JPH0968502A - 透孔板の検査方法および検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 シャドウマスク等の透孔板の透孔の寸法異常
に起因した光透過率の筋ムラの良否判別の信頼性を向上
させる。 【解決手段】 シャドウマスクＳＭの撮像範囲のほぼ全
域に該当する処理対象領域ＳＭｅ0 について、ここに属
する階調データの個々をＸ軸の座標ごとに積算し、２次
元分布していたデータの１次元化を行なう。これによ
り、Ｘ軸の座標ごとに一のデータ（濃度値）を有する積
算データが得られる。この積算データには、縦ムラＴＭ
が生じた箇所では、そのムラの程度を示す濃度値の積算
値が得られ、その積算値は前後のデータの積算値から急
変し、縦ムラの生じた箇所が顕在化される。その後、所
定のフィルタウィンドを有するメディアンフィルタにて
この積算データを平滑化処理して平滑化データを求め、
この平滑化データで積算データを除算して規格化データ
を求め、その最大偏差ｈｓT0を提示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、多数の透孔が概周
期的に配列された透孔板について、透孔の寸法異常に起
因して筋状に生じる光透過率の筋ムラを検査する透孔板
の検査方法および検査装置に関し、特にカラーブラウン
管用のシャドウマスクや液晶表示パネル用カラーフィル
タ等の透孔板を検査する検査方法および検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般にシャドウマスクは、フォトエッチ
ング法を用いて金属薄板に多数の透孔を概周期的に配列
させて形成することにより製造される。このシャドウマ
スクの製造方法は、金属薄板の主面に耐エッチング性を
有するレジストを塗布して、金属薄板の主面にレジスト
膜を形成するコーティング工程と、シャドウマスクの電
子ビーム通過孔等に対応する所定のパターンを有するパ
ターン板を介してレジスト膜に光を照射して、レジスト
膜に所定のパターンを焼き付ける焼付工程と、所定のパ
ターンが焼き付けられたレジスト膜に現像液を供給し
て、レジスト膜の所定部分を溶解除去しレジスト膜を所
定のパターンに形成すると共に金属薄板のエッチングさ
れるべき主面を露出させる現像工程と、所定のパターン
に形成されたレジスト膜を有する金属薄板にエッチング
液を供給して、レジスト膜に覆われていない金属薄板の
露出した主面をエッチングして電子ビーム通過孔である
多数の透孔を形成するエッチング工程とからなる。

【０００３】上述のコーティング工程において金属薄板
の主面にレジストが均一に塗布されず主面に形成された
レジスト膜の膜厚が不均一な場合や、エッチング工程に
おいて金属薄板の有するレジスト膜にエッチング液が均
一に供給されない場合、金属薄板に形成された多数の透
孔に局所的な寸法異常が発生する。

【０００４】この局所的な透孔の寸法異常を検査する手
法として、透孔の形状や孔径等の寸法異常に起因した光
透過率のムラを検査する手法が採られている。具体的に
説明すると、図２５に示すように、まず、シャドウマス
クＳＭを検査員が手で持ち、このシャドウマスクＳＭ
を、光源（図示省略）を内蔵したライトテーブル２０２
の透光性の傾斜テーブル面２０４の手前に配置する。そ
して、光源の光を傾斜テーブル面２０４を経てシャドウ
マスクＳＭに照射し、シャドウマスクＳＭを図中に矢印
で示すように揺らしつつ、シャドウマスクＳＭを目視す
る。この際、シャドウマスクＳＭに透孔の形状や孔径等
の寸法異常が局所的に起きていれば、検査員により透孔
を通過する光透過率のムラとして認識され、このムラが
許容される範囲であるか否かを過去の経験から判別して
良品のシャドウマスクと不良品のシャドウマスクとが選
別される。透孔の寸法異常に起因した光透過率のムラと
しては、シャドウマスクＳＭの全面に亘って光の濃淡ム
ラ（光透過率のムラ）が点在する全体ムラや、濃淡ムラ
が部分的に散在する部分ムラ，濃淡ムラが筋状に生じる
筋ムラ等がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た検査では、検査員の目視判別による都合上、以下のよ
うな問題があった。

【０００６】良品のシャドウマスクであっても許容され
る範囲の光透過率のムラは存在している。しかも、検査
員は、この光学的なムラに加え、透孔を通過した分の光
量の光そのものをも見ることになる。更には、検査に際
して、良品のシャドウマスクＳＭについて起きるムラと
検査対象のシャドウマスクＳＭについて起きるムラとを
常時見比べるわけではなく、経験的に認識している良品
のシャドウマスクＳＭのムラとの対比を、検査対象のシ
ャドウマスクＳＭのムラを目視しながら行なっていた。
よって、良品と検査対象のシャドウマスクＳＭのムラの
対比を経た良否判別に、高度の熟練と相当の経験が必要
であった。また、熟練の程度や経験がほぼ同一であって
も、検査員の個人差や健康状態等により、良否判別がば
らつくことがあった。

【０００７】特に、筋ムラの場合には、その筋ムラの長
さが比較的長かったりムラが濃いムラの場合にはその良
否判別のばらつきは比較的少ないものの、筋ムラの長さ
が短かったりムラが薄いムラの場合には良否判別のばら
つきが顕著であった。

【０００８】本発明は、上記問題点を解決するためにな
され、シャドウマスク等の透孔板の透孔の寸法異常に起
因した光透過率の筋ムラの良否判別の信頼性を向上させ
ることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段およびその作用・効果】か
かる課題を解決するため、第１の発明の透孔板の検査方
法は、多数の透孔が概周期的に配列された透孔板につい
て、透孔の寸法異常に起因して筋状に生じる光透過率の
筋ムラを検査する透孔板の検査方法において、前記透孔
板にその一方の主面側から光を照射して前記透孔板を他
方の主面側から撮像し、所定の方向に沿った第１の軸と
これに直交する第２の軸とで定まる平面に個々の階調値
が２次元分布した撮像画像の階調データを求める撮像工
程と、前記階調データに属する個々の階調値を前記第２
の軸の座標ごとに前記第１の軸に沿って積算する積算演
算を行ない、前記階調データの積算データを求める積算
化工程と、前記積算データを平滑化処理して平滑化デー
タを求める平滑化工程と、前記積算データを前記平滑化
データで除算する除算演算を行ない、規格化データを算
出する規格化工程と、前記規格化データにおける偏差を
提示する偏差提示工程と、を含む。

【００１０】また、上述の課題を解決するため、第２の
発明の透孔の検査装置は、多数の透孔が概周期的に配列
された透孔板について、透孔の寸法異常に起因して筋状
に生じる光透過率の筋ムラを検査する透孔板の検査装置
において、前記透孔板を支持する支持手段と、前記支持
された透孔板にその一方の主面側から光を照射する照射
手段と、前記支持された透孔板を他方の主面側から撮像
し、所定の方向に沿った第１の軸とこれに直交する第２
の軸とで定まる平面に個々の階調値が２次元分布した撮
像画像の階調データを求める撮像手段と、前記階調デー
タに属する個々の階調値を前記第２の軸の座標ごとに前
記第１の軸に沿って積算する積算演算を行ない、前記階
調データの積算データを求める積算化手段と、前記積算
データを平滑化処理して平滑化データを求める平滑化手
段と、前記積算データを前記平滑化データで除算する除
算演算を行ない、規格化データを算出する規格化手段
と、前記規格化データにおける偏差を提示する偏差提示
手段と、を有する。

