CN101275917A - 缺陷检查装置、图形描绘装置及图形描绘系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够以简单的结构在执行描绘之前检测用于图形描绘的行程长度数据的缺陷的技术。分别取得输入CAD数据(D1)和通过对该输入CAD数据(D1)进行RIP处理来取得的行程长度数据(D2)。然后，对输入CAD数据(D1)和行程长度数据(D2)中的至少一种数据执行规定的转换处理，以使两种数据变成能够相互比较的数据格式，并比较两种数据，进而检测出有差异的区域而作为行程长度数据(D2)的缺陷区域。

Description

缺陷检查装置、图形描绘装置及图形描绘系统

技术领域

本发明涉及一种检查行程长度(Run-length)数据缺陷的技术，上述行程长度数据通过对记载有应描绘的图形的输入数据进行RIP处理来取得，并用于图形描绘。例如，一种检查将半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、等离子显示用玻璃基板、光盘用基板等(以下，简称为“基板”)的电路图案根据CAD数据直接描绘到抗蚀剂上时所提供的行程长度数据的缺陷。

背景技术

随着近年来的半导体集成电路的高度集成化和复杂化，必须从DRAM(Dynamic Random Access Memory：动态随机存取存储器)等的少品种大量生产的商业模式，转换到系统LSI等多品种小量生产的商业模式。另外，系统LSI等的电路图案逐年变得微细化，其生产费变得庞大。

以前，对基板的图案描绘(更具体地讲，利用光蚀刻法的图案描绘(曝光))是通过将利用CAD系统作成并编辑的电路图案以激光描绘在薄膜上来作成光掩模，并采用了用该光掩模将电路图案转印在基板上的方法。但是，存在如下问题，即，因为该光掩模是高精度微细加工而成的，所以价格非常高，从费用上面考虑的话不适合多品种少量的生产。

因此，为了减少系统LSI等的开发费用，正在导入不使用光掩模的图案描绘方法(即，不使用光掩模，根据CAD数据直接在抗蚀剂上描绘电路图案的方法，以下称为“直接描绘方法”)。

在利用直接描绘方法描绘电路图案的装置(以下，成为“直接描绘装置”)中，解析行程长度数据(根据多个水平方向(或垂直方向)的线段的起点位置及长度来记载的数据)并进行描绘，其中上述行程长度数据是对记载有应描绘的电路图案的CAD数据进行RIP(Raster Image Processor：光栅图形处理)处理而取得的。

但是，在通过RIP处理而取得的行程长度数据中，可能会产生因RIP处理中的误转换等而引起的缺陷(即，与CAD数据的记载内容之间的差异)。若行程长度数据中产生缺陷，则会导致无法进行正确的描绘。因此，在执行描绘时，需要执行如下的验证步骤，即，根据无缺陷的行程长度数据，验证是否能够执行正确的描绘。

当利用使用光掩模的图案描绘方法时，在执行描绘之前一定会生成光掩模。因此，通过检查该光掩模，能够验证是否可执行正确的扫描。

但是，当利用不使用光掩模的直接描绘方法时，因为不生成光掩模就执行描绘，所以无法利用光掩模来检查行程长度数据的缺陷。因此，在现有技术中，在利用直接描绘方法时，暂先执行对基板的描绘，再检查所描绘的电路图案。例如，通过以目视来确认显影后的基板的电路图案，或者，通过检查拍摄显影后的基板的电路图案而获得的图像(拍摄图案)，从而检查缺陷(参照专利文献1)。

根据该结构，如果没有暂先执行描绘，则无法检测出行程长度数据的缺陷。即，因为即使在通过RIP处理而取得的行程长度数据中产生了缺陷，在执行描绘之前也无法检测出该缺陷，所以根据有缺陷的行程长度数据执行描绘处理，导致通过上述扫描处理而获得的基板变成无用。

为了防止产生这种无用的试验材料，提出一种能够在执行描绘之前检测出行程长度数据的缺陷的技术。例如，提供如下的方法，即，对通过RIP处理而从CAD数据中取得的行程长度数据(用于描绘的行程长度数据)和利用与该RIP处理不同的算法从该CAD数据中取得的行程长度数据(验证用行程长度数据)进行比较，检测出用于描绘的行程长度数据中所产生的缺陷。

专利文献1：JP特开2001-337041号公报

专利文献2：JP特开2004-56068号公报

根据上述的结构，存在如下益处，即，因为在执行描绘前检测出行程长度数据的缺陷，所以不会使试验材料变成无用。但是，在该结构中，除了需要执行用于取得实际上用于描绘的行程长度数据的RIP处理的功能部之外，还需要执行如下的RIP处理的功能部，即，由与上述RIP处理不同的算法所规定的RIP处理。即，需要多个RIP处理功能部，从而导致在缺陷的检测时需要进行多次的RIP处理。这样，导致检测缺陷所需的处理负担增大，处理时间也变长。

因此，需要一种以简单的结构，能够在执行描绘之前检测出行程长度数据的缺陷的技术。

发明内容

本发明是鉴于上述问题所提出的，其目的在于，提供一种以简单的结构能够在执行描绘之前检测出用于图形描绘的行程长度数据的缺陷的技术。

(1)本发明是一种缺陷检查装置，其检查用于描绘图像的行程长度数据的缺陷，具有：输入数据取得装置，其取得记载有应描绘的图形的输入数据；行程长度数据取得装置，其取得通过对上述输入数据进行RIP处理而取得的上述行程长度数据；缺陷检测装置，其比较上述输入数据和上述行程长度数据，当存在差异区域时，检测出上述差异区域而作为上述行程长度数据的缺陷区域。

(2)本发明是如上述(1)所述的缺陷检查装置，还具有修复装置，该修复装置在上述行程长度数据中检测出上述缺陷区域时，修复上述缺陷区域并取得修复行程长度数据。

(3)本发明是如上述(2)所述的缺陷检查装置，上述缺陷检测装置，具有数据格式转换装置，该数据格式转换装置对上述输入数据和上述行程长度数据中的至少一种数据执行规定的转换处理，以使两种数据变成能够相互比较的数据格式。

(4)本发明是如上述(3)所述的缺陷检查装置，上述数据格式转换装置具有图形化装置，该图形化装置对上述行程长度数据执行图形化处理，以此取得对上述行程长度数据实施过图形化处理的图形化行程长度数据；上述缺陷检测装置还具有差异区域确定装置，该差异区域确定装置通过对上述图形化行程长度数据和上述输入数据进行逻辑异或运算，取得已确定上述差异区域的差异区域数据。

(5)本发明是如上述(4)所述的缺陷检查装置，上述缺陷检测装置还具有多余缺陷区域确定装置，该多余缺陷区域确定装置通过对上述差异区域数据和上述图形化行程长度数据进行逻辑与运算，确定多余缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，不存在上述输入数据却已生成有行程数据的区域。

(6)本发明是如上述(4)所述的缺陷检查装置，上述缺陷检测装置还具有遗漏缺陷区域确定装置，该遗漏缺陷区域确定装置通过对上述差异区域数据和上述输入数据进行逻辑与运算，确定遗漏缺陷区域，其中，该遗漏缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，存在上述输入数据却未生成有行程数据的区域。

(7)本发明是如上述(4)所述的缺陷检查装置，上述缺陷检测装置还具有：第一差异差分区域取得装置，其从根据上述差异区域数据来规定的图形区域中减去根据上述输入数据来规定的图形区域，以此取得第一差异差分区域数据；多余缺陷区域确定装置，其通过提取上述第一差异差分区域数据中的正的值的区域，确定多余缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，不存在上述输入数据却生成有行程数据的区域。

(8)本发明是如上述(4)所述的缺陷检查装置，上述缺陷检测装置还具有：第二差异差分区域取得装置，其从根据上述差异区域数据来规定的图形区域中减去根据上述图形化行程长度数据来规定的图形区域，以此取得第二差异差分区域数据；遗漏缺陷区域确定装置，其通过提取上述第二差异差分区域数据中的正的值的区域，确定多余缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，存在上述输入数据却未生成有行程数据的区域。

(9)本发明是如上述(3)所述的缺陷检查装置，上述数据格式转换装置还具有图形化装置，该图形化装置对上述行程长度数据执行图形化处理，以此取得对上述行程长度数据实施过图形化处理的图形化行程长度数据；上述缺陷检测装置还具有：第一差分区域取得装置，其从根据上述图形化行程长度数据来规定的图形区域中减去根据上述输入数据来规定的图形区域，以此取得第一差分区域数据；多余缺陷区域确定装置，其通过提取上述第一差分区域数据的正值的区域，确定多余缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，不存在上述输入数据却生成有行程数据的区域。

(10)本发明是如上述(3)所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述数据格式转换装置具有图形化装置，该图形化装置对上述行程长度数据执行图形化处理，以此取得对上述行程长度数据实施过图形化的图形化行程长度数据；上述缺陷检测装置还具有：第二差分区域取得装置，其从根据上述输入数据来规定的图形区域中减去根据上述图形化行程长度数据来规定的图形区域，以此取得第二差分区域数据，遗漏缺陷区域确定装置，其通过提取上述第二差分区域数据中的正值的区域，确定多余缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，存在上述输入数据却未生成有行程数据的区域。

(11)本发明是如上述(3)所述的缺陷检查装置，上述数据格式转换装置具有：行程长度数据图像化装置，其对上述行程长度数据执行第一图像化处理，以此取得对上述行程长度数据实施过图形化处理的图像化行程长度数据；输入数据图像化装置，其对上述输入数据执行第二图像化处理，以此取得对上述输入数据实施过图像化处理的图像化输入数据；上述缺陷检测装置还具有差异区域确定装置，该差异区域确定装置通过以像素单位比较上述图像化行程长度数据和上述图像化输入数据，确定上述差异区域。

(12)本发明是如上述(11)所述的缺陷检查装置，上述差异区域确定装置以像素单位比较上述图像化行程长度数据和上述图像化输入数据，以此将只在上述图像化行程长度数据中存在像素的区域确定为多余缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，不存在上述输入数据却生成有行程数据的区域。

