JPH0799355B2 - 斑検出方法および装置 - Google Patents
斑検出方法および装置Info
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- JPH0799355B2 JPH0799355B2 JP10928093A JP10928093A JPH0799355B2 JP H0799355 B2 JPH0799355 B2 JP H0799355B2 JP 10928093 A JP10928093 A JP 10928093A JP 10928093 A JP10928093 A JP 10928093A JP H0799355 B2 JPH0799355 B2 JP H0799355B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査物の一部分が周囲
と比較して境界が不鮮明でかつ輝度差が微少な斑を検出
する斑検出方法および装置に係り、例えば、液晶ディス
プレイ用のカラーフィルター等の斑を検出する斑検出方
法および装置に関する。
と比較して境界が不鮮明でかつ輝度差が微少な斑を検出
する斑検出方法および装置に係り、例えば、液晶ディス
プレイ用のカラーフィルター等の斑を検出する斑検出方
法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、液晶ディスプレイ（以下ＬＣ
Ｄと記す）用のカラーフィルターでは染色斑等に起因し
てカラーフィルターの一部分がぼんやりと明るくなった
り、暗くなったりする欠陥が発生する場合がある。この
斑は、ラインセンサと画像処理装置等を備える斑検出装
置によって検出されている。しかし、斑は境界がはっき
りしていないため、ラインセンサから得られた輝度情報
のみでは検出しにくい。そのため、以下の方法によって
斑を強調することによって検出している。
Ｄと記す）用のカラーフィルターでは染色斑等に起因し
てカラーフィルターの一部分がぼんやりと明るくなった
り、暗くなったりする欠陥が発生する場合がある。この
斑は、ラインセンサと画像処理装置等を備える斑検出装
置によって検出されている。しかし、斑は境界がはっき
りしていないため、ラインセンサから得られた輝度情報
のみでは検出しにくい。そのため、以下の方法によって
斑を強調することによって検出している。
【０００３】まず、被検査物をラインセンサで撮像する
ことによって図１２に示すような画素毎の輝度情報G1,G
2,G3…を得る。これをグラフに示すと図１３ａのように
なる。
ことによって図１２に示すような画素毎の輝度情報G1,G
2,G3…を得る。これをグラフに示すと図１３ａのように
なる。
【０００４】その後、所定の画素数（ここでは、７画素
とする）G1からG7までの輝度情報の加算結果a1をG8から
G14 までの輝度情報の加算結果a2から減算して、差分デ
ータN4を求める。この差分データN4を輝度情報G4に対応
する画素の差分データとする。
とする）G1からG7までの輝度情報の加算結果a1をG8から
G14 までの輝度情報の加算結果a2から減算して、差分デ
ータN4を求める。この差分データN4を輝度情報G4に対応
する画素の差分データとする。
【０００５】次に、G2からG8までの輝度情報の加算結果
b1をG9からG15 までの輝度情報の加算結果b2から減算し
て、輝度情報G5に対応する画素の差分データN5を求め
る。同様にこの処理を続けて行い、全画素について差分
データを求める。求められた差分データをグラフに示す
と図１３ｂのようになり、輝度情報そのまま示した図１
３ａに比べて斑が強調されているのが分かる。
b1をG9からG15 までの輝度情報の加算結果b2から減算し
て、輝度情報G5に対応する画素の差分データN5を求め
る。同様にこの処理を続けて行い、全画素について差分
データを求める。求められた差分データをグラフに示す
と図１３ｂのようになり、輝度情報そのまま示した図１
３ａに比べて斑が強調されているのが分かる。
【０００６】そして被検査物をｙ軸方向に移動して同様
な処理を行なっていくことによって二次元的に斑を強調
して検出している。
な処理を行なっていくことによって二次元的に斑を強調
して検出している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
斑検出装置は、以下のような問題点がある。
斑検出装置は、以下のような問題点がある。
【０００８】（１）被検査物がＬＣＤ用のカラーフィル
ターのように表面が細かく格子状に分けられていて、図
１４に示すように被検査物がラインセンサの検出ライン
