TW201024715A - System and method for supporting discovery of defect included in inspection subject - Google Patents

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201024715 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種用於支援發現在一檢驗對象中包括之 一缺陷之系統及方法。特定言之，本發明係關於一種用於 藉由處理一檢驗對象之一影像支援發現在該檢驗對象中包 括之一缺陷之系統及方法。 【先前技術】 近年來，已藉由使用高解析度相機對液晶顯示器 (LCD)、晶圓或類似者之表面照相且接著分析獲得之影像 資料在用於製造半導體晶圓或類似者的工廠之生產線中自 動地發現在製造之LCD、晶圓或類似者中包括之缺陷。 作為用於發現在當製造LCD時使用的光罩或類似者之微 小圖案中包括之缺陷之技術，已提議用於輸出藉由比較光 罩之光學影像與自在CAD(電腦輔助設計）資料檔案中包括 之圖形資料產生之參考影像獲得的結果之技術（例如，見 專利文獻1)。在專利文獻1中，光學影像獲取單元獲取藉 由繪製由在CAD資料檔案中包括的圖形資料表示之圖形而 形成且充當一樣本的光罩之光學影像。隨後，一比較電路 使用預定演算法比較光學影像與藉由將在CAD資料檔案中 包括的圖形資料轉換為影像資料且接著使該影像資料經受 預定篩選（filter)程序而產生之參考影像。若比較電路判定 光學影像具有缺陷，則其將光學影像輸出至覆查裝置。 [專利文獻1]日本未審查專利中請公開案第2007.95號 【發明内容】 142745.doc 201024715 待由本發明解決之問題 如上所述’已存在用於藉由處理LCD或類似者之影像發 現在LCD或類似者中包括之缺陷之技術。 附帶言之，隨著LCD或類似者之檢驗區域之近來相當大 的規模擴大以及用於顯示大量資料之目的之LCD或類似者 之解析度之近來增加，已需要關於用於比較光學影像與參 考影像之影像處理的較高效能。因此，考慮使用與用於獲 取光學影像之光學影像單元裝置不同的高功能專用單元作 為在專利文獻1中描述的用於比較光學影像與參考影像之 比較電路。 然而’即使藉由使用此高功能專用單元滿足了關於影像 處理之效能要求’但仍存在以下問題··當將已判定為具有 缺陷之影像輸出至覆查裝置時，當在系統中傳達資料時使 用之頻寬歸因於資料傳輸之量的相當大之增加而被耗盡。 此處之頻寬指傳輸線之容量且由可傳輸資料之位元率表 示。 即使採用允許確保最大頻寬之系統組態以便解決上文提 及之問題，但與周邊單元通信的比較電路之能力可能跟不 上資料傳輸之量的增加’因為比較電路必須專心於處理影 像。 又，考慮壓縮被判定為具有缺陷之影像以便減少資料傳 輸之量。然而’出現此程序降低原始影像處理效能之另一 問題。 因此，本發明之一目標在於避免連接至用於執行影像處 142745.doc 201024715 理之-*單开3, 〜的一通信線之頻寬之耗盡，其中判定一檢驗對 象之 一 K -g/ /Α β ·'、、 彩像疋否包括該檢驗對象之一有缺陷部分之一 影像。換, ^ 本發明之目標在於避免一耦接一影像處理 _與結果健存單元的通信線之頻寬之增加。 用於解決該等問題之手段 根據上文提及之目標，本發明提供一種用於支援發現在 檢驗對象中包括之-缺陷之系統。該系統包括：-獲取 單元，装 、於獲取藉由對該檢驗對象照相而獲得之一照片 I像，判定單元，其經由一第一通信線耦接至該獲取單 7L且意欲判疋由該獲取單元獲得之該照片影像是否包括— 缺像，該缺陷影像係包括該檢驗對象之一有缺陷部分 的一區域之一影像；及一儲存單元，其經由一第二通信線 耦接至該獲取單兀且意欲若該判定單元判定該照片影像包 括該缺陷影像則儲存該缺陷影像。該獲取單元經由該第一 通信線將該照片影像傳輸至該判定單元，以及將該照片影 像儲存於其—記憶趙中，且若該判定單元判定該照片影像 包括該缺陷影像，則該獲取單元經由該第一傳輸線自該判 定單兀接收用於識別該缺陷影像之影像識別資訊，且經由 該第二通信線將在儲存於該記憶體中之該照片影像中包括 且由該影像識別資訊識別之該缺陷影像傳輸至該儲存單 元。