【００１１】上記構成を有する第１の発明の透孔の検査
方法又は第２の発明の透孔の検査装置では、透孔板の一
方の主面から光を照射して光を透孔から通過させる。こ
れにより、透孔板の透孔からは光が透過し、透孔板の他
方の主面側では、透孔の配置の密度に倣って明暗の分布
が得られる。この明暗の分布は、透孔板の撮像を経て、
画素の濃度値である階調データとして捕らえられる。こ
の際、この階調データは、その属する個々のデータ（階
調値）が所定の方向に沿った第１の軸とこれに直交する
第２の軸とで定まる平面に２次元分布したデータとして
得られる。

【００１２】そして、この２次元分布の階調データは、
その属する個々のデータ（階調値）が第２の軸の座標ご
とに第１の軸に沿って積算されることによって積算デー
タとされ、この積算データは、個々のデータ（階調値）
が第２の軸に１次元分布したデータとなる。従って、筋
ムラが生じた箇所ではそのムラの発生の方向にデータ
（階調値）が積算される。このため、筋ムラが生じた箇
所での積算値は、その筋ムラがムラの長さが短いもので
あっても当該箇所前後の箇所におけるデータ（階調値）
の積算値から急変し、筋ムラの生じた箇所が顕在化され
る。しかし、筋ムラ以外の部分ムラや全体ムラにあって
は、これらのムラが生じた範囲の領域におけるデータ
（階調値）の積算値は当該領域前後におけるデータ（階
調値）の積算値から変化するが、その変化の様子は緩や
かである。

【００１３】そして、この積算データを平滑化処理して
平滑化データが求められる。従って、平滑化処理によ
り、積算データにおけるデータ（階調値）の積算値の変
化の様子は、積算値の変化が緩やかな箇所では緩やかな
まま、積算値の急変箇所ではその変化の程度が抑制され
て、平滑化データに反映する。

【００１４】積算データをこの平滑化データで除算する
除算処理を経て求められる規格化データは、平滑化デー
タと積算データとに共通して表われる現象は除去され、
積算データに特異に表われる現象を表わすデータとな
る。従って、この規格化データでは、透孔板の透孔の配
置の密度に倣った明暗並びに積算データにおけるデータ
（階調値）の積算値の緩やかな変化の様子が除去され、
積算データにおけるデータ（階調値）の積算値の急変の
様子が表われる。このため、この規格化データにおける
偏差は、筋ムラの発生箇所にあってはデータ（階調値）
の積算値の急変の様子を示し、筋ムラの生じた箇所をよ
り顕在化させる。しかし、筋ムラ以外の部分ムラや全体
ムラの発生領域或いはムラの未発生箇所において見られ
るデータ（階調値）の積算値の緩やかな変化の様子は、
規格化データには顕在して表われない。そして、この規
格化データにおける偏差を提示する。

【００１５】もっとも、階調データには高い空間周波数
である雑音が含まれ、当該雑音は積算データに積算して
反映されるが、平滑化データでは、平滑化処理を経てこ
の雑音は低減される。よって、この雑音は、平滑化デー
タでの除算処理を経た規格化データには表われるが、規
格化データにおける偏差には顕在して表われることはな
い。

【００１６】このため、上記した第１の発明の透孔の検
査方法又は第２の発明の透孔の検査装置によれば、透孔
の寸法異常に起因して筋状に生じる光透過率の筋ムラ
を、そのムラの長短や濃淡に拘らず精度よく検出するこ
とができ、筋ムラの良否判別の信頼性を高めることがで
きる。

【００１７】上記の第１の発明の構成において、前記規
格化データにおける偏差に基づいて、検査対象である前
記透孔板についての前記筋ムラの良否判別を下す判別工
程を、前記偏差提示工程に替えて或いは前記偏差提示工
程と共に有する。

【００１８】また、上記の第２の発明の構成において、
前記規格化データにおける偏差に基づいて、検査対象で
ある前記透孔板についての前記筋ムラの良否判別を下す
判別手段を、前記偏差提示手段に替えて或いは前記偏差
提示手段と共に有する。

【００１９】これら構成の透孔の検査方法又は検査装置
では、規格化データにおける偏差に基づいて検査対象で
ある透孔板についての筋ムラの良否判別を下すので、こ
の判別を筋ムラの生じた箇所がより顕在化された状態で
なすことができる。よって、これら構成の透孔の検査方
法又は検査装置によれば、透孔の寸法異常に起因して筋
状に生じる光透過率の筋ムラを、そのムラの長短や濃淡
に拘らず精度よく検出することができ、筋ムラの良否判
別の信頼性を高めることができる。

【００２０】上記の第１の発明の構成において、前記積
算化工程は、前記２次元分布した階調データを分割して
複数の分割階調データを求める工程と、複数の前記分割
階調データについて、分割階調データに属する個々の階
調値を前記第２の軸の座標ごとに前記第１の軸に沿って
積算して複数の分割積算データをそれぞれ求める工程と
を含み、前記平滑化工程が、複数の前記分割積算データ
をそれぞれ平滑化処理して複数の分割平滑化データをそ
れぞれ求める工程であり、前記規格化工程が、複数の前
記分割積算データを複数の前記分割平滑化データでそれ
ぞれ除算する除算演算を行ない、複数の分割規格化デー
タをそれぞれ算出する工程であり、前記判別工程が、前
記良否判別を複数の前記分割規格化データにおける偏差
に基づいて行なう工程である。

【００２１】また、上記の第２の発明の構成において、
前記積算化手段は、前記２次元分布した階調データを分
割して複数の分割階調データを求める手段と、複数の前
記分割階調データについて、分割階調データに属する個
々の階調値を前記第２の軸の座標ごとに前記第１の軸に
沿って積算して複数の分割積算データをそれぞれ求める
手段とを有し、前記平滑化手段が、複数の前記分割積算
データをそれぞれ平滑化処理して複数の分割平滑化デー
タをそれぞれ求める手段であり、前記規格化手段が、複
数の前記分割積算データを複数の前記分割平滑化データ
でそれぞれ除算する除算演算を行ない、複数の分割規格
化データをそれぞれ算出する手段であり、前記判別手段
が、前記良否判別を複数の前記分割規格化データにおけ
る偏差に基づいて行なう手段である。

【００２２】これら構成の透孔の検査方法又は検査装置
では、２次元分布した階調データを分割して複数の分割
階調データを求め、この複数の分割階調データのそれぞ
れについて、その属する個々のデータ（階調値）の積算
演算を経た積算データの算出，この積算データの平滑化
処理を経た平滑化データの算出，この平滑化データでの
除算演算を経た規格化データの算出並びに規格化データ
における偏差に基づく良否判別を行なう。この分割階調
データのデータ分布領域は、透孔板についていえばその
透孔の配列領域の一部領域に該当するので、筋ムラの良
否判別を透孔の配列領域の一部領域ごとに下すことがで
きる。このため、これら構成の透孔の検査方法又は検査
装置によれば、ムラの長さが短くて透孔の配列領域の一
部領域にのみ存在する筋ムラであっても、この筋ムラを
より精度よく検出することができる。

