TWI764770B

TWI764770B - 用於判定電路之線路區域的方法

Info

Publication number: TWI764770B
Application number: TW110123841A
Authority: TW
Inventors: 許勝智; 陳建廷
Original assignee: 倍利科技股份有限公司
Priority date: 2021-06-29
Filing date: 2021-06-29
Publication date: 2022-05-11
Also published as: TW202301182A

Abstract

一種用於判定電路之線路區域的方法，包括以下步驟：獲得一包括多個條狀區域的原始圖像；處理該原始圖像以獲得一包括多條線段的第一處理圖像；將該等線段分成多個分別對應該原始圖像中的該等條狀區域的群體；產生一包括多條完整線且分別對應於該等群體的第二處理圖像；藉由延伸該等完整線以產生一包括多條延伸線的第三處理圖像；及對於該第三處理圖像中的每一延伸線，根據與其對應的該原始圖像中的該等條狀區域判定一矩形區域。

Description

用於判定電路之線路區域的方法

本發明是有關於一種判定方法，特別是指一種用於判定電路之線路區域的方法。

電路產品（例如半導體電路）的缺陷檢測是利用針對電路產品的不同組件的遮罩來檢測。遮罩例如可包括用於線路的遮罩、用於輸入/輸出孔的遮罩，及用於集成電路(integrated circuits, ICs)的遮罩。現有的遮罩用於佈置在電路產品上的線路會顯示電路上的所有線路，亦即，電路上的線路必須一次檢查，不能單獨檢查。因此，使用現有的遮罩來檢測線路存在不利之處。

因此，本發明的目的，即在提供一種用於判定電路之線路區域的方法，該方法判定的線路區域可用於多個分別為單獨的線路產生的遮罩，並且該等遮罩可用於單獨檢查線路。

於是，本發明方法，用於判定電路之線路區域的方法，包括以下步驟：

獲得一原始圖像，該原始圖像為二值化圖像，並包括多個具有一第一像素值並分別對應於一電路的一佈局的多條線路的條狀區域。

處理該原始圖像以獲得一第一處理圖像，該圖像為二值化圖像，並包括多條具有該第一像素值且從該等條狀區域獲得的線段。

根據該等線段之間的距離和夾角，將該等線段分成多個分別對應該原始圖像中的該等條狀區域的群體。

根據該第一處理圖像產生一第二處理圖像，該第二處理圖像為二值化圖像，並包括多條具有該第一像素值且分別對應於該等群體且分別對應於該原始圖像中的該等條狀區域的完整線，每一完整線藉由將該等群體之其中一者的線段整合為該完整線來構建。

根據該原始圖像中的該等條狀區域，分別對該第二處理圖像中的該等完整線進行延伸，以產生一第三處理圖像，該第三處理圖像為二值化圖像，並包括多條具有該第一像素值且分別對應於該原始圖像中的該等條狀區域的延伸線，每一延伸線的長度等於所對應條狀區域的長度。

對於該第三處理圖像中的每一延伸線，判定一在該第三處理圖像中覆蓋該延伸線的矩形區域，該矩形區域的長度等於延伸線的長度，且該矩形區域具有根據該原始圖像中對應的該等條狀區域之其中一者判定的寬度。

本發明的功效在於：使用專用於單一線路的遮罩來檢查線路可以提高缺陷檢測的精確度，並且可以降低計算複雜度。

在本發明被詳細描述的前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。

圖1示例性地示出了根據本發明的一用於判定電路之線路區域的方法100的一實施例。例如，該電路可以是半導體電路，但本發明不限於此。該方法100包括步驟101至106。根據一些實施例，該方法100可由一包括至少一處理器及一儲存多個程式指令的儲存器的計算系統（例如，個人電腦、伺服器、工作站等）來執行，當由該至少一個處理器執行時，使該至少一個處理器實施該方法100。