在此情況下，該影像識別資訊可包括下列至少一者今 照片影像之一識別號碼；該等有缺陷部分之一數目；及包 括該有缺陷部分之一座標與一區域之缺陷區域資訊。L 142745.doc -6 - 201024715 又該獲取單疋可自儲存於該記憶體中之該照片影像截 取該缺陷影像且可將該截取之缺陷影像傳輸至該儲存單 凡。在此情況下’若該獲取單元接收用於識別由健存於該 • g憶體中之該照片影像中之該缺陷影像佔據的—區域之區 賴別資訊作為該影像識別資訊，則該獲取單元可自該昭 片影像截取由該區域識別資訊識別之一區域作為該缺陷^ 像。 X右該獲取早凡自該判定單元接收到指示儲存於該記 參憶、體中之該照片影像不包括該缺陷影像之資訊則該獲取 單元可自該記憶體刪除該照片影像。 又，該照片影像可包括複數個片段，且若該判定單元判 定在該照片影像中包括的該等片段中之至少一者包括該缺 陷影像，則該獲取單元可將在儲存於該記憶體中之該照片 影像中包括的該等片段中之包括該缺陷影像之該至少一個 片2傳輸至該儲存單元。在此情況下，若該獲取單元自該 馨 判疋早7L接收用於識別在儲存於該記憶體中之該照片影像 中包括的該等片段中之包括該缺陷影像之該片段之片段識 別資訊作為該影像識別資訊，則該獲取單元可將該等片段 .中之由該片段識別資訊識別之該至少一個片段傳輸至該儲 存單元。 又，該照片影像可包括複數個片段，且若該獲取單元自 該判定單元接收到指示在儲存於該記憶體中之該照片影像 中包括的該等片段中之一特定片段之資訊，則該獲取單元 可自該記憶體刪除該特定片段。 142745.doc 201024715 又，若該判定單元判定該照片影像包括該缺陷影像，則 該判定單元可在不將該缺陷影像傳輸至該獲取單元之情況 下刪除該缺陷影像。 又’該第二通信線之頻寬可大於該第一通信線之頻寬。 又，本發明提供一種用於支援發現在一檢驗對象中包括 之一缺陷之方法。該方法包括下列步驟：藉由使用一獲取 單7G ’自一照相單元獲取藉由使用該照相單元對該檢驗對 象照相而獲得之一照片影像；藉由使用該獲取單元經由一 第一通信線將該照片影像傳輸至一判定單元；藉由使用該 獲取單元將該照片影像儲存於該獲取單元之一記憶體中； 藉由使用該判疋單元判定經由該第一通信線自該獲取單元 接收之該照片影像是否包括一缺陷影像，該缺陷影像係包 括該檢驗對象之一有缺陷部分的一區域之一影像；藉由使 用該判定單元’若該判定單元判定該照片影像包括該缺陷 影像，則經由該第一通信線將用於識別該缺陷影像之影像 識別資訊傳輸至該獲取單元；及藉由使用該獲取單元經由 第二通信線將在儲存於該記憶體中之該照片影像中包括且 由該影像識別資訊識別的該缺陷影像傳輸至一儲存單元。 又’本發明提供另一種用於支援發現在一檢驗對象中包 括之一缺陷之方法。該方法包含下列步驟：藉由使用一獲 取單元，自一照相單元獲取藉由使用該照相單元對該檢驗 對象照相而獲得之一照片影像之複數個片段；藉由使用該 獲取單元經由一第一通信線將該等片段傳輪至一判定單 元；藉由使用該獲取單元將該等片段儲存於該獲取單元之 142745.doc -8 · 201024715 一記憶體中；#由使用該判定單元，判定經由該第一通信 線自該獲取單元接收的該等片段中之至少一者是否包括一 缺陷影像，該缺陷影像係包括該檢驗對象之一有缺陷部分 的一區域之一影像；藉由使用該判定單元，若該判定單元 判定該等片段中之至少一者包括該缺陷影像則經由該第 一通信線將用於識別儲存於該記憶體中之該等片段中的包 括該缺陷影像之該至少-個片段之片㈣別資訊及用於識 別由該片段中之該至少一缺陷影像佔據之一區域的區域識 別資訊傳輸至該獲取單元；藉由使用該獲取單元，截取在 儲存於該記憶體中之該等片段中的由該片段識別資訊識別 之該至少一個片段中包括且由該區域識別資訊識別之一區 域作為該缺陷影像；及藉由使用該獲取單元將該截取之缺 陷影像傳輸至一儲存單元。 優勢 藉由採用本發明，避免了連接至用於執行影像處理之一 單元的一通信線之頻寬之耗盡，其中判定一檢驗對象之一 照片影像是否包括該檢驗對象之一有缺陷部分之一影像。 【實施方式】 用於進行本發明之最佳模式 將詳細參看隨附圖式描述用於進行本發明之最佳模式 (下文被稱作「實施例」）。 首先’將使用LCD作為檢驗對象之一實例來描述根據此 實施例之缺陷發現支援系統。 圖1為一缺陷發現支援系統100之一總體組態實例。 142745.doc -9- 201024715 如圖1中所示，該缺陷發現支援系統10〇包括一相機1〇、 一捕獲單元20、一影像處理單元30及一結果儲存單元4〇。 該相機10較佳地為高效能區域掃描相機或線掃描相機。 舉例而言’該捕獲單元20及該結果儲存單元4〇可各自由伺 服器實現。