(13)本发明是如上述(11)所述的缺陷检查装置，上述差异区域确定装置以像素单位比较上述图像化行程长度数据和上述图像化输入数据，以此将只在上述图像化输入数据中存在像素的区域确定为遗漏缺陷区域，其中，该遗漏缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，存在上述行程长度数据却未生成有行程数据的区域。

(14)本发明是如上述(3)所述的缺陷检查装置，上述数据格式转换装置具有输入数据坐标值化装置，该输入数据坐标值化装置对上述输入数据执行坐标值化处理，以此取得坐标值化输入数据，其中，该坐标值化输入数据是指，根据坐标值的集合，记载了包含在上述输入数据中的1个以上的图形的每一个的数据；上述缺陷检测装置还具有差异区域确定装置，该差异区域确定装置通过比较包含在上述行程长度数据中的多个行程的起点及终点的位置、和包含在上述坐标值化输入数据中的多个坐标值中的规定坐标值，分别确定多余缺陷区域和遗漏缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，不存在上述输入数据却生成有行程数据的区域，该遗漏缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，存在上述输入数据却未生成有行程数据的区域。

(15)本发明是如上述(5)、(7)、(12)及(14)中任一项所述的缺陷检查装置，具有多余缺陷修复装置，该多余缺陷修复装置在已确定上述多余缺陷区域时，删除在上述行程长度数据中的上述多余缺陷区域所生成的行程数据。

(16)本发明是如上述(6)、(8)、(13)及(14)中任一项所述的缺陷检查装置，具有遗漏缺陷修复装置，该遗漏缺陷修复装置在已确定上述遗漏缺陷区域时，在上述行程长度数据中的上述遗漏缺陷区域重新生成行程数据。

(17)本发明是如上述(1)所述的缺陷检查装置，上述输入数据是应描绘在基板上的图案的CAD数据，上述行程长度数据用于在基板上描绘上述图案。

(18)本发明是一种图形描绘装置，基于行程长度数据，对输出介质描绘图形，其特征在于，具有：输入数据取得装置，其取得记载了应描绘的图形的输入数据；行程长度数据取得装置，其取得通过对上述输入数据进行RIP处理而取得的上述行程长度数据；缺陷检测装置，其比较上述输入数据和上述行程长度数据，当存在差异区域时，检测出该差异区域而作为上述行程长度数据的缺陷区域；修复装置，其在上述行程长度数据中检测出上述缺陷区域时，修复该缺陷区域并取得修复行程长度数据；描绘用行程长度数据取得装置，其在上述行程长度数据中检测出上述缺陷区域时，取得上述修复行程长度数据而作为描绘用行程长度数据，而在上述行程长度数据中未检测出上述缺陷区域时，取得上述行程长度数据而直接作为描绘用行程长度数据；描绘装置，其基于上述描绘用行程长度数据，在上述输入介质上描绘图形。

(19)本发明是如上述(18)所述的图形描绘装置，上述输入数据是应描绘在基板上的图案的CAD数据，上述描绘装置基于通过对上述CAD数据进行RIP处理来取得的上述行程长度数据，在基板上描绘上述图案。

(20)本发明是一种图形描绘系统，基于行程长度数据，对输出介质描绘图形，具有：缺陷检查装置，其检查上述行程长度数据的缺陷；描绘装置，其从上述缺陷检查装置中取得描绘用行程长度数据，并基于上述描绘用行程长度数据，在上述输出介质上描绘图形；上述缺陷检查装置具有：输入数据取得装置，取得记载有应描绘的图形的输入数据；行程长度数据取得装置，其取得通过对上述输入数据进行RIP处理而取得的上述行程长度数据；缺陷检测装置，其比较上述输入数据和上述行程长度数据，当存在差异区域时，检测出该差异区域二作为上述行程长度数据；修复装置，其在上述行程长度数据中检测出上述缺陷区域时，修复该缺陷区域并取得修复行程长度数据；描绘用行程长度数据取得装置，其在上述行程长度数据中检测出上述缺陷区域时，取得上述修复行程长度数据而作为描绘用行程长度数据，而在上述行程长度数据中未检测出上述缺陷区域时，取得上述行程长度数据而直接作为描绘用行程长度数据；描绘用行程长度数据发送装置，其向上述描绘装置发送上述描绘用行程长度数据。

(21)本发明是如上述(20)所述的图形描绘系统，上述输入数据是应描绘在基板上的图案的CAD数据，上述描绘装置基于通过对上述CAD数据进行RIP处理而取得的上述行程长度数据，在基板上描绘上述图案。

发明效果

根据上述(1)～(21)所述的发明，通过比较RIP处理前后的数据，即，比较输入数据和行程长度数据，检测出行程长度数据的缺陷，因此，即使不执行基于行程长度数据的描绘，也能够检测出生成在行程长度数据中的缺陷。

特别是，根据上述(2)所述的发明，在行程长度数据中检测出缺陷时，修复该缺陷，因此，能够取得无缺陷的行程长度数据。

特别是，根据上述(17)所述的发明，在基于行程长度数据对基板执行图案的描绘之前，能够检测出生成在行程长度数据中的缺陷。因此，能够预先防止如下情况，即，根据有缺陷的行程长度数据对基板执行描绘处理，从而导致产生无用的实验材料。

根据上述(18)～(21)所述的发明，在行程长度数据中检测出缺陷时，基于修复行程长度数据描绘图形。因此，基于修复了缺陷的行程长度数据，能够正确地执行图形的描绘。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的图形描绘系统的整体结构的图。

图2是表示缺陷检查装置的结构的示意图。

图3是表示缺陷检查装置的功能性结构的示意图。

图4是示意地显示缺陷检测处理中所取得的各种数据及其相关关系的图。

图5是用于说明图形化处理的示意图。

图6是用于说明缺陷修复处理的示意图。

图7是表示取得输入CAD数据后到执行图形描绘为止的处理流程的图。

图8是表示缺陷检查处理及缺陷修复处理的流程的图。

图9是表示缺陷检查装置的功能性结构的示意图。

图10是示意地表示缺陷检测处理中所取得的各种数据及其相关关系的图。

图11A、11B是用于说明CAD数据图像化处理及行程长度图像化处理的示意图。

图12是表示缺陷检查装置的功能性结构的示意图。

图13是示意地表示从缺陷检查装置所执行的缺陷检测处理中所取得的各种数据及其相关关系的图。

图14是用于说明坐标值化处理的示意图。

图15是表示差异区域确定部所执行的处理流程的图。

图16是表示差异区域确定部所执行的处理流程的图。

图17是示意地举例显示差异区域的图。

图18是表示第一变形例的缺陷检测部的功能性结构的图。

图19A、19B是示意地表示第一变形例的缺陷检测处理中所取的的各种的数据及其相关关系的图。

图20是表示第二变形例的缺陷检测部的功能性结构的图。

图21A、21B是示意地表示第二变形例的缺陷检测处理中所取的的各种的数据及其相关关系的图。

图22是表示描绘装置的结构的示意图。

具体实施方式

第一实施方式

<1.结构>

<1a.图形描绘系统的整体结构>

对本发明的第一实施方式的图形描绘系统100，参照图1进行说明。图1是表示图形描绘系统100的整体结构的图。

图形描绘装置100具有CAD装置1、RIP装置2、缺陷检查装置3及描绘装置4。这些装置1～4经由LAN等网络N相互连接。

CAD装置1是作成和编辑记载有应描绘的图形的数据的装置，并将该数据作为CAD数据输出，其中，该CAD数据是矢量数据。CAD数据以被称为流格式(Stream form)(例如，GDSII)的具有单元层(cell hierarchy)的数据格式来表现。在每个单元层中，具有至少一个以上的与图形有关的信息(例如，是与图形的位置及形状有关的信息，具体地讲，图形的顶点位置坐标等)或单元参照信息。以下，将从CAD装置1输出的CAD数据称为“输入CAD数据D1“。

RIP装置2从CAD装置1取得输入CAD数据D1，并RIP展开该取得的输入CAD数据D1，而且将其转换成行程长度数据来输出。更具体地讲，将作为矢量数据的输入CAD数据D1转换成栅格图像数据(Raster image data)(即，将线数据(line data)转换成向与第一方向垂直的第二方向排列多个而成的数据，该线数据是在第一方向上排列了形成多个像素的二值图像(Binary image)数据的数据)。另外，对该栅格图像数据进行行程长度符号化处理，并作为压缩的行程长度数据来输出。更具体地讲，以线数据为单位，将位图数据从第二方向的第一行开始到最后一行为止依次进行行程长度符号化处理，并转换成被压缩的行程长度数据。所获得的行程长度数据是如图4所示，在输入CAD数据D1中的图形区域变成通过多个水平方向的线段(线Li(i＝1，2，…)的起点位置及长度所记录的数据。以下，将从RIP装置2输出出来的行程长度数据称为“行程长度数据D2”。

缺陷检查装置3检查供描绘的行程长度数据D2的缺陷，该数据D2是提的。即，从CAD装置取得输入CAD数据D1，从RIP装置2分别取得行程长度数据D2，并根据上述取得的两个数据检查行程长度数据D2的缺陷。另外，缺陷检查装置3向描绘装置4发送用于描绘的行程长度数据(“描绘用行程长度数据T”)。即，检测出行程长度数据D2中的缺陷时，向描绘装置4发送作为描绘用行程长度数据T的修复了该缺陷的数据(“修复行程长度数据D4”(参照图6))。另外，未检测出行程长度数据D2中的缺陷时，直接向描绘装置4发送作为描绘用行程长度数据T的行程长度数据D2。对缺陷检查装置3的具体的结构，下面详细进行叙述。

描绘装置4是在输出介质上描绘图形的装置。即，从缺陷检查装置3取得描绘用行程长度数据T，并根据该取得的描绘用行程长度数据T执行图形的描绘。更具体地讲，将描绘用行程长度数据T展开成位图数据，并根据该位图数据在输出介质上记录二维图像。

此外，在本实施方式中，CAD装置1是做成电路图案的描绘数据，并将其作为CAD数据D1来输出，该电路图案是用于曝光记录到基板上的LSI等。另外，描绘装置4是在CAD装置1中所做成的电路图案直接描绘(曝光)到基板上的装置。

