KR100211427B1

KR100211427B1 - 투공판의 검사방법 및 검사장치

Info

Publication number: KR100211427B1
Application number: KR1019960030019A
Authority: KR
Inventors: 기치지 아사이; 마사요시 고바야시
Original assignee: 이시다 아키라; 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Priority date: 1995-08-30
Filing date: 1996-07-24
Publication date: 1999-08-02
Also published as: KR970012917A; JPH0968502A

Abstract

섀도우 마스크 등의 투공판의 투공의 치수이상에 기인한 광투과율의 선불균일의 양부판별의 신뢰성을 향상시킨다.

섀도우 마스크(SM)의 촬상범위의 거의 전역에 해당하는 처리대상영역(SMe0)에 대하여, 여기에 속하는 계조 데이터의 개개를 X축의 좌표마다 적산하여, 2차원 분포되어 있던 데이터의 1차원화를 행한다. 이것에 의해 X축의 좌표마다 하나의 데이터(농도치)를 가지는 적산 데이터를 얻을 수 있다. 이 적산 데이터에는 종불균일(TM)이 생긴 위치에서는 그 불균일의 정도를 나타내는 농도치의 적산치가 얻어지고, 그 적산치는 전후의 데이터의 적산치에서 급변하여 종불균일이 발생한 위치가 현저화된다. 그 후, 소정의 필터윈도우를 가지는 메디안 필터에서 이 적산 데이터를 평활화 처리하여 평활화 데이터를 구하고, 이 평활화 데이터로 적산 데이터를 나눗셈하여 규격화 데이터를 구하고, 그 최대편차(hsT0)을 제시한다.

Description

투공판의 검사방법 및 검사장치

제1도는 실시예의 섀도우 마스크장치(30)의 외관구성을 나타내는 정면도.

제2도는 이 섀도우 마스크 검사장치(30)의 전기적 구성을 나타내는 블록도.

제3도는 실시예의 섀도우 마스크 검사장치(30)가 행하는 섀도우 마스크(SM)의 선불균일의 검사처리의 전체를 나타낸 플로우 차트.

제4도는 이 불균일 검사처리에서의 초기설정처리의 상세한 내용을 나타낸 플로우 차트.

제5도는 제3도에 나타내는 선불균일의 검사처리에서의 처리내용을 설명하기 위한 설명도.

제6도는 제3도에 나타내는 선불균일의 검사처리에서의 종불균일의 판별처리의 상세한 내용을 나타낸 플로우 차트.

제7도는 제6도에 나타내는 스텝(S131)에서의 구역식별자(Ti)가 가지는 의미를 설명하기 위한 설명도.

제8도는 제6도에 나타내는 스텝(S132)에서 처리대상영역(SMe0)에 대하여 행해지는 처리의 모습을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제9도는 제6도에 나타내는 스텝(S133)에서 처리대상영역(SMe0)에 대하여 행해지는 처리의 내용을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제10도는 제6도에 나타내는 스텝(S134)에서 처리대상영역(SMe0)에 대하여 행해지는 처리의 내용을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제11도는 동(同) 스텝(S134)에서 처리대상영역(SMe0)에 대하여 행해지는 처리의 내용을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제12도는 제6도에 나타내는 스텝(S132)에서 제1분할영역(SMeT1)에 대하여 행해지는 처리의 모습을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제13도는 제6도에 나타내는 스텝(S132)에서 제2분할영역(SMeT2)에 대하여 행해지는 처리의 모습을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제14도는 제6도에 나타내는 스텝(S132)에서 제3분할영역(SMeT3)에 대하여 행해지는 처리의 모습을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제15도는 제6도에 나타내는 스텝(S132)에서 제4분할영역(SMeT4)에 대하여 행해지는 처리의 모습을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제16도는 제6도에 나타내는 스텝(S132)에서 제5분할영역(SMeT5)에 대하여 행해지는 처리의 모습을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제17도는 제3도에 나타내는 선불균일의 검사처리에서의 횡불균일의 판별처리의 상세한 내용을 나타낸 플로우 차트.

제18도는 제17도에 나타내는 스텝(S161)에서의 구역식별자(Yi)가 가지는 의미를 설명하기 위한 설명도.

제19도는 제17도에 나타내는 스텝(S132)에서 처리대상영역(SMe0)에 대하여 행해지는 처리의 모습을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제20도는 제17도에 나타내는 스텝(S162)에서 제1분할영역(SMeY1)에 대하여 행해지는 처리의 모습을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제21도는 제17도에 나타내는 스텝(S162)에서 제2분할영역(SMeY2)에 대하여 행해지는 처리의 모습을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제22도는 제17도에 나타내는 스텝(S162)에서 제3분할영역(SMeY3)에 대하여 행해지는 처리의 모습을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제23도는 제17도에 나타내는 스텝(S162)에서 제4분할영역(SMeY4)에 대하여 행해지는 처리의 모습을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제24도는 제17도에 나타내는 스텝(S162)에서 제5분할영역(SMeY5)에 대하여 행해지는 처리의 모습을 모식적으로 설명하기 위한 설명도.

제25도는 섀도우 마스크(SM)에 대한 종래의 불균일 검사의 모습을 설명하기 위한 설명도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

30 : 섀도우 마스크 검사장치 40 : 광학측정장치

49 : CCD 카메라 50 : 데이터처리장치

52 : 디스플레이 52a : 표시영역

54 : 화상처리장치 62 : 카메라제어장치

64 : 버스라인 66 : CPU

68 : 주기억장치 72 : 보조기억장치

77 : 렌즈부 SM : 섀도우 마스크

SMe0 : 처리대상영역 SMeT1 : 제1분할영역

SMeT2 : 제2분할영역 SMeT3 : 제3분할영역

SMeT4 : 제4분할영역 SMeT5 : 제5분할영역

SMeY1 : 제1분할영역 SMeY2 : 제2분할영역

SMeY3 : 제3분할영역 SMeY4 : 제4분할영역

SMeY5 : 제5분할영역 SMe : 투공영역

TM : 종불균일 YM : 횡불균일

본 발명은 다수의 투공이 대략 주기적으로 배열된 투공판에 대하여 투공의 치수 이상에 기인하여 선모양으로 생기는 광투과율의 선불균일을 검사하는 투공판의 검사방법 및 검사장치에 관한 것으로, 특히 컬러브라운관용의 섀도우 마스크나 액정표시 패널용 컬러 필터등의 투공판을 검사하는 검사방법 및 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 섀도우 마스크는 포토에칭법을 이용하여 금속박판에 다수의 투공을 대략 주기적으로 배열시켜 형성함으로써 제조된다. 이 섀도우 마스크의 제조방법은 금속박판에 다수의 투공을 대략 주기적으로 배열시켜 형성함으로써 제조된다. 이 섀도우 마스크의 제조방법은 금속박판의 주면에 내에칭성을 가지는 레지스트를 도포하여 금속박판의 주면에 레지스트막을 형성하는 코팅공정과, 섀도우 마스크의 전자빔 투과구멍 등에 대응하는 소정의 패턴을 가지는 패턴판을 통하여 레지스트막에 광을 조사하여 레지스트막에 소정의 패턴을 인화하는 인화공정과, 소정의 패턴이 인화된 레지스트막에 현상액을 공급하여 레지스트막의 소정부분을 용해 제거하여 레지스트막을 소정의 패턴으로 형성함과 동시에 금속박판의 에칭되어야할 주면을 노출시키는 현상공정과, 소정의 패턴으로 형성된 레지스트막을 가지는 금속박판에 에칭액을 공급하여 레지스트막으로 덮혀 있지 않는 금속박판이 노출된 주면을 에칭하여 전자빔 통과 구멍인 다수의 투공을 형성하는 에칭공정으로 이루어진다.

전술한 코팅공정에 있어서, 금속박판의 주면에 레지스트가 균일하게 도포되지 않아 주면에 형성된 레지스트막의 막두께가 불균일한 경우나, 에칭공정에 있어서 금속박판이 있는 레지스트막에 에칭액이 균일하게 공급되지 않는 경우, 금속박판에 형성된 다수의 투공에 국소적인 치수이상이 발생한다.

상기 국소적인 투공의 치수이상을 검사하는 수단으로서, 투공의 형상이나 구멍직경등이 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일을 검사하는 수단이 채용되고 있다. 구체적으로 설명하면, 제25도에 나타내는 바와 같이, 우선 섀도우 마스크(SM)를 검사원이 손으로 들어, 이 섀도우 마스크(SM)를 광원(도시 생략)을 내장한 라이트 테이블(202)에 투광성인 경사 테이블면(204) 앞에 배치한다. 그리고 광원의 광을 경사 테이블면(204)을 거쳐 섀도우 마스크(SM)에 조사하여, 섀도우 마스크(SM)를 도면중에서 화살표로 나타낸 바와 같이 흔들면서 섀도우 마스크(SM)를 눈으로 검사한다. 이때 섀도우 마스크(SM)에 투공의 형상이나 구멍직경등의 치수이상이 국소적으로 생겨 있으면 검사원에 의해 투공을 통과하는 광투과율의 불균일로서 인식되고, 이 불균일이 허용되는 범위인지 아닌지를 과거의 경험으로부터 판별하여 양품의 섀도우 마스크와 불량품의 섀도우 마스크가 선별된다. 투공의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일로서는 섀도우 마스크(SM)의 전면에 걸쳐 광의 농담(濃淡) 불균일(광투과율의 불균일)이 점재하는 전체 불균일이나, 농담불균일이 부분적으로 산재하는 부분불균일, 농담불균일이 선모양으로 생기는 선불균일 등이 있다.

그러나 상기 검사에서 검사원의 눈에 의한 판별에 의하면 이하와 같은 문제가 있었다.