該影像處理單元30可由一包括多核CPU之刀鋒 伺服器（blade server)實現。在圖1中，該相機1〇由一框表 示；然而，若LCD或類似者之檢驗區域大，則多個相機1〇 較佳地經提供以使得LCD或類似者之表面之小區域由相機 照相。在此情況下，較佳地提供對應於該多個相機丨〇之多 個捕獲單元20。 該捕獲單元20與該影像處理單元3〇經由一通信線52麵 接。邊捕獲單元20與該結果儲存單元4〇經由一通信線54麵 接。舉例而言’藉由使用Ethernet(註冊商標）交換器之 Ethernet(註冊商標）、使用IB交換器之InfiniBand或使用 PCIe橋接器之PCIe ’實現經由通信線52或通信線54之耦 接。該通信線52為一第一通信線之一實例，且該通信線54 為一第二通信線之一實例。對該第二通信線設定一大於該 第一通信線之頻寬的頻寬。 下文，將描述在該缺陷發現支援系統1〇〇中包括的單元 之功能。 該相機10對一LCD之照明顯示螢幕照相。具體言之，當 製造生產線產生一 LCD(其為檢驗對象）沿時，該相機1〇對 該LCD上之預定螢幕區域照相。在此情況下，該照明顯示 螢幕可包括用於發現缺陷之各種測試圖案。隨後，相繼將 142745.doc •10· 201024715 自該照相獲得之影像資料傳輸至該捕獲單元2〇。 該捕獲單元20為用於獲取影像的一獲取單元之一實例， 且包括一接收單元21、一傳輸仔列22、一傳輸/接收單元 23、一影像擷取單元25及一傳輸單元26。 該接收單元21相繼接收藉由由該相機10執行之照相而獲 得之影像資料。 該傳輸佇列22儲存由該接收單元21接收之影像資料（下 文被稱作「捕獲影像」），直至該捕獲影像被傳輸至該影 ❿ 像處理單元30為止。該捕獲影像此處為藉由對一檢驗對象 照相而獲得的一照片影像之一實例。 該傳輸/接收單元23將儲存於該傳輸佇列22中之捕獲影 像傳輸至該影像處理單元30,或自該影像處理單元3〇接收 扣示已在哪一捕獲影像中發現缺陷及指示已在該捕獲影像 中發現缺陷之位置的資訊或指示缺陷之大小的資訊（此等 類型之資訊將被稱作「缺陷資訊」）。 • 緩衝器24留存給定量之捕獲影像，即使在將該等捕獲影 像傳輸至該影像處理單元3〇後亦為如此。 該影像擷取單元25基於由該傳輸/接收單元23接收之缺 陷^訊自該緩衝器24中所留存之捕獲影像擷取指示包括有 缺fe。卩刀（下文被稱作「缺陷影像」）之區域的影像資料。 傳輸單元26將由該影像摘取單元25擷取之缺陷影像傳 輸至該結果儲存單元4〇。 該影像處理單元30為用於判定一捕獲影像是否包括缺陷 影像的—判定單元之—實例，且包括-傳輸/接收單元 142745.doc 201024715 31、一緩衝器32、一影像分析單元33及—缺陷資訊產生單 元34。 該傳輸/接收單元31自該捕獲單元2〇接收一捕獲影像。 若未在該捕獲影像中發現缺陷，則該傳輸/接收單元“將 帶有此意思之通知提供至該捕獲單元2〇。若發現了缺陷， 則該傳輸/接收單元31將缺陷資訊提供至該捕獲單元2〇。 該緩衝器32儲存由該傳輸/接收單元31自該捕獲單元2〇 接收之捕獲影像。在完成包括該影像之分析及缺陷資訊之 產生的影像處理後’刪除此捕獲影像。 該影像分析單元33分析儲存於該緩衝器32中之捕獲影像 以判定該捕獲影像是否具有缺陷。若存在缺陷，則該影像 分析單元33分析且判定該缺陷之位置及大小（形狀、面積 等）。 若該影像分析單元33判定該捕獲影像具有缺陷，則該缺 陷資訊產生單元34產生缺陷資訊。應注意，缺陷資訊並非 指不有缺陷部分之影像資料，而為用於識別該有缺陷部分 之資訊。在該缺陷資訊中包括的資料之量小於影像資料之 量。稍後將詳細描述此要點。 該結果儲存單元40為用於接收傳輸之缺陷影像的一儲存 單元之一實例，且儲存一自該捕獲單元2〇接收之缺陷影 像。舉例而言，該結果儲存單元4〇為一包括硬碟機出〇1：)) 之檔案伺服器’其用於儲存缺陷影像。 接著’將示意性地描述根據此實施例的缺陷發現支援系 統100之操作。 142745.doc -12- 201024715 圖2至圖5為按時間序列展示操作之圖式。應注意，在圖 1中展示之捕獲單元20及影像處理單元30之元件中，僅在 此等圈式中展示對於描述而言必需的元件。 圖2為示意性地展示當該捕獲單元2〇在傳輸佇列22中儲 存籍由由該相機1 〇執行之照相而獲得的影像資料時執行之 操作之圖式。 首先’該相機10對一LCD(其為檢驗對象）照相且相繼地 將自該照相獲得之影像資料傳輸至該捕獲單元2〇(1)。 