と水平になっていない場合、ラインセンサの検出ライン
と格子の境界線とが交差してしまい斑の無いところでも
斑と検出する場合がある。
ターのように表面が細かく格子状に分けられていて、図
１４に示すように被検査物がラインセンサの検出ライン
と水平になっていない場合、ラインセンサの検出ライン
と格子の境界線とが交差してしまい斑の無いところでも
斑と検出する場合がある。
【０００９】（２）ラインセンサの検出ラインと垂直な
図１５に示すような斑は検出できるが図１６に示すよう
な水平方向全体に渡る斑はラインセンサの検出ライン内
で輝度情報に差が生じないため検出できない。
図１５に示すような斑は検出できるが図１６に示すよう
な水平方向全体に渡る斑はラインセンサの検出ライン内
で輝度情報に差が生じないため検出できない。
【００１０】（３）ラインセンサの周波数特性により、
所定の周期で出力されない周波数があるため、この周期
に同期するような図１７に示すような斑は検出できない
場合がある。
所定の周期で出力されない周波数があるため、この周期
に同期するような図１７に示すような斑は検出できない
場合がある。
【００１１】本発明は上記事情に鑑みて成されたもので
あり、その目的は、被検査物の検出方向に依存性がな
く、高精度に斑を検出することができる斑検出装置を提
供することにある。
あり、その目的は、被検査物の検出方向に依存性がな
く、高精度に斑を検出することができる斑検出装置を提
供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、物被検査物の一部分が周囲と比較して境
界が不鮮明でかつ輝度差が微少な斑を検出する斑検出方
法において、前記被検査物を撮像して二次元に整列配置
された複数の画素毎の輝度情報をセンサで得る工程と、
前記センサによって得られた画素毎の輝度情報を縦横そ
れぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り分け、その
各格子内の各画素の輝度情報を加算して各格子毎の輝度
加算値を求める輝度情報加算工程と、各格子間での輝度
加算値の変化量を水平方向および垂直方向のそれぞれに
ついて求める変化量算出工程と、前記水平方向の変化量
と垂直方向の変化量が所定より多い場合、斑と検出する
検出工程とから成ることを特徴としている。
めに本発明は、物被検査物の一部分が周囲と比較して境
界が不鮮明でかつ輝度差が微少な斑を検出する斑検出方
法において、前記被検査物を撮像して二次元に整列配置
された複数の画素毎の輝度情報をセンサで得る工程と、
前記センサによって得られた画素毎の輝度情報を縦横そ
れぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り分け、その
各格子内の各画素の輝度情報を加算して各格子毎の輝度
加算値を求める輝度情報加算工程と、各格子間での輝度
加算値の変化量を水平方向および垂直方向のそれぞれに
ついて求める変化量算出工程と、前記水平方向の変化量
と垂直方向の変化量が所定より多い場合、斑と検出する
検出工程とから成ることを特徴としている。
【００１３】また、前記センサが、ラインセンサ若しく
はエリアセンサであることを特徴としている。
はエリアセンサであることを特徴としている。
【００１４】さらに、前記変化量算出工程は、任意の格
子の輝度加算値を中心とした周囲のｍ行ｎ列のＮ個（ｍ
×ｎ個）の輝度加算値を基に、予め設定される水平方向
の第１の係数テーブルと垂直方向の第２の係数テーブル
を用いて、水平方向の変化量と垂直方向の変化量を求め
る変化量算出工程であることを特徴としている。
子の輝度加算値を中心とした周囲のｍ行ｎ列のＮ個（ｍ
×ｎ個）の輝度加算値を基に、予め設定される水平方向
の第１の係数テーブルと垂直方向の第２の係数テーブル
を用いて、水平方向の変化量と垂直方向の変化量を求め
る変化量算出工程であることを特徴としている。
【００１５】さらに、被検査物の一部分が周囲と比較し
て境界が不鮮明でかつ輝度差が微少な斑を検出する斑検
出装置であって、前記被検査物を撮像して二次元に整列
配置された複数の画素毎の輝度情報を得るセンサと、前
記センサによって得られた画素毎の輝度情報を縦横それ
ぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り分け、その各
格子内の各画素の輝度情報を加算して各格子毎の輝度加
算値を求める輝度情報加算部と、各格子間での輝度加算
値の変化量を水平方向および垂直方向のそれぞれについ
て求める変化量算出部と、前記水平方向の変化量と垂直
方向の変化量が所定より多い場合、斑と検出する検出部
とを具備することを特徴としている。