<1b.缺陷检查装置的结构>

<1b-1.硬件结构>

对于缺陷检查装置3的硬件结构，参照图2进行说明。图2是表示缺陷检查装置3的硬件结构的示意图。

缺陷检查装置3成为经由总线17电连接控制部11、ROM12、RAM13、媒体驱动器14、操作部15及显示部16。

控制部11由CPU结构。控制部11根据存储在ROM12中的程序(或者通过媒体驱动器14读取的程序)P，控制上述的硬件各部，从而实现缺陷检查装置3的功能。

ROM12是读取专用的记录装置，其预先存储缺陷检查装置3的控制所需的程序P或数据。

RAM13是能够读取和写入的存储装置，其暂时存储利用控制部11进行的运算处理时所产生的数据。RAM13由SRAM、闪存等构成。

媒体驱动器14是从记录介质(更具体地讲，CD-ROM、DVD(DigitalVersatile Disk：数字通用光盘)、软盘(flexible disk)等的可移动的记录介质)M中读取存储在其中的信息的功能部。

操作部15是由键盘及鼠标构成的输入装置，接收指令或各种数据的输入这样的用户操作。操作部15所接收的用户操作作为信号输出到控制部11。

显示部16具有显示器等，显示各种数据、缺陷检查装置3的动作状态等。

<1b-2.功能性结构>

对于缺陷检查装置3的功能性结构，参照图3及图4进行说明。图3是表示缺陷检查装置3的功能性结构的示意图。图4是示意地显示在缺陷检查装置3所执行的缺陷检测处理中取得的各种数据及其相关关系的图。

缺陷检查装置3具有：CAD数据取得部31、行程长度数据取得部32、缺陷检测部33、缺陷修复部34、描绘用行程长度数据取得部35及描绘用行程长度数据发送部36。这些各部的功能通过以下方式来实现，即，读取预先存储在ROM12等中的程序P或记录在记录介质M中的程序P，并在控制部11中执行上述程序P。

CAD数据取得部31，经由网络N，从CAD装置1中取得记录有应描绘的图形的输入CAD数据D1(即，RIP展开成为检查对象的行程长度数据D2之前的数据)。

行程长度数据取得部32，经由网络N，从RIP装置2中取得用于图形描绘的行程长度数据D2(即，RIP展开记录有应描绘的图形的输入CAD数据D1而取得的数据)。

缺陷检测部33检测行程长度数据D2的缺陷。更具体地讲，比较输入CAD数据D1和行程长度数据D2，当存在差异区域时，检测出该差异区域而作为行程长度数据D2的缺陷区域。缺陷检测部33具有：转换处理部331、差异区域确定部332、多余缺陷区域确定部333及遗漏缺陷区域确定部334。

转换处理部331，对以相互不同的格式记载的输入CAD数据D1和行程长度数据D2中的至少一方执行规定的转换处理，并取得变为能够相互比较的数据格式的比较CAD数据F1和比较行程长度数据F2(参照图4)。转换处理部331具有比较输入CAD数据取得部3311和比较行程长度数据取得部3312。

比较输入CAD数据取得部3311将CAD数据取得部31所取得的输入CAD数据D1直接作为比较CAD数据来取得(参照图4)。

比较行程长度数据取得部3312对行程长度数据取得部32所取得的行程长度数据D2执行“图形化处理”，并将执行该处理中所取得的图形化行程长度数据D22作为比较行程长度数据F2来取得(参照图4)。

所谓“图形化处理”是将行程长度数据D2转换成用图形来记载的数据格式的处理，其中，该行程长度数据D2是由多个行程Li(i＝1，2，…)记载的数据。对图形化处理，参照图5进行说明。图5是用于说明图形化处理的示意图。

在图形化处理中，首先，将构成行程长度数据D2的多个行程Li的每一个图形化处理成长方形。即，将各行程Li以如下方式转换成长方形图形Ri(i＝1，2，…)，X方向上的长度等于行程Li的线段的长度，Y方向上的长度等于行程Li之间在Y方向上的距离。由此，行程长度数据D2从多个行程Li所记载的数据，转换成由多个长方形图形Ri记载的数据D21。

接着，将多个长方形图形Ri进行合并(计算多个长方形图形Ri的逻辑或(OR))，提取各长方形图形Ri的合并区域。由此，对利用行程长度数据D2所记述的区域进行图形化处理，从而能够取得图形化行程长度数据D22。

再次参照图3。差异区域确定部332对比较CAD数据F1和比较行程长度数据F2进行比较，检测出两个数据的差异。更具体地讲，进行比较CAD数据F1(即，这里为输入CAD数据D1)和比较行程长度数据F2(即，这里为图形化行程长度数据D22)的逻辑异或(XOR)运算，并取得确定了两个数据间的差异区域的差异区域数据D3(参照图4)。当两个数据之间存在差异区域时，检测出该差异区域而作为行程长度数据D2的缺陷区域。

多余缺陷区域确定部333进行差异区域数据D3和比较行程长度数据F2(即，图形化行程长度数据D22)的逻辑与(AND)运算，并取得确定了“多余缺陷区域Ae”的多余缺陷区域数据D3a(参照图4)。其中，所谓“多余缺陷区域Ae”是在RIP处理中多余地生成于本不应该生成的区域上的数据区域(即，在行程长度数据D2中，不存在输入CAD数据D1却生成有行程(run)数据的区域)。也就是说，多余缺陷区域确定部333在由差异区域数据D3规定的区域(即，输入CAD数据D1和行程长度数据D2之间的差异区域)中只提取存在于图形化行程长度数据D22中的区域，以此确定多余缺陷区域Ae。

遗漏缺陷区域确定部334进行差异区域数据D3和比较CAD数据F1(即，输入CAD数据D1)的逻辑与(AND)运算，取得确定了“遗漏缺陷区域Af”的遗漏缺陷区域数据D3b(参照图4)。其中，所谓“遗漏缺陷区域Af”，是RIP处理中，在本应生成的区域上未生成有数据的数据区域(即，在行程长度数据D2中，存在输入CAD数据D1却未生成有行程数据的区域)。也就是说，遗漏缺陷区域确定部334在由差异区域数据D3规定的区域中只提取存在于输入CAD数据D1中的区域，以此确定遗漏缺陷区域Af。

缺陷检测部33在行程长度数据D2中检测出缺陷时，缺陷修复部34对该行程长度数据D2执行缺陷修复处理，并取得修复行程长度数据D4。缺陷修复部34具有多余缺陷修复部341和遗漏缺陷修复部342。

检测出多余缺陷区域Ae时，多余缺陷修复部341修复该多余缺陷区域Ae。更具体地讲，如图6所示，根据多余缺陷区域确定部333所取得的多余缺陷区域数据D3a，确定行程长度数据D2中的多余缺陷区域Ae(例如，根据缺陷区域的顶点坐标值确定缺陷区域)，并执行删除存在于该区域中的行程数据的处理。由此，修复行程长度数据D2的多余缺陷。

检测出遗漏缺陷区域Af时，遗漏缺陷修复部342修复该遗漏缺陷区域Af。更具体地讲，如图6所示，根据遗漏缺陷区域确定部334所取得的遗漏缺陷区域数据D3b，确定行程长度数据D2中的遗漏缺陷区域Af，并对该区域再次执行RIP处理，从而生成新的行程数据。另外，在新生成的行程数据的附近存在行程数据时，将新生成的行程数据与该附近的行程数据结合。由此，取得已修复了行程长度数据D2的遗漏缺陷的修复行程长度数据D4，该修复行程长度数据D4。

描绘用行程长度数据取得部35取得作为应该用于描绘的行程长度数据的描绘用行程长度数据T。更具体地讲，缺陷检测部33在检查对象的行程长度数据D2中未检测出缺陷时，将该行程长度数据D2直接作为描绘用行程长度数据T来取得；缺陷检测部33在检查对象的行程长度数据D2中检测出缺陷时，将通过缺陷修复部34取得的修复行程长度数据D4作为描绘用行程长度数据T来取得。

描绘用行程长度数据发送部36向描绘装置4发送描绘用行程长度数据取得部35所取得的描绘用行程长度数据T。描绘装置4根据从描绘用行程长度数据发送部36接收到的描绘用行程长度数据T，执行描绘。

<2.处理动作>

<2a.图形描绘系统中的处理动作>

在这里，对于图形描绘系统100所执行的处理，参照图7进行说明。图7是表示从取得输入CAD数据D1到执行图形的描绘为止的处理流程的图。

首先，CAD装置1作成应曝光记录到基板上的电路图案的描绘数据，并将其作为输入CAD数据D1发送到RIP装置2中(步骤S1)。

接着，从CAD装置1取得了输入CAD数据D1的RIP装置2，RIP展开该取得的输入CAD数据D1，并输出行程长度数据D2(步骤S2)。

接着，缺陷检查装置3从RIP装置2中取得在步骤S2中被输出的行程长度数据D2，并检查该取得的行程长度数据D2的缺陷的基础上，取得描绘用行程长度数据T并向描绘装置4发送(步骤S3)。对于步骤3的具体的处理流程，后面进行详细叙述。

接着，从缺陷检查装置3中取得描绘用行程长度数据T的描绘装置4，根据该取得的描绘用行程长度数据T执行描绘处理(步骤S4)。即，在基板上曝光作为二维图像的电路图案。

以上是在图形描绘系统100中所执行的一系列的描绘处理。接着，对在缺陷检查装置3中所执行的处理(步骤S3)进行说明。

<2b.缺陷检查装置3中的处理动作>

对于缺陷检查装置3所执行的处理(即，缺陷检查处理及缺陷修复处理)，参照图8更具体地进行说明。图8是表示在缺陷检查装置3中所执行的缺陷检查处理及缺陷修复处理的流程的图。