接著，該捕獲單元20將自該相機1〇接收之捕獲影像儲存 於該傳輸佇列22中（2)。對該捕獲影像指派用於唯一地識別 該捕獲影像的一「捕獲影像ID」。下文，一具有捕獲影像 ID「N」之捕獲影像將由「捕獲影像#N」表示。在圖2 中，首先儲存捕獲影像#1至#3,且接著自該相機10傳輸捕 獲影像#4至#5。一捕獲影像中之影線表示有缺陷部分。此 部分在稍後影像分析中將被視為缺陷。 圖3為示意性地展示當該捕獲單元2〇將捕獲影像傳輸至 該影像處理單元30時執行的操作之圖式。 首先，該捕獲單元20將儲存於該傳輸佇列22中之捕獲影 像傳輸至該影像處理單元30(3)。在圖3中，展示在圖2中儲 存於該傳輸佇列22中的捕獲影像#1至#3正傳輸至該影像處 理單元30的狀態。隨後，新捕獲影像#4至#8自該相機1〇傳 輸’且在此等新捕獲影像#4至#8中，該等捕獲影像#4至#6 儲存於該傳輸仔列22中。 隨後’該捕獲單元20將已傳輸至該影像處理單元3〇的捕 142745.doc 13 201024715 獲影像移動至該緩衝器24(4)。具體言之，已傳輸至該影像 處理單元30的捕獲影像#1至#3移動至該缓衝器24。 此意謂該捕獲單元20及該影像處理單元30臨時具有同樣 的捕獲影像。 圖4為示意性地展示當該影像處理，單元3〇在執行影像處 理後判定不存在缺陷時執行之操作之圖式。 首先’該影像處理單元30處理在圖3中傳輸的捕獲影像 中之捕獲影像#1，且接著判定不存在缺陷（5)。 隨後’該影像處理單元3 0捨棄經處理之捕獲影像 #1(6)。 隨後’該影像處理單元30通知該捕獲單元2〇該捕獲影像 #1不具有缺陷（7)。 最後’該捕獲單元20捨棄留存於該緩衝器24中之捕獲影 像#1(8)。 圖5為示意性地展示當該影像處理單元3〇在執行影像處 理後判定存在缺陷時執行之操作之圖式。 首先，該影像處理單元30處理在圖3中傳輸的捕獲影像 中之捕獲影像#3，且接著發現存在缺陷（9)。 隨後，該影像處理單元30捨棄經處理之捕獲影像 #3(10)。亦即，即使存在缺陷，如在不存在缺陷之情況下 一樣’捨棄該捕獲影像。 隨後，該影像處理單元30將缺陷資訊傳輸至該捕獲單元 2〇(11)。該缺陷資訊此處不為缺陷影像自身，而為包括用 於識別在該捕獲影像中包括的缺陷影像之位置及大小之資 142745.doc -14 - 201024715 訊之資料。因λ，在缺陷資訊中包括的資料之量小於在缺 陷影像中包括的資料之量。 ' 隨後’該捕獲單元2G自儲存於該緩衝器24中之捕獲影像 #3揭取該缺陷影像’且將該缺陷影像傳輸至該結果儲存單 元40(12)。 該結果儲存單元40儲存該缺陷影像（13)。 最後，該捕獲單元20捨棄經處理之捕獲影像#3，亦即，

該捕獲單X 20捨棄已被擷取該缺陷影像的捕獲影像 #3(14)。 下文，將描述在圖5中自該影像處理單元3〇傳輸至該捕 獲單元20之缺陷資訊。 圖6為展示缺陷資訊之一具體實例之圖式。 如上所述，缺陷資訊並非影像資料自身，而為包括如下 所述之資訊且具有小於影像資料之資料大小的資料大小之 資料。在此實施例中，將缺陷資訊用作用於識別缺陷影像 的影像識別資訊之一實例。 如圖6中所示，該缺陷資訊包括一捕獲影像出、缺陷區 域之數目及缺陷區域資訊。 如上所述’捕獲影像ID為用於唯一地識別一捕獲影像之 識別資訊。將一捕獲影像ID指派給藉由對諸區域照相而獲 得的捕獲影像中之每一者，該等區域係藉由劃分一 lcd之 螢幕而獲得。舉例而言’若藉由將一 LCD之螢幕劃分為四 個部分而獲得四個捕獲影像，則對該四個捕獲影像指派捕 獲影像ID，諸如’ #5、#6、#7及#8。圖6展示捕獲影像#5 142745.d〇c -15· 201024715 之情況。在此實施例中，將捕獲影像ID用作用於識別一影 像之片段的片段識別資訊之一實例。 缺陷區域之數目指在一捕獲影像中發現的缺陷區域之數 目。可在一捕獲影像中包括多個缺陷。在此情況下，將各 自包括一缺陷之矩形區域定義為缺陷區域。在圖6中，展 示已在捕獲影像#5中發現三個缺陷區域之情況。 缺陷區域資訊指用於識別對應於缺陷區域之數目的區域 中之每一者之資訊且包括下列資訊項。該等項中之一者為 「左上部」。此指示在將捕獲影像之左上角點用作原點之 情況下的缺陷區域之左上角之座標。另一項為「寬度」， 其指缺陷區域之寬度。又一項為「高度」，其指缺陷區域 之高度。因為缺陷區域之數目為「3」，所以該缺陷資訊包 括三條缺陷區域資訊。在此實施例中，將缺陷區域資訊提 供為用於識別由缺陷影像佔據的區域之區域識別資訊之一 實例。