WO2012121167A1 (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-13 | 日本電気株式会社 | 個体識別システム、個体識別方法及びそれらに用いられる装置、プログラム |
JP2013084074A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Sony Corp | 情報処理装置、情報処理サーバ、情報処理方法、情報抽出方法及びプログラム |
WO2013099367A1 (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-04 | Necソフト株式会社 | 画像認識装置、画像認識方法、補正器、プログラムおよび記録媒体 |
US9053595B2 (en) * | 2012-02-02 | 2015-06-09 | Jared Grove | Coin identification system and method using image processing |
JP5808371B2 (ja) * | 2013-08-28 | 2015-11-10 | ヤフー株式会社 | 画像認識装置、画像認識方法及び画像認識プログラム |
JP2015176272A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | オムロン株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法、および画像処理プログラム |
US9518934B2 (en) | 2014-11-04 | 2016-12-13 | Kla-Tencor Corp. | Wafer defect discovery |
JP2016099668A (ja) | 2014-11-18 | 2016-05-30 | キヤノン株式会社 | 学習方法、学習装置、画像認識方法、画像認識装置及びプログラム |
CN105844202A (zh) * | 2015-01-12 | 2016-08-10 | 芋头科技(杭州)有限公司 | 一种影像识别系统及方法 |
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