在步驟101中，獲得代表於一電路的一佈局的多條線路的遮罩的二值化圖像（以下簡稱“原始圖像”）。該原始圖像包括多個具有一第一像素值並分別對應於該等線路的條狀區域。該原始圖像的除該等條狀區域之外的其餘部分具有一不同於該第一像素值的第二像素值。如圖2所示，由此獲得的一示例原始圖像。圖2中所示的該原始圖像包括12個條狀區域21，它們藉由擁有其值為255的像素值（該第一像素值）上色成白色，而該原始圖像的其餘部分藉由擁有其值為0的像素值（該第二像素值）上色成黑色。在一實施例中，該原始圖像是根據該電路的一設計者提供的一示意圖獲得的，該示意圖藉由使用不同的顏色或灰度來區分線路與該佈局上的其他部件。在其他一些實施例中，該原始圖像是就由在該電路的圖像或照片上手動標出該等線路所佔據的區域來獲得的。然而，獲得該原始圖像的方式不限於上述實施例。

在步驟102中，處理該原始圖像以獲得一第一處理圖像，該第一處理圖像也是二值化圖像，並包括多條線段，該等線段具有該第一像素值且從該等條狀區域所獲得。如圖3所示，根據一實施例，步驟102可以包括子步驟1021和1022。

參閱圖3，子步驟1021是對該原始圖像進行圖像細化，以獲得到一包括多條細線的簡化圖像。該等細線分別由縮小該原始圖像的該等條狀區域的寬度而獲得的。該簡化圖像的示例如圖 4 所示。圖4所示的該簡化圖像是從圖2所示的該原始圖像中獲得的，並包括12條粗線41（即細線），分別對應於圖2的該原始圖像的12個條狀區域21。如圖4所示，該等細線41中可能有幾條不希望有的彎曲，而該等條狀區域21都是直的。根據本發明的一些實施例，子步驟1021可以藉由使用已知的圖像細化演算法來實現，例如一用於細化數位圖案的快速並行演算法(fast parallel algorithm for thinning digital pattern)。

接著，子步驟1022對該簡化圖像進行霍夫變換(Hough transform)，以獲得該等線段，從而得到該第一處理圖像。霍夫變換是一種已知的特徵提取技術，可以檢測和提取圖像中的線或線段。根據本發明的一些實施例，短於一長度閾值的多條短線段被認為是雜訊，並且在執行霍夫變換時被忽略。因此，所得到的該第一處理圖像將不包括任何短於該長度閾值的線段，並且一些細線可能被分成該等線段。在一實施例中，該長度閾值為5像素，但本發明不以此為限。如圖5所示，可以藉由操縱所使用的霍夫變換演算法的設置來實現忽略短線段。該第一處理圖像的示例如圖5所示。圖5中所示的該第一處理圖像是從圖4中所示的該簡化圖像中所獲得，並且包括與該簡化圖像的12條細線41對應的117條線段51。

再參閱圖1，在步驟102之後的步驟103是根據該等線段之間的距離和夾角，將該等線段分成多個分別對應該原始圖像中的該等條狀區域的群體。也就是說，將從同一條狀區域得到的多條線段放入同一群體中。基本上，兩條彼此靠近且具有相似方向的線段將被視為屬於同一條線，因此屬於同一群體。根據一實施例，步驟103可以包括如圖6所示的子步驟1031至1035，這些子步驟將針對包括一第一線段和一第二線段的每一對不同的線段執行。

參閱圖6，子步驟1031是計算該第一線段及該第二線段之間的一夾角，該夾角為延伸該第一線段及該第二線段分別定義的兩條線之間的夾角。

子步驟1032是將該夾角與一角度閾值進行比較，該角度閾值可例如為10度。

子步驟1033，判定在該第一線段與由該第二線段所定義的線上的三個點之間的三個距離。這三個距離包括一在該第一線段的一第一端點與該線之間的第一距離、一在該第一線段的一第二端點(即另一端點)與該線之間的第二距離，及一在第一線段的一中心點與該線之間的第三距離。

子步驟1034是將該第一距離、該第二距離，及該第三距離中之每一者與一距離閾值進行比較，該距離閾值可以是例如10像素。

子步驟1035是當子步驟1031得到的該夾角小於該角度閾值且該第一距離、該第二距離及該第三距離中的任意兩者小於該距離閾值時，判定出該第一線段及該第二線段屬於同一群體。