양품의 섀도우 마스크라도 허용되는 범위의 광투과율의 불균일은 존재하고 있다. 게다가 검사원은 이 광학적인 불균일과 함께, 투공을 통과한 만큼의 광량의 광 그 자체 또한 보게 된다. 더욱이 검사시에 양품의 섀도우 마스크(SM)에 대하여 발생하는 불균일과 검사대상인 섀도우 마스크(SM)에 대하여 발생하는 불균일을 항상 비교하는 것이 아니라, 경험적으로 인식하고 있는 양품의 섀도우 마스크(SM)의 불균일과의 대비를, 검사대상의 섀도우 마스크(SM)의 불균일을 눈으로 검사하면서 행하고 있었다. 따라서, 양품과 검사대상의 섀도우 마스크(SM)의 불균일의 대비를 거친 양부판별에 고도의 숙련과 상당한 경험이 필요하였다. 또한 숙련의 정도나 경험이 거의 동일하여도 검사원의 개인차나 건강상태등에 의해 양부판별에 편차가 있었다.

특히, 선불균일의 경우에는 그 선불균일의 길이가 비교적 길거나 불균일이 진한 불균일의 경우에는 그 양부판별의 편차는 비교적 적지만 선불균일의 길이가 짧거나 불균일이 엷은 불균일의 경우에는 양부판별의 편차가 현저하였다.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 섀도우 마스크등의 투공판의 투공의 치수 이상에 기인한 광투과율의 선불균일의 양부판정의 신뢰성을 향상시키는 것을 목적으로 한다.

이와 같은 문제를 해결하기 위하여 제1의 발명의 투공판의 검사방법은, 다수의 투공이 대략 주기적으로 배열된 투공판에 대하여, 투공의 치수이상에 기인하여 선모양으로 생기는 광투과율의 선불균일을 검사하는 투공판의 검사방법에 있어서, 상기 투공판에 그 한쪽의 주면측에서 광을 조사하고 상기 투공판을 다른쪽의 주면측에서 촬상하여, 소정의 방향을 따른 제1축과 이것에 직교하는 제2축으로 정해지는 평면에 개개의 계조 2차원 분포된 촬상화상의 계조 데이터를 구하는 촬상공정과, 상기 계조 데이터에 속하는 개개의 계조치를 상기 제2축의 좌표마다 상기 제1의 축을 따라 적산(積算)하는 적산연산을 행하여, 상기 계조 데이터의 적산 데이터를 구하는 적산화 공정과, 상기 적산 데이터를 평활화처리하여 평활화 데이터를 구하는 평활화 공정과, 상기 적산 데이터를 상기 평활화 데이터로 나눗셈하는 나눗셈연산을 행하여, 규격화 데이터를 산출하는 규격화 공정과, 상기 규격화 데이터에서의 편차를 제시하는 편차제시 공정을 포함한다.

또한, 전술한 문제를 해결하기 위하여 제2의 발명의 투공의 검사장치는, 다수의 투공이 대략 주기적으로 배열된 투공판에 대하여, 투공의 치수 이상에 기인하여 선모양으로 생기는 광투과율의 선불균일을 검사하는 투공판의 검사방법에 있어서, 상기 투공판을 지지하는 지지수단과, 상기 지지된 투공판에 그 한쪽의 주면측에서 광을 조사하는 조사 수단과, 상기 지지된 투공판을 다른 쪽의 주면측에서 활성하여, 소정의 방향을 따른 제1축과 이것에 직교하는 제2축으로 정해지는 평면에 개개의 계조 2차원 분포된 촬상화상의 계조 데이터를 구하는 촬상수단과, 상기 계조 데이터에 속하는 개개의 제조치를 상기 제2축의 좌표마다 상기 제1의 축을 따라 적산(積算)하는 적산연산을 행하여 상기 계조 데이터의 적산 데이터를 구하는 적산화수단과, 상기 적산 데이터를 평활화처리하여 평활화 데이터를 구하는 평활화수단과, 상기 적산데이터를 상기 평활화 데이터로 나눗셈하는 나눗셈연산을 행하여, 규격화 데이터를 산출하는 규격화수단과, 상기 규격화 데이터에서의 편차를 제시하는 편차제시수단을 포함한다.

상기 구성을 가지는 제1발명의 투공의 검사방법 또는 제2발명의 투공의 검사장치에서는, 투공판의 한쪽의 주면으로부터 광을 조사하여 광을 투공판에서 통과시킨다. 이것에 의해 투공판의 투공에서는 광이 투과하고, 투공판의 다른쪽 주면측에서는 투공의 배치의 밀도에 따라 명암의 분포가 얻어진다. 이 명암의 분포는 투공판의 촬상을 거쳐 화소의 농도치인 계조데이터로서 받아들여진다. 이때, 이 계조 데이터는 그 속하는 개개의 데이터(계조치)가 소정의 방향을 따른 제1축과 이것에 직교하는 제2축으로 정해지는 평면에 2차원 분포된 데이터로서 얻어진다.

그리고, 상기 2차원 분포의 계조 데이터는 그 속하는 개개의 데이터(계조치)가 제2축의 좌표마다 제1축을 따라 적산되는 것에 의해 적산 데이터가 되고, 이 적산 데이터는 개개의 데이터(계조치)가 제2축에 1차원 분포한 데이터가 된다. 따라서 선불균일이 발생한 위치에서는 그 불균일발생의 방향으로 데이터(계조치)가 적산된다. 이 때문에 선불균일이 발생한 위치에서의 적산치는 그 선불균일이 불균일의 길이가 짧은 것이라도 당해 위치 전후의 위치에서의 데이터(계조치)의 적산치로부터 급변하여, 선불균일이 발생한 위치가 현저해진다. 그러나 선불균일 이외의 부분 불균일이나 전체 불균일에서는 이들의 불균일이 발생한 범위의 영역에서의 데이터(계조치)의 적산치는 당해 영역 전후에서의 데이터(계조치)의 적산치로부터 변화하지만, 그 변화의 모습은 완만하다.

그리고, 이 적산 데이터를 평활화 처리하여 평활화 데이터가 구해진다. 따라서 평활화 처리에 의해 적산 데이터에서의 데이터(계조치)의 적산치의 변화의 모습은, 적산치의 변화가 완만한 위치에서는 완만한 채로, 적산치가 급변하는 위치에서는 그 변화의 정도가 억제되어, 평활화 데이터에 반영된다.

적산 데이터를 이 평활화 데이터로 나눗셈하는 나눗셈처리를 거쳐 구해지는 규격화 데이터는 평활화 데이터와 적산 데이터에 공통으로 나타나는 현상은 제거되고, 적산 데이터에 특이하게 나타나는 현상을 나타내는 데이터가 된다. 따라서 이 규격화 데이터에서는 투공판의 투공의 배치밀도에 따른 명암 및 적산 데이터에서의 데이터(계조치)의 적산치의 완만한 변화의 모습이 제거되고, 적산 데이터에서의 데이터(계조치)의 적산치의 급변의 모습이 나타난다. 이 때문에 이 규격화 데이터에서의 편차는 선불균일의 발생위치에서는 데이터(계조치)의 적산치의 급변의 모습을 나타내고, 선불균일 발생한 위치를 보다 현저화시킨다. 그러나, 선불균일 이외의 부분 불균일이나 전체 불균일의 발생영역 혹은 불균일의 미발생위치에서 볼 수 있는 데이터(계조치)의 적산치의 완만한 변화의 모습은, 규격화 데이터에는 현저하게 나타나지 않는다. 그리고 이 규격화 데이터에서의 편차를 제시한다.

단, 계조 데이터에는 높은 공간주파수인 잡음이 포함되고, 당해 잡음은 적산 데이터에 적산되어 반영되지만, 평활화 데이터에서는 평활화처리를 거쳐 이 잡음은 저감된다. 따라서, 이 잡음은 평활화 데이터에서의 나눗셈처리를 거친 규격화 데이터에는 나타나지만 규격화 데이터에서의 편차에는 현저하게 나타나지는 않는다.

이 때문에, 상기한 제1발명의 투공의 검사방법 또는 제2발명의 투공의 검사장치에 의하면 투공의 치수 이상에 기인하여 선모양으로 생기는 광투과율의 선불균일을, 그 불균일의 장단이나 농담에 구애받지 않고 정밀하게 검출할 수 있어, 선불균일의 양부판별의 신뢰성을 높일 수 있다.

상기 제1발명의 구성에 있어서, 상기 규격화 데이터에서의 편차에 의거하여 검사대상인 상기 투공판에 대한 상기 선불균일의 양부 판별을 하는 판별 공정을, 상기 편차제시 공정으로 바꾸어 혹은 상기 편차제시 공정과 함께 가진다.

또한, 상기 제2발명의 구성에 있어서, 상기 규격화 데이터에서의 편차에 의거하여, 검사대상인 상기 투공판에 대한 상기 선불균일의 양부 판별을 하는 판별수단을, 상기 편차제시 수단으로 바꾸어 혹은 상기 편차제시 수단과 함께 가진다.

이들 구성의 투공의 검사방법 및 검사장치에서는 규격화 데이터에서의 편차에 의거하여 검사대상인 투공판에 대한 선불균일의 양부판별을 하므로, 이 판별을 선불균일이 발생한 위치가 보다 현저화된 상태에서 행할 수 있다. 따라서, 이들 구성의 투공의 검사방법 또는 검사 장치에 의하면 투공의 치수 이상에 기인하여 선모양으로 생기는 광투과율의 선불균일을, 그 불균일의 장단이나 농담에 구애받지 않고 정밀하게 검출할 수 있어, 선불균일의 양부 판별의 신뢰성을 높일 수가 있다.