首先，CAD数据取得部31从CAD装置1中取得输入CAD数据D1(步骤S11)。另外，行程长度数据取得部32从RIP装置2中取得行程长度数据D2(步骤S12)。

接着，缺陷检测部33检测出在步骤S12中所取得的行程长度数据D2的缺陷(步骤S13～步骤S16)。

即，首先，转换处理部331取得比较CAD数据F1和比较行程长度数据F2(步骤S13)，其中，使上述比较CAD数据F1和上述比较行程长度数据F2变成能够相互比较的数据格式。更具体地讲，比较输入CAD数据取得部3311将输入CAD数据D1(即，在步骤S11中CAD数据取得部31所取得的数据)直接作为比较CAD数据F1来取得。另外，比较行程长度数据取得部3312对行程长度数据D2(即，在步骤S12中行程长度数据取得部32所取得的数据)执行图形化处理，并将执行该处理所取得的图形化行程长度数据D22作为比较行程长度数据F2来取得。

接着，差异区域确定部332进行比较CAD数据F1和比较行程长度数据F2的逻辑异或运算，并取得确定了两个数据之间的差异区域的差异区域数据D3(步骤S14)。

接着，多余缺陷区域确定部333进行在步骤S14中所取得的差异区域数据D3和在步骤S13中所取得的比较行程长度数据F2(即，图形化行程长度数据D22)的逻辑与(AND)运算，并取得确定了多余缺陷区域Ae的多余缺陷区域数据D3a(步骤S15)。

接着，遗漏缺陷区域确定部334进行在步骤S14中所取得的差异区域数据D3和在步骤S13中所取得比较CAD数据F1(即，输入CAD数据D1)的逻辑与(AND)运算，并取得确定了遗漏缺陷区域Af的遗漏缺陷区域数据D3b(步骤S16)。

此外，步骤S15的处理和步骤S16的处理的执行顺序也可以相反。即，先进行取得遗漏缺陷区域数据D3b的处理和取得多余缺陷区域数据D3a的处理中的哪一个都可以。

接着，缺陷修复部34根据在步骤S14中所取得的差异区域数据D3，判断缺陷检测部33是否检测出行程长度数据D2的缺陷(即，是否检测出差异区域)(步骤S17)。

判断为在步骤S17中检测出了缺陷时，缺陷修复部34修复该被检测出的缺陷，并取得修复行程长度数据D4(步骤S18)。更具体地讲，首先，多余缺陷修复部341修复多余缺陷。即，根据在步骤S15中所取得的多余缺陷区域数据D3a，确定行程长度数据D2中的多余缺陷区域Ae，并删除存在于该区域中的行程数据，以此修复多余缺陷。接着，遗漏缺陷修复部342修复遗漏缺陷。即，根据在步骤S16中所取得的遗漏缺陷区域数据D3b，确定行程长度数据D2中的遗漏缺陷区域Af，并对该区域再次执行RIP处理而生成新的行程数据，以此修复遗漏缺陷。通过执行这些处理，取得修复行程长度数据D4。

接着，描绘用行程长度数据取得部35将在步骤S18中所取得的修复行程长度数据D4作为描绘用行程长度数据T来取得(步骤S19)。

另一方面，判断为在步骤S17中未检测出缺陷时，不执行步骤S18的处理，而进入到步骤S20的处理中。在步骤S20中，描绘用行程长度数据取得部35将在步骤S12中所取得的行程长度数据D2作为描绘用行程长度数据T来取得(步骤S20)。

当通过执行步骤S19或步骤20中的任一处理而取得描绘用行程长度数据T时，描绘用行程长度数据发送部36就向描绘装置4发送该取得的描绘用行程长度数据T(步骤S21)。描绘装置4根据描绘用行程长度数据T，执行描绘(图7的步骤S4)。以上是在缺陷检查装置3中所执行的一系列的处理。

<3.效果>

根据上述的实施方式，缺陷检查装置3通过比较RIP处理前后的数据，即，输入CAD数据D1和行程长度数据D2，检测出行程长度数据D2的缺陷，因此，在描绘装置4根据行程长度数据D2执行描绘之前(即，即使不执行描绘也)，能够检测出生成在行程长度数据D2中的缺陷。

另外，检测缺陷时，既不需要具有多个RIP处理功能部，也不需要多次执行RIP处理。因此，能够以简易结构，检测出生成在行程长度数据D2中的缺陷。

另外，在行程长度数据D2中检测出缺陷时，修复该缺陷并生成修复行程长度数据D4，因此，能够取得无缺陷的行程长度数据。

另外，在行程长度数据D2中检测出缺陷时，将修复行程长度数据D4作为描绘用行程长度数据T发送到描绘装置4中，描绘装置4根据该描绘用行程长度数据T执行描绘。因此，描绘装置4不会根据有缺陷的行程长度数据D2执行图案的描绘，从而不会产生浪费的基板。

另外，根据上述的实施方式，对CAD数据实施过修正处理的情况下，能够高效率地确认其修正内容。即，通过执行下面的处理，能够确认对CAD数据所实施的修正内容。

首先，从CAD装置1中取得“修正前的CAD数据”来作为输入CAD数据D1，并从RIP装置2中取得对“修正后的CAD数据”进行RIP展开而取得的行程长度数据(即，从修正后的CAD数据中生成的行程长度数据)来作为行程长度数据D2。然后，比较所取得的CAD数据D1和行程长度数据D2，检测出两个数据的差异，并取得差异区域数据D3。该差异区域数据D3中，应该将对CAD数据进行修正的部分作为差异区域来检测。即，如果观察所取得的差异区域数据D3，就能够有效地确认到对CAD数据是否进行了怎样的修正。另外，通过确认对CAD数据进行过修正的部分是否作为差异区域而正确地检测出，以此能够验证对CAD数据进行的修正是否正确地反映到所生成的行程长度数据中。

此外，理所当然地如果从CAD装置1中取得“修正后的CAD数据”作为输入CAD数据，并与从修正后的CAD数据中生成的行程长度数据进行比较，就能够验证根据修正后的CAD数据是否生成了正确的行程长度数据(即，检测出行程长度数据的缺陷)。

第二实施方式

<1.结构>

<1a.图形描绘系统的全体结构>

对本发明的第二实施方式的图形描绘系统进行说明。此外，下面对与第一实施方式不同的结构进行说明，并对相同的结构省略其说明。另外，对相同的结构适当使用在第一实施方式中所使用的附图标记。

第二实施方式的图形描绘系统与第一实施方式的图形描绘系统100相同，具有经由LAN等的网络N相互连接的，CAD装置1、RIP装置2、缺陷检查装置5、描绘装置4(参照图1)。CAD装置1、RIP装置2、描绘装置4的各结构与第一实施方式相同。缺陷检查装置5与第一实施方式的缺陷检查装置3一样，检查用于描绘的行程长度数据D2的缺陷。下面，对缺陷检查装置5的具体结构进行说明。

<1b.缺陷检查装置的结构>

缺陷检查装置5以与第一实施方式的缺陷检查装置3相同的硬件结构来实现(参照图2)。

对缺陷检查装置5的功能性结构，参照图9和图10进行说明。图9是表示缺陷检查装置5的功能性结构的示意图。图10是示意地表示缺陷检查装置5中执行的缺陷检测处理中所取得的各种的数据及其相关关系的图。

缺陷检查装置5具有CAD数据取得部51、行程长度数据取得部52、缺陷检测部53、缺陷修复部54、描绘用行程长度数据取得部55及描绘用行程长度数据发送部56。这些各部的功能，通过读取预先存储在ROM12等中的程序P或记录在记录介质M中的程序并在控制部11中执行来实现(参照图2)。CAD数据取得部51、行程长度数据取得部52、缺陷修复部54、描绘用行程长度数据取得部55、描绘用行程长度数据发送部56的各功能，分别与CAD数据取得部31、行程长度数据取得部32、缺陷修复部54、描绘用行程长度数据取得部35、描绘用行程长度数据发送部36相同。

缺陷检测部53检测出行程长度数据D2的缺陷。更具体地讲，比较输入CAD数据D1和行程长度数据D2，当存在差异区域时，检测出该差异区域而作为行程长度数据D2的缺陷区域。缺陷检测部53具有转换处理部531和差异区域确定部532。

转换处理部531对以相互不同的格式记载的输入CAD数据D1和行程长度数据D2两方执行规定的转换处理，并取得变为能够相互比较的数据格式的比较CAD数据G1和比较行程长度数据G2(参照图10)。转换处理部531具有比较输入CAD数据取得部5311和比较行程长度数据取得部5312。

比较输入CAD数据取得部5311对CAD数据取得部51所取得的输入CAD数据D1执行“CAD数据图像化处理”，并将执行该处理所取得的图像化CAD数据D101作为比较CAD数据G1来取得(参照图10)。

所谓“CAD数据图像化处理”，如图11A所示，是将输入CAD数据D1转换成用图像来记载的数据格式的处理，其中，该输入CAD数据D1为用图形来记载的数据。在CAD数据图像化处理中，对包含在输入CAD数据D1中的多角形图形数据的每一个，进行涂敷该多角形图形(polygon)的内部的处理。由此，生成其轮廓线成为图形数据所规定的多角形图形的图像。即，图形数据被转换成图像数据。对包含在输入CAD数据D1中的全部图形数据执行该处理，由此取得图像化CAD数据D101。

比较行程长度数据取得部5312，对行程长度数据取得部52所取得的行程长度数据D2执行“行程长度图像化处理”，并将执行该处理所取得的图像化行程长度数据D202作为比较行程长度数据G2来取得(参照图10)。

所谓“行程长度图像化处理”，如图11B所示，是将作为用多个行程Li(i＝1，2，…)记载的数据的行程长度数据D2转换成用图像来记载的数据格式的处理。更具体地讲，是根据行程长度数据D2具有的行程Li的坐标值信息，涂敷对应的像素的处理。在行程长度图像化处理中，首先，根据构成行程长度数据D2的多个行程Li(i＝1，2，…)的每一个行程，规定长方形区域Ri(i＝1，2，…)(D201)，并涂敷与该长方形区域Ri(i＝1，2，…)的每一个区域相对应的像素(D202)。由此，行程长度数据D2，从用多个行程Li来记载的数据转换成用像素集合来记载的数据D202。即，取得了像素化行程长度数据D202。