【００２３】上記の第２の発明の構成において、前記平
滑化手段が、１次元のフィルタウィンドを有するメディ
アンフィルタにより、前記積算データ又は分割積算デー
タを前記第２の軸に沿って平滑化処理するフィルタ手段
を有する。

【００２４】この構成の透孔の検査装置では、１次元の
フィルタウィンドを有するメディアンフィルタ、例えば
１行ｍ列（ｍは、自然数）或いはｎ行１列（ｎは、自然
数）のフィルタウィンドを有するメディアンフィルタで
積算データ又は分割積算データを第２の軸に沿って平滑
化処理する。よって、この構成の透孔の検査装置によれ
ば、積算データ又は分割積算データから該当する平滑化
データを得るに当たり、積算データ又は分割積算データ
におけるデータ（階調値）の積算値の変化の様子を、積
算値の変化が緩やかな箇所では緩やかなまま、積算値の
急変箇所ではその変化の程度が抑制されて、平滑化デー
タに正確に反映する。また、効果的な雑音低減と小さな
変動の平滑化がなされた平滑化データを得ることができ
る。よって、この構成の透孔の検査装置にあっても、透
孔の寸法異常に起因して筋状に生じる光透過率の筋ムラ
を、そのムラの長短や濃淡に拘らずより精度よく検出す
ることができ、筋ムラの良否判別の信頼性を一層高める
ことができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態をシャ
ドウマスクの検査装置の実施例に基づき説明する。ま
ず、この実施例のシャドウマスク検査装置３０の外観構
成について説明する。図１の正面図に示すように、シャ
ドウマスク検査装置３０は、シャドウマスクＳＭを撮像
し画像データを得るための光学測定装置４０と、画像デ
ータに基づき種々のデータ処理を行なうデータ処理装置
５０とで構成されている。

【００２６】光学測定装置４０は、定盤４１を備え、こ
の定盤４１の上面には照明光を通過させるための開口が
ほぼ中央に形成されている。また、定盤４１の上面に
は、光を拡散して透過する拡散板４３（例えば、ガラス
板，プラスティク板等）が載置されており、拡散板４３
の下方には、光源４４が配置されている。この光源４４
としては、例えば高周波点灯型の蛍光灯が使用される。
なお、拡散板４３の上面には、マスク板４５が載置さ
れ、このマスク板４５にシャドウマスクＳＭが粘着テー
プ等により密着・固定されるが、その様子については、
後述する。

【００２７】定盤４１からは、上方に伸びるスタンド支
持アーム４６が立設されており、スタンド支持アーム４
６には、カメラ保持ビーム４７がいわゆる片持ちで設け
られている。また、カメラ保持ビーム４７は、スタンド
支持アーム４６に図示しない調整機構により調整自在に
取り付けられいるので、カメラ保持ビーム４７とＣＣＤ
カメラ４９とを一体に上下方向（図中Ｚ方向）に移動さ
せることができる。また、ＣＣＤカメラ４９は、カメラ
保持ビーム４７に調整自在に取り付けられ、ＣＣＤカメ
ラ４９を左右方向（図中Ｘ方向）に移動させることがで
きる。このため、種々のサイズのシャドウマスクの撮像
すべき領域とＣＣＤカメラ４９の撮像領域とが一致する
ようにＣＣＤカメラ４９を上下、左右に移動させること
ができる。

【００２８】ＣＣＤカメラ４９は、ＣＣＤ素子を二次元
配置したＣＣＤカメラであり、画像の濃淡を濃淡レンジ
で１０ビットのデジタル出力が可能である。なお、ＣＣ
Ｄカメラ４９からは、1,534 画素×1,024 画素の画像を
取得することができる。

【００２９】データ処理装置５０は、後述する画像を表
示するディスプレイ５２と、種々の画像処理を行う画像
処理装置５４と、ＣＣＤカメラ４９のゲインおよびシャ
ッタースピードを制御するカメラ制御装置６２とを備え
ている。

【００３０】次にシャドウマスク検査装置３０の電気的
構成について、図２のブロック図を用いて説明する。光
源４４から出射された光は、拡散板４３と、シャドウマ
スクＳＭの透孔とを順次通過してＣＣＤカメラ４９に入
射する。この際、マスク板４５にシャドウマスクＳＭが
密着・固定され、シャドウマスクＳＭの透孔が形成され
た領域である透孔領域ＳＭｅはマスク板４５の開口４５
ａから露出し、透孔が形成されていないシャドウマスク
ＳＭの周辺領域はマスクされる。よって、ＣＣＤカメラ
４９は、透孔領域ＳＭｅに関してシャドウマスクＳＭを
撮像し、その２次元に配列された濃淡画像（多値画像）
の画像データＤｉとして得る。この画像データＤｉは、
カメラ制御装置６２を介して画像処理装置５４に取り込
まれ、後述する画像処理が施された後、種々の画像がデ
ィスプレイ５２に表示される。

【００３１】画像処理装置５４は、予め登録されたプロ
グラムによって様々な処理を行なう汎用型の高速画像処
理装置であり、種々の画像処理等のほか予め定められた
他の処理を行なうＣＰＵ６６と、画像データＤｉ等のデ
ータの一時的な記憶を行うＲＡＭ等の主記憶装置６８
と、データの入力のためのキーボード７０と、画像デー
タＤｉ等のデータを保存する補助記憶装置７２、例えば
フレキシブルディスク装置等と、検査結果等の打ち出し
用のプリンタ７４とを備えており、これらは互いにバス
ライン６４を介して接続されている。また、この画像処
理装置５４のバスライン６４には、カメラ制御装置６２
とディスプレイ５２とが接続されている。

【００３２】次に、本実施例のシャドウマスク検査装置
３０が行なう筋ムラの検査処理について、図３以降のフ
ローチャート等を用いて説明する。

【００３３】図３のフローチャートは、本実施例にて行
なうシャドウマスクＳＭの筋ムラの検査処理の概要を示
しており、当該処理が開始されると以降の処理を行なう
上で必要な初期化を行なう（ステップＳ１００）。例え
ば、検査開始初期画面のディスプレイ５２への表示，後
述の処理にて用いるメモリ領域のクリア等を行なう。

【００３４】この初期化を行なうと、ディスプレイ５２
には初期設定画面が表示され、それ以降の検査処理の過
程において必要となる種々の項目（初期設定項目）の入
力箇所は、この初期設定画面ではデータ未入力のままで
ある。

【００３５】ステップＳ１００に続いては、検査の過程
において必要となる種々の項目について初期設定を行な
う（ステップＳ１１０）。この初期設定では、初期化処
理にてデータ未入力のまま表示された初期設定画面の初
期設定項目に順次データを入力する。つまり、初期設定
処理の詳細処理を表わした図４のフローチャートに示す
ように、検査結果の出力ファイル名（ステップＳ１１
１），検査対象のシャドウマスクＳＭをマスクするため
に用いるマスク板４５のマスクタイプ（ステップＳ１１
２），検査員名（ステップＳ１１３）を順次入力する。
これらは、検査終了後に表示或いはプリントアウトする
検査結果に掲載される。なお、出力ファイルは、検査結
果を検査対象のシャドウマスクＳＭごとに保存するため
のファイルであり、そのデータフォーマットは、検査対
象のシャドウマスクＳＭのサンプルＩＤ（例えば、製造
シリアル番号），検査員名，検査日等を保存できるよう
構築されている。