て境界が不鮮明でかつ輝度差が微少な斑を検出する斑検
出装置であって、前記被検査物を撮像して二次元に整列
配置された複数の画素毎の輝度情報を得るセンサと、前
記センサによって得られた画素毎の輝度情報を縦横それ
ぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り分け、その各
格子内の各画素の輝度情報を加算して各格子毎の輝度加
算値を求める輝度情報加算部と、各格子間での輝度加算
値の変化量を水平方向および垂直方向のそれぞれについ
て求める変化量算出部と、前記水平方向の変化量と垂直
方向の変化量が所定より多い場合、斑と検出する検出部
とを具備することを特徴としている。
【００１６】さらに、前記センサが、ラインセンサ若し
くはエリアセンサであることを特徴としている。
くはエリアセンサであることを特徴としている。
【００１７】さらに、前記変化量算出部は、任意の格子
の輝度加算値を中心とした周囲のｍ行ｎ列のＮ個（ｍ×
ｎ個）の輝度加算値を基に、予め設定される水平方向の
第１の係数テーブルと垂直方向の第２の係数テーブルを
用いて、水平方向の変化量と垂直方向の変化量を求める
変化量算出部であることを特徴としている。
の輝度加算値を中心とした周囲のｍ行ｎ列のＮ個（ｍ×
ｎ個）の輝度加算値を基に、予め設定される水平方向の
第１の係数テーブルと垂直方向の第２の係数テーブルを
用いて、水平方向の変化量と垂直方向の変化量を求める
変化量算出部であることを特徴としている。
【００１８】
【作用】上記構成によれば、輝度情報加算部では、セン
サによって得られた画素毎の輝度情報を縦横それぞれ所
定数の画素行列からなる格子に切り分け、その各格子内
の各画素の輝度情報を加算する（輝度情報加算工程）。
そして変化量算出部では、各格子間での輝度加算値の変
化量を水平方向および垂直方向のそれぞれについて求め
る（変化量算出工程）。検出部では、求められた水平方
向の変化量と垂直方向の変化量が所定量より多い場合、
斑と検出する（検出工程）。
サによって得られた画素毎の輝度情報を縦横それぞれ所
定数の画素行列からなる格子に切り分け、その各格子内
の各画素の輝度情報を加算する（輝度情報加算工程）。
そして変化量算出部では、各格子間での輝度加算値の変
化量を水平方向および垂直方向のそれぞれについて求め
る（変化量算出工程）。検出部では、求められた水平方
向の変化量と垂直方向の変化量が所定量より多い場合、
斑と検出する（検出工程）。
【００１９】
【実施例】図１は、本発明の斑検出装置の一実施例を示
すブロック図であり、センサにエリアセンサを用いた実
施例である。
すブロック図であり、センサにエリアセンサを用いた実
施例である。
【００２０】図１に示すように、斑検出装置１は、エリ
アセンサ３と、輝度情報加算部５と、変化量算出部７
と、検出部９と、表示部１１とから構成されている。
アセンサ３と、輝度情報加算部５と、変化量算出部７
と、検出部９と、表示部１１とから構成されている。
【００２１】エリアセンサ３は、被検査物を撮像して二
次元に整列配置された複数の画素毎の輝度情報を得る。
次元に整列配置された複数の画素毎の輝度情報を得る。
【００２２】輝度情報加算部５は、エリアセンサ３によ
って得られた画素毎の輝度情報を縦横複数の画素行列か
らなる図２に示すような格子に切り分け、その各格子内
の各画素の輝度情報を加算して格子毎の輝度加算値を求
める。
って得られた画素毎の輝度情報を縦横複数の画素行列か
らなる図２に示すような格子に切り分け、その各格子内
の各画素の輝度情報を加算して格子毎の輝度加算値を求
める。
【００２３】変化量算出部７は、各格子間での輝度加算
値の水平方向の変化量および垂直方向の変化量を３行３
列の行列内で求める。
値の水平方向の変化量および垂直方向の変化量を３行３
列の行列内で求める。
【００２４】検出部９は、変化量算出部７によって求め
られた垂直方向の変化量と、水平方向の変化量を基に被
検査物の斑を検出する。
られた垂直方向の変化量と、水平方向の変化量を基に被
検査物の斑を検出する。
【００２５】表示部１１は、変化量算出部７によって求
められた垂直方向の変化量と、水平方向の変化量を表示
する。また、エリアセンサ３により得られた画素毎の輝
度情報や輝度情報加算部５によって加算された格子毎の
輝度加算値を表示する。
められた垂直方向の変化量と、水平方向の変化量を表示
する。また、エリアセンサ３により得られた画素毎の輝
度情報や輝度情報加算部５によって加算された格子毎の
輝度加算値を表示する。
【００２６】次に、本実施例の作用を図３のフローチャ
ートを用いて説明する。なお、ここでは図４に示す中央