상기 제1발명의 구성에 있어서, 상기 적산화 공정은, 상기 2차원 분포된 계조 데이터를 분할하여 복수의 분할 계조 데이터를 구하는 공정과, 복수의 상기 분할 계조 데이터에 대하여, 분할 계조 데이터에 속하는 개개의 계조치를 상기 제2의 축의 좌표마다 상기 제1의 축을 따라 적산하여 복수의 분할 데이터를 각각 구하는 공정을 포함하며, 상기 평활화 공정이 복수의 상기 분할 적산 데이터를 각각 평활화 처리하여 복수의 분할 평활화 데이터를 각각 구하는 공정이고, 상기 규격화 공정이, 복수의 상기 분할 적산 데이터를 복수의 상기 분할 평활화 데이터로 각각 나눗셈하는 나눗셈연산을 행하여, 복수의 분할 규격화 데이터를 각각 산출하는 공정이며, 상기 판별 공정이 상기 양부 판별을 복수의 상기 분할 규격화 데이터에서의 편차에 의거하여 행하는 공정이다.

또한, 상기 제2발명의 구성에 있어서, 상기 적산화 수단은, 상기 2차원 분포된 계조 데이터를 분할하여 복수의 분할 계조 데이터를 구하는 수단과, 복수의 상기 분할 계조 데이터에 대하여, 분할 계조 데이터에 속하는 개개의 계조치를 상기 제2의 축의 좌표마다 상기 제1의 축을 따라 적산하여 복수의 분할 적산 데이터를 각각 구하는 수단을 가지며, 상기 평활화 수단이, 복수의 상기 분할 적산 데이터를 각각 평활화처리하여 복수의 분할평활화 데이터를 각각 구하는 수단이고, 상기 규격화 수단이 복수의 상기 분할 적산 데이터를 복수의 상기 분할 평활화 데이터로 각각 나눗셈하는 나눗셈 연산을 행하여 복수의 분할 규격화 데이터를 각각 산출하는 수단이며, 상기 판별수단이 상기 양부 판별을 복수의 상기 분할 규격화 데이터에서의 편차에 의거하여 행하는 수단이다.

이들 구성의 투공의 검사방법 또는 검사장치에서는 2차원 분포된 계조 데이터를 분할하여 복수의 분할 계조 데이터를 구하고, 이 복수의 분할 계조 데이터의 각각에 대하여, 그 속하는 개개의 데이터(계조치)의 적산연산을 거친 적산 데이터의 산출, 이 적산 데이터의 평활화 처리를 거친 평활화 데이터의 산출이 평활화 데이터에서의 나눗셈연산을 거친 규격화 데이터의 산출 및 규격화 데이터에서의 편차에 의거한 양부 판별을 행한다. 이 분할 계조 데이터의 데이터 분포영역은, 투공판에서는 그 투공 배열영역의 일부영역에 해당하므로 선불균일의 양부 판별을 투공배열영역의 일부 영역마다 행할 수 있다. 이 때문에, 이들 구성의 투공의 검사방법 또는 검사장치에 의하면, 불균일의 길이가 짧아 투공 배열영역의 일부 영역에만 존재하는 선불균일이라도, 이 불균일을 보다 정밀하게 검출할 수 있다.

상기 제2발명의 구성에 있어서, 상기 평활화 수단이 1차원의 필터윈도우를 가지는 메디안 필터에 의해 상기 적산 데이터 또는 부할 적산 데이터를 상기 제2축을 따라 평활화 처리하는 필터수단을 가진다.

이 구성의 투공의 검사장치에서는, 1차원의 필터윈도를 가지는 메디안 필터, 예를 들며 1행 m열(m은 자연수)혹은 n행 1열(n은 자연수)의 필터윈도우를 가지는 메디안 필터로 연산데이터 또는 분할 적산 데이터를 제2의 축을 따라 평활화 처리한다. 따라서, 이 구성의 투공의 검사장치에 의하면, 적산 데이터 또는 분할 적산 데이터에서 해당하는 평활화 데이터를 얻는데 있어서, 적산 데이터 또는 분할 적산 데이터에서의 데이터(계조치)의 적산치의 변화의 모습을, 적산치의 변화가 완만한 위치에서는 완만한 채로, 적산치의 급변 위치에서는 그 변화의 정도가 억제되어 평활화 데이터에 정확히 반영된다. 또한 효과적인 잡음저감과 작은 변동의 평활화가 행해진 평활화 데이터를 얻을 수 있다. 따라서, 이 구성의 투공 검사장치에서도, 투공의 치수 이상에 기인하여 선모양으로 발생하는 광투과율의 선불균일을, 그 불균일의 장단이나 농담에 구애받지 않고 보다 정밀하게 검출할 수 있어 선불균일의 양부판정의 신뢰성을 한층 높일 수 있다.

다음에 본 발명의 실시형태를 섀도우 마스크 검사장치의 실시예에 의거하여 설명한다. 우선, 이 실시예의 섀도우 마스크 검사장치(30)의 외관구성에 대하여 설명한다. 제1도의 정면도에 나타내는 바와 같이 섀도우 마스크 검사장치(30)는, 섀도우 마스크(SM)를 촬상하여 화상데이터를 얻기 위한 광학측정장치(40)와, 화상데이터에 의거하여 각종 데이터 처리를 행하는 데이터처리장치(50)로 구성되어 있다.

광학측정장치(40)는, 정반(定盤)(41)를 구비하고 이 정반(41)의 상면에는 조명광을 통과 시키기 위한 개구가 거의 중앙에 형성되어 있다. 또한, 정반(41)의 상면에는, 광을 확산하여 투과하는 확산판(43)(예를 들면, 유리판, 플라스틱판 등)이 올려져 있고, 확산판(43)의 하방에는 광원(44)이 배치되어 있다. 이 광원(44)으로서는 예를 들면 고주파점등형의 형광등이 사용된다. 한편, 확산판(43)의 상면에는 마스크판(45)이 올려져, 이 마스크판(45)에 섀도우 마스크(SM)가 점착테이프 등에 의해 밀착, 고정되지만 그 모습에 대해서는 후술한다.

정반(41)에서는 상방으로 뻗은 스탠드 지지암(46)이 입설되어 있고, 스탠드 지지암(46)에는 카메라 유지빔(47)이 이른바 편지(片持)로 설치되어 있다. 또한, 카메라 유지빔(47)은 스탠드 지지암에 도시하지 않은 조정기구에 의해 조정이 자유롭게 설치되어 있으므로 카메라 유지빔(47)과 CCD카메라를 일체로 상하방향(도면중 Z방향)으로 이동시킬 수 있다. 또한 CCD 카메라(49)는 카메라 유지빔(47)에 조정 가능하게 설치되어 CCD 카메라(49)를 좌우방향(도면중방향)으로 이동시킬 수 있다. 이 때문에 각종 사이즈의 섀도우 마스크의 촬상해야 할 영역과 CCD카메라(49)의 촬상영역이 일치하도록 CCD카메라(49)를 상하좌우로 이동시킬 수 있다.

CCD카메라(49)는, CCD소자를 2차원 배치한 CCD카메라이며, 화상의 농담을 농담 렌즈로 10비트의 디지털 출력이 가능하다. 한편, CCD카메라에서는 1,534화소 × 1,024화소의 화상을 취득할 수 있다.

데이터 처리장치(50)는, 후술하는 화상을 표시하는 디스플레이(52)와, 각종 화상처리를 행하는 화상처리장치(54)와, CCD카메라(49)의 이득 및 셔터 스피드를 제어하는 카메라 제어장치(62)를 구비하고 있다.

다음에 섀도우 마스크 검사장치(30)의 전기적 구성에 대하여 제2도의 블록도를 이용하여 설명한다. 광원(44)에서 출사된 광은 확산판(43)과, 섀도우 마스크(SM)의 투공판을 순차통과하여 CCD 카메라(49)에 입사한다. 이때, 마스크판(45)에 섀도우 마스크(SM)가 밀착 고정되어, 섀도우 마스크(SM)의 투공이 형성된 영역인 투공 영역(SMe)은 마스크판(45)의 개구(45a)에서 노출되고, 투공이 형성되어 있지 않은 섀도우 마스크(SM)의 주변 영역은 마스크 된다. 따라서 CCD 카메라(49)는 투공영역(SMe)에 관하여 섀도우 마스크(SM)을 촬상하고, 그 2차원 배열된 농담화상(다치화상)의 화상 데이터(Di)로서 얻는다. 이 화상 데이터(Di)는 카메라 제어장치(62)를 통하여 화상처리장치(54)로 들어가, 후술하는 화상처리가 행해진 후, 각종 화상이 디스플레이(52)에 표시된다.

화상처리장치(54)는, 미리 등록된 프로그램에 의해 각종 처리를 행하는 범용형의 고속 화상처리 장치이며, 각종이 화상처리 이외에 미리 정해진 다른 처리를 행하는 CPU(66)와, 화상데이터(Di)등의 일시적인 기억을 행하는 RAM등의 주기억장치(68)와, 데이터의 입력을 위한 키보드(70)와, 화상 데이터(Di)등의 데이터를 보존하는 보조기억장치(72), 예를 들면, 플렉시블디스크장치 등과, 검사결과 등을 출력하는 프린터(74)를 구비하고 있으며, 이들은 서로 버스라인(64)을 통해 접속되어 있다. 또한, 이 화상처리장치(54)의 버스라인(64)에는 카메라 제어장치(62)와 디스플레이(52)가 접속되어 있다.

다음에 본 실시예의 섀도우 마스크 검사장치(30)가 행하는 선불균일의 검사처리에 대하여 제3도 이후의 플로우 차트등을 이용하여 설명한다.

제3도의 플로우 차트는 본 실시예에서 행하는 섀도우 마스크(SM)의 선불균일 검사처리의 개요를 나타내고 있으며, 당해 처리가 개시되면 이후의 처리를 행하는데 필요한 초기화를 행한다(스텝S100). 예를 들면, 검사개시 초기화면의 디스플레이(52)로의 표시, 후술하는 처리에서 이용하는 메모리 영역의 클리어 등을 행한다.