再次参照图9。差异区域确定部532比较比较CAD数据F1和比较行程长度数据F2，并检测出两个数据之间的差异。更具体地讲，以像素单位比较比较CAD数据G1(即，在这里为图像化CAD数据D101)和比较行程长度数据G2(即，在这里为图像化行程长度数据D202)(更具体地讲，对两个数据比较有无同一个坐标位置的像素)，并取得确定了两个数据之间的差异区域(即，只在任一方的数据中存在像素的区域)的差异区域数据D3。

特别是，差异区域确定部532将只在图像化行程长度数据D202中存在像素的区域，作为多余缺陷区域Ae来提取，从而取得确定了多余缺陷区域Ae的多余缺陷区域数据D3a。另外，将只在图像化CAD数据D101中存在像素的区域，作为遗漏缺陷区域Af来提取，并取得确定了遗漏缺陷区域Af的遗漏缺陷区域数据D3b。

<2.处理动作>

<2a.图形描绘系统中的处理动作>

第二实施方式的图形描绘系统所执行的处理的整体流程与第一实施方式的图形描绘系统100所执行的处理流程(参照图7)相同。

<2b.缺陷检查装置5中的处理动作>

对缺陷检查装置5所执行的处理(即，缺陷检查处理即缺陷修复处理)进行说明。缺陷检查装置5所执行的处理流程与第一实施方式的缺陷检查装置3所执行的处理流程(参照图8)大致相同，因此，下面参照图8说明与其不同的点。

首先，CAD数据取得部51从CAD装置1中取得输入CAD数据D1，行程长度取得部52从RIP装置2中取得行程长度数据D2(参照步骤S11～S12)。

接着，缺陷检测部53检测出在前面的工序(参照步骤S12)中所取得的行程长度数据D2的缺陷(参照步骤S13～S16)。

即，首先，转换处理部531取得变成相互能够比较的数据格式的比较CAD数据G1和比较行程长度数据G2(参照步骤S13)。更具体地讲，比较输入CAD数据取得部5311对输入CAD数据D1(即，在前面的工序(参照步骤S11)中CAD数据取得部51所取得的数据)执行CAD数据图像化处理，并将执行该处理而取得的图像化CAD数据D101作为比较CAD数据G1来取得。另外，比较行程长度数据取得部5312对行程长度数据D2(即，在前面的工序(参照步骤S12)中行程长度数据取得部52所取得的数据)执行行程长度图像化处理，并将执行该处理而取得的图像化行程长度数据D202作为比较行程长度数据G2来取得。

接着，差异区域确定部532对比较CAD数据G1和比较行程长度数据G2的像素进行比较，并取得确定了两个数据之间的差异区域的差异区域数据D3(参照步骤S14)。

另外，差异区域确定部532从差异区域中取得多余缺陷区域数据D3a(参照步骤S15)，该多余缺陷区域数据D3a提取了由多余像素构成的区域(多余缺陷区域Ae)。

另外，从差异区域中取得遗漏缺陷区域数据D3b(参照步骤S16)，该遗漏缺陷区域数据D3b提取了由遗漏像素构成的区域(遗漏缺陷区域Af)。

接着，缺陷修复部54根据在前面的工序(参照步骤S14)中所取得的差异区域数据D3，判断缺陷检测部53是否检测出了行程长度数据D2的缺陷(即，是否检测出差异区域)(参照步骤S17)。

在这里判断为检测出缺陷时，缺陷修复部34修复该检测出的缺陷并取得修复行程长度数据D4(参照步骤S18)，描绘用行程长度数据取得部55将该取得的修复行程长度数据D4作为描绘用行程长度数据T来取得(参照步骤S19)。然后，描绘用行程长度数据发送部56向描绘装置4发送该取得的描绘用行程长度数据T(参照步骤S21)。

另一方面，判断为未检测出缺陷时，描绘用行程长度数据取得部55将前面的工序(参照步骤S12)中所取得的行程长度数据D2作为描绘用行程长度数据T来取得(参照步骤S20)。然后，描绘用行程长度数据发送部56向描绘装置4发送该取得的描绘用行程长度数据T(参照步骤S21)。

第三实施方式

<1.结构>

<1a.图形描绘系统的整体结构>

对本发明的第三实施方式的图形描绘系统进行说明。此外，下面对与第一实施方式不同的结构进行说明，对相同的构成省略其说明。另外，对相同的结构适当使用在第一实施方式中所使用的附图标记。

第三实施方式的图形描绘系统与第一实施方式的图形描绘系统100一样，具有通过LAN等的网络N相互连接的、CAD装置1、RIP装置2、缺陷检查装置6、描绘装置4(参照图1)。CAD装置1、RIP装置2、描绘装置4的各结构与第一实施方式相同。缺陷检查装置6与第一实施方式的缺陷检查装置3一样，检查用于描绘的行程长度数据D2的缺陷。下面，对缺陷检查装置6的具体的结构进行说明。

<1b.缺陷检查装置的结构>

缺陷检查装置6通过与第一实施方式的缺陷检查装置3相同的硬件结构来实现的(参照图2)。

对缺陷检查装置6的功能性结构，参照图12及图13进行说明。图12是表示缺陷检查装置6的功能性结构的示意图。图13是示意地表示从在缺陷检查装置6中执行的缺陷检测处理中取得的各种数据及其相关关系的图。

缺陷检查装置6具有：CAD数据取得部61、行程长度数据取得部62、缺陷检测部63、缺陷修复部64、描绘用行程长度数据取得部65及描绘用行程长度数据发送部66。这些各部功能通过以下方式来实现，即，读取预先存储在ROM12等中的程序P或记录在记录介质M中的程序P，并在控制部11中执行上述程序P(参照图2)。CAD数据取得部61、行程长度数据取得部62、缺陷修复部64、描绘用行程长度数据取得部65及描绘用行程长度数据发送部66的各功能分别与CAD数据取得部31、行程长度数据取得部32、缺陷修复部34、描绘用行程长度数据取得部35及描绘用行程长度数据发送部36分别相同。

缺陷检测部63检测行程长度数据D2的缺陷。更具体地讲，比较输入CAD数据D1和行程长度数据D2，当存在差异区域时，检测出该差异区域而作为行程长度数据D2的缺陷区域。缺陷检测部63具有：转换处理部631、差异区域确定部632。

转换处理部631，对以相互不同的格式记载的输入CAD数据D1和行程长度数据D2的至少一方(在这里为输入CAD数据D1)执行规定的转换处理，并取得变成能够相互比较的数据格式的比较CAD数据H1和比较行程长度数据H2(参照图13)。转换处理部631具有比较输入CAD数据取得部6311和比较行程长度数据取得部6312。

比较输入CAD数据取得部6311对CAD数据取得部61所取得的输入CAD数据D1执行“坐标值化处理”，并将执行该处理所取得的坐标值化CAD数据D11作为比较CAD数据H1来取得(参照图13)。

所谓“坐标值化处理”，如图14所示，是将作为由图形记载的数据的输入CAD数据D1转换成由坐标值的集合记载的数据格式的处理。在坐标值化处理中，首先，在输入CAD数据D1中规定平行于扫描方向(或，副扫描方向)的多条直线Ni(i＝1，2，…)(D10)。然后，取得各直线Ni与包含在输入CAD数据D1中的多角形图形(polygon)之间的交叉点的坐标信息。其中，直线Ni(i＝1，2，…)与各多角形图形在两个点上相交，在这里，将这两个点的各坐标值作为一对的坐标值组(以下表示为“坐标值组Mi(i＝1，2，…)”)。另外，在坐标值组Mi中将X坐标值小的一方的坐标值作为起点坐标值Msi(i＝1，2，…)，将另一方的坐标值作为终点坐标值Mei(i＝1，2，…)。由此，取得坐标值化CAD数据D11，该坐标值化CAD数据D11根据多个坐标值组Mi(起点坐标值Msi及终点坐标值Mei)(i＝1，2，…)，规定包含在CAD数据D1中的各自的多角形图形。

再次参照图12。比较行程长度数据取得部6312将行程长度数据取得部52所取得的行程长度数据D2，直接作为比较行程长度数据H2来取得(参照图13)。

差异区域确定部632对比较CAD数据H1和比较行程长度数据H2进行比较，并检测出两个数据间的差异。更具体地讲，将包含在比较行程长度数据H2(即，在这里为行程长度数据D2)中的多个行程Li(i＝1，2，…)的每一个行程与包含在比较CAD数据H1(即，在这里为坐标值化CAD数据D11)中的多个坐标值组Mi(i＝1，2，…)分别进行比较(更具体地讲，通过比较各行程Li的起点位置和与该行程Li相对应的坐标值组Mi的起点坐标值Msi，还有，通过比较各行程Li的终点位置和与该行程Li相对应的坐标值组Mi的终点坐标值Mei)，以此确定两个数据之间的差异区域(多余缺陷区域Ae或遗漏缺陷区域Af)，并作为差异区域数据D3来取得。其中，包含在坐标值化CAD数据D11中的坐标值组Mi分别和包含在行程长度数据D2中的行程Li(i＝1，2，…)的起点及终点的位置是使用共用坐标系(例如，将CAD数据的起点坐标为共用的基准的共用的坐标系)来表示。

对差异区域确定部632确定差异区域(多余曲线区域Ae及遗漏缺陷区域Af)的处理，参照图15～图17进行具体说明。图15及图16是表示差异区域确定部632所执行的处理流程的图。图17是示意地例示差异区域的图。

[生成在-X侧的差异区域的确定]

差异区域确定部632比较包含在比较行程长度数据H2中的行程Li(i＝1，2，…)的起点的位置和包含在比较CAD数据H1中的坐标值组Mi(i＝1，2，…)的起点坐标值Msi，以此确定生成在行程长度数据H2的-X侧(更具体地讲，应描绘的多角形图形的-X侧)的差异区域。

对于确定生成在-X侧的差异区域的处理，参照图15、图17进行说明。差异区域确定部632，首先，选择包含在比较行程长度数据H2中的行程Li(i＝1，2，…)之中的一个行程，并取得该行程(表示为“行程Lt”)的起点的坐标值(步骤S31)。