【００３６】これら入力が完了すると、検査開始スイッ
チが押圧されるまで待機し（ステップＳ１１４）、検査
が開始されれば、出力ファイルをオープンして（ステッ
プＳ１１５）、検査結果の出力に備える。なお、この出
力ファイルには、後述の縦ムラおよび横ムラについての
判別結果等が出力され、当該データは保存される。その
後は、入力された出力ファイル名等の初期設定データを
出力して（ステップＳ１１６）、ディスプレイ５２の初
期設定画面中にこれら初期設定データを表示し、結果表
示画面を設定する（ステップＳ１１７）。続いて、検査
対象のシャドウマスクＳＭについての筋ムラの良否判別
の結果等を表示するための結果表示画面をディスプレイ
５２に表示する（ステップＳ１１８）。なお、この筋ム
ラの良否判別の結果等は、後述の筋ムラ判別処理での判
別結果に応じて自動入力され、その項目は、筋ムラの種
別（縦ムラ，横ムラのいずれか）やその筋ムラごとの良
否判別の結果などである。

【００３７】上記した初期設定に続いては、図３に示す
ように、マスク板４５が載置された拡散板４３への検査
員によるシャドウマスクＳＭのセット完了を待ち、セッ
ト完了後にスイッチ操作されて発せられる入力開始指示
を待機する（ステップＳ１２０）。ここで入力開始指示
があれば、続くステップＳ１２２以降の一連の処理によ
り、検査対象のシャドウマスクＳＭについての透過画像
を取り込み、筋ムラの検査のための種々の処理を行な
う。まず、ステップＳ１２０に続いては、光源４４を点
灯制御すると共に、ＣＣＤカメラ４９によりシャドウマ
スクＳＭの透過画像を撮像する際の撮像条件に合致する
よう、ＣＣＤカメラ４９を設定する（ステップＳ１２
２）。具体的に説明すると、予め定められたシャッター
スピード，ゲイン，フォーカス等の撮像条件と検査対象
のシャドウマスクＳＭの透孔の透孔領域ＳＭｅ等に基づ
いて、ＣＣＤカメラ４９のシャッタースピード設定，ゲ
イン設定，フォーカス調整等と、ＣＣＤカメラ４９のＺ
軸位置調整とが行なわれる。

【００３８】Ｚ軸位置調整は、図示しない調整機構を手
動で操作して、スタンド支持アーム４６に対してカメラ
保持ビーム４７とＣＣＤカメラ４９とを一体に上下方向
に移動させて行われ、シャッタースピード設定、ゲイン
調整等は、カメラ制御装置６２により行われる。また、
フォーカス調整はＣＣＤカメラ４９のレンズ部７７を手
動で調整することにより行われる。この場合、ＣＣＤカ
メラ４９のフォーカスは、ＣＣＤカメラ４９の画素の並
びとシャドウマスクＳＭの透孔の周期的な配列との間で
起きるモアレを除去するために、ぼかし気味に調整され
る。

【００３９】こうしてＣＣＤカメラ４９の撮像条件が設
定されると、ＣＣＤカメラ４９は拡散板４３上のシャド
ウマスクＳＭの撮像を開始し、光源４４から照射されシ
ャドウマスクＳＭの透孔を透過した光の透過画像（以
下、生画像という）をＣＣＤカメラ４９で取り込む（ス
テップＳ１２４）。ＣＣＤカメラ４９は、シャドウマス
クＳＭの生画像を1,534 画素×1,024 画素で濃淡レンジ
が１０ビットのデジタル出力で階調データとしてカメラ
制御装置６２およびバスライン６４を介して主記憶装置
６８に出力する。

【００４０】一般にシャドウマスクＳＭに形成された多
数の透孔のそれぞれの間隔は、シャドウマスクの中央部
では狭くその周辺方向に向かうに従って広くなる。これ
は、平坦なシャドウマスクＳＭをドーム状に成形するこ
とを考慮してシャドウマスクＳＭの透孔の配置が設計さ
れているためである。このことから、シャドウマスクＳ
Ｍの透過画像のデータである上述の階調データは、シャ
ドウマスクＳＭの透孔の配置の密度に倣って、シャドウ
マスクＳＭの中央部では明るく周辺方向に向かうに従っ
て暗くなる明暗のパターン（以下、このパターンをグレ
ードという）が濃淡レンジとして表れたデータである。
しかも、この階調データには、シャドウマスクＳＭのム
ラに基づく濃淡も反映されている。

【００４１】そして、この生画像の階調データは、カメ
ラ制御装置６２を経て画像処理装置５４に送り出され
る。なお、画像処理装置５４へのデータ出力と共に、カ
メラ制御装置６２は、生画像をディスプレイ５２に表示
する。これにより、ＣＣＤカメラ４９の撮像領域の確認
ができる。

【００４２】ＣＣＤカメラ４９により得た生画像の出力
信号（階調データ）には、光源４４や拡散板４３自体で
引き起こされる発光分布ムラや撮像系の感度ムラ等のも
たらす信号が重畳している。従って、上記のステップＳ
１２４での生画像の取り込みに続いては、画像データ
（階調データ）をそのデータ数が等しくされたリファレ
ンスデータ（階調データ）で除算して、シェーディング
補正する（ステップＳ１２６）。このリファレンスデー
タは、拡散板４３にシャドウマスクＳＭを載せずマスク
板４５のみを載せた状態で予め撮像した画像の階調デー
タであり、主記憶装置６８に予め記憶されている。よっ
て、このリファレンスデータは、シェーディング補正時
に読み出される。

【００４３】続いて、このムラ検査処理で筋ムラの判別
を行なう処理対象領域ＳＭｅ0 を設定する（ステップＳ
１２８）。つまり、図５に示すように、シャドウマスク
ＳＭの透孔の透孔領域ＳＭｅはその周縁が湾曲した領域
なので、この湾曲周縁の領域については、筋ムラの発生
方向にデータを積算した際のデータ数の整合が崩れる。
よって、予めこのステップＳ１２８により四角形の処理
対象領域ＳＭｅ0 を、Ｘ軸およびＹ軸で定まる平面領域
として規定するのである。次に、光透過率のムラが縦方
向（Ｙ軸方向）に筋状に発生した筋ムラ（以下、縦ムラ
という）の判別処理を行なう（ステップＳ１３０）。

