KR970012917A - 투공판의 검사방법 및 검사장치 - Google Patents

투공판의 검사방법 및 검사장치 Download PDF

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Abstract

섀도우 마스크 등의 투공판의 투공의 치수이상에 기인한 광투과율의 선불균일의 양부판별의 신뢰성을 향상시킨다.
섀도우 마스크(SM)의 촬상범위의 거의 전역에 해당하는 처리대상영역(SMeO)에 대하여, 여기에 속하는 계조 데이터의 개개를 X축의 좌표마다 적산하여, 2차원 분포되어 있던 데이터의 1차원화를 행한다. 이것에 의해, X축의 좌표마다 하나의 데이터(농도치)를 가지는 적산 데이터를 얻을 수 있다. 이 적산 데이터에는 종불균일(TM)이 생긴 위치에서는 그 불균일의 정도를 나타내는 농도치의 적산치가 얻어지고, 그 적산치는 전후의 데이터의 적산치에서 급변하여 종불균일이 발생한 위치가 현저화된다. 그 후, 소정의 필터윈도를 가지는 메디안 필터에서 이 적산 데이터를 평활화처리하여 평활화 데이터를 구하고, 이 평활화 데이터로 적산 데이터를 나눗셈하여 규격화 데이터를 구하고, 그 최대편차(hsTO)를 제시한다.

Description

투공판의 검사방법 및 검사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 실시예의 섀도우 마스크장치(30)의 외관구성을 나타내는 정면도.
제2도는 이 섀도우 마스크 검사장치(30)의 전기적 구성을 나타내는 블록도.
제3도는 실시예의 섀도우 마스크 검사장치(30)가 행하는 섀도우 마스크(SM)의 선불균일의 검사처리의 전체를 나타낸 플로우 챠트.

Claims (7)

  1. 다수의 투공이 대략 주기적으로 배열된 투공판에 대하여, 투공의 치수이상에 기인하여 선모양으로 생기는 광투과율의 선불균일을 검사하는 투공판의 검사방법에 있어서, 상기 투공판에 그 한쪽의 주면측에서 광을 조사하고 상기 투공판을 다른 쪽의 주면측에서 촬상하여, 소정의 방향을 향한 제1축과 이것에 직교하는 제2축으로 정해지는 평면에 개개의 계조치가 2차원 분포한 촬상화상의 계조 데이터를 구하는 촬상공정과, 상기 계조 데이터에 속하는 개개의 계조치를 상기 제2축의 좌표마다 상기 제1축을 따라 적산(積算)하는 적산연산을 행하여, 상기 계조 데이터의 적산 데이터를 구하는 적산화공정과, 상기 적산 데이터를 평활화처리하여 평활화 데이터를 구하는 평활화공정과, 상기 적산데이터를 상기 평활화 데이터로 나눗셈하는 나눗셈연산을 행하여, 규격화 데이터를 산출하는 규격화공정과, 상기 규격화 데이터에서의 편차를 제시하는 편차제시 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 규격화 데이터에서의 편차에 의하여 검사대상인 상기 투공판에 대한 상기 선불균일의 양부판별을 하는 판별공정을, 상기 편차 제시공정으로 바꾸어 혹은 상기 편차제시공정과 함께 가지는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사방법.
  3. 제2항에 있어서, 적산화공정은, 상기 2차원 분포한 계조 데이터를 분할하여 복수의 분할계조 데이터를 구하는 공정과, 복수의 상기 분할계조 데이터에 대하여, 분할계조 데이터에 속하는 개개의 계조치를 상기 제2의 축의 좌표마다 상기 제1의 축을 따라 적산하여 복수의 분할 적산 데이터를 각각 구하는 공정을 포함하며, 상기 평활화 공정이, 복수의 상기 분할적산 데이터를 각각 평활화처리하여 복수의 분할평활화 데이터를 각각 구하는 공정이고, 상기 규격화공정이, 복수의 상기 분할적산 데이터를 복수의 상기 분할 평활화 데이터로 각각 나눗셈하는 나눗셈연산을 행하여, 복수의 분할규격화 데이터를 각각 산출하는 공정이며, 상기 판별공정이, 상기 양부판별을 복수의 상기 분할규격화 데이터에서의 편차에 의거하여 행하는 공정인 것을 특징으로 하는 투공판의 검사방법.
  4. 다수의 투공이 대략 주기적으로 배열된 투공판에 대하여 투공의 치수이상에 기인하여 선모양으로 생기는 광투과율의 선불균일을 검사하는 투공판의 검사장치에 있어서, 상기 투공판을 지지하는 지지수단과, 상기 지지된 투공판에 그 한쪽의 주면측에서 광을 조사하는 조사수단과, 상기 지지된 투광판을 다른 쪽의 주면측에서 촬상하여, 소정의 방향을 향한 제1축과 이것에 직교하는 제2축으로 정해지는 평면에 개개의 계조치가 2차원 분포한 촬상화상의 계조 데이터를 구하는 촬상수단과, 상기 계조 데이터에 속하는 개개의 계조치를 상기 제2축의 좌표마다 상기 제1의 축을 따라 적산(積算)하는 적산연산을 행하여, 상기 계조 데이터의 적산 데이터를 구하는 적산화수단과, 상기 적산 데이터를 평활화처리하여 평활화 데이터를 구하는 평활화수단과, 상기 적산데이터를 상기 평활화 데이터로 나눗셈하는 나눗셈연산을 행하여, 규격화 데이터를 산출하는 규격화수단과, 상기 규격화 데이터에서의 편차를 제시하는 편차제시수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 규격화 데이터에서의 편차에 의거하여 검사대상인 상기 투공판에 대한 상기 선불균일의 양부판별을 하는 판별수단을, 상기 편차제시수단으로 바꾸어 혹은 상기 편차제시수단과 함께 가지는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 적산화수단은, 상기 2차원 분포한 계조 데이터를 분할하여 복수의 분할계조 데이터를 구하는 수단과, 복수의 상기 분할계조 데이터에 대하여, 분할계조 데이터에 속하는 개개의 계조치를 상기 제2의 축의 좌표마다 상기 제1의 축을 따라 적산하여 복수의 분할 적산 데이터를 각각 구하는 공정을 포함하며, 상기 평활화 수단이, 복수의 상기 분할적산 데이터를 각각 평활화처리하여 복수의 분할평활화 데이터를 각각 구하는 수단이고, 상기 규격화수단이, 복수의 상기 분할적산 데이터를 복수의 상기 분할 평활화 데이터로 각각 나눗셈하는 나눗셈연산을 행하여, 복수의 분할규격화 데이터를 각각 산출하는 수단이며, 상기 판별수단이, 상기 양부판별을 복수의 상기 분할규격화 데이터에서의 편차에 의거하여 행하는 수단인 것을 특징으로 하는 투공판의 검사장치.
  7. 제4항에서 제6항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 평활화 수단이 1차원의 필터윈도를 가지는 메디안 필터에 의해 상기 적산 데이터 또는 분할 적산 데이터를 상기 제2의 축을 따라 평활화 처리하는 필터 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960030019A 1995-08-30 1996-07-24 투공판의 검사방법 및 검사장치 KR100211427B1 (ko)

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