需要注意的是，如圖6所示，子步驟1031和1032不需要在子步驟1033和1034之前執行。根據一些實施例，子步驟1031可以在子步驟1033之後或同時執行，子步驟1032可以在子步驟1031之後和子步驟1035之前的任何時間執行，並且子步驟1034可以在子步驟103 之後和子步驟 1035 之前的任何時間執行。

再參閱圖1，在步驟103之後的步驟104是根據該第一處理圖像產生也是二值化圖像的一第二處理圖像。該第二處理圖像包括多個分別對應於步驟103中判定的該等群體（因此分別對應於原始圖像中的條狀區域）的完整線，每一完整線藉由將所對應的群體的線段整合為該完整線來構建。該第二處理圖像中的該等完整線具有該第一像素值，而該第二處理圖像的其餘部分具有該第二像素值。該第二處理圖像的示例如圖7所示。圖7所示的該第二處理圖像是從圖5所示的該第一處理圖像獲得的，並且包括分別對應於圖2的該原始圖像的12個條狀區域21的12條完整線71。

根據本發明的一些實施例，步驟104可以包括四個子步驟(即，第一到第四子步驟)，針對判定為屬於同一群體且包括一第一線段和一第二線段的每一對不同的線段執行。第一子步驟是對於該對中的每一第一線段及第二線段，尋找或定位該線段的兩個相對端點（以下簡稱“第一端點”和“第二端點”）。第二子步驟是計算與該第一線段和第二線段相關的六個距離。這六個距離包括該第一線段的該第一端點與該第二端點之間的距離、該第一線段的該第一端點與該第二線段的該第一端點之間的距離、該第一線段的該第一端點與該第二線段的該第二端點之間的距離、該第一線段的該第二端點與該第二線段的該第一端點之間的距離、該第一線段的該第二端點與該第二線段的該第二端點之間的距離，及該第二線段的該第一端點與該第二端點之間的距離。第三子步驟是判定六個距離之一最大者及對應於六個距離之該最大者的該等第一端點和該等第二端點中之其中二者。第四子步驟是基於第三子步驟中判定的該等第一端點和該等第二端點中之其中二者來整合該第一線段及該第二線段。

步驟105，根據該原始圖像中的該等條狀區域，分別對第二處理圖像中的該等完整線進行延伸，以產生一第三處理圖像。該第三處理圖像也是二值圖像。該第三處理圖像包括多條分別對應該原始圖像中的該等完整線且分別對應該等條狀區域的延伸線，每一延伸線的長度等於所對應的條狀區域的長度。該第三處理圖像中的該延伸線具有該第一像素值，而該第三處理圖像的其餘部分具有該第二像素值。如圖8所示，根據一實施例，步驟105可以包括子步驟1051至1054，其將針對該第二處理圖像中的每一完整線執行。

參閱圖8，子步驟1051是將該完整線映射到該原始圖像上。映射到該原始圖像上的該完整線將完全包含在與該完整線對應的該條狀區域中。

子步驟1052是尋找或定位該原始圖像上所映射的該完整線的二相對端點。

子步驟1053包括三個子步驟，它們將針對該完整線的每一個端點執行。首先，子步驟10531是在該原始圖像上尋找一像素（以下簡稱“邊界像素”），該像素位於從終點延伸該完整線的該延伸線上。該邊界像素是相對於具有該第二像素值的端點一最近像素。

接著，子步驟10532是在該原始圖像上尋找一結束像素，該結束像素位於該延伸線上且為相對於具有該第一像素值的該邊界像素的一最近像素。

最後，子步驟10533是判定該結束像素的位置（例如，一組像素坐標，以下簡稱“像素位置”）。

子步驟1053之後的子步驟1054是將該第二處理圖像中的該完整線分別延伸到子步驟1053中判定的該完整線的二相對端點的二像素位置，以獲得被包括在第三處理圖像中之對應的該等延伸線之其中一者。