【００４４】この縦ムラの判別処理では、その詳細処理
を表わした図６のフローチャートに示すように、まず、
縦ムラ判別の判別対象領域の区域を示す区域識別子Ｔｉ
に値ゼロをセットして初期化する（ステップＳ１３
１）。この区域識別子Ｔｉは、値ゼロから値５までを取
り得るよう定められており、区域識別子Ｔｉが値ゼロで
あるときには、縦ムラ判別の判別対象領域の区域は、ス
テップＳ１２８で設定した処理対象領域ＳＭｅ0 の全領
域であることを意味する。一方、区域識別子Ｔｉが値１
から値５であるときには、図７に示すように、縦ムラ判
別の判別対象領域の区域は、上記の処理対象領域ＳＭｅ
0 を縦ムラのムラ方向に直交するＸ軸に沿って３分割し
た広さの領域（以下、説明の便宜上この領域を分割領域
という）であることを意味し、しかも、値１，値２，値
３，値４および値５のそれぞれで、縦ムラ判別の判別対
象領域の区域の位置を規定する。

【００４５】つまり、区域識別子Ｔｉが値１であるとき
には、縦ムラ判別の判別対象領域の区域は、処理対象領
域ＳＭｅ0 の最上部を占める分割領域（以下、この分割
領域を第１分割領域ＳＭｅT1という）であることを意味
する。区域識別子Ｔｉが値２であるときには、縦ムラ判
別の判別対象領域の区域は、第１分割領域ＳＭｅT1とＹ
軸方向に沿ってほぼ半分重なった分割領域（以下、この
分割領域を第２分割領域ＳＭｅT2という）であることを
意味する。区域識別子Ｔｉが値３であるときには、縦ム
ラ判別の判別対象領域の区域は、第２分割領域ＳＭｅT2
とＹ軸方向に沿ってほぼ半分重なり処理対象領域ＳＭｅ
0 の上下中央部を占める分割領域（以下、この分割領域
を第３分割領域ＳＭｅT3という）であることを意味す
る。区域識別子Ｔｉが値４であるときには、縦ムラ判別
の判別対象領域の区域は、第３分割領域ＳＭｅT3とＹ軸
方向に沿ってほぼ半分重なった分割領域（以下、この分
割領域を第４分割領域ＳＭｅT4という）であることを意
味する。そして、区域識別子Ｔｉが値５であるときに
は、縦ムラ判別の判別対象領域の区域は、第４分割領域
ＳＭｅT4とＹ軸方向に沿ってほぼ半分重なり処理対象領
域ＳＭｅ0 の最下部を占める分割領域（以下、この分割
領域を第５分割領域ＳＭｅT5という）であることを意味
する。従って、区域識別子Ｔｉの値が値１から１増加す
るごとに、縦ムラ判別の判別対象領域の区域は、縦ムラ
のムラ方向であるＹ軸に沿って移動されることになる。

【００４６】そして、ステップＳ１３１での区域識別子
Ｔｉの初期化に続いては、区域識別子Ｔｉに対応する縦
ムラ判別の判別対象領域の区域について、当該区域に属
する階調データの個々のデータをＸ軸の座標ごとにＹ軸
に沿って積算して積算データを求め、Ｘ軸およびＹ軸で
定まる平面に２次元分布していたデータの１次元化を行
なう（ステップＳ１３２）。この場合には、Ｔｉ＝０で
あることから、ステップＳ１２８で定めた処理対象領域
ＳＭｅ0 に属するデータについて上記の積算データの算
出がなされ、この処理対象領域ＳＭｅ0 についてデータ
の１次元化が行なわれる。従って、この処理の様子を図
をもって模式的に説明すると、図８に示すように、Ｘ軸
の座標ごとに一のデータ（濃度値）を有する積算データ
が得られ、縦ムラＴＭが生じた箇所では、そのムラの程
度を示す濃度値の積算値が得られる。そして、縦ムラＴ
Ｍが生じた箇所では、その積算値は前後のデータの積算
値から急変し、縦ムラの生じた箇所が顕在化される。し
かし、縦ムラ以外の部分ムラや全体ムラが生じている場
合には、積算値の変化は見られるものの、その変化の様
子は緩やかとなる。この場合、積算データには、シャド
ウマスクＳＭの有する上記したグレードも持ち込まれ、
Ｘ軸の座標中央で凸となるような緩やかな膨らみのグレ
ードが表われる。

【００４７】なお、図８に示す縦ムラＴＭは、光透過率
のムラが薄いムラ（光透過率が低いムラ）として表われ
るものであるため、データの積算値は他の箇所の積算値
より小さくなっている。しかし、縦ムラＴＭが濃いムラ
（光透過率が高いムラ）として表われるものである場合
には、その部分のデータの積算値は他の箇所の積算値よ
り大きくなる。

【００４８】上記の積算データの算出に続いては、ムラ
幅（このムラ幅は、図１１にＬとして示されている）が
狭い縦ムラに対応すべく、フィルタウィンドのサイズが
狭い１行１５列（以下、１×１５という）の１次元のフ
ィルタウィンドを有するメディアンフィルタ（Ｍ／Ｆ）
を選択し、このメディアンフィルタにて上記の積算デー
タを平滑化処理して、平滑化データを求める（ステップ
Ｓ１３３）。この際の平滑化処理は、１×１５のフィル
タウィンドの各データウィンドを埋めるデータ（積算デ
ータ）をその大きさの順に並べてデータ列を作成し、そ
のデータ列の中央の位置にくるデータを出力値とする処
理を一処理単位とする。そして、ステップＳ１３２で求
めた１次元の積算データについて、メディアンフィルタ
のフィルタリング領域を変えながら、例えばフィルタウ
ィンドを所定の方向に１データずつ移動させて、上記の
一処理単位の処理を上記積算データのＸ軸に沿ったデー
タ領域に亘って繰り返す。

【００４９】より具体的に説明すると、図９に示すよう
に、上記の積算データをＸ軸の座標ごとに数値（積算濃
度値）にて表わした１列のデータ列について、１×１５
のフィルタウィンドの各データウィンドを埋めてその大
きさの順に並べてデータ列を作成し、そのデータ列の中
央の位置にくるデータを出力値とする。そして、この処
理を１×１５Ｍ／Ｆのフィルタリング領域を移動させな
がら繰り返し、その出力値をＸ軸の座標に沿って並べた
データ列、即ち平滑化データを求める。なお、図示する
データ列の端部では、フィルタウィンドに格納されるデ
ータ数が１５以下となり不足が生じた場合には、格納さ
れたデータ数のデータでの並び替えおよび出力値の選出
を行なう。例えば、格納データ数が５でそのデータが40
00，4065，3987，4002，3985であれば、このデータの並
び替え後のデータ列（3985，3987，4000，4002，4065）
からその中央値である4000を出力値とする。

【００５０】なお、上述のように中央値が容易に取得で
きるので、Ｍ／Ｆのウィンドサイズを奇数としＭ／Ｆ処
理を奇数個のデータについて行うのが好ましい。しか
し、奇数個のデータに限るわけではなく、偶数個のデー
タであってもよいことは勿論である。偶数個のデータに
ついての場合、その偶数個のデータを並べ替えたデータ
列の中央に位置するデータを、中央の両側のデータの一
方或いは両データの平均値とすれば、中央値に位置する
データを取得することができる。