部に斑のある光度情報を被検査物とする。
ートを用いて説明する。なお、ここでは図４に示す中央
部に斑のある光度情報を被検査物とする。
【００２７】まず、被検査物である光度情報をエリアセ
ンサ３により撮像し、輝度を０〜２５５の２５６階調で
表した画素毎の輝度情報を得る（ステップＳＴ１）。図
４に示された線上の輝度情報を画面表示させると図５に
示すようになる。
ンサ３により撮像し、輝度を０〜２５５の２５６階調で
表した画素毎の輝度情報を得る（ステップＳＴ１）。図
４に示された線上の輝度情報を画面表示させると図５に
示すようになる。
【００２８】画素毎の輝度情報が得られると輝度情報加
算部５では、図２に示すように輝度情報を縦横複数の画
素行列からなる格子に切り分け、その各格子内の各画素
の輝度情報を加算して格子毎の輝度加算値を求める（ス
テップＳＴ３，ＳＴ５）。なお図２では、縦横とも１０
画素ずつの１０行１０列の格子に区切っているがこれに
限らずこの数は任意に変更可能である。また、図４に示
された線上の格子の輝度加算値を求められた輝度加算値
の最大値で正規化して画面表示させると図６に示すよう
になる。
算部５では、図２に示すように輝度情報を縦横複数の画
素行列からなる格子に切り分け、その各格子内の各画素
の輝度情報を加算して格子毎の輝度加算値を求める（ス
テップＳＴ３，ＳＴ５）。なお図２では、縦横とも１０
画素ずつの１０行１０列の格子に区切っているがこれに
限らずこの数は任意に変更可能である。また、図４に示
された線上の格子の輝度加算値を求められた輝度加算値
の最大値で正規化して画面表示させると図６に示すよう
になる。
【００２９】そして、変化量算出部７では、各格子間で
の水平方向の輝度加算値の変化量Ｈijおよび垂直方向の
輝度加算値の変化量Ｖijを３行３列の行列内で求める
（ステップＳＴ７）。
の水平方向の輝度加算値の変化量Ｈijおよび垂直方向の
輝度加算値の変化量Ｖijを３行３列の行列内で求める
（ステップＳＴ７）。
【００３０】例えば、任意の格子の輝度加算値Σijの水
平方向の変化量Ｈijと垂直方向の変化量Ｖijは、図７に
示すようにΣijを中心とした３行３列の９つの格子の輝
度加算値を基に、図８に示す水平方向のＳｏｂｅｌフィ
ルター（第１の係数テーブル）と図９に示す垂直方向の
Ｓｏｂｅｌフィルター（第２の係数テーブル）を用いて
以下に示す式（１）と式（２）によって求める。
平方向の変化量Ｈijと垂直方向の変化量Ｖijは、図７に
示すようにΣijを中心とした３行３列の９つの格子の輝
度加算値を基に、図８に示す水平方向のＳｏｂｅｌフィ
ルター（第１の係数テーブル）と図９に示す垂直方向の
Ｓｏｂｅｌフィルター（第２の係数テーブル）を用いて
以下に示す式（１）と式（２）によって求める。
【００３１】 Ｈij＝｜−Σi-1,j-1 −２Σi,j-1 −Σi+1,j-1 ＋Σi-1,j+1 ＋２Σi,j+1 ＋Σi+1,j+1 ｜…式（１） Ｖij＝｜−Σi-1,j-1 ＋Σi+1,j-1 −２Σi-1,j ＋２Σi+1,j −Σi-1,j+1 ＋Σi+1,j+1 ｜…式（２） そして、求められた水平方向の変化量Ｈijと垂直方向の
変化量Ｖijを加算したものをその格子の変化量Ｃijとす
る。そしてこの変化量Ｃijを各格子について求める。
変化量Ｖijを加算したものをその格子の変化量Ｃijとす
る。そしてこの変化量Ｃijを各格子について求める。
【００３２】なお、一番外側の各格子については、その
各格子を中心としたとき格子が９つ存在しないので変化
量Ｃijが求められないが、一番外側の各格子の一つ内側
の各格子の変化量Ｃijを求めるときに一番外側の各格子
の輝度加算値を含めて求めているので、この一番外側の
各格子に斑があっても検出することができる。
各格子を中心としたとき格子が９つ存在しないので変化
量Ｃijが求められないが、一番外側の各格子の一つ内側
の各格子の変化量Ｃijを求めるときに一番外側の各格子
の輝度加算値を含めて求めているので、この一番外側の
各格子に斑があっても検出することができる。
【００３３】さらに、変化量ＣijはＳｏｂｅｌフィルタ
ーを用いて求めているがこれに限らず、他の係数のフィ
ルターや他のマトリクス（２行２列、３行１列等）のフ
ィルターを用いても良い。
ーを用いて求めているがこれに限らず、他の係数のフィ
ルターや他のマトリクス（２行２列、３行１列等）のフ
ィルターを用いても良い。
【００３４】そして検出部９では、求められた変化量Ｃ
ijと予め設定されている斑判定しきい値を比較し、求め
られた変化量Ｃijが予め設定されている斑判定しきい値
より大きい場合、斑と判定する。