接着，从包含在比较CAD数据H1中的坐标值组Mi(i＝1，2，…)中取得与步骤S31中所取得的行程Lt相对应的坐标值组Mi(表示为“坐标值组Mt”)的起点坐标值Msi(表示为“起点坐标值Mst”)(步骤S32)。所谓“对应的坐标值组”是指线段区域和行程Lt原本(即，如果正确生成行程Lt)具有一致关系的坐标值组，上述线段区域是连接包含在该坐标值组Mi中的起点坐标值Msi和终点坐标值Mei的区域。例如，作为“对应的坐标值组Mt”，取得如下的坐标值组，即，与行程Lt同样来自多角形图形，并且具有与行程Lt相等(或最接近)的Y坐标值。

接着，判断在步骤S31中从比较行程长度数据H2中取得的行程Lt的起点坐标值的X成分，和对应的起点坐标值Mst(在步骤S32中从比较CAD数据H1中取得的起点坐标值Mst)的X成分是否一致(步骤S33)。

在步骤S33中，判断为两个值一致时，判断出行程Lt不是在-X侧构成差异区域的行程(步骤S34)(例如，图17的行程L1和起点坐标值Ms1、行程L2和起点坐标值Ms2)。

另一方面，在步骤S33中判断为两个值不一致时，判断出行程Lt是在-X侧构成差异区域的行程。这时，通过判断从比较行程长度数据H2中所取得的行程Lt的起点坐标值的X成分是否大于对应的起点坐标值Mst的X成分，以此判断行程Lt是否为构成遗漏缺陷区域Af或多余缺陷区域Ae中的任一个区域的行程(步骤S35)。

即，在步骤S35中，判断为行程Lt的起点坐标值的X成分大于对应的起点坐标值Mst的X成分时，判断行程Lt为在-X侧构成遗漏缺陷区域Af的行程(步骤S36)(例如，图17的行程L22和起点坐标值Ms22、行程L23和起点坐标值Ms23)。这时，差异区域确定部632将线段区域作为遗漏缺陷区域Af来提取，该线段区域将起点坐标值Mst作为起点位置并将行程Lt的起点的坐标值为终点位置。

另外，在步骤S35中，判断为行程Lt的起点坐标值的X成分小于对应的起点坐标值Mst的X成分时，判断行程Lt为在-X侧形成多余缺陷区域Ae的行程(步骤S37)。这时，差异区域确定部632将线段区域作为多余缺陷区域Ae来提取，该线段区域将行程Lt的起点的坐标值为起点位置并将起点坐标值Mst作为终点位置。

对包含在比较行程长度数据H2中的所有的行程Li(i＝1，2，…)执行以上的步骤S31～步骤S37的处理。若对所有的行程执行了步骤S31～步骤S37的处理，就结束处理(步骤S38)。

[生成在+X侧的差异区域的确定]

差异区域确定部632比较包含在比较行程长度数据H2中的行程Li(i＝1，2，…)的终点位置和包含在比较CAD数据H1中的坐标值组Mi(i＝1，2，…)的终点坐标值Mei，以此确定生成在行程长度数据H2的+X侧(更具体地讲，应描绘的多角形图形的+X侧)的差异区域。

参照图16及图17说明确定生成在+X侧的差异区域的处理。差异区域确定部632，首先，选择包含在比较行程长度H2中的行程Li(i＝1，2，…)之中的一个行程，并取得该行程(表示为“行程Lt”)的终点的坐标值(步骤S41)。

接着，从包含在比较CAD数据H1中的坐标值组Mi(i＝1，2，…)中取得与在步骤S41中所取得的行程Lt对应的坐标值组Mi(表示为“坐标值组Mt”)的终点坐标值Mei(表示为“终点坐标值Met”)(步骤S42)。

接着，判断在步骤S41中从比较行程长度数据H2中所取得的行程Lt的终点坐标值的X成分，和对应的终点坐标值Met(在步骤S42中从比较CAD数据H1中所取得的终点坐标值Met)的X成分是否一致(步骤S43)。

在步骤S43中判断为两个值一致时，判断行程Lt不是在+X侧构成差异区域的行程(步骤S44)(例如，图17的行程L1和终点坐标值Me1，行程L22和终点坐标值Me22)。

另一方面，在步骤S43中，判断为两个值不一致时，判断行程Lt不是在+X侧构成差异区域的行程。这时，判断从比较行程长度数据H2中取得的行程Lt的终点坐标值的X成分是否大于对应的终点坐标值Met的X成分，以此判断行程Lt是否为构成遗漏缺陷区域Af或多余缺陷区域Ae中任一个区域的行程(步骤S45)。

即，在步骤S45中，判断为行程Lt的终点坐标值的X成分大于对应的终点坐标值Met的X成分时，判断行程Lt是在+X侧构成多余缺陷区域Ae的行程(步骤S46)(例如，图17的行程L2和终点坐标值Me2，行程L3和终点坐标值Me3)。这时，差异区域确定部632作为多余缺陷区域提取线段区域，该线段区域是将终点坐标值Met作为起点位置并将行程Lt的终点的坐标值作为终点位置的区域。

另一方面，在步骤S45中，判断为行程Lt的终点坐标值的X成分小于对应的终点坐标值Met的X成分时，判断行程Lt为在+X侧构成遗漏缺陷区域Af的行程(步骤S47)。这时，差异区域确定部632提取线段区域作为遗漏缺陷区域Af，该线段区域是将行程Lt的终点坐标值作为起点位置并将终点坐标值Met作为终点位置的区域。

对包含在比较行程长度数据H2中的所有的行程Li(i＝1，2，…)执行以上的步骤S41～步骤S47的处理。若对所有的行程执行了步骤S41～步骤S47的处理，就结束处理(步骤S48)。

<2.处理动作>

<2a.图形描绘系统中的处理动作>

第三实施方式的图形描绘系统所执行的处理的整个流程与第一实施方式的图形描绘系统100所执行的处理流程(参照图7)相同。

<2b.在缺陷检查装置3中的处理动作>

对缺陷检查装置6所执行的处理(即，缺陷检查处理及缺陷修复处理)进行说明。缺陷检查装置6所执行的处理流程与第一实施方式的缺陷检查装置3所执行的处理流程(参照图8)大致相同，因此，下面参照图8对其不同点进行说明。

首先，CAD数据取得部61从CAD装置1中取得输入CAD数据D1，而且行程长度数据取得部62从RIP装置2中取得行程长度数据D2(参照步骤S11～S12)。

接着，缺陷检测部63检测出在前面的工序(参照步骤S12)中所取得的行程长度数据D2的缺陷(参照步骤S13～步骤S16)。

即，首先，转换处理部631取得变成能够相互比较的数据格式的比较CAD数据H1和比较行程长度数据H2(参照步骤S13)。更具体地讲，比较输入CAD数据取得部6311对输入CAD数据D1(即，在前面的工序(参照步骤S11)中CAD数据取得部61所取得的数据)执行坐标化处理，并将执行该处理所取得的坐标值化CAD数据D11作为比较CAD数据H1来取得。另外，比较行程长度数据取得部6312，将行程长度数据D2(即，在前面的工序(参照步骤S12)中行程长度数据取得部52所取得的数据)作为比较行程长度数据H2来取得。

接着，差异区域确定部632比较包含在比较行程长度数据H2中的行程Li(i＝1，2，…)的每一个行程，与包含在比较CAD数据H1中的坐标值组Mi(i＝1，2，…)的每一个坐标值组，并取得确定了两个数据之间的差异区域(多余缺陷区域Ae及遗漏缺陷区域Af)的差异区域数据D3(参照图15及图16)(相当于步骤S14～步骤S16的处理)。

接着，缺陷修复部64根据在前面的工序中所取得的差异区域数据D3，判断缺陷检测部63是否检测出行程长度数据D2的缺陷(即，是否检测出差异区域)(参照步骤S17)。

在这里，判断为检测出缺陷时，缺陷修复部64修复该检测出的缺陷，并取得修复行程长度数据D4(步骤S18)，描绘用行程长度数据取得部65将该所取得的修复行程长度数据D4作为描绘用行程长度数据T来取得(参照步骤S19)。然后，描绘用行程长度数据发送部66向描绘装置4发送该取得的描绘用行程长度数据T(参照步骤S21)。

另一方面，判断为未检测出缺陷时，描绘用行程长度数据取得部65将在前面的工序(参照步骤S12)中取得的行程长度数据D2作为描绘用行程长度数据T来取得(参照步骤S20)。然后，描绘用行程长度数据发送部66向描绘装置4发送该取得的描绘用行程长度数据T(参照步骤S21)。

<3.效果>

根据上述的实施方式，比较输入CAD数据取得部6311通过对输入CAD数据D1进行“坐标化处理”，来将其换成由坐标值的集合(更具体地讲，由起点坐标值和终点坐标值构成的坐标值组的集合)记载的数据(坐标值化CAD数据D11)。通过比较该坐标值化CAD数据D11与行程长度数据D2(即，记载为线段集合的数据)，能够确定生成在行程长度数据D2中的缺陷区域。

另外，RIP处理是从多角形图形中取得线段集合的处理。在RIP处理中有可能发生以下情况，即，在将与长度有关的信息进行线段化的处理中发生错误或因解析度等的参数在解析中产生偏差，这些成为行程长度数据D2的缺陷。另一方面，因为坐标值化处理是从多角形图形中取得坐标值的集合的处理，所以在通过坐标化处理取得的坐标值化CAD数据D11中不会发生这种缺陷。因此，通过比较坐标值化CAD数据D11和行程长度数据D2，就能够准确地检测出生成在行程长度数据D2中的缺陷。

[第一变形例]

上述的第一实施方式的缺陷检测部33以如下方式进行运算，即，多余缺陷区域确定部333和遗漏缺陷区域确定部334分别进行差异区域数据D3和比较行程长度数据F2之间的逻辑与、和差异区域数据D3和比较CAD数据F1之间的逻辑与的运算，以此取得分别确定多余缺陷区域Ae和遗漏缺陷区域Af的多余缺陷区域数据D3a和遗漏缺陷区域数据D3b(参照图3、图4)，但也可以在以下的方式中取得各数据S3a、D3b。