이 초기화를 행하면 디스플레이(52)에는 초기설정화면이 표시되고, 그 이후의 검사처리의 과정에 있어서 필요하게 되는 각종의 항목(초기설정항목)의 입력위치에는, 이 초기설정화면에서는 데이터가 미입력인채로 있다.

스텝(S100)에 이어서는, 검사의 과정에 있어서 필요하게 되는 각종의 항목에 대하여 초기설정을 행한다(스텝S110), 이 초기설정에서는, 초기화처리에서 데이터 미입력인채로 표시된 초기설정화면의 초기설정항목에 순차 데이터를 입력한다. 즉, 초기설정처리의 상세처리를 나타낸 제4도의 플로우 차트에 나타내는 바와 같이 검사결과의 출력 파일명(스텝S111), 검사대상의 섀도우 마스크(SM)를 마스크하기 위해 이용하는 마스크판(45)의 마스크 타입(스텝S112), 검사원이름(스텝S113)을 순차 입력한다. 이들은 검사종료 후에 표시 또는 프린트아웃하는 검사결과에 게재된다. 한편, 출력파일은 검사결과를 검사대상의 새도우 마스크(SM)마다 보존하기 위한 파일이며, 그 데이터 포맷은 검사대상의 섀도우 마스크(SM)의 샘플 ID(예를 들면 제조 시리얼 번호), 검사원 이름, 검사일 등을 보존할 수 있도록 구축되어 있다.

이들 입력이 완료되면, 검사개시 스위치가 눌려질 때까지 대기하고(스텝S114), 검사가 개시되면 출력 파일을 오픈하여(스텝S115), 검사결과의 출력에 대비한다. 한편 이 출력 파일에는 후술하는 종불균일 및 횡불균일에 대한 판별결과 등이 출력되고 당해 데이터는 보존된다. 그 후에는 입력된 출력 파일명 등의 초기설정 데이터를 설정하고(스텝S116), 디스플레이(52)의 초기설정화면중에 이 초기설정데이터들을 표시하여 결과표시화면을 설정한다(스텝S117). 이어서, 검사대상의 섀도우 마스크(SM)에 대한 선불균일의 양부 판별의 결과 등을 표시하기 위한 결과표시화면을 디스플레이(52)에 표시한다(스텝S118). 한편, 이 선불균일의 양부 판별의 결과 등은 후술하는 선불균일 판별처리에서의 판별결과에 따라 자동입력되고 그 항목은 선불균일의 종별(종불균일, 횡불균일 중의 하나)이나 그 선불균일마다의 양부 판별의 결과등이다.

상기한 초기설정에 이어서는, 제3도에 나타내는 바와 같이 마스크판(45)이 올려진 확신판(43)으로의 검사원에 의한 섀도우 마스크(SM)의 세트 완료를 기다려 세트 완료후에 스위치 조작되어 발생되는 입력개시 지시를 대기한다(스텝S120). 여기에서 입력개시 지시가 있으면 이어지는 스텝(S122)이후의 일련의 처리에 의해 검사대상의 섀도우 마스크(SM)에 대한 투과화상을 받아들여 선불균일 검사를 위한 각종 처리를 행한다. 우선, 스텝(S120)에 이어서는 광원(44)을 점등제어함과 동시에 CCD 카메라(49)에 의해 섀도우 마스크(SM)의 투과화상을 촬상할때의 촬상 조건에 합치하도록 CCD 카메라(49)를 설정한다.(스텝S122), 구체적으로 설명하면, 미리 정해진 셔터 스피드, 이득, 포커스 등의 촬상조건과 검사대상의 섀도우 마스크(SM)의 투공의 투공영역(SMe)등에 의거하여 CCD 카메라(49)의 셔터 스피드 설정, 이득 설정, 포커스 조정등과 CCD 카메라(49)의 Z축 위치조정이 행해진다.

Z축 위치조정은 도시하지 않은 조정기구를 수동으로 조작하여, 스탠드 지지암(46)에 대해 카메라 유지빔(47)과 CCD 카메라(49)를 일체로 상하방향으로 이동시켜 행하고, 셔터스피드 설정, 이득조정등은 카메라 제어장치(62)로 행한다. 또한, 포커스 조정은 CCD 카메라(49)의 렌즈부(77)를 수동으로 조정하여 행한다. 이 경우 CCD 카메라(49)의 포커스는 CCD 카메라(49)의 화소의 배열과 섀도우 마스크(SM)의 투공의 주기적인 배열 사이에서 일어나는 무아레를(moire)제거하기 위하여 약간 흐리게 조정된다.

이렇게 하여 CCD 카메라(49)의 촬상조건이 설정되면, CCD 카메라(49)는 확산판(43)상의 섀도우 마스크(SM)의 촬상을 개시하고, 광원(44)에서 조사되어 섀도우 마스크(SM)의 투공을 투과한 광의 투과 화소(이하, 생화상이라고 한다)를 CCD 카메라(49)에서 받아들인다(스텝S124), CCD 카메라(49)는 섀도우 마스크(SM)의 생화상을 1,534화소 × 1,024화소로 농담의 범위가 10비트인 디지털 출력으로 계조 데이터로서 카메라 제어장치(62) 및 버스 라인(64)을 통하여 주기억장치(68)에 출력한다.

일반적으로 섀도우 마스크(SM)에 형성된 다수의 투공의 각각의 간격은, 섀도우 마스크의 중앙부에서는 좁고 그 주변방향으로 향할수록 넓어진다. 이것은 평탄한 섀도우 마스크(SM)를 돔 모양으로 형성하는 것을 고려하여 섀도우 마스크(SM)의 투공의 배치가 설계되어 있기 때문이다. 이로 인해 섀도우 마스크(SM)의 투과화상의 데이터인 전술한 계조 데이터는 섀도우 마스크(SM)의 투공의 배치밀도에 따라, 섀도우 마스크(SM)의 중앙부에서는 밝고 주변방향으로 향할수록 어두워지는 명암의 패턴(이하, 이 패턴을 그레이드라고 한다)이 농담의 범위로서 나타난 데이터이다. 게다가 이 계조 데이터에는 섀도우 마스크(SM)의 불균일에 의한 농담도 반영되어 있다.

그리고 이 생화상의 계조 데이터는 카메라 제어장치(62)를 거쳐 화성처리장치(54)에 보내어진다. 한편, 화상처리장치(54)로의 데이터 출력과 함께, 카메라 제어장치(62)는 생화상을 디스플레이(52)에 표시한다. 이것으로에 CCD 카메라(49)의 촬상영역을 확인할 수 있다.

CCD 카메라(49)에서 얻은 생화상의 출력신호(계조 데이터)에는, 광원(44)이나 확산판(43) 자체에서 일어나는 발광분포 불균일이나 촬상 시스템의 감도 불균일등이 가져오는 신호가 중첩되어 있다. 따라서 상기 스텝(S124)에서의 생화상을 받아들이고 나서는 화상데이터(계조 데이터)를 그 데이터 수가 동등하게 된 레퍼런스 데이터(계조 데이터)로 나눗셈하여 세이딩 보정한다(스텝S126). 이 레퍼런스 데이터는 확산판(43)에 섀도우 마스크(SM)를 올리지 않고 마스크판(45)만을 올린상태에서 미리 촬상한 화상의 계조 데이터이며, 주기억장치(68)에 미리 기억되어 있다. 따라서 이 레퍼런스 데이터는 세이딩보정시에 판독된다.

이어서, 이 불균일 검사처리에서 선불균일의 판별을 행하는 처리대상영역(SMe0)를 설정한다(스텝S128). 즉, 제5도에 나타내는 바와 같이. 섀도우 마스크(SM)의 투공의 투공영역(SMe)은 그 둘레가 만곡(彎曲)한 영역이므로, 이 만곡 둘레의 영역에 대해서는 선불균일의 발생방향으로 데이터를 적산하였을 때의 데이터 수의 정합이 흐트러진다. 따라서 미리 이 스텝(S128)에 의해 사각형의 처리대상영역(SMe0)을 X축 및 Y축으로 결정되는 평면 영역으로서 규정하는 것이다. 다음에 광투과율의 불균일이 종방향(Y축방향)으로 선모양으로 발생한 선불균일(이하, 종불균일이라고 한다)의 판별처리를 행한다(스텝S130).

이 종불균일의 판별처리에서는, 그 상세처리를 나타낸 제6도의 플로우 차트와 같이 우선, 종불균일 판별의 판별대상영역의 구역을 나타내는 구역식별자(Ti)에 값 0을 세트하여 초기화한다(스텝S131). 이 구역식별자(Ti)는 값 0에서 값 5까지를 취득하도록 설정되어 있으며, 구역식별자(Ti)가 값 0일 때는 종불균일 판별의 판별대상영역의 구역은 스텝(S128)에서 설정한 처리대상영역(SMe0)의 전 영역임을 의미한다. 한편, 구역식별자(Ti)가 값 1에서 값 5일 때는 제7도에 나타내는 바와 같이 종불균일 판별의 판별대상영역의 구역은 상기의 처리대상영역(SMe0)을 종불균일의 불균일방향에 직교하는 X축을 따라 3분할한 넓이의 영역(이하, 설명의 편의상 이 영역을 분할영역이라고 한다)임을 의미하며, 더구나 값 1, 값 2, 값 3, 값 4 및 값 5의 각각으로 종불균일 판별의 판별대상영역의 구역 위치를 규정한다.