參閱圖1，步驟105之後的步驟106是針對第三處理圖像中的每一延伸線，判定該第三處理圖像中覆蓋該延伸線的一矩形區域，該矩形區域的長度等於該延伸線的長度，該矩形區域的寬度是根據該原始圖像中的對應的條形區域判定。為該延伸線判定的該矩形區域定義了與該延伸線對應的該條狀區域所對應的該電路的該線路的一線路區域。圖9示例性地示出了來自圖2的該原始圖像並且包括12個矩形區域91的該第三處理圖像的示例。

根據一實施例，步驟106的第一實施方式可以包括子步驟1061至1064，如圖10所示，其將針對第三處理圖像中的每一延伸線執行。根據另一個實施例，步驟106第二實施方式可以包括子步驟1061、1062'、1063'及1064'，如圖11所示，它們將針對該第三處理中的每一延伸線執行。根據再一實施例，步驟106的該第三實施方式可以包括子步驟1061、1065和1066，如圖12所示，它們也將針對第三處理圖像中的每一延伸線執行。

參閱圖10，圖10說明了步驟106的第一實施方式，子步驟1061是將該第三處理圖像的該延伸線映射到該原始圖像上。映射在該原始圖像上的該延伸線將完全包含在與該延伸線對應的該條狀區域中。

子步驟1062，對於映射到該原始圖像上的該延伸線上的每一像素（以下簡稱“線像素”），判定該線像素與該原始圖像上位於穿過該線像素並垂直於該延伸線的一法線上的一像素（以下簡稱“法線像素”）之間的距離，其中，該法線像素是一相對於具有該第二像素值的該線像素的最近像素，以判定多個線像素分別對應的多個距離。在一實施例中，該線像素包括該延伸線上的所有像素，但本發明不限於此。

子步驟1063是計算子步驟1062中判定的該等距離的一平均距離。

最後，子步驟1064藉由將該延伸線在垂直於延伸線的兩個方向上擴大子步驟1063中計算出的該平均距離來判定該第三處理圖像的該延伸線的該矩形區域。如此，為該延伸線判定的該矩形區域具有一等於延伸線的長度之長度，及一等於平均距離的兩倍的寬度，並以該延伸線為中心。

參閱圖11所示的步驟106的第二種實施方式，可以看出第二種實施方式與第一種實施方式的區別在於，在第二種實施方式中，在子步驟1061之後是執行子步驟1062'到1064'，以代替第一種實施的子步驟1062到1064。圖11的子步驟1062'至1064'與圖10的子步驟1062至1064類似但略有不同，詳細描述如下。

子步驟1062'為映射到該原始圖像上的該延伸線上的每一線像素中以判定一第一距離及一第二距離。該第一距離位於該線像素與該原始圖像上位於穿過該線像素並從線像素朝垂直於該延伸線的一第一方向延伸的一第一法線上的一第一像素之間。該第一像素是相對於該第一法線上且具有該第二像素值的線像素的一最近像素。該第二距離位於該線像素與該原始圖像上位於穿過該線像素並從該線像素朝一與該第一方向相反的第二方向延伸的一第二法線上的一第二像素之間。該第二像素是相對於位於該第二法線並具有該第二像素值的該線像素的一最近像素。如此一來，該等線像素分別對應的多個第一距離和該等線像素分別對應的多個第二距離被判定。

子步驟1063'是計算子步驟1062'判定的該等第一距離的一第一平均距離，以及子步驟1062'判定的該等第二距離的一第二平均距離。

子步驟1064'藉由將該延伸線在該第一方向上擴大該第一平均距離，並在該第二方向上擴大該第二平均距離，來判定該第三處理圖像的該延伸線的該矩形區域。這樣，為該延伸線判定的該矩形區域具有一等於該延伸線的長度之長度，一等於該第一平均距離加上該第二平均距離的寬度，及一與該延伸線的方向相同的方向。