【００５１】こうしてＭ／Ｆによる平滑化処理を経て求
められた平滑化データでは、高い空間周波数である雑音
や小さな変動は除去される。しかし、積算データにおけ
る積算値の変化の様子は、図１０に示すように、縦ムラ
ＴＭの発生箇所ではその変化の程度が抑制されて平滑化
データに反映し、ムラの未発生箇所や部分ムラ等の発生
箇所のように積算値の変化が緩やかな箇所では緩やかな
まま反映されている。なお、この平滑化データにあって
も、上記したグレードは緩やかな膨らみとして反映して
いる。

【００５２】上記したステップＳ１３３に続いては、図
８の積算データを図１０の平滑化データで除算すると共
に、当該除算を経て求めた規格化データの偏差をその最
大偏差ｈｓT0と共に演算しこれらを主記憶装置６８に記
憶する（ステップＳ１３４）。この規格化データでは、
データの除算を経ていることから、平滑化データと積算
データとに共通して表われる現象は除去され、積算デー
タに特異に表われる現象が表われる。従って、この規格
化データでは、図１１に示すように、透孔板の透孔の配
置の密度に倣った明暗の変化の様子（グレード）並びに
積算データにおけるデータの積算値の緩やかな変化の様
子が除去され、積算データにおけるデータの積算値の急
変の様子が表われる。このため、この規格化データにお
ける偏差は、縦ムラの発生箇所にあってはデータの積算
値の急変の様子を示して推移し、縦ムラの生じた箇所で
は顕在化されて最大偏差ｈｓT0となる。また、そのムラ
幅は、図中Ｌの大きさで判明する。しかし、縦ムラ以外
の部分ムラや全体ムラの発生領域において見られるデー
タの積算値の緩やかな変化の様子やグレードは、規格化
データには顕在して表われない。

【００５３】この場合、図１１に示す規格化データにお
ける偏差の推移と、その最大偏差ｈｓT0の大きさは、デ
ィスプレイ５２に表示される。従って、検査員は、規格
化データにおける偏差の推移とその最大偏差ｈｓT0の大
きさとの提示を受けることになる。

【００５４】ステップＳ１３４に続いては、区域識別子
Ｔｉを値１だけインクリメントしてその値を増加させ
（ステップＳ１３５）、その後、区域識別子Ｔｉの値が
６未満か否かを判断する（ステップＳ１３６）。そし
て、このステップＳ１３６で肯定判断した場合には、上
記したステップＳ１３２に移行してステップＳ１３５ま
での処理を行ない、再度ステップＳ１３６の判断をす
る。この場合には、区域識別子Ｔｉはその値がゼロであ
ったのでステップＳ１３５にて値１とされ、ステップＳ
１３６での肯定判断を受けてステップＳ１３２に移行す
る。

【００５５】つまり、ステップＳ１３６で否定判断する
まで、ステップＳ１３２〜１３５の処理が繰り返される
ので、それぞれの区域識別子Ｔｉに対応する第１分割領
域ＳＭｅT1〜第５分割領域ＳＭｅT5ごとに、この領域の
順で上記一連の処理が繰り返される。このため、図１２
〜図１６に示すように、第１分割領域ＳＭｅT1〜第５分
割領域ＳＭｅT5ごとに積算データが取得され、これら積
算データの１×１５のＭ／Ｆによる平滑化処理，積算デ
ータの平滑化データでの除算処理・偏差演算記憶が行な
われる。この偏差演算に際しては、第１分割領域ＳＭｅ
T1〜第５分割領域ＳＭｅT5ごとの最大偏差ｈｓT1〜最大
偏差ｈｓT5も演算され、併せて記憶される。なお、図１
２〜図１６におけるＸ軸の座標ごとに数値（積算濃度
値）が図８の数値より低いのは、第１分割領域ＳＭｅT1
〜第５分割領域ＳＭｅT5では処理対象領域ＳＭｅ0 に比
べてＹ軸方向の領域が狭い分だけデータ数が少ないこと
による。

【００５６】そして、ステップＳ１３６で否定判断され
ると、上記のように処理対象領域ＳＭｅ0 を始めとする
各第１分割領域ＳＭｅT1〜第５分割領域ＳＭｅT5につい
ての最大偏差ｈｓT0〜最大偏差ｈｓT5を読み出し、その
内の最大のものを検査対象となるシャドウマスクＳＭに
おける縦ムラの最大偏差ｈｓとする（ステップＳ１３
７）。その後、この最大偏差ｈｓを予め主記憶装置６８
に記憶されている判別マップ（縦ムラの良否と最大偏差
ｈｓとを対応つけたマップ）に当てはめて、縦ムラの良
否判別をし、その結果を主記憶装置６８に記憶する（ス
テップＳ１３８）。例えば、最大偏差ｈｓが第３分割領
域ＳＭｅT3の最大偏差ｈｓT3である場合には、最大偏差
ｈｓの値と第３分割領域ＳＭｅT3であること（具体的に
は区域識別子Ｔｉの値３）とが、良否判別の結果（良
品，不良品のいずれか）と併せて記憶される。なお、用
いたＭ／Ｆの種別も併せて記憶される。

【００５７】その後は、再度、区域識別子Ｔｉに値ゼロ
をセットしてこれを初期化し（ステップＳ１４１）、ス
テップＳ１４２に移行する。つまり、１×１５のＭ／Ｆ
を用いた処理は総て終了したので、ムラ幅（図１１の
Ｌ）がやや広い縦ムラに対応すべく、フィルタウィンド
のサイズが若干広い１行２１列（以下、１×２１とい
う）の１次元のフィルタウィンドを有するメディアンフ
ィルタ（Ｍ／Ｆ）を用いた処理に移行する。従って、処
理対象領域ＳＭｅ0 を始めとする各第１分割領域ＳＭｅ
T1〜第５分割領域ＳＭｅT5についての積算データの取得
（ステップＳ１４２），これら積算データの１×２１の
Ｍ／Ｆによる平滑化処理（ステップＳ１４３），積算デ
ータの平滑化データでの除算処理・偏差演算記憶（ステ
ップＳ１４４），区域識別子Ｔｉのインクリメント（ス
テップＳ１４５）並びに区域識別子Ｔｉの比較（ステッ
プＳ１４６）が行なわれる。また、ステップＳ１４６に
続いては、１×２１のＭ／Ｆでの平滑化処理を経た場合
の最大偏差ｈｓT0〜最大偏差ｈｓT5の読み出し並びに縦
ムラの最大偏差ｈｓの算出を行ない（ステップＳ１４
７）、この最大偏差ｈｓと判別マップとからの縦ムラの
良否判別・記憶を行なう（ステップＳ１４８）。その後
は、改めて、区域識別子Ｔｉに値ゼロをセットしてこれ
を初期化し（ステップＳ１５１）、ステップＳ１５２に
移行する。