즉, 구역식별자(Ti)가 값 1일 때는 종불균일 판별의 판별대상영역의 구역은 처리대상영역(SMe0)의 최상부를 차지하는 분할영역(이하, 그 분할영역을 제1분할영역(SMeT1)이라고 한다)임을 의미한다. 구역식별자(Ti)가 값 2일 때는 종불균일 판별의 판별대상영역의 구역은, 제1분할영역(SMeT1)과 Y축 방향을 따라 거의 절반 겹친 분할영역(이하, 이 분할영역을 제2분할영역(SMeT2)이라고 한다)임을 의미한다. 구별식별자(Ti)가 값 3일 때는 종불균일판별의 판별대상영역의 구역은, 제2분할영역(SMeT2)과 Y축방향을 따라 거의 절반이 겹쳐 처리대상영역(SMe0)의 상하 중앙부를 차지하는 분할영역(이하, 이 분할영역을 제3분할영역(SMeT3)이라고 한다)임을 의미한다. 구역식별자(Ti)가 값 4일 때는 종불균일 판별의 판별대상영역의 구역은 제3분할영역(SMeT3)과 Y축방향을 따라 거의 절반이 겹친 분할영역(이하, 이 분할영역을 제4분할영역(SMeT4)이라고 한다)임을 의미한다. 그리고, 구역식별자(Ti)가 값 5일 때는 종불균일 판별의 판별대상영역의 구역은, 제4분할영역(SMeT4)과 Y축 방향을 따라 거의 절반이 겹쳐 처리대상영역(SMe0)의 최하부를 차지하는 분할영역(이하, 이 분할영역을 제5분할영역(SMeT5)이라고 한다)임을 의미한다. 따라서 구역식별자(Ti)의 값이 값 1에서 1증가할 때마다 종불균일 판별의 판별대상의 구역은 종불균일의 불균일 방향인 Y축을 따라 이동되게 된다.

그리고, 스텝(S131)에서의 구역식별자(Ti)의 초기화에 이어서는 구역식별자(Ti)에 대응하는 종불균일 판별의 판별대상영역의 구역에 대하여, 당해 구역에 속하는 계조 데이터의 각각의 데이터를 X축의 좌표마다 Y축을 따라 적산하여 적산 데이터를 구하고, X축 및 Y축으로 결정되는 평면에 2차원 분포하고 있던 데이터의 1차원화를 행한다(스텝S132). 이 경우에는 Ti=0이므로 스텝(S128)에서 정한 처리대상영역(SMe0)에 속하는 데이터에 대하여 상기의 적산 데이터의 산출이 행해지고 이 처리대상영역(SMe0)에 대해 데이터의 1차원화가 행해진다. 따라서 이 처리의 모습을 도면으로 모식적으로 설명하면 제8도에 나타내는 바와 같이 X축 좌표마다 하나의 데이터(농도치)를 가지는 적산 데이터가 얻어지고, 종불균일(TM)이 발생한 위치에서는 그 불균일의 정도를 나타내는 농도치의 적산치가 얻어진다. 그리고 종불균일(TM)이 발생한 위치에서는 그 적산치는 전후 데이터의 적산치에서 급변하여 종불균일 발생한 위치가 현저화된다. 그러나, 종불균일 이외의 부분 불균일이나 전체 불균일이 생긴 경우에는 적산치의 변화는 보이지만 그 변화의 모습은 완만하게 된다. 이 경우 적산 데이터에는, 섀도우 마스크(SM)가 가지는 상기한 그레이드도 들어가, X축의 좌표중앙에서 블록해지는 완만한 부풀기의 그레이드가 나타난다.

한편, 제3도에 나타내는 종불균일(TM)은, 광투과율이 불균일이 엷은 불균일(광투과율이 낮은 불균일)로서 나타는 것이므로 데이터의 적산치는 다른 위치의 적산치보다 작게 되어있다. 그런, 종불균일(TM)이 진한 불균일(광투과율이 높은 불균일)로서 나타나는 것일 경우에 는 그 부분의 데이터의 적산치는 다른 위치의 적산치보다 커지게 된다.

상기의 적산 데이터의 산출에 이어서는 불균일의 폭(이 불균일 폭은 제11도의 L로서 나타나 있다)이 좁은 종불균일에 대응하도록 필터윈도우의 사이즈가 좁은 1행 15열(이하 1 × 15라고 한다)의 1차원의 필터윈도우를 가지는 메디안 필터(M/F)를 선택하고, 이 메디안 필터에서 상기의 적산 데이터를 평활화 처리하여 평활화 데이터를 구한다(스텝S133). 이때의 평활화 처리는 1 × 15의 필터윈도우의 각 데이터 윈도우를 메우는 데이터(적산 데이터)를 그 크기의 데이터로 나열하여 데이터열을 작성하고 그 데이터열의 중앙위치에 오는 데이터를 출력치로 하는 처리를 하나의 처리단위로 한다. 그리고, 스텝(S132)에서 구한 1차원의 적산 데이터에 대하여 메디안 필터의 필터링영역을 변화시키면서 예를 들면 필터 윈도우를 소정의 방향으로 1데이터씩 이동시켜 상기 하나의 처리단위의 처리를 상기 적산 데이터의 X축을 따른 데이터영역에 걸쳐 반복한다.

보다 구체적으로 설명하면, 제9도에 나타내는 바와 같이 상기의 적산 데이터를 X축 좌표마다 수치(적산농도치)로 나타내는 1열의 데이터열에 대해, 1 × 15의 필터 윈도우의 각 데이터 윈도우를 메워 그 크기의 순으로 나열하여 데이터열을 작성하고, 그 데이터열의 중앙의 위치에 오는 데이터를 출력치로 한다. 그리고, 이 처리를 1 × 15M/F의 필터링영역을 이동시키면서 반복하고, 그 출력치를 X축의 좌표를 따라 나열한 데이터열, 즉 평활화 데이터를 구한다. 한편, 도시하는 데이터열의 단부에서는 필터 윈도우에 격납되는 데이터수가 15 이하가 되어 부족이 발생한 경우에는 격납된 데이터수의 데이터에서의 나열바꿈 및 출력치의 선출을 행한다. 예를 들면, 격납데이터수가 5이고 그 데이터가 4000, 4065, 3987, 4002, 3985라면, 이 데이터의 나열바꿈 후의 데이터열(3985, 3987, 4000, 4002, 4065)에서 그 중앙치인 4000을 출력치로한다.

한편, 전술한 바와 같이 중앙치를 쉽게 취득할 수 있으므로 M/F의 윈도우 사이즈를 홀수로하여 M/F처리를 홀수개의 데이터에 대하여 행하는 것이 바람직하다. 그러나, 홀수개의 데이터에 한정되는 것이 아니라 짝수개의 데이터라도 당연히 무방하다. 짝수개의 데이터의 경우, 그 짝수개 데이터의 나열을 바꾼 데이터열의 중앙에 위치하는 데이터를 중앙 양측의 데이터의 한쪽 또는 양쪽 데이터의 평균치로 하면 중앙치에 위치하는 데이터를 취득할 수 있다.

이렇게 하여, M/F에 의한 평활화처리를 거쳐 구한 평활화 데이터에서는, 높은 공간주파수인 잡음이나 변동은 제거된다. 그러나, 적산 데이터에서의 적산치의 변화의 모습은 제10도에 나타내는 바와 같이 종불균일(TM)의 발생위치에서는 그 변화의 정도가 억제되어 평활화 데이터에 반영하되, 불균일의 미발생위치나 부분 불균일등의 발생위치와 같이 적산치의 위치가 완만한 위치에서는 완만한 채로 반영되어있다. 한편, 이 평활화 데이터에서도 상기한 그레이드는 완만한 부풀기로 반영되어있다.

상기 스텝(S133)에 이어서는, 제8도의 적산 데이터를 제10도의 평활화 데이터로 나눗셈함과 동시에, 당해 나눗셈을 거쳐 구한 규격화 데이터의 편차를 그 최대편차(hsT0)와 함께 연산하여 이들을 주기억장치(68)에 기억한다(스텝S134). 이 규격화 데이터에서는, 데이터의 나눗셈을 거치고 있으므로 평활화 데이터와 적산 데이터에 공통으로 나타나는 현상은 제거되고 적산 데이터에 특이하게 나타나는 현상이 나타난다. 따라서, 이 규격화 데이터에서는 제11도에 나타내는 바와 같이 투공판의 투공의 배치밀도에 따른 명암의 변화모습(그레이드) 및 적산 데이터에서의 데이터의 적산치의 완만한 변화의 모습이 제거되어, 적산 데이터에서의 데이터적산치의 급변한 모습이 나타난다. 이 때문에 이 규격화 데이터에서의 편차는 종불균일의 발생위치에서는 데이터 적산치의 급변한 모습을 나타내어 추이(推移)하고, 종불균일이 발생한 위치에서는 현저화되어 최대편차(hsT0)가 된다. 또한, 그 불균일폭은 도면중 L의 크기로 판명한다. 그러나, 종불균일 이외의 부분 불균일이나 전체불균일의 발생영역에서 볼 수 있는 데이터 적산치의 완만한 변화의 모습이나 그레이드는 규격화 데이터에서는 현저하게 나타나지 않는다.

이 경우 제11도에 나타내는 규격화 데이터에서의 편차의 추이와 그 최대편차(hsT0)의 크기는 디스플레이(52)에 표시된다. 따라서, 검사원은 규격화 데이터에서의 편차의 추이와 그 최대편차(hsT0)의 크기의 제시를 받게된다.

스텝(S134)에 이어서는 구역식별자(Ti)를 값 1만큼 인크리멘트하여 그 값을 증가시키고(스텝S135), 그 후 구역식별자(Ti)의 값이 6미만인지 아닌지를 판단한다(스텝S136). 그리고, 이 스텝(S136)에서 긍정으로 판단한 경우에는 상기한 스텝(S132)으로 이행하여 스텝(S135)까지의 처리를 행하고, 다시 스텝(S136)의 판단을 한다. 이 경우에는 구역식별자(Ti)는 그 값이 0이었으므로 스텝(S135)에서 값 1이 되어 스텝(S136)에서의 긍정판단을 받아 스텝(S132)으로 이행(移行) 한다.