雖然在此實施例中將座標、寬度及高度用作區域識 別資訊，但可使用任何資訊，只要該資訊允許區域之識 別。舉例而言，可使用左上角點之座標及右下點之座標或 類似者。 又，此缺陷資訊可包括指示藉由分析有缺陷部分之影像 之密度而獲得的有缺陷部分之嚴重性之資訊或指示有缺陷 部分之大小（面積）之資訊。 其後，將詳細描述根據此實施例的缺陷發現支援系統 100之操作。亦見圖1。 圖7為展示自來自該相機10之捕獲影像之接收至該捕獲 142745.doc -16- 201024715 影像至該影像處理置+油士、 理單το 3 0之傳輸的捕獲單元2〇之實例操作 之流程圖。 在該捕獲單疋20中’首先’該接收單元21自該相機1〇接 捕獲I像（步爾S2()1)。接著’該接收單元^將該接收 之捕獲影像料㈣㈣㈣m巾（步驟202)。

隨後’該接收單元21通知該傳輸/接收單元23已將該捕 獲元像儲存於該傳輸彳宁列22中。該傳輸/接收單S23自該 傳輸仵列22讀取影像且㈣捕獲料傳輸至該影像處理單 疋3〇(步驟2G3)。又，該傳輸/接收單元23將已傳輸之捕獲 影像儲存於該緩衝器24中（步驟204)。 在此等實例操作中，—旦自該相機1〇傳輸之捕獲影像已 儲存於該傳輸仵列22中，則該傳輸/接收單元糊取該捕 獲影像且將該捕獲影像傳輸至該影像處理單元3〇。然而， 在未與該傳輸仔列22中的自該相機1〇傳輸之捕獲影像之儲 存同步的情況下’該傳輸/接收單元23可讀出該捕獲影像 且將該捕獲影像傳輸至該影像處理單元3〇。舉例而言該 傳輸/接收單元23可按給定時間間隔檢查是否將—捕獲影 像儲存於該傳輸佇列22中’且若儲存卜捕獲影像，則該 傳輸/接收單it 23可讀出該捕獲影像且將其傳輸至該影像 處理單元3 0。 圖8為展示由已接收一捕獲影像之影像處理單元μ執行 的操作之一實例之流程圖。 在該影像處理單元30中，首先，該傳輪,接收單元”接 收—捕獲影像且將該接收之捕獲影像儲存於該緩衝器”中 142745.doc -17- 201024715 (步驟301)。 隨後’該影像分析單元33分析儲存於該緩衝器32中之捕 獲影像（步驟302)。具體言之，該影像分析單元33比較該捕 獲影像與一指示一對應於該捕獲影像之lCD區域之正確圖 案的參考影像。舉例而言，若一預定LCD區域由該相機1〇 照相，則該相機10之識別資訊與藉由該照相獲得之影像資 料一起傳輸至該捕獲單元20。隨後，可基於該相機10之識 別資訊識別對應於該捕獲影像之Lcd區域，且可自一參考 影像儲存單元（未圖示）讀出指示此區域之正確圖案的參考 影像°隨後，該影像分析單元33獲得為在該捕獲影像中包 括之小區域且在圖案上與該參考影像中之對應的區域不同 之區域之數目’以及獲得此等區域之位置及大小。 隨後’該影像分析單元33判定缺陷區域之數目是否為 「〇」（步驟303)。亦即，該影像分析單元33判定該捕獲影 像是否不具有缺陷。 若該影像分析單元33判定缺陷區域之數目為「〇」，則其 將帶有此意思之通知提供至該傳輸/接收單元31。該傳輸/ 接收單元3 1將一對應於該捕獲影像之捕獲影像ID及指示不 存在缺陷之資訊傳輸至該捕獲單元2〇(步驟3〇4p隨後，該 傳輸/接收單元31自該緩衝器32刪除對應於該捕獲影像id 之捕獲影像（步驟310)。 相比而言’若該影像分析單元33判定缺陷區域之數目不 為「〇」’則其通知該缺陷資訊產生單元34對應於該捕獲影 像之捕獲影像ID、缺陷區域之數目及缺陷區域之位置及大 142745.doc -18 · 201024715 小。該缺陷資訊產生單元34產生缺陷資訊。具體言之，該 缺陷資訊產生單元34將該捕獲影像ID設定為缺陷資訊（步 驟305)。隨後，該缺陷資訊產生單元34將缺陷區域之數目 設定為缺陷資訊（步驟306)。隨後，該缺陷資訊產生單元34 將指示一個缺陷區域之位置及大小的缺陷區域資訊設定為 缺陷資訊（步驟307)。隨後’該缺陷資訊產生單元34判定是 否存在其他缺陷區域（步驟308)。若存在其他缺陷區域，則 重複步驟307。若不存在，則該缺陷資訊產生單元34將產 生之缺陷資訊傳遞至該傳輸/接收單元31。該傳輸/接收單 元31將該缺陷資訊傳輸至該捕獲單元20(步驟309)。隨後， 該傳輸/接收單元31自該緩衝器32刪除此捕獲影像（步驟 310) 〇 圖9為由已自該影像處理單元3〇接收資訊的捕獲單元2〇 執行之操作之一實例。 在捕獲單元20中，首先，該傳輸/接收單元23接收資訊 (步驟221)。 