【００５８】つまり、１×１５，１×２１のＭ／Ｆを用
いた処理は総て終了したので、ムラ幅（図１１のＬ）が
より広い縦ムラにも対応すべく、フィルタウィンドのサ
イズが広い１行２５列（以下、１×２５という）の１次
元のフィルタウィンドを有するメディアンフィルタ（Ｍ
／Ｆ）を用いた処理に移行する。従って、処理対象領域
ＳＭｅ0 を始めとする各第１分割領域ＳＭｅT1〜第５分
割領域ＳＭｅT5についての積算データの取得（ステップ
Ｓ１５２），これら積算データの１×２５のＭ／Ｆによ
る平滑化処理（ステップＳ１５３），積算データの平滑
化データでの除算処理・偏差演算記憶（ステップＳ１５
４），区域識別子Ｔｉのインクリメント（ステップＳ１
５５）並びに区域識別子Ｔｉの比較（ステップＳ１５
６）が行なわれる。また、ステップＳ１５６に続いて
は、１×２５のＭ／Ｆでの平滑化処理を経た場合の最大
偏差ｈｓT0〜最大偏差ｈｓT5の読み出し並びに縦ムラの
最大偏差ｈｓの算出を行ない（ステップＳ１５７）、こ
の最大偏差ｈｓと判別マップとからの縦ムラの良否判別
・記憶を行なう（ステップＳ１５８）。

【００５９】ここで、上述のようにフィルタウィンドの
サイズが違う複数のメディアンフィルタにより、積算デ
ータを平滑化処理する理由を詳しく説明する。積算デー
タを平滑化データで除算して得られる規格化データには
偏差が明確に表れていなければならず、そのためには、
平滑化データにおいては縦ムラによる変化ができるだけ
抑制される必要がある。この変化を効果的に抑制するた
めには、ムラ幅（図１１のＬ）に対応したフィルタウィ
ンドのサイズを有するメディアンフィルタを用いて積算
データを平滑化処理しなければならない。そこで、ムラ
幅の異なる縦ムラに対応するためにフィルタウィンドの
サイズが違う複数のメディアンフィルタにより、積算デ
ータを平滑化処理する必要がある。言い換えれば、フィ
ルタウィンドのサイズが違う複数のメディアンフィルタ
により、積算データを平滑化処理することにより、ムラ
幅の異なる縦ムラに対応することができるのである。

【００６０】ステップＳ１４２，１５２における積算デ
ータの取得は、その処理内容がステップＳ１３２と同じ
なので、ステップＳ１３２で求めた積算データを処理対
象領域ＳＭｅ0 と各第１分割領域ＳＭｅT1〜第５分割領
域ＳＭｅT5の各領域ごとに主記憶装置６８に記憶してお
くことで、省略することができる。この場合のステップ
Ｓ１４２，１５２では、区域識別子Ｔｉに対応する上記
各領域についての記憶済み積算データを読み出せばよ
い。

【００６１】上記のステップＳ１５８に続いては、図３
に示すステップＳ１６０に移行して、光透過率のムラが
横方向（Ｘ軸方向）に筋状に発生した筋ムラ（以下、横
ムラという）の判別処理を行なう。

【００６２】この横ムラの判別処理では、その詳細処理
を表わした図１７のフローチャートに示すように、上記
した縦ムラの判別処理とほぼ処理内容が同じであり、判
別対象領域と用いるメディアンフィルタが異なる。よっ
て、以下の説明に当たっては、縦ムラの判別処理と異な
る点については詳述し、類似する処理内容についてはそ
の説明を簡略化することとする。

【００６３】横ムラの判別処理にあっても、まず、横ム
ラ判別の判別対象領域の区域を示す区域識別子Ｙｉに値
ゼロをセットして初期化する（ステップＳ１６１）。こ
の区域識別子Ｙｉは、区域識別子Ｔｉと同様、値ゼロか
ら値５までを取り得るよう定められており、区域識別子
Ｙｉが値ゼロであるときには、横ムラ判別の判別対象領
域の区域は、ステップＳ１２８で設定した処理対象領域
ＳＭｅ0 の全領域であることを意味する。一方、区域識
別子Ｙｉが値１から値５であるときには、図１８に示す
ように、横ムラ判別の判別対象領域の区域は、上記の処
理対象領域ＳＭｅ0 を横ムラのムラ方向に直交するＹ軸
に沿って３分割した広さの領域（以下、説明の便宜上こ
の領域を分割領域という）であることを意味し、しか
も、値１，値２，値３，値４および値５のそれぞれで、
横ムラ判別の判別対象領域の区域の位置を規定する。

【００６４】つまり、区域識別子Ｙｉが値１であるとき
には、横ムラ判別の判別対象領域の区域は、処理対象領
域ＳＭｅ0 の最左側部を占める分割領域（以下、この分
割領域を第１分割領域ＳＭｅY1という）であることを意
味する。区域識別子Ｙｉが値２であるときには、横ムラ
判別の判別対象領域の区域は、第１分割領域ＳＭｅY1と
Ｘ軸方向に沿ってほぼ半分重なった分割領域（以下、こ
の分割領域を第２分割領域ＳＭｅY2という）であること
を意味する。区域識別子Ｙｉが値３であるときには、横
ムラ判別の判別対象領域の区域は、第２分割領域ＳＭｅ
Y2とＸ軸方向に沿ってほぼ半分重なり処理対象領域ＳＭ
ｅ0 の左右中央部を占める分割領域（以下、この分割領
域を第３分割領域ＳＭｅY3という）であることを意味す
る。区域識別子Ｙｉが値４であるときには、横ムラ判別
の判別対象領域の区域は、第３分割領域ＳＭｅY3とＸ軸
方向に沿ってほぼ半分重なった分割領域（以下、この分
割領域を第４分割領域ＳＭｅY4という）であることを意
味する。そして、区域識別子Ｙｉが値５であるときに
は、横ムラ判別の判別対象領域の区域は、第４分割領域
ＳＭｅY4とＸ軸方向に沿ってほぼ半分重なり処理対象領
域ＳＭｅ0 の最右側部を占める分割領域（以下、この分
割領域を第５分割領域ＳＭｅY5という）であることを意
味する。従って、区域識別子Ｙｉの値が値１から１増加
するごとに、横ムラ判別の判別対象領域の区域は、横ム
ラのムラ方向であるＸ軸に沿って移動されることにな
る。

【００６５】そして、ステップＳ１６１での区域識別子
Ｙｉの初期化に続いては、区域識別子Ｙｉに対応する縦
ムラ判別の判別対象領域の区域（処理対象領域ＳＭｅ0
を始めとする各第１分割領域ＳＭｅY1〜第５分割領域Ｓ
ＭｅY5のいずれか）についての積算データの取得（ステ
ップＳ１６２）を行なう。この場合、判別対象領域の区
域が処理対象領域ＳＭｅ0 であれば、図１９に示すよう
に、Ｙ軸の座標ごとに座標ごとにＸ軸に沿って積算して
積算データが求められ、２次元分布していたデータの１
次元化がなされる。このため、Ｙ軸の座標ごとに一のデ
ータ（濃度値）を有する積算データが得られ、横ムラＹ
Ｍが生じた箇所では、そのムラの程度を示す濃度値の積
算値が得られる。また、判別対象領域の区域が第１分割
領域ＳＭｅY1〜第５分割領域ＳＭｅY5であれば、図２０
から図２４に示すように、該当区域のデータについての
積算を経てデータの１次元化がなされ、各区域における
横ムラＹＭの発生箇所で、そのムラの程度を示す濃度値
の積算値が得られる。