즉, 스텝(S136)에서 부정 판단할 때까지 스텝(S132 ~ 135)의 처리가 반복되므로 각각의 구역식별자(Ti)에 대응하는 제1분할영역(SMeT1) ~ 제5분할영역(SMeT5)마다, 이 영역의 순서로 상기 일련의 처리가 반복된다. 이 때문에 제12도 ~ 제16도에 나타내는 바와 같이, 제1분할영역(SMeT1) ~ 제5분할영역(SMeT5)마다 적산 데이터가 취득되고, 이들 적산 데이터의 1 × 15의 M/F에 의한 평활화처리, 적산 데이터의 평활화 데이터에서의 나눗셈처리, 편차연산기억이 행해진다. 이 편차연산시에는 제1분할영역(SMeT1) ~ 제5분할영역(SMeT5)마다의 최대편차(hsT1) ~ 최대편차(hsT5)도 연산되어 함께 기억된다. 한편, 제12도 ~ 제16도에서의 X축의 좌표마다 수치(적산농도치)가 제8도의 수치보다 낮은 것은 제1분할영역(SMeT1) ~ 제5분할영역(SMeT5)에서는 처리대상영역(SMe0)에 비하여 Y축방향의 영역이 좁은 것만큼 데이터수가 적게 된다.

그리고, 스텝(S136)에서 부정 판단되면 상기와 같이 처리대상영역(SMe0)을 비롯한 각 제1분할영역(SMeT1) ~ 제5분할영역(SMeT5)에 대한 최대편차(hsT0) ~ 최대편차(hsT5)를 판독하여 그 중의 최대의 것을 검사대상이 되는 섀도우 마스크(SM)에서의 종불균일의 최대편차(hs)로 한다(스텝S137). 그 후, 이 최대편차(hs)를 미리 주기억장치(68)에 기억되어 있는 판별 맵(종불균일의 양부와 최대편차(hs)를 대응시킨 맵)에 적용시켜 종불균일의 양부판별을 하고 그 결과를 주기억장치(68)에 기억한다(스텝S138). 예를 들면 최대편차(hs)가 제3분할영역(SMeT3)의 최대편차(hsT3)일 경우에는, 최대편차(hs)이 값과 제3분할영역(SMeT3)인 것(구체적으로는 구역식별자(Ti)의 값 3)이, 양부 판별의 결과(양품, 불량품중의 하나)와 함께 기억된다. 한편 사용한 M/F의 종별도 함께 기억된다.

그 후에 재차, 구역식별자(Ti)에 값 0을 세트하여 이것을 초기화하고(스텝S141) 스텝(S142)로 이행한다. 즉 1 × 15의 M/F를 이용한 처리는 모두 종료하였으므로 불균일의 폭(제11도의 L)이 약간 넓은 종불균일에 대응하도록 필터윈도우의 사이즈가 약간 넓은 1행 21열(이하 1 × 21이라고 한다)의 1차원의 필터윈도우를 가지는 메디안 필터(M/F)를 이용한 처리로 이행한다. 따라서 처리대상영역(SMe0)을 비롯한 각 제1분할영역(SMeT1) ~ 제5분할영역(SMeT5)에 대한 적산 데이터의 취득(스텝S142), 이들 적산 데이터의 1 × 21의 M/F에 의한 평활화처리(스텝S143), 적사 데이터의 평활화처리에서의 나눗셈처리, 편차연산기억(스텝S144), 구역식별자(Ti)의 인크리먼트(스텝S145) 및 구역식별자(Ti)의 비교(스텝S146)가 행해진다. 또한 스텝(S146)에 이어서는 1 × 21의 M/F에서의 평활화처리를 거친 경우의 최대편차(hsT0) ~ 최대편차(hsT5)의 판독 및 종불균일의 최대편차(hs)의 산출을 행하고(스텝S147), 이 최대편차(hs)와 판별 맵으로부터의 종불균일의 양부판별·기억을 행한다(스텝S148). 그 후에 다시 구역식별자(Ti)에 값 0을 세트하여 이것을 초기화하고(스텝S151), 스텝(S152)로 이행한다.

즉 1 × 15, 1 × 21의 M/F를 이용한 처리는 모두 종료하였으므로 불균일의 폭(제11도의 L)이 보다 넓은 종불균일에도 대응하도록 필터윈도우의 사이즈가 넓은 1행 25열(이하 1 × 25라고 한다)의 1차원의 필터윈도우를 가지는 메디안 필터(M/F)를 이용한 처리로 이행한다. 따라서 처리대상영역(SMe0)을 비롯한 각 제1분할영역(SMeT1) ~ 제5분할영역(SMeT5)에 대한 적산 데이터의 취득(스텝S152), 이들 적산 데이터의 1 × 25의 M/F에 의한 평활화처리(스텝S153), 적산 데이터의 평활화 데이터에서의 나눗셈처리, 편차연산기억(스텝S154), 구역식별자(Ti)의 인크리먼트(스텝S155) 및 구역식별자(Ti)의 비교(스텝S156)가 행해진다. 또한 스텝(S156)에 이어서는 1 × 25의 M/F에서의 평활화처리를 거친 경우의 최대편차(hsT0) ~ 최대편차(hsT5)의 판독 및 종불균일의 최대편차(hs)의 산출을 행하고(스텝S157), 이 최대편차(hs)와 판별맵으로부터의 종불균일의 양부판별, 기억을 행한다(스텝S158).

여기에서, 상술한 바와 같이 필터윈도우의 사이즈가 다른 복수의 메디안 필터에 의해 적산 데이터를 평활화처리하는 이유를 상세하게 설명한다. 적산 데이터를 평활화 데이터로 나눗셈하여 얻어지는 규격화 데이터에는 편차가 명확히 나타나 있어야 하며, 그러기 위해서는 평활화 데이터에 있어서는 종불균일에 의한 변화가 가능한 한 억제될 필요가 있다. 이 변화를 효과적으로 억제하기 위해서는 불균일의 폭(제11도의 L)에 대응한 필터윈도우의 사이즈를 가지는 메디안 필터를 이용하여 적산 데이터를 평활화처리해야만 한다. 그래서 불균일의 폭이 다른 종불균일에 대응하기 위하여 필터윈도우의 사이즈가 다른 복수의 메디안 필터에 의해 적산 데이터를 평활화할 필요가 있다. 바꾸어 말하면 필터윈도우의 사이즈가 다른 복수의 메디안 필터에 의해 적산 데이터를 평활화처리 함으로써 불균일의 폭이 다른 종불균일에 대응할 수 있는 것이다.

스텝(S142, 152)에서의 적산 데이터의 취득은 그 처리내용이 스텝(S132)와 같으므로 스텝(S132)에서 구한 적산 데이터를 처리대상영역(SMe0)과 각 제1분할영역(SMeT1) ~ 제5분할영역(SMeT5)의 각 영역마다 주기억장치(68)에 기억해 두는 것으로 생략할 수 있다. 이 경우의 스텝(S142, 152)에서는 구역식별자(Ti)에 대응하는 상기 각 영역에 대한 기억완료된 적산 데이터를 판독하면 된다.

상기의 스텝(S158)에 이어서, 제3도에 나타내는 스텝(S160)으로 이행하여, 광투과율의 불균일이 횡방향(X축방향)으로 선모양으로 발생한 선불균일(이하 횡불균일이라고 한다)의 판별처리를 행한다.

이 횡불균일의 판별처리에서는, 그 상세처리를 나타낸 제17도의 플로우 차트와 같이 상기한 종불균일의 판별처리와 거의 처리내용이 같으며 판별대상영역으로 이용하는 메디안 필터가 다르다. 따라서 이하의 설명에서는, 종불균일의 판별처리와 다른 점에 대해서는 상세하게 설명하고, 유사한 처리내용에 대해서는 그 설명을 간략화하기로 한다.

횡불균일의 판별처리에서도 우선, 횡불균일판별의 판별 대상영역의 구역을 나타내는 구역식별자(Yi)에 값 0을 세트하여 초기화한다(스텝S161). 이 구역식별자(Yi)는 구역식별자(Ti)와 같이 값 1에서 값 5까지를 얻을 수 있도록 정해져 있으며, 구역식별자(Yi)가 값 0일 때는 횡불균일판별의 판별대상영역의 구역은 스텝(S128)에서 설정한 처리대상영역(SMe0)의 전영역임을 의미한다. 한편, 구역식별자(Yi)가 값 1에서 값 5일 때는 제18도에 나타내는 바와 같이 횡불균일판별의 판별대상영역의 구역은 상기의 처리대상영역(SMe0)을 횡불균일의 불균일방향에 직교하는 Y축을 따라 3분할한 넓이의 영역(이하, 설명의 편의상 이 영역을 분할영역이라 고 한다)임을 의미하고 더구나 값 1, 값 2, 값 3, 값 4 및 값 5의 각각으로 횡불균일판별의 처리대상영역의 구역의 위치를 규정한다.