ijと予め設定されている斑判定しきい値を比較し、求め
られた変化量Ｃijが予め設定されている斑判定しきい値
より大きい場合、斑と判定する。
【００３５】一方、表示部１１では求められた格子毎の
変化量Ｃijを以下の式（３）を用いて正規化して図１０
のように表示する（ステップＳＴ９）。
変化量Ｃijを以下の式（３）を用いて正規化して図１０
のように表示する（ステップＳＴ９）。
【００３６】Ｓij＝Ｃij×２５５／ＣMax …式（３） ここで、Ｓijは正規化された変化量、ＣMax は求められ
た変化量Ｃijの最大値を示す。このとき図１０に示され
た線上の格子の正規化された変化量Ｓijを表示すると図
１１に示すようになり、図４に示された斑が強調されて
いることが分かる。
た変化量Ｃijの最大値を示す。このとき図１０に示され
た線上の格子の正規化された変化量Ｓijを表示すると図
１１に示すようになり、図４に示された斑が強調されて
いることが分かる。
【００３７】このように、エリアセンサ３によって得ら
れた画素毎の被検査物の輝度情報を縦横複数の画素行列
からなる格子に切り分け、その各格子内の各画素の輝度
情報を加算して格子毎の輝度加算値を求めることにより
斑を強調し、各格子間での水平方向の輝度加算値の変化
量Ｈijおよび垂直方向の輝度加算値の変化量Ｖijを３行
３列の行列内で求めることによってさらに斑を強調して
いる。そして求められた各格子の変化量Ｃijと予め設定
してある斑判定しきい値とを比較し、求められた各格子
の変化量Ｃijが予め設定されている斑判定しきい値より
大きい場合、斑と判定する。
れた画素毎の被検査物の輝度情報を縦横複数の画素行列
からなる格子に切り分け、その各格子内の各画素の輝度
情報を加算して格子毎の輝度加算値を求めることにより
斑を強調し、各格子間での水平方向の輝度加算値の変化
量Ｈijおよび垂直方向の輝度加算値の変化量Ｖijを３行
３列の行列内で求めることによってさらに斑を強調して
いる。そして求められた各格子の変化量Ｃijと予め設定
してある斑判定しきい値とを比較し、求められた各格子
の変化量Ｃijが予め設定されている斑判定しきい値より
大きい場合、斑と判定する。
【００３８】したがって、水平方向と垂直方向の両方で
変化量Ｈij，Ｖijを求めて斑をより強調しているため、
被検査物の検出方向に関係なく斑が検出でき、また、被
検査物がＬＣＤ用のカラーフィルターのように表面が細
かく格子状に分けられ境界線がある場合でも斑の検出精
度は被検査物の傾きに依存しなくなる。さらに、ライン
センサを用いた場合に検出しにくかった図１７のような
所定周期で発生している斑も周期に関係なく検出するこ
とができる。
変化量Ｈij，Ｖijを求めて斑をより強調しているため、
被検査物の検出方向に関係なく斑が検出でき、また、被
検査物がＬＣＤ用のカラーフィルターのように表面が細
かく格子状に分けられ境界線がある場合でも斑の検出精
度は被検査物の傾きに依存しなくなる。さらに、ライン
センサを用いた場合に検出しにくかった図１７のような
所定周期で発生している斑も周期に関係なく検出するこ
とができる。
【００３９】なお、本実施例では、水平方向の変化量Ｈ
ijと垂直方向の変化量Ｖijを加算したものをその格子の
変化量Ｃijとし、その変化量Ｃijと予め設定してある斑
判定しきい値を比較して斑を判定しているが、水平方向
の変化量Ｈijと垂直方向の変化量Ｖijを加算せずに独立
に判定するようにしても良い。
ijと垂直方向の変化量Ｖijを加算したものをその格子の
変化量Ｃijとし、その変化量Ｃijと予め設定してある斑
判定しきい値を比較して斑を判定しているが、水平方向
の変化量Ｈijと垂直方向の変化量Ｖijを加算せずに独立
に判定するようにしても良い。
【００４０】また、本実施例では、中央に斑のある光度
情報の斑の検出をしているが、液晶ディスプレイ用のカ
ラーフィルターの斑の検出をはじめ、テレビ用のシャド
ウマスク、各種フィルム、各種シート等の斑を検出する
ことが可能である。
情報の斑の検出をしているが、液晶ディスプレイ用のカ
ラーフィルターの斑の検出をはじめ、テレビ用のシャド
ウマスク、各種フィルム、各種シート等の斑を検出する
ことが可能である。
【００４１】さらに、本実施例では、センサにエリアセ
ンサ３を用いているがこれに限らず、ラインセンサを用
いることも可能である。
ンサ３を用いているがこれに限らず、ラインセンサを用
いることも可能である。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、セ
ンサによって得られた画素毎の被検査物の輝度情報を縦
横複数の画素行列からなる格子に切り分け、その各格子