该变形例的缺陷检测部8，如图18所示，具有转换处理部81、第一差分区域确定部82、多余缺陷区域确定部83、第二差分区域确定部84及遗漏缺陷区域确定部85。转换处理部81与第一实施方式的转换处理部331相同。

第一差分区域确定部82，如图19A所示，从由比较行程长度数据F2(即，图形化行程长度数据D22)所规定的图形区域中减去由比较CAD数据F1(即，输入CAD数据D1)所规定的图形区域(F2-F1)，并取得第一差分区域数据Ka。在第一差分区域数据Ka中，在存在于比较行程长度数据F2中却未存在于比较CAD数据F1中的区域的值为“正”(正区域S1)。另外，在未存于比较行程长度数据F2中却存在于比较CAD数据F1中的区域的值为“负”(负区域S2)，在比较CAD数据F1和比较行程长度数据F2两方中都存在的区域的值为“0”。

多余缺陷区域确定部83，如图19A所示，提取在第一差分区域数据Ka中“正”的值的区域，以此取得确定了多余缺陷区域Ae的多余缺陷区域数据D3a。

第二差分区域确定部84，如图19B所示，从由比较CAD数据F1(即，输入CAD数据D1)规定的图形区域中减去由比较行程长度数据F2(即，图形化行程长度数据D22)规定的图形区域(F1-F2)，取得第二差分区域数据Kb。在第二差分区域数据Kb中，存在于比较CAD数据F1中却未存在于比较行程长度数据F2中的区域的值为“正”(正区域S1)。另外，未存在于比较CAD数据F1中却存在于比较行程长度数据F2中的区域的值为“负”(负区域S2)，在比较CAD数据F1和比较行程长度数据F2两方中都存在的区域的值为“0”。

遗漏缺陷区域确定部85，如图19B所示，提取在第二差分区域数据Kb中“正”的值的区域，以此取得确定了遗漏缺陷区域Af的遗漏缺陷区域数据D3b。

在该变形例中，检测出缺陷的处理动作(相当于图8的步骤S13～步骤S16的处理)如下进行。

即，首先，转换处理部81将输入CAD数据D1作为比较CAD数据F1来取得，并将图形化行程长度数据D22作为比较行程长度数据F2来取得。

接着，第一差分区域确定部82从由比较行程长度数据F2规定的图形区域中减去由比较CAD数据F1规定的图形区域，取得第一差分区域数据Ka。

接着，多余缺陷区域确定部83通过提取在第一差分区域数据Ka中“正”的值的区域，取得确定了多余缺陷区域Ae的多余缺陷区域数据D3a。

接着，第二差分区域确定部84从由比较CAD数据F1规定的图形区域中减去由比较行程长度数据F2规定的图形区域，取得第二差分区域数据Kb。

接着，遗漏缺陷区域确定部85通过提取在第二差分区域数据Kb中“正”的值的区域，取得确定了遗漏缺陷区域Af的遗漏缺陷区域数据D3b。

另外，先执行取得遗漏缺陷区域数据D3b的处理和取得多余缺陷区域数据D3a的处理中的哪一个都可以。

在上述变形例中，不是进行两个数据的逻辑与的运算，而是进行差分的运算，以此能够确定多余缺陷区域及遗漏缺陷区域。另外，根据比较CAD数据F1和比较行程长度数据F2之间的差，能够直接取得多余缺陷区域数据D3a及遗漏缺陷区域数据D3b。因此，不需要象第一实施方式那样生成差异区域数据D3。

另外，在上述的变形例中，取得第二差分区域数据Kb并提取其“正”的值的区域，以此确定遗漏缺陷区域Af，但也可以通过提取第一差分区域数据Ka的“负”的值的区域来确定遗漏缺陷区域Af。另外，在上述的变形例中，通过取得第一差分区域数据Ka并提取其“正”的值得区域来确定多余缺陷区域Ae，但也可以通过提取第二差分区域数据Kb的“负”的值的区域来确定多余缺陷区域Ae。即，取得第一差分区域数据Ka或第二差分区域数据Kb的任一方，并分别提取该取得的数据的“正”的值的区域和“负”的值的区域，以此确定多余缺陷区域Ae和遗漏缺陷区域Af。

[第二变形例]

也可以用以下的方式取得多余缺陷数据D3a和遗漏缺陷区域数据D3b。该变形例的缺陷检测部9，如图20所示，具有：转换处理部91、差异区域确定部92、第一差异差分区域确定部93、多余缺陷区域确定部94、第二差异差分区域确定部95及遗漏缺陷区域确定部96。转换处理部91及差异区域确定部92分别与第一实施方式的转换处理部331及差异区域确定部332相同。

第一差异差分区域确定部93，如图21A所示，从由差异区域数据D3规定的图形区域中减去由比较CAD数据F1(即，输入CAD数据D1)规定的图形区域(D3-F1)，并取得第一差异差分区域数据La。在第一差分区域数据La中，存在于差异区域数据D3中却未存在于比较CAD数据F1中的区域的值为“正”(正区域S1)。另外，未存在于差异区域数据D3中却存在于比较CAD数据F1中的区域的值为“负”(负区域S2)，在差异区域数据D3和比较CAD数据F1的两方中都存在的区域的值为“0”。

多余缺陷区域确定部94，如图21A所示，在第一差异差分区域数据La中提取“正”的值的区域，以此取得确定了多余缺陷区域Ae的多余缺陷区域数据D3a。

第二差异差分区域确定部95，如图21B所示，从由差异区域数据D3规定的图形区域中减去由比较行程长度数据F2(即、图形化行程长度数据D22)规定的图形区域(D3-F2)，取得第二差异差分区域数据Lb。在第二差分区域数据Lb中，存在于差异区域数据D3中却未存在于比较行程长度数据F2中的区域的值为“正”(正区域S1)。另外，未存在于差异区域数据D3中却存在于比较行程长度数据F2中的区域的值为“负”(负区域S2)，在差异区域数据D3和比较行程长度数据F2两方中都存在的区域的值为“0”。

遗漏缺陷区域确定部96，如图21B所示，通过提取在第二差异差分区域Lb中“正”的值的区域，以此取得确定了遗漏缺陷区域Af的遗漏缺陷区域数据D3b。

在该变形例中，检测缺陷的处理动作(相当于图8的步骤S13～步骤S16的处理)以如下的方式进行。

即，首先，转换处理部91将输入CAD数据D1作为比较CAD数据F1来取得，并将图形化行程长度数据D22作为比较行程长度数据F2来取得。

接着，差异区域确定部92进行比较CAD数据F1和比较行程长度数据F2的逻辑异或运算，并取得确定了两个数据之间的差异区域的差异区域数据D3。

接着，第一差异差分区域确定部93从由差异区域数据D3规定的图形区域中减去由比较CAD数据F1规定的图形区域，取得第一差异差分区域数据La。

接着，多余缺陷区域确定部94通过在第一差异差分区域数据La中提取“正”的值的区域，以此取得确定了多余缺陷区域Ae的多余缺陷区域数据D3a。

接着，第二差异差分区域确定部95从由差异区域数据D3规定的图形区域中减去由比较行程长度数据F2规定的图形区域，并取得第二差异差分区域数据Lb。

接着，遗漏缺陷区域确定部96通过在第二差异差分区域数据Lb中提取“正”的值的区域，以此取得确定了遗漏缺陷区域Af的遗漏缺陷区域数据D3b。

另外，先进行取得遗漏缺陷区域数据D3b的处理和取得多余缺陷区域数据D3a的处理中的哪一个都可以。

在上述的变形例中，不进行两个数据的逻辑与的运算，而是进行差分运算，以此能够确定多余缺陷区域及遗漏缺陷区域。

[其他变形例]

在上述的各实施方式中，缺陷检查装置3、5、6作为独立于描绘装置4的装置来构成，但缺陷检查装置3、5、6的功能结构(参照图3及图9)也可以在描绘装置4中实现。即，也可以将描绘装置4作为与缺陷检查装置3(或缺陷检查装置5、或缺陷检查装置6)成为一体的装置来构成。

在图22中显示了该变形例的描绘装置7的构成。如图22所示，描绘装置7具有在输出介质上描绘图形的功能部(描绘处理部71)的同时，在上述的各实施方式中的缺陷检查装置3(或缺陷检查装置5、6)所具有的各部(即，CAD数据取得部31(51)(61)、行程长度数据取得部32(52)(62)、缺陷检测部33(53)(63)、缺陷修复部34(54)(64)、描绘用行程长度数据取得部35(55)(65))的功能是通过描绘装置7所具有的硬件结构来实现的。在这里，描绘处理部71取得描绘用行程长度数据取得部35(55)(65)所取得的描绘用行程长度数据T，并根据将该所取得的描绘用行程长度数据T执行描绘处理。

另外，在上述各实施方式中，关于行程长度数据D2的遗漏缺陷区域Af，以如下方式构成(图8的步骤S26)，即，通过对该区域执行再次RIP处理并生成行程数据来修复遗漏缺陷，但也可以是如下的构成，即，不通过RIP处理，直接在该遗漏缺陷区域Af中生成新的行程数据。例如，通过强制延伸存在于缺陷区域附近的行程数据，以此在遗漏缺陷区域Af中生成行程长度数据。

另外，缺陷区域的修复也可以是以如下的方式进行修复的结构，即，通过接收操作员的输入操作来进行修复。例如，也可以以如下方式构成，即，将缺陷区域提示给操作员的画面(例如，在画面上显示行程长度数据D2的整体，并将行程长度数据D2中的多余缺陷区域Ae以红色，将遗漏缺陷区域Af以蓝色来显示的显示的画面)显示在显示部16中的同时，接收来自操作员的指示输入，上述指示是对各缺陷区域生成行程数据的指示或删除行程数据的指示，并根据上述指示输入修复缺陷区域。

另外，在上述各实施方式中，记载了应描绘的图形的数据是CAD数据，但也可以是处理图像或文本文件的文档文件。这时，行程长度数据D2是通过RIP处理取得该文档文件的数据。