즉, 구역식별자(Yi)가 값 1일 때는 횡불균일판별의 판별대상영역의 구역은 처리대상영역(SMe0)의 최좌측부를 차지하는 분할영역(이하, 이 분할영역을 제1분할영역(SMeY1)이라고 한다)임을 의미한다. 구역식별자(Yi)가 값 2일 때는, 횡불균일 판별의 판별대상영역의 구역은 제1분할영역(SMeY1)과 X축방향을 따라서 거의 절반 겹친 분할영역(이하, 이 분할영역을 제2분할영역(SMeY2)이라고 한다)임을 의미한다. 구역식별자(Yi)가 값 3일 때는, 횡불균일 판별의 판별대상영역의 구역은 제2분할영역(SMeY2)과 X축방향을 따라서 거의 절반이 겹쳐 처리대상영역(SMe0)의 좌우중앙부를 차지하는 분할영역(이하, 이 분할영역을 제3분할영역(SMeY3)이라고 한다)임을 의미한다. 구역식별자(Yi)가 값 4일 때는 횡불균일 판별의 판별대상영역의 구역은 제3분할영역(SMeY3)과 X축방향을 따라서 거의 절반 겹친 분할영역(이하, 이 분할영역을 제4분할영역(SMeY4)이라고 한다)임을 의미한다. 그리고, 구역식별자(Yi)가 값 5일 때는, 횡불균일 판별의 판별대상영역의 구역은 제4분할영역(SMeY4)과 X축방향을 따라서 거의 절반 겹쳐 처리대상영역(SMe0)의 최우측부를 차지하는 분할영역(이하, 이 분할영역을 제5분할영역(SMeY5)이라고 한다)임을 의미한다. 따라서 구역식별자(Yi)의 값이 값 1에서 1증가할 때마다 횡불균일판별의 판별대상영역의 구역은 횡불균일의 불균일방향인 X축을 따라 이동하게 된다.

그리고, 스텝(S161)에서의 구역식별자(Yi)의 초기화에 이어서는, 구역식별자(Yi)에 대응하는 종불균일판별의 판별대상영역의 구역(처리대상영역(SMe0)을 비롯한 각 제1분할영역(SMeY1) ~ 제5분할영역(SMeY5)중의 하나)에 대한 적산 데이터의 취득(스텝S162)을 행한다. 이 경우, 판별대상영역의 구역이 처리대상영역(SMe0)이라면 제19도에 나타내는 바와 같이 Y축 좌표마다 X축을 따라 적산하여 적산 데이터가 구해지고, 2차원 분포하고 있던 데이터의 1차원 화가 이루어진다. 이 때문에 Y축 좌표마다 하나의 데이터(농도치)를 가지는 적산 데이터가 얻어지고 횡불균일(YM)이 발생한 위치에서는 그 불균일의 정도를 나타내는 농도치의 적산치가 얻어진다. 또한 판별대상영역의 구역이 제1분할영역(SMeY1) ~ 제5분할영역(SMeY5)이라면 제20도에서 제24도에 나타내는 바와 같이 당해 구역의 데이터에 대한 적산을 거쳐 데이터의 1차원화가 이루어지고 각 구역에서의 횡불균일(YM)의 발생위치에서 그 불균일의 정도를 나타내는 농도치의 적산치가 얻어진다.

상기 적산 데이터의 산출에 이어서, 불균일의 폭(제21도, 제24도의 L)이 좁은 횡불균일에 대응하도록 필터윈도우의 사이즈가 좁은 15행 1열(이하, 15 × 1이라고 한다)의 1차원의 필터윈도우를 가지는 M/F의 선택 및 당해 메디안 필터에 의한 상기 적산 데이터의 평활화처리를 행하여(스텝S163), 평활화 데이터를 구한다. 그 후는 종불균일의 경우와 같이 적산 데이터의 평활화 데이터에서의 나눗셈처리, 편차연산기억(스텝S164), 구역식별자(Yi)의 인크리먼트(스텝S165) 및 구역식별자(Yi)의 비교(스텝S166)가 행해진다. 또한 스텝(S166)에 이어서, 15 × 1의 M/F의 평활화처리를 거친 경우의 최대편차(hsY0) ~ 최대편차(hsY5)의 판독 및 횡불균일의 최대편차(hs)의 산출을 행하여(스텝S167), 이 최대편차(hs)와 판별 맵으로부터의 횡불균일의 양부판별, 기억을 행한다(스텝S168), 그후에 다시 구역식별자(Yi)에 값 0을 세트하여 이것을 초기화하고(스텝S171), 스텝(S172)로 이행한다.

즉, 횡불균일의 경우와 같이 15 × 1의 M/F를 이용한 처리는 모두 종료하였으므로 불균일의 폭(제21도, 제24도의 L)이 약간 넓은 횡불균일에 대응하도록 필터윈도우의 사이즈가 약간 넓은 2행 1열(이하, 21 × 1이라고 한다)의 1차원의 필터윈도우를 가지는 M/F를 이용한 처리를 행한다. 따라서 처리대상영역(SMe0)을 비롯한 각 제1분할영역(SMeY1) ~ 제5분할영역(SMeY5)에 대한 적산 데이터의 취득(스텝S172), 이들 적산 데이터의 21 × 1의 M/F에 의한 평활화처리(스텝S173), 적산 데이터의 평활화 데이터에서의 나눗셈처리, 편차연산기억(스텝S174), 구역식별자(Yi)의 인크리먼트(스텝S175) 및 구역식별자(Yi)의 비교(스텝S176)가 행해진다. 또한 스텝(S176)에 이어서, 21 × 1의 M/F에서의 평활화처리를 거친 경우의 최대편차(hsY0) ~ 최대편차(hsY5)의 판독 및 횡불균일의 최대편차(hs)의 산출을 행하여(스텝S177), 이 최대편차(hs)와 판별 맵으로부터의 횡불균일의 양부판별, 기억을 행한다(스텝S178). 그 후에 다시 구역식별자(Yi)에 값 0을 세트하여 이것을 초기화하고(스텝S181), 스텝(S182)로 이행한다.

즉, 15 × 1, 21 × 1의 M/F를 이용한 처리는 모두 종료하였으므로, 불균일의 폭(제21도, 제24도의 L)이 약간 넓은 횡불균일에 대응하도록 필터윈도우의 사이즈가 넓은 25행 1열(이하, 25 × 1이라고 한다)의 1차원의 필터윈도우를 가지는 M/F를 이용한 처리를 행한다. 따라서 처리대상영역(SMe0)을 비롯한 각 제1분할영역(SMeY1) ~ 제5분할영역(SMeY5)에 대한 적산 데이터의 취득(스텝S182), 이들 적신 데이터의 25 × 1의 M/F에 의한 평활화처리(스텝S183), 적산 데이터의 평활화데이터에서의 나눗셈처리, 편차연산기억(스텝S184), 구역식별자(Yi)의 인크리먼트(스텝S185) 및 구역식별자(Yi)의 비교(스텝S186)가 행해진다. 또한 스텝(S186)에 이어서 25 × 1의 M/F에서의 평활화처리를 거친 경우의 최대편차(hsY0) ~ 최대편차(hsY5)의 판독 및 횡불균일의 최대편차(hs)의 산출을 행하여(스텝S187), 이 최대편차(hs)와 판별 맵으로부터의 횡불균일의 양부판별 기억을 행한다(스텝S188).

상기한 일련의 종불균일, 횡불균일에 대한 판별처리에 이어서는 제3도의 처리로 되돌아가 스텝(S138, 148, 158, 168, 178, 188)에서의 양부판별의 결과를 그 양부결과를 가져온 M/F의 종별과 불균일의 종별(종불균일, 횡불균일별)도 함께 디스플레이(52)에 표시한다(스텝S190). 그 후에는 다른 섀도우 마스크(SM)에 대한 상기한 검사를 계속하여 행할 필요가 있는지 없는지를 소정의 스위치의 압압(押壓) 상황으로부터 판단한다(스텝S200). 그리고 계속하여 검사하는 경우에는 상기한 스텝(S120)부터의 처리를 반복한다. 한편 상기한 판별결과에서의 이 항목들은 해당하는 검사대상의 섀도우 마스크(SM)에 대하여 샘플(ID)등과 함께 상기의 스텝(S138)등의 처리시에 보조기억장치(72)에 기억되고, 스텝(S200)에서 다른 섀도우 마스크(SM)에 대한 처리를 행할 경우에는 그 밖의 섀도우 마스크(SM)의 검사에 대비하여, 디스플레이(52)의 표시화상의 소거와 이 판별처리의 과정에서 일시적으로 기억되어 있던 각종 데이터의 주기억장치(68)에서의 소거가 행해진다.

이상 설명한 바와 같이 본 실시예의 섀도우 마스크 검사장치(30)에서는 종불균일 및 횡불균일의 각각의 선불균일에 대하여 섀도우 마스크(SM)의 미소한 범위의 둘레부를 제외한 영역의 처리대상영역(SMe0)과, 이것을 선불균일의 방향에 따라 분할한 일부 영역의 분할영역(제1분할영역(SMeT1) ~ 제5분할영역(SMeT5) 또는 제1분할영역(SMeY1) ~ 제5분할영역(SMeY5))으로 선불균일의 판별처리를 행한다. 더욱이 개개의 영역에서의 판별처리시에 그 영역에 속하는 개개의 계조 데이터의 적산연산을 거친 적산 데이터의 취득(스텝S132등), 메디안 필터에 의한 평활화 처리를 거친 평활화 데이터의 취득(스텝S133등), 적산 데이터의 평활화 데이터에서의 나눗셈연산을 거친 규격화 데이터의 취득(스텝S134등) 및 이 규격화 데이터의 편차의 제시(스텝S137등)와 당해 편차에 의거한 불균일의 양부판별(스텝S138등)을 행한다.

따라서, 종불균일 혹은 횡불균일이 발생한 위치에서는 그 불균일의 종방향 또는 횡방향을 따른 데이터의 적산을 통하여 그 불균일을 적산치가 급변하는 것으로 현저화할 수 있다. 그리고 이와 같이 하여 적산 데이터에 특이하게 나타나는 현상을 그 후의 평활화 처리나 나눗셈연산에 의해 규격화 데이터에서의 편차에 반영시킨다. 이 때문에 본 실시예의 섀도우 마스크 검사장치(30)에 의하면, 종불균일 또는 횡불균일을 그 불균일의 길이가 비교적 짧다거나, 불균일이 엷은 경우에도 보다 정밀하게 검출할 수 있으므로 선불균일의 양부 판별의 신뢰성을 한층 더 향상시킬 수 있다.