内の各画素の輝度情報を加算して格子毎の輝度加算値を
求めることにより斑を強調し、各格子間での輝度加算値
の変化量を水平方向および垂直方向のそれぞれについて
求めてさらに斑を強調してこの水平方向の変化量と垂直
方向の変化量が所定より多い場合、斑と検出するように
しているので、被検査物の検出方向に依存性がなく、か
つ、高精度に斑を検出することが可能となる。
ンサによって得られた画素毎の被検査物の輝度情報を縦
横複数の画素行列からなる格子に切り分け、その各格子
内の各画素の輝度情報を加算して格子毎の輝度加算値を
求めることにより斑を強調し、各格子間での輝度加算値
の変化量を水平方向および垂直方向のそれぞれについて
求めてさらに斑を強調してこの水平方向の変化量と垂直
方向の変化量が所定より多い場合、斑と検出するように
しているので、被検査物の検出方向に依存性がなく、か
つ、高精度に斑を検出することが可能となる。
【図１】本発明の斑検出装置１の一実施例を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図２】画素毎の輝度情報を縦横複数の画素行列からな
る格子に切り分けた例を示す説明図である。
る格子に切り分けた例を示す説明図である。
【図３】図１に示した実施例の作用を示すフローチャー
トである。
トである。
【図４】中央部に斑のある光度情報を示す図である。
【図５】図４に示された線上の輝度情報を表示させた図
である。
である。
【図６】図４に示された線上の格子の輝度加算値を求め
られた輝度加算値の最大値で正規化して表示させた図で
ある。
られた輝度加算値の最大値で正規化して表示させた図で
ある。
【図７】任意の格子の輝度加算値の水平方向の変化量と
垂直方向の変化量を求める場合の説明図である。
垂直方向の変化量を求める場合の説明図である。
【図８】水平方向のＳｏｂｅｌフィルターを示す説明図
である。
である。
【図９】垂直方向のＳｏｂｅｌフィルターを示す説明図
である。
である。
【図１０】格子毎の変化量を正規化して表示させた図で
ある。
ある。
【図１１】図４に示された線上の格子の正規化された変
化量を表示させた図である。
化量を表示させた図である。
【図１２】従来の斑検出装置１のラインセンサによって
得られた輝度情報示すとともに、各画素の斑情報値の算
出例を示す説明図である。
得られた輝度情報示すとともに、各画素の斑情報値の算
出例を示す説明図である。
【図１３】ラインセンサによって得られた輝度情報と、
各画素の斑情報値を示す図である。
各画素の斑情報値を示す図である。
【図１４】被検査物がラインセンサの検出ラインと水平
になっていない場合を示す説明図である。
になっていない場合を示す説明図である。
【図１５】ラインセンサの検出ラインと垂直な斑を示す
説明図である。
説明図である。
【図１６】ラインセンサの検出ラインと水平方向全体に
渡る斑を示す説明図である。
渡る斑を示す説明図である。
【図１７】所定周期の斑を示す説明図である。
１ 斑検出装置 ３ エリアセンサ ５ 輝度情報加算部 ７ 変化量算出部 ９ 検出部 １１ 表示部
Claims (6)
- 【請求項１】 被検査物の一部分が周囲と比較して境界
が不鮮明でかつ輝度差が微少な斑を検出する斑検出方法
において、 前記被検査物を撮像して二次元に整列配置された複数の
画素毎の輝度情報をセンサで得る工程と、 前記センサによって得られた画素毎の輝度情報を縦横そ
れぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り分け、その
各格子内の各画素の輝度情報を加算して各格子毎の輝度
加算値を求める輝度情報加算工程と、 各格子間での輝度加算値の変化量を水平方向および垂直
方向のそれぞれについて求める変化量算出工程と、 前記水平方向の変化量と垂直方向の変化量が所定より多
い場合、斑と検出する検出工程と、 から成ることを特徴とする斑検出方法。 - 【請求項２】 前記センサが、ラインセンサ若しくはエ
リアセンサであることを特徴とする請求項１記載の斑検
出方法。 - 【請求項３】 前記変化量算出工程は、任意の格子の輝
度加算値を中心とした周囲のｍ行ｎ列のＮ個（ｍ×ｎ
個）の輝度加算値を基に、予め設定される水平方向の第
１の係数テーブルと垂直方向の第２の係数テーブルを用
いて、水平方向の変化量と垂直方向の変化量を求める変
化量算出工程であることを特徴とする請求項１乃至２記
載の斑検出方法。 - 【請求項４】 被検査物の一部分が周囲と比較して境界
が不鮮明でかつ輝度差が微少な斑を検出する斑検出装置
であって、 前記被検査物を撮像して二次元に整列配置された複数の