隨後，該傳輸/接收單元23判定該資訊是否為缺陷資訊 (步驟222)。 若該傳輸/接收單元23判定該資訊並非缺陷資訊亦 即，若該傳輸/接收單元23判定該資訊包括一捕獲影像⑴ 及該指示對應於捕獲影像ID之捕獲影像不具有缺陷之資 訊，則該傳輸/接收單元23刪除儲存於該緩衝器Μ中之對 應於該捕獲影像ID之捕獲影像（步驟229)。 相比而言，若該傳輸/接收單元23判定該資訊為缺陷資 142745.doc 201024715 訊，則該傳輸/接收單元23將該缺陷資訊傳輸至該影像擷 取單元25。該影像擷取單元25自該缺陷資訊擷取一捕獲影 像ID(步驟223)。隨後，該影像擷取單元25自該緩衝器24 讀出一對應於該捕獲影像ID之捕獲影像（步驟224)。隨 後，該影像擷取單元25自該缺陷資訊擷取一條缺陷區域資 訊（步驟225)。隨後，該影像擷取單元25自該捕獲影像截取 由該缺陷區域資訊識別之缺陷區域之影像，亦即，缺陷影 像（步驟226)。隨後，該影像擷取單元25將該截取之缺陷影 像傳遞至該傳輸單元26。該傳輸單元26將該缺陷影像傳輸 至該結果儲存單元40(步驟227)。隨後，該影像擷取單元25 判定是否存在其他缺陷區域資訊（步驟228)。若存在其他缺 陷區域資訊，則重複步驟225至227。若不存在，則該影像 擷取單元25將帶有此意思之通知提供至該傳輸/接收單元 23。隨後，該傳輸/接收單元23刪除儲存於該緩衝器24中 之對應於該捕獲影像ID之捕獲影像（步驟229)。 在此等實例操作中，每當在步驟226中自一捕獲影像截 取一缺陷影像時，便在步驟227中將該缺陷影像傳輸至該 結果儲存單元40。然而，該影像擷取單元25可留存在步驟 226中自該捕獲影像截取之缺陷影像，直至該影像擷取單 元25在步驟228中判定不存在其他缺陷區域資訊為止，且 在作出此判定後，可將該等缺陷影像共同地傳輸至該結果 儲存單元40。 雖然根據此實施例之缺陷資訊包括捕獲影像ID及缺陷區 域資訊，但缺陷資訊可僅包括此等項中之一者。 142745.doc -20- 201024715 舉例而言’考慮在缺陷資訊中僅包括缺陷區域資訊。在 此情況下’假定使用一不同於使用一捕獲影像10之方法的 方法’使一傳輪至該影像處理單元30之捕獲影像及一儲存 於該緩衝器24中之捕獲影像相關聯。具體言之，該捕獲單 το 20將一個捕獲影像傳輸至該影像處理單元3〇且亦將該捕 獲影像储存於該緩衝器24中，該影像處理單元30處理該捕 獲影像且接著將缺陷區域資訊傳輸至該捕獲單元2〇，自該 影像處理單元30及該缓衝器24兩者刪除該捕獲影像，且處 置一隨後捕獲影像。在此情況下，該捕獲單元2〇基於該缺 陷區域資訊自儲存於該緩衝器24中之該一個捕獲影像截取 一缺陷影像。 又’考慮在缺陷資訊僅包括一捕獲影像ID。具體言之， 多個捕獲影像傳輸至該影像處理單元30且接著儲存於該緩 衝器24中。在接收到一包括一缺陷影像的捕獲影像之捕獲 影像1D後，該捕獲單元20自儲存於該緩衝器24中之捕獲影 像中選擇一具有該接收之捕獲影像ID之捕獲影像，且接著 將該捕獲影像傳輸至該結果儲存單元40。在此情況下，該 捕獲單元20在不自該捕獲影像截取該缺陷影像之情況下將 包括該缺陷影像之整個選定捕獲影像傳輸至該結果儲存單 元40。在此情況下，若先前將每一捕獲影像之大小設定至 小大小，則並不顯著增加通信負載，即使傳輸了整個捕獲 影像亦為如此。 至此已詳細描述了本發明之實施例。 藉由執行在此實施例中描述之操作，如下解決先前技術 142745.doc •21 · 201024715 之問題。 一缺陷影像，所以

額外程序。因此，將不影響該影像處理單元30可原先用來 •因為該影像處理單元辦再傳輸任 該影像處理單元3G必需的傳輸頻寬可為 單7020必需的傳輸頻寬增加，但其並非 分析影像之時間。 又，獲得下列優勢。 •因為擷取一缺陷影像之程序亦自該影像處理單元30卸 載且載入至該捕獲單元2〇上，因此增加了該影像處理單元 30可原先用來分析影像之時間。 •可比該影像處理單元30之記憶體或碟片容易且低成本 地擴充該捕獲單元20之記憶體或碟片。因此，藉由在該捕 獲單元20中包括大緩衝器，增加了由整個系統執行的影像 處理之量。 雖然在此實施例中該捕獲單元20係由伺服器實現且該影 像處理單元30係由刀鋒伺服器實現，但該捕獲單元2〇可由 諸如個人電腦（PC)之通用電腦實現。又，該影像處理單元 30可由諸如包括單元加速板（CAB)之PC的通用電腦實現。 假定上文提及之程序由通用電腦執行，將描述通用電腦 之硬體組態。 