또한 본 실시예의 섀도우 마스크 검사장치(30)에서는 종불균일 및 횡불균일의 각각의 선불균일에 대하여 처리대상영역(SMe0)의 일부 영역인 분할영역(제1분할영역(SMeT1) ~ 제5분할영역(SMeT5) 또는 제1분할영역(SMeY1) ~ 제5분할영역(SMeY5))에서 선불균일의 판별처리를 행할 때, 전후하는 분할영역(예를 들면, 제1분할영역과 제2분할영역)을 겹친 상태로 한다. 이 때문에 종불균일 및 횡불균일의 양부 판별을 각각의 분할영역마다 할 수 있음과 동시에, 어느 분할영역의 둘레에 발생한 종불균일 및 횡불균일에 대해서도 그 양부판별을 내릴 수 있다. 따라서, 본 실시예의 섀도우 마스크 검사장치(30)에 의하면, 종불균일 및 횡불균일의 불균일의 장단이나 농담외에 그 발생위치가 어디냐에 구애받지 않고 종불균일 및 횡불균일을 보다 정밀하게 검출할 수 있으므로, 선불균일의 양부판별의 신뢰성을 한층 더 향상시킬 수 있다.

더욱이, 본 실시예의 섀도우 마스크 검사장치(30)에서는, 종횡의 선불균일마다 다른 필터윈도우 사이즈의 M/F를 이용하여 각각의 M/F에서의 선불균일의 양부판별을 모든 M/F에 대하여 행하였다. 따라서 불균일의 폭이 좁은 것이나 넓은 종불균일 및 횡불균일에 대해서도 보다 정밀하게 검출할 수 있으므로, 선불균일의 양부판별의 신뢰성을 한층 더 향상시킬 수 있다. 게다가 각각의 M/F를 이용하여 내린 판정 결과를 검사대상의 섀도우 마스크(SM)에 선불균일의 불량이 있는 경우에는 섀도우 마스크(SM)의 포토에칭법에서의 각 공정(코팅공정, 인화공정, 현상공정, 에칭공정 등)의 품질관리에 반영시킬 수 있어, 이것을 통하여 품질향상을 도모할 수 있다.

또한, 검사대상이 된 섀도우 마스크(SM)에 대한 판별결과와 더불어 스텝(S132, 142, 152, 162, 172, 182)에서 취득한 적산 데이터를 보조기억장치(72)에 기억하도록 구성하면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 상기의 불균일 판별처리에 의해 선불균일이 양품으로 판별된 섀도우 마스크(SM)가 나중에 품질불량으로 판별되어도 판별처리시의 적산 데이터를 표시하면 지적된 품질불량과 적산 데이터에 나타난 데이터의 적산의 모습을 대비할 수 있다. 이 때문에 양부판별의 타당성이나 양부판별을 위한 맵의 타당성을 재검토하거나, 판별결과와 품질불량과의 대비를 통한 품질불량의 원인 규명을 용이하게 행할 수 있다.

여기에서 상기한 실시예의 섀도우 마스크 검사장치(30)의 변형예에 대하여 설명한다. 상기의 섀도우 마스크 검사장치(30)에서는 종횡의 선불균일마다 다른 필터 윈도우 사이즈의 M/F에 각각 평활화 처리를 행하여 각각의 M/F에서의 선불균일의 양부판별을 모든 M/F에 대하여 행하였다. 그러나 어느 한 M/F에서의 선불균일의 양부판별이 불량으로 판별되면, 그 시점에서 처리를 종료하도록 구성할 수도 있다. 이 구성이라면 선불균일의 불량이 있는 경우에는 불균일 판별의 처리시간의 단축화를 도모할 수 있다.

또한, 상기한 필터윈도우 사이즈 이외의 사이즈를 가지는 M/F를 이용하거나, 소정의 필터윈도우 사이즈를 가지는 하나의 M/F를 이용하는 것만의 구성을 취할 수도 있다. 혹은 제1분할영역(SMeT1)에서 제5분할영역(SMeT5)중에서 제2분할영역(SMeT2)과 제4분할영역(SMeT4)에 대해서는 종불균일의 판별처리를 행하지 않고, 처리대상영역(SMe0)을 단순히 분할하였을 때의 인접하는 제1분할영역(SMeT1)과 제3분할영역(SMeT3)과 제5분할영역(SMeT5)에 대해서만 종불균일의 판별처리를 행하는 구성을 취할 수도 있다. 횡불균일에 대해서도 동일하다.

이상 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이와 같은 실시예에 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 각종의 형태로 실시할 수 있음은 물론이다.

Claims

다수의 투공이 대략 주기적으로 배열된 투공판에 대하여, 투공의 치수이상에 기인하여 선모양으로 생기는 광투과율의 선불균일을 검사하는 투공판의 검사방법에 있어서, 상기 투공판에 그 한쪽의 주면측에서 광을 조사하고 상기 투공판을 다른 쪽의 주면측에서 촬상하여, 소정의 방향을 향한 제1축과 이것에 직교하는 제2축으로 정해지는 평면에 개개의 제조치가 2차원 분포한 촬상화상의 제조 데이터를 구하는 촬상공정과, 상기 제조 데이터에 속하는 개개의 제조치를 상기 제2축의 좌표마다 상기 제1의 축을 따라 적산(積算)하는 적산연산을 행하여, 상기 계조 데이터의 적산 데이터를 구하는 적산화공정과, 상기 적산 데이터를 평활화처리하여 평활화 데이터를 구하는 평활화 공정과, 상기 적산데이터를 상기 평활화 데이터로 나눗셈하는 나눗셈연산을 행하여, 규격화 데이터를 산출하는 규격화공정과, 상기 규격화 데이터에서의 편차를 제시하는 편차제시 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사방법.
제1항에 있어서, 상기 규격화 데이터에서의 편차에 의거하여 검사대상인 상기 투공판에 대한 상기 선불균일의 양부판별을 하는 판별공정을, 상기 편차 제시공정으로 바꾸어 혹은 상기 편차제시공정과 함께 가지는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사방법.
제2항에 있어서, 상기 적산화공정은 상기 2차원 분포한 계조 데이터를 분할하여 복수의 분할계조 데이터를 구하는 공정과, 복수의 상기 분할계조 데이터에 대하여 분할 계조 데이터에 속하는 개개의 계조치를 상기 제2의 축의 좌표마다 상기 제1의 축을 따라 적산하여 복수의 분할 적산 데이터를 각각 구하는 공정을 포함하며, 상기 평활화 공정이, 복수의 상기 분할적산 데이터를 각각 평활화 처리하여 복수의 분할평활화 데이터를 각각 구하는 공정이고, 상기 규격화공정이 복수의 상기 분할적산 데이터를 복수의 상기 분할 평활화 데이터로 각각 나눗셈하는 나눗셈연산을 행하여, 복수의 분할규격화 데이터를 각각 산출하는 공정이며, 상기 판별공정이 상기 양부판별을 복수의 상기 분할규격화 데이터에서의 편차에 의거하여 행하는 공정인 것을 특징으로 하는 투공판의 검사방법.
다수의 투공이 대략 주기적으로 배열된 투공판에 대하여 투공의 치수이상에 기인하여 선모양으로 생기는 광투과율의 선불균일을 검사하는 투공판의 검사장치에 있어서, 상기 투공판을 지지하는 지지수단과, 상기 지지된 투공판에 그 한쪽의 주면측에서 광을 조사하는 조사수단과, 상기 지지된 투공판을 다른 쪽의 주면측에서 촬상하여, 소정의 방향을 향한 제1축과 이것에 직교하는 제2축으로 정해지는 평면에 개개의 계조치가 2차원 분포한 촬상화상의 계조 데이터를 구하는 촬상수단과, 상기 계조 데이터에 속하는 개개의 계조치를 상기 제2축의 좌표마다 상기 제1의 축을 따라 적산(積算)하는 적산연산을 행하여, 상기 계조 데이터의 적산 데이터를 구하는 적산화수단과, 상기 적산 데이터를 평활화처리하여 평활화 데이터를 구하는 평활화수단과, 상기 적산데이터를 상기 평활화 데이터로 나눗셈하는 나눗셈연산을 행하여, 규격화 데이터를 산출하는 규격화수단과, 상기 규격화 데이터에서의 편차를 제시하는 편차제시 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사장치.
제4항에 있어서, 상기 규격화 데이터에서의 편차에 의거하여 검사대상인 상기 투공판에 대한 상기 선불균일의 양부판별을 하는 판별수단을, 상기 편차제시수단으로 바꾸어 혹은 상기 편차제시수단과 함께 가지는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사장치.
제5항에 있어서, 상기 적산화수단은 상기 2차원 분포한 계조 데이터를 분할하여 복수의 분할계조 데이터를 구하는 수단과 복수의, 상기 분할계조 데이터에 대하여, 분할계조 데이터에 속하는 개개의 계조치를 상기 제2의 축의 좌표마다 상기 제1의 축을 따라 적산하여 복수의 분할 적산 데이터를 각각 구하는 수단을 포함하며, 상기 평활화 수단이, 복수의 상기 분할적산 데이터를 각각 평활화처리하여 복수의 분할 평활화 데이터를 각각 구하는 수단이고, 상기 규격화수단이, 복수의 상기 분할적산 데이터를 복수의 상기 분할 평활화 데이터로 각각 나눗셈하는 나눗셈 연산을 행하여, 복수의 분할규격화 데이터를 각각 산출하는 수단이며, 상기 판별수단이 상기 양부판별을 복수의 상기 분할 규격화 데이터에서의 편차에 의거하여 행하는 수단인 것을 특징으로 하는 투공판의 검사장치.
제4항에서 제6항 중의 어느 하나의 항에 있어서, 상기 평활화 수단이 1차원의 필터윈도우를 가지는 메디안 필터에 의해 상기 적산 데이터 또는 분할 적산 데이터를 상기 제2의 축을 따라 평활화 처리하는 필터 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사장치.