画素毎の輝度情報を得るセンサと、 前記センサによって得られた画素毎の輝度情報を縦横そ
れぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り分け、その
各格子内の各画素の輝度情報を加算して各格子毎の輝度
加算値を求める輝度情報加算部と、 各格子間での輝度加算値の変化量を水平方向および垂直
方向のそれぞれについて求める変化量算出部と、 前記水平方向の変化量と垂直方向の変化量が所定より多
い場合、斑と検出する検出部と、 を具備することを特徴とする斑検出装置。 - 【請求項５】 前記センサが、ラインセンサ若しくはエ
リアセンサであることを特徴とする請求項４記載の斑検
出装置。 - 【請求項６】 前記変化量算出部は、任意の格子の輝度
加算値を中心とした周囲のｍ行ｎ列のＮ個（ｍ×ｎ個）
の輝度加算値を基に、予め設定される水平方向の第１の
係数テーブルと垂直方向の第２の係数テーブルを用い
て、水平方向の変化量と垂直方向の変化量を求める変化
量算出部であることを特徴とする請求項４乃至５記載の
斑検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10928093A JPH0799355B2 (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | 斑検出方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10928093A JPH0799355B2 (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | 斑検出方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06323954A JPH06323954A (ja) | 1994-11-25 |
| JPH0799355B2 true JPH0799355B2 (ja) | 1995-10-25 |
Family
ID=14506170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10928093A Expired - Lifetime JPH0799355B2 (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | 斑検出方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0799355B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000018922A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-21 | Toshiba Eng Co Ltd | 厚み欠陥検査装置及びその検査方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08178795A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-07-12 | Nec Corp | Ｌｃｄパネル欠陥検査装置 |
| JP3718101B2 (ja) * | 2000-03-30 | 2005-11-16 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 周期性パターンの欠陥検査方法および装置 |
| JP4749658B2 (ja) * | 2003-06-26 | 2011-08-17 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルター用着色樹脂被膜及びその製造方法、カラーフィルター用着色樹脂被膜の評価方法、並びに、カラーフィルター |
-
1993
- 1993-05-11 JP JP10928093A patent/JPH0799355B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000018922A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-21 | Toshiba Eng Co Ltd | 厚み欠陥検査装置及びその検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06323954A (ja) | 1994-11-25 |
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