【００６６】上記の積算データの算出に続いては、ムラ
幅（図２１，図２４のＬ）が狭い横ムラに対応すべく、
フィルタウィンドのサイズが狭い１５行１列（以下、１
５×１という）の１次元のフィルタウィンドを有するＭ
／Ｆの選択並びに当該メディアンフィルタによる上記の
積算データの平滑化処理を行ない（ステップＳ１６
３）、平滑化データを求める。その後は、縦ムラの場合
と同様に、積算データの平滑化データでの除算処理・偏
差演算記憶（ステップＳ１６４），区域識別子Ｙｉのイ
ンクリメント（ステップＳ１６５）並びに区域識別子Ｙ
ｉの比較（ステップＳ１６６）が行なわれる。また、ス
テップＳ１６６に続いては、１５×１のＭ／Ｆでの平滑
化処理を経た場合の最大偏差ｈｓY0〜最大偏差ｈｓY5の
読み出し並びに横ムラの最大偏差ｈｓの算出を行ない
（ステップＳ１６７）、この最大偏差ｈｓと判別マップ
とからの横ムラの良否判別・記憶を行なう（ステップＳ
１６８）。その後は、改めて、区域識別子Ｙｉに値ゼロ
をセットしてこれを初期化し（ステップＳ１７１）、ス
テップＳ１７２に移行する。

【００６７】つまり、縦ムラの場合と同様に、１５×１
のＭ／Ｆを用いた処理は総て終了したので、ムラ幅（図
２１，図２４のＬ）がやや広い横ムラに対応すべく、フ
ィルタウィンドのサイズが若干広い２１行１列（以下、
２１×１という）の１次元のフィルタウィンドを有する
Ｍ／Ｆを用いた処理を行なう。従って、処理対象領域Ｓ
Ｍｅ0 を始めとする各第１分割領域ＳＭｅY1〜第５分割
領域ＳＭｅY5についての積算データの取得（ステップＳ
１７２），これら積算データの２１×１のＭ／Ｆによる
平滑化処理（ステップＳ１７３），積算データの平滑化
データでの除算処理・偏差演算記憶（ステップＳ１７
４），区域識別子Ｙｉのインクリメント（ステップＳ１
７５）並びに区域識別子Ｙｉの比較（ステップＳ１７
６）が行なわれる。また、ステップＳ１７６に続いて
は、２１×１のＭ／Ｆでの平滑化処理を経た場合の最大
偏差ｈｓY0〜最大偏差ｈｓY5の読み出し並びに横ムラの
最大偏差ｈｓの算出を行ない（ステップＳ１７７）、こ
の最大偏差ｈｓと判別マップとからの横ムラの良否判別
・記憶を行なう（ステップＳ１７８）。その後は、改め
て、区域識別子Ｙｉに値ゼロをセットしてこれを初期化
し（ステップＳ１８１）、ステップＳ１８２に移行す
る。

【００６８】つまり、１５×１，２１×１のＭ／Ｆを用
いた処理は総て終了したので、ムラ幅（図２１，図２４
のＬ）がより広い横ムラにも対応すべく、フィルタウィ
ンドのサイズが広い２５行１列（以下、２５×１とい
う）の１次元のフィルタウィンドを有するＭ／Ｆを用い
た処理に移行する。従って、処理対象領域ＳＭｅ0 を始
めとする各第１分割領域ＳＭｅY1〜第５分割領域ＳＭｅ
Y5についての積算データの取得（ステップＳ１８２），
これら積算データの２５×１のＭ／Ｆによる平滑化処理
（ステップＳ１８３），積算データの平滑化データでの
除算処理・偏差演算記憶（ステップＳ１８４），区域識
別子Ｙｉのインクリメント（ステップＳ１８５）並びに
区域識別子Ｙｉの比較（ステップＳ１８６）が行なわれ
る。また、ステップＳ１８６に続いては、２５×１のＭ
／Ｆでの平滑化処理を経た場合の最大偏差ｈｓY0〜最大
偏差ｈｓY5の読み出し並びに横ムラの最大偏差ｈｓの算
出を行ない（ステップＳ１８７）、この最大偏差ｈｓと
判別マップとからの横ムラの良否判別・記憶を行なう
（ステップＳ１８８）。

【００６９】上記した一連の縦ムラ，横ムラについての
判別処理に続いては、図３の処理に戻り、ステップＳ１
３８，１４８，１５８，１６８，１７８，１８８での良
否判別結果を、その良否結果をもたらしたＭ／Ｆの種別
とムラの種別（縦ムラ，横ムラの別）も併せてディスプ
レイ５２に表示する（ステップＳ１９０）。その後は、
他のシャドウマスクＳＭについての上記した検査を継続
して行なう必要があるか否かを、所定のスイッチの押圧
状況から判断する（ステップＳ２００）。そして、継続
して検査する場合には上記したステップＳ１２０からの
処理を繰り返す。なお、上記の判別結果におけるこれら
の項目は、該当する検査対象のシャドウマスクＳＭにつ
いてサンプルＩＤ等と共に、上記のステップＳ１３８等
の処理の際に補助記憶装置７２に記憶され、ステップＳ
２００にて他のシャドウマスクＳＭについての処理を行
なう場合には、この他のシャドウマスクＳＭの検査に備
えて、ディスプレイ５２の表示画像の消去と、この判別
処理の過程において一時的に記憶されていた種々のデー
タの主記憶装置６８からの消去とが行なわれる。

【００７０】以上説明したように本実施例のシャドウマ
スク検査装置３０では、縦ムラおよび横ムラのそれぞれ
の筋ムラについて、シャドウマスクＳＭの僅かな範囲の
周縁部を除く領域の処理対象領域ＳＭｅ0 と、これを筋
ムラの方向に応じて分割した一部領域の分割領域（第１
分割領域ＳＭｅT1〜第５分割領域ＳＭｅT5又は第１分割
領域ＳＭｅY1〜第５分割領域ＳＭｅY5）とで筋ムラの判
別処理を行なう。しかも、個々の領域での判別処理に際
して、その領域に属する個々の階調データの積算演算を
経た積算データの取得（ステップＳ１３２等），メディ
アンフィルタによる平滑化処理を経た平滑化データの取
得（（ステップＳ１３３等），積算データの平滑化デー
タでの除算演算を得た規格化データの取得（ステップＳ
１３４等）並びにこの規格化データの偏差の提示（ステ
ップＳ１３７等）と当該偏差に基づくムラの良否判別
（ステップＳ１３８等）を行なう。

【００７１】従って、縦ムラ或いは横ムラが生じた箇所
では、そのムラの縦方向又は横方向に沿ったデータの積
算を通して、そのムラを積算値が急変することで顕在化
することができる。そして、このようにして積算データ
に特異に表われる現象を、その後の平滑化処理や除算演
算により、規格化データにおける偏差に反映させる。こ
のため、本実施例のシャドウマスク検査装置３０によれ
ば、縦ムラ又は横ムラを、そのムラの長さが比較的短か
ったりムラが薄い場合であってもより精度よく検出する
ことができるので、筋ムラの良否判別の信頼性を一層向
上することができる。

【００７２】また、本実施例のシャドウマスク検査装置
３０では、縦ムラおよび横ムラのそれぞれの筋ムラにつ
いて、処理対象領域ＳＭｅ0 の一部領域である分