圖10為展示此電腦之一實例硬體組態之圖。如圖10中所 142745.doc -22- 201024715 示，該電腦包括一中央處理單元（CPU)90a作為一計算構 件、一經由一M/B(主機板）晶片組90b耦接至該CPU 90a之 主記憶體90c及一經由該M/B晶片組90b耦接至該CPU 90a 之顯示器90d。經由一橋接電路90e耦接至該M/B晶片組90b 者為一網路介面90f、一硬碟機（HDD)90g、一語音機構 90h、一鍵盤/滑鼠90i及一軟碟機90j。 上文提及之組件經由圖10中之匯流排相互耦接。舉例而 言，該CPU 90a與該M/B晶片組90b以及該M/B晶片組90b與 # 該主記憶體90c經由CPU匯流排耦接。該M/B晶片組90b與 該顯示器90d可經由加速圖形埠（AGP)耦接。若該顯示器 90d包括一符合PCI Express之視訊卡，則該M/B晶片組90b 與此視訊卡經由PCI Express(PCIe)匯流排輕接。該網路介 面90f經由（例如）PCI Express耦接至該橋接電路90e。該硬 碟機（HDD)90g經由（例如）串列AT附屬裝置（ΑΤΑ)、並行傳 送ΑΤΑ或周邊組件互連件（PCI)耦接至該橋接電路90e。該 鍵盤/滑鼠90i及軟碟機90j經由通用串列匯流排（USB)耦接 至該橋接電路90e。 本發明可僅由硬體或軟體實現或可由硬體及軟體兩者實 現。換言之，本發明可由電腦、資料處理系統及電腦程式 中之任一者實現。可將此電腦程式儲存於電腦可讀媒體中 且接著提供。此等電腦可讀媒體有電子媒體、磁性媒體、 光學媒體、電磁媒體、紅外線或半導體系統（器件）及傳播 媒體。更具體言之，電腦可讀媒體包括半導體或固態儲存 器件、磁帶、可拆卸電腦磁片、隨機存取記憶體（RAM)、 142745.doc •23- 201024715 唯讀記憶體（ROM)、硬磁碟及光碟。當前可利用之光碟有 緊密碟片唯讀記憶體（CD-ROM)、緊密碟片讀取/寫入（CD_ R/W)及數位多功能光碟（DVD)。 雖然已使用本發明之實施例對其描述，但本發明之技術 範疇不限於此。熟習此項技術者將顯而易見，在不脫離本 發明之精神及範_之情況下，可對實施例進行各種改變或 可使用其各種替代。 【圖式簡單說明】 [圖1]圖1為展示根據本發明之一實施例的缺陷發現支援 系統之一功能組態之方塊圖； [圖2]圖2為示意性地展示當根據此實施例之捕獲單元將 捕獲影像儲存於傳輸佇列中時執行的操作之圖式； [圖3]圖3為示意性地展示當根據此實施例之捕獲單元將 捕獲影像傳輸至影像處理單元時執行的操作之圖式； [圖4]圖4為示意性地展示當根據此實施例之影像處理單 元通知捕獲單元不存在缺陷時執行的操作之圖式； [圖5 ]圖5為示意性地展示當根據此實施例之影像處理單 元將缺陷資訊傳輸至捕獲單元時執行的操作之圖式； [圖6]圖6為展示在此實施例中產生的缺陷資訊之具體實 例之圖式； [圖7]圖7為展示當根據此實施例之捕獲單元將捕獲影像 傳輸至影像處理單元時執行的操作之一實例之流程圖； [圖8]圖8為展示當影像處理單元分析影像時執行的操作 之一實例之流程圖； 142745.doc •24- 201024715 [圖9]圖9為展示由已自影像處理單元接收資訊的根據此 實施例之捕獲單元執行的操作之一實例之流程圖；及 [圖10]圖10為展示適於使用此實施例的電腦之硬體組態 之圖。 【主要元件符號說明】 10 相機 20 捕獲單元 21 接收單元

22 傳輸佇列 23 傳輸/接收單元 24 緩衝器 25 影像擷取單元 26 傳輸單元 30 影像處理單元 31 傳輸/接收單元 32 緩衝器 33 影像分析單元 34 缺陷資訊產生單元 142745.doc -25-

Claims (1)

1. 201024715 七、申請專利範圍： 1. 一種用於支援發現在一檢驗對象中包括之—缺陷之系 統，其包含： -獲取單元，用於獲取藉由對該檢驗對象照相而獲得 之一照片影像； -判定單元，其經由—第—通料_至該獲取單元 且意欲判定由該獲取單元獲得之該照片影像是否包括一 缺陷影像，該缺陷影像係包括該檢驗對象之一有缺陷部 癱 分的一區域之一影像；及 一儲存單元，其經由一第二通信線耦接至該獲取單元 且意欲若該判定單元判定該照片景H 象包括該缺陷影像則 儲存該缺陷影像，其中 該獲取單元經由該第一通信線將該照片影像傳輸至該 判定單元，以及將該照片影像儲存於其一記憶體中，且 若該獲取單元經由該第一通信線自該判定單元接收到用 於識別該缺陷影像之影像識別資訊，則該獲取單元經由 • 該第二通信線將在儲存於該記憶體中之該照片影像中包 括且由該影像識別資訊識別之該缺陷影像傳輸至該儲存 SH —» 早7G。 