另外，在上述的各实施方式中，应描绘的图形是电路图案，但应描绘的图形也可以不是电路图案。

另外，在上述的各实施方式中，缺陷检查装置3、5、6是通过经由网络N连接的CAD装置1及RIP装置2分别来取得输入CAD数据D1和行程长度数据D2，但这些数据的取得方法不仅限于此。例如，通过从存储这些数据的记录介质M中读取来取得也可以。

另外，在上述的各实施方式中，根据描绘用行程长度数据T执行描绘的装置(描绘装置4)由在基板上描绘电路图案的直接描绘装置来构成，但执行描绘的装置不仅限于这些直接描绘装置，也可以通过如下装置构成，即，采用根据行程长度数据在输出介质上描绘图形的描绘方式的各种的装置。例如，根据行程长度数据，在纸张等的记录介质上描绘图形的印刷装置来构成也可以。

另外，在上述的各实施的方式中，缺陷检查装置3、5、6具有的各功能部是通过由计算机执行规定的程序P来实现的，但也可以通过专用的硬件来实现。

Claims (21)

1.一种缺陷检查装置，检查用于描绘图像的行程长度数据的缺陷，其特征在于，具有：

输入数据取得装置，其取得记载有应描绘的图形的输入数据；

行程长度数据取得装置，其取得通过对上述输入数据进行RIP处理而取得的上述行程长度数据；

缺陷检测装置，其比较上述输入数据和上述行程长度数据，当存在差异区域时，检测出该差异区域而作为上述行程长度数据的缺陷区域。

2.如权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，还具有修复装置，该修复装置在上述行程长度数据中检测出上述缺陷区域时，修复该缺陷区域并取得修复行程长度数据。

3.如权利要求2所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述缺陷检测装置具有数据格式转换装置，该数据格式转换装置对上述输入数据和上述行程长度数据中的至少一种数据执行规定的转换处理，以使两种数据变成能够相互比较的数据格式。

4.如权利要求3所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述数据格式转换装置具有图形化装置，该图形化装置对上述行程长度数据执行图形化处理，以此取得对上述行程长度数据实施过图形化处理的图形化行程长度数据；

上述缺陷检测装置还具有差异区域确定装置，该差异区域确定装置通过对上述图形化行程长度数据和上述输入数据进行逻辑异或运算，取得已确定上述差异区域的差异区域数据。

5.如权利要求4所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述缺陷检测装置还具有多余缺陷区域确定装置，该多余缺陷区域确定装置通过对上述差异区域数据和上述图形化行程长度数据进行逻辑与运算，确定多余缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，不存在上述输入数据却生成有行程数据的区域。

6.如权利要求4所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述缺陷检测装置还具有遗漏缺陷区域确定装置，该遗漏缺陷区域确定装置通过对上述差异区域数据和上述输入数据进行逻辑与运算，确定遗漏缺陷区域，其中，该遗漏缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，存在上述输入数据却未生成有行程数据的区域。

7.如权利要求4所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述缺陷检测装置还具有：

第一差异差分区域取得装置，其从根据上述差异区域数据来规定的图形区域中减去根据上述输入数据来规定的图形区域，以此取得第一差异差分区域数据；

多余缺陷区域确定装置，其通过提取上述第一差异差分区域数据中的正值的区域，确定多余缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，不存在上述输入数据却生成有行程数据的区域。

8.如权利要求4所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述缺陷检测装置还具有：

第二差异差分区域取得装置，其从根据上述差异区域数据来规定的图形区域中减去根据上述图形化行程长度数据来规定的图形区域，以此取得第二差异差分区域数据；

遗漏缺陷区域确定装置，其通过提取上述第二差异差分区域数据中的正值的区域，确定多余缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，存在上述输入数据却未生成有行程数据的区域。

9.如权利要求3所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述数据格式转换装置还具有图形化装置，该图形化装置对上述行程长度数据执行图形化处理，以此取得对上述行程长度数据实施过图形化处理的图形化行程长度数据；

上述缺陷检测装置还具有：

第一差分区域取得装置，其从根据上述图形化行程长度数据来规定的图形区域中减去根据上述输入数据来规定的图形区域，以此取得第一差分区域数据，

多余缺陷区域确定装置，其通过提取上述第一差分区域数据的正值的区域，确定多余缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，不存在上述输入数据却生成有行程数据的区域。

10.如权利要求3所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述数据格式转换装置具有图形化装置，该图形化装置对上述行程长度数据执行图形化处理，以此取得对上述行程长度数据实施过图形化处理的图形化行程长度数据；

上述缺陷检测装置还具有：

第二差分区域取得装置，其从根据上述输入数据来规定的图形区域中减去根据上述图形化行程长度数据来规定的图形区域，以此取得第二差分区域数据，

遗漏缺陷区域确定装置，其通过提取上述第二差分区域数据中的正值的区域，确定多余缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，存在上述输入数据却未生成有行程数据的区域。

11.如权利要求3所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述数据格式转换装置具有：

行程长度数据图像化装置，其对上述行程长度数据执行第一图像化处理，以此取得对上述行程长度数据实施过图形化处理的图像化行程长度数据，

输入数据图像化装置，其对上述输入数据执行第二图像化处理，以此取得对上述输入数据实施过图像化处理的图像化输入数据；

上述缺陷检测装置还具有差异区域确定装置，该差异区域确定装置通过以像素单位比较上述图像化行程长度数据和上述图像化输入数据，确定上述差异区域。

12.如权利要求11所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述差异区域确定装置以像素单位比较上述图像化行程长度数据和上述图像化输入数据，以此将只在上述图像化行程长度数据中存在像素的区域确定为多余缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，不存在上述输入数据却生成有行程数据的区域。

13.如权利要求11所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述差异区域确定装置以像素单位比较上述图像化行程长度数据和上述图像化输入数据，以此将只在上述图像化输入数据中存在像素的区域确定为遗漏缺陷区域，其中，该遗漏缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，存在上述行程长度数据却未生成有行程数据的区域。

14.如权利要求3所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述数据格式转换装置具有输入数据坐标值化装置，该输入数据坐标值化装置对上述输入数据执行坐标值化处理，以此取得坐标值化输入数据，其中，该坐标值化输入数据是指，根据坐标值的集合，记载了包含在上述输入数据中的1个以上的图形的每一个的数据；

上述缺陷检测装置还具有差异区域确定装置，该差异区域确定装置通过比较包含在上述行程长度数据中的多个行程的起点及终点的位置、和包含在上述坐标值化输入数据中的多个坐标值中的规定坐标值，分别确定多余缺陷区域和遗漏缺陷区域，其中，该多余缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，不存在上述输入数据却生成有行程数据的区域，该遗漏缺陷区域是指，在上述行程长度数据中，存在上述输入数据却未生成有行程数据的区域。

15.如权利要求5、7、9、12及14中任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于，具有多余缺陷修复装置，该多余缺陷修复装置在已确定上述多余缺陷区域时，删除在上述行程长度数据中的上述多余缺陷区域所生成的行程数据。

16.如权利要求6、8、10、13及14中任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于，具有遗漏缺陷修复装置，该遗漏缺陷修复装置在已确定上述遗漏缺陷区域时，在上述行程长度数据中的上述遗漏缺陷区域重新生成行程数据。

17.如权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述输入数据是应描绘在基板上的图案的CAD数据，

上述行程长度数据用于在基板上描绘上述图案。

18.一种图形描绘装置，基于行程长度数据，对输出介质描绘图形，其特征在于，具有：

输入数据取得装置，其取得记载有应描绘的图形的输入数据；

行程长度数据取得装置，其取得通过对上述输入数据进行RIP处理而取得的上述行程长度数据；

缺陷检测装置，其比较上述输入数据和上述行程长度数据，当存在差异区域时，检测出该差异区域而作为上述行程长度数据的缺陷区域；

修复装置，其在上述行程长度数据中检测出上述缺陷区域时，修复该缺陷区域并取得修复行程长度数据；

描绘用行程长度数据取得装置，其在上述行程长度数据中检测出上述缺陷区域时，取得上述修复行程长度数据而作为描绘用行程长度数据，而在上述行程长度数据中未检测出上述缺陷区域时，取得上述行程长度数据而直接作为描绘用行程长度数据；

描绘装置，其基于上述描绘用行程长度数据，在上述输入介质上描绘图形。

19.如权利要求18所述的图形描绘装置，其特征在于，

上述输入数据是应描绘在基板上的图案的CAD数据，

上述描绘装置基于通过对上述CAD数据进行RIP处理来取得的上述行程长度数据，在基板上描绘上述图案。

20.一种图形描绘系统，基于行程长度数据，对输出介质描绘图形，其特征在于，具有：

缺陷检查装置，其检查上述行程长度数据的缺陷；

描绘装置，其从上述缺陷检查装置中取得描绘用行程长度数据，并基于上述描绘用行程长度数据，在上述输出介质上描绘图形；

上述缺陷检查装置具有：

输入数据取得装置，其取得记载有应描绘的图形的输入数据；

行程长度数据取得装置，其取得通过对上述输入数据进行RIP处理而取得的上述行程长度数据；

缺陷检测装置，其比较上述输入数据和上述行程长度数据，当存在差异区域时，检测出该差异区域而作为上述行程长度数据的缺陷区域；

修复装置，其在上述行程长度数据中检测出上述缺陷区域时，修复该缺陷区域并取得修复行程长度数据；

描绘用行程长度数据取得装置，其在上述行程长度数据中检测出上述缺陷区域时，取得上述修复行程长度数据而作为描绘用行程长度数据，而在上述行程长度数据中未检测出上述缺陷区域时，取得上述行程长度数据而直接作为描绘用行程长度数据；

描绘用行程长度数据发送装置，其向上述描绘装置发送上述描绘用行程长度数据。

21.如权利要求20所述的图形描绘系统，其特征在于，

上述输入数据是应描绘在基板上的图案的CAD数据，

上述描绘装置基于通过对上述CAD数据进行RIP处理而取得的上述行程长度数据，在基板上描绘上述图案。

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