參閱圖12所示的步驟106的第三種實施方式，第一子步驟1061與圖10和圖11的子步驟1061相同，此處不再贅述。

在第三種實施方式中的子步驟1061之後的子步驟1065是將該延伸線逐漸擴大為該原始圖像上的一條形，直到該條型完全覆蓋該延伸線對應的該條狀區域。根據本發明的一些實施例，該延伸線可以一個像素或兩個像素逐漸擴大，但本發明不限於此。根據本發明的一些實施例，在子步驟1065中，可以藉由判定該條形中具有該第一像素值的一像素數與該條形中一像素總數的比例是否小於一預定百分比，即小於100%，來判定該條形是否完全覆蓋該條狀區域。在一實施例中，該預設百分比為95％，但本發明不以此為限。

最後，子步驟1066將該條形所定義的完全覆蓋該條狀區域的區域作為該延伸線的該矩形區域。

要注意的是，在不超出本發明內容的情況下，可以對圖1所示的該方法100進行修改。例如，圖13示例性地圖示了作為根據本發明的實施例的所述修改之一的一方法1300。

如圖13所示，該方法1300包括圖1的該方法100的步驟101至106，還包括在步驟102和103之間執行的步驟107和在步驟106之後執行的步驟108。具體而言地，第一附加步驟107是藉由將該等線段的多個像素的多個像素值由該第一像素值變為該第二像素值，來刪除該第一處理圖像中短於一預定長度的任何線段。任何短於該預定長度的線段都被視為雜訊。在一實施例中，該預定長度為5像素，但本發明不以此為限。

第二附加步驟108是對於該電路的該佈局的每一線路，根據為延伸線判定的矩形區域產生一遮罩(在步驟106)，該矩形區域對應於與該線路對應的條狀區域。為該線路產生的該遮罩可用於檢查，例如，線路的缺陷檢測。使用專用於單一線路的遮罩可以提高檢查效率，並減少忽略缺陷的可能性。

需要說明的是，在實施本發明時，附加的兩個步驟107和108不需要同時存在。根據一些實施例，可以從該方法1300中省略步驟107和步驟108之其中一者。

在以上描述中，基於解釋的目的，已經闡述許多具體細節以便於提供對該等實施例的透徹理解。然而，對於本領域的技術人員，可以在沒有這些特定細節中的一些情況下實踐一個或多個其他實施例。還需要理解的是，在整份說明書中，對於一個實施例、一實施例、具有順序指示的實施例的引用代表在實踐中可以包括特定的特徵，結構或特性。理當進一步理解的是，在說明書中，有時將各種特徵組合在單一實施例、圖式，或描述中，以簡化本公開並幫助理解各種發明方面，並且在適當情況下，在本發明的實踐中，可以將一個實施例的一或多個特徵或特定細節與另一個實施例的一或多個特徵或特定細節一起實踐。

儘管已經結合示例性實施例描述了本發明，但應當理解的是，本發明不限於所公開的實施例，而是旨在覆蓋包括最廣泛的解釋的精神和範圍內的各種佈置，以涵蓋所有此類修改和等效安排。

100:方法 101~106:方法100的步驟 21:條狀區域 1021、1022:步驟102的子步驟 1031~1035:步驟103的子步驟 1051~1054:步驟105的子步驟 10531~10533:步驟1053的子步驟 1061~1064:步驟106的子步驟 1061、1062'、1063'、1064':步驟106的子步驟 1061、1065、1066:步驟106的子步驟 1300:方法 101~108:方法1300的步驟 41:細線 51:線段 71:完整線 91:矩形區域

本發明的其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是一流程圖，說明本發明用於判定電路之線路區域的方法的一實施例；圖2是一示意圖，本發明的一實施例示例性地示出了一表示一電路的一佈局的多條線路的原始圖像；圖3是一流程圖，根據本發明的一實施例示例性地示出了圖1所示方法的步驟102的子步驟；圖4是一示意圖，根據本發明的一實施例示例性地示出了一從該原始圖像獲得的簡化圖像；圖5是一示意圖，根據本發明的一實施例示例性地示出了一從該簡化圖像獲得的第一處理圖像；圖6是一流程圖，根據本發明的一實施例示例性地示出了圖1所示方法的步驟103的子步驟；圖7是一示意圖，根據本發明的一實施例示例性地示出了一從該第一處理圖像獲得的第二處理圖像；圖8是一流程圖，根據本發明的一實施例示例性地示出了圖1所示方法的步驟105的子步驟；圖9是一示意圖，根據本發明的一實施例示例性地示出了一第三處理圖像中的多個矩形區域；圖10是一流程圖，根據本發明的一實施例示例性地示出了圖1所示方法的步驟106的子步驟的第一種實施方式；圖11是一流程圖，根據本發明的一實施例示例性地示出了圖1所示方法的步驟106的子步驟的第二種實施方式；圖12是一流程圖，根據本發明的一實施例示例性地示出了圖1所示方法的步驟106的子步驟的第三種實施方式；及圖13是一流程圖，根據本發明的一實施例的圖1之方法的修改。