2. 如請求項1之系統，其中 該影像識別資訊包括下列至少一者：該照片影像之一 識別號碼；該等有缺陷部分之一數目；及包括該有缺陷 部分之一座標及一區域之缺陷區域資訊。 3. 如請求項1之系統，其中 142745.doc 201024715 Sx獲取單几自儲存於該記憶體中之該照片影像截取該 缺陷影像且將該截取之缺㈣像傳輸至該儲存單元。 4. 如請求項3之系統，其中 若該獲取單元接收用於識別由儲存於該記憶體中之該 照片影像中之該缺陷影像佔據的—區域之區域識別資訊 作為該影像識別資訊，㈣獲取單元自該照片影像截取 由該區域朗資訊_之_區域作為該缺陷影像。 5. 如睛求項1之系統，其中 若該獲取單元自該判定單元接收到指示儲存於該記憶 體中之該照片影像不包括該缺陷影像之資訊，則該獲取 單元自該記憶體刪除該照片影像。 6·如請求項i之系統，其中 該照片影像包括複數個片段，且 若該判定單元判定在該照片影像中包括的該等片段中 之至少一者包括該缺陷影像，則該獲取單元將在儲存於 該記憶體中之該照片影像中包括的該等片段中之包括該 缺陷影像之該至少一個片段傳輸至該儲存單元。 7.如請求項6之系統，其中 若該獲取單元自該判定單元接收用於識別在儲存於該 記憶體中之該照片影像中包括的該等片段中之包括該缺 陷影像之該片段之片段識別資訊作為該影像識別資訊， 則該獲取單元將該等片段中之由該片段識別資訊識別之 該至少一個片段傳輸至該儲存單元。 8_如請求項1之系統，其中 142745.doc 201024715 該照片影像包括複數個片段，且 若該獲取單元自該判定單元接收到指示在儲存於該記 憶體中之該照片影像中包括的該等片段中之一特定片段 不包括該缺陷影像之資訊，目，丨呤獾抱留_ M tL則该獲取早兀自該記憶體刪 除該特定片段。 9.如請求項1之系統，其中 若該判定單元判定該照片料包括該缺陷影像，則該 判定單元在不將該缺陷影像傳輸至該獲取單元之情況下 刪除該缺陷影像。 1 〇.如請求項1之系統，其中 該第二通信線之頻寬大於該第一通信線之頻寬。 u. 一種用於支援發現在一檢驗對象中包括之一缺陷之方 法’其包含下列步驟： 藉由使用一獲取單元，自一照相單元獲取藉由使用該 照相單元對該檢驗對象照相而獲得之一照月影像； 藉由使用該獲取單元經由一第一通信線將該照片影像 傳輸至一判定單元； 藉由使用該獲取單元將該照片影像儲存於該獲取單元 之—記憶體中； 。藉由使用該判定單元判定經由該第一通信線自該獲取 °元接收之該照片影像是否包括—缺陷影像，該缺陷影 像係包括該檢驗對象之一有缺陷部分的一區域之一影 像； 藉由使用該判定單元’若該判定單元判定該照片影像 142745.doc 201024715 包括該缺陷影像，則經由該第一通信線將用於識別該缺 陷影像之影像識別資訊傳輸至該獲取單元；及 藉由使用該獲取單元經由第二通信線將在儲存於該記 憶體中之該照片影像中包括且由該影像識別資訊識別的 該缺陷影像傳輸至一儲存單元。 12. —種用於支援發現在一檢驗對象中包括之一缺陷之方 法，其包含下列步驟： 藉由使用一獲取單元，自一照相單元獲取藉由使用該 照相單元對該檢驗對象照相而獲得之一照片影像之複數 _ 個片段； 藉由使用該獲取單元經由一第一通信線將該等片段傳 輸至一判定單元； 藉由使用該獲取單元將該等片段儲存於該獲取單元之 一記憶體中； 藉由使用該判定單元，判定經由該第一通信線自該獲 取單70接收的該等片段中之至少一者是否包括一缺陷影 像，該缺陷影像係包括該檢驗對象之一有缺陷部分的—❹ 區域之一影像； 藉由使用該判定單元，若該判定單元判定該等片段中 之至〆者包括該缺陷影像，則經由該第一通信線將用 於識別儲存於該記憶體中之該等片段中的包括該缺陷影 T之該至少一個片段之片段識別資訊及用於識別由該片 段中之該至少—缺陷影像佔據之-區域的區域識別資訊 傳輸至該獲取單元； 142745.doc -4 - 201024715 藉由使用該獲取單元，截取在儲存於該記憶體中之該 等片段中的由該片段識別資訊識別之該至少一個片段中 包括且由該區域識別資訊識別之一區域作為談缺 , 、陷 像；及 藉由使用該獲取單元將該截取之缺陷影像傳輪至 儲 存單元。

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