100:方法

101~106:步驟

Claims

一種用於判定電路之線路區域的方法，由一計算系統來執行，包括以下步驟：該計算系統獲得一原始圖像，該原始圖像為二值化圖像，並包括多個具有一第一像素值並分別對應於一電路的一佈局的多條線路的條狀區域；該計算系統處理該原始圖像以獲得一第一處理圖像，該圖像為二值化圖像，並包括多條具有該第一像素值且從該等條狀區域獲得的線段；該計算系統根據該等線段之間的距離和夾角，將該等線段分成多個分別對應該原始圖像中的該等條狀區域的群體；該計算系統根據該第一處理圖像產生一第二處理圖像，該第二處理圖像為二值化圖像，並包括多條具有該第一像素值且分別對應於該等群體且分別對應於該原始圖像中的該等條狀區域的完整線，每一完整線藉由將該等群體之其中一者的線段整合為該完整線來構建；該計算系統根據該原始圖像中的該等條狀區域，分別對該第二處理圖像中的該等完整線進行延伸，以產生一第三處理圖像，該第三處理圖像為二值化圖像，並包括多條具有該第一像素值且分別對應於該原始圖像中的該等條狀區域的延伸線，每一延伸線的長度等於所對應條狀區域的長度；及對於該第三處理圖像中的每一延伸線，該計算系統判定一在該第三處理圖像中覆蓋該延伸線的矩形區域，該矩形區域的長度等於延伸線的長度，且該矩形區域具有根據該原始圖像中對應的該等條狀區域之其中一者判定的寬度。
如請求項1所述的用於判定電路之線路區域的方法，還包含以下步驟：對於該電路的該佈局的每一線路，該計算系統根據被判定為對應於與該線路對應的條狀區域的延伸線的該矩形區域，產生一遮罩。
如請求項1所述的用於判定電路之線路區域的方法，其中，該計算系統處理該原始圖像以獲得該第一處理圖像的步驟包括以下子步驟：該計算系統對該原始圖像進行圖像細化，以獲得一簡化圖像，該簡化圖像包括多條分別由縮小該等條狀區域的寬度而獲得的細線；及該計算系統對該簡化圖像進行霍夫變換，以獲得該等線段，從而得到該第一處理圖像。
如請求項3所述的用於判定電路之線路區域的方法，其中，進行霍夫變換的子步驟該計算系統忽略短於一長度閾值的線段。
請求項1所述的用於判定電路之線路區域的方法，還包含在該計算系統處理該原始圖像的步驟之後且對該等線段進行分群的步驟之前的步驟：該計算系統藉由將該等線段的多個像素的多個像素值從該第一像素值改變為與該第一像素值不同的一第二像素值，以從該第一處理圖像中刪除短於一預定長度的線段。
請求項1所述的用於判定電路之線路區域的方法，其中，該計算系統對該等線段進行分群的步驟包括以下針對包括一第一線段和一第二線段的每一對不同的線段執行的子步驟：該計算系統計算一由該第一線段與該第二線段分別定義的兩條線之間的夾角；該計算系統將該夾角與一角度閾值進行比較；該計算系統判定一在該第一條線段的一第一端點與一由該第二條線段所定義的線之間的第一距離、一在該第一線段的一第二端點與該線之間的第二距離，及一在該第一條線段的一中心點與該線之間的第三距離；該計算系統將該第一距離、該第二距離，及該第三距離中之每一者與一距離閾值進行比較；及當該夾角小於該角度閾值且該第一距離、該第二距離及該第三距離中的任意兩者小於該距離閾值時，該計算系統判定出該第一線段及該第二線段屬於同一群體。
請求項1所述的用於判定電路之線路區域的方法，其中，該計算系統產生該第三處理圖像的步驟包括以下要針對該第二處理圖像中的每一完整線執行的子步驟：該計算系統在該原始圖像上映射該完整線；該計算系統尋找映射在該原始圖像上的該完整線的二相反的端點；對於該完整線的每一端點，該計算系統在該原始圖像上尋找一像素，該像素位於一從該端點延伸該完整線的延伸線上，該像素是相對於該端點的一最近像素，並具有一與該第一像素不同的第二像素值，該計算系統在位於該延伸線上的該原始圖像上尋找一結束像素，該結束像素具有該第一像素值並且最接近尋找的該像素，及該計算系統判定尋找的該結束像素的一像素位置；及該計算系統將該第二處理圖像中的該完整線延伸到分別為該完整線的該等端點判定的該等像素位置。
請求項1所述的用於判定電路之線路區域的方法，其中，該計算系統判定一矩形區域的步驟包括以下針對該第三處理圖像中的每一延伸線執行的子步驟：該計算系統將該第三處理圖像的該延伸線映射到該原始圖像上；對於映射到該原始圖像上的該延伸線上的每一像素，該計算系統判定該延伸線上的該像素與該原始圖像上位於穿過該像素並垂直於該像素的一法線上的一像素之間的一距離，即相對於該延伸線上的該像素的一最近像素，該最近像素具有不同於該第一像素值的一第二像素值；該計算系統計算一為該等像素分別判定的該等距離的平均距離；及該計算系統藉由將該延伸線在垂直於該延伸線的兩個方向上擴大所計算出的該平均距離，來判定該第三處理圖像的該延伸線的該矩形區域。
請求項1所述的用於判定電路之線路區域的方法，其中，該計算系統判定一矩形區域的步驟包括以下針對該第三處理圖像中的每一延伸線執行的子步驟：該計算系統將該第三處理圖像的該延伸線映射到該原始圖像上；對於映射到該原始圖像上的該延伸線上的每一像素，該計算系統判定該延伸線上的該像素與該原始圖像上位於穿過該延伸線上的該像素並從該延伸線上的該像素朝垂直於該延伸線的一第一方向延伸的一第一法線上的一第一像素之間的一第一距離，即相對於該延伸線上的該像素一最近像素，該最近像素具有不同於該第一像素值的一第二像素值，及該計算系統判定該延伸線上的該像素與該原始圖像上位於穿過該延伸線上的該像素並從該延伸線上的該像素朝一與該第一方向相反的第二方向延伸的一第二法線上的一第二像素之間的一第二距離，即相對於該延伸線上的該像素一最近像素，該最近像素具有該第二像素值；該計算系統計算多個像素分別判定的該等第一距離的一第一平均距離，及該等像素分別判定的該等第二距離的一第二平均距離；及該計算系統藉由將該延伸線在該第一方向上擴大該第一平均距離，並在該第二方向上擴大該第二平均距離，來判定該第三處理圖像的該延伸線的該矩形區域。
請求項1所述的用於判定電路之線路區域的方法，其中，該計算系統判定一矩形區域的步驟包括以下針對該第三處理圖像中的每一延伸線執行的子步驟：該計算系統將該第三處理圖像的該延伸線映射到該原始圖像上；該計算系統將該原始圖像上的該延伸線逐漸擴大成一條形，直至該條形完全覆蓋該延伸線對應的該條狀區域；及該計算系統將該延伸線的該矩形區域判定為由完全覆蓋該條狀區域的該條形定義的區域。
如請求項10所述的用於判定電路之線路區域的方法，該計算系統逐漸擴大該延伸線的子步驟包括：該計算系統藉由判定該條形中具有該第一像素值的一像素數與該條形中一像素總數的比例是否小於一預定百分比來判定該條形是否完全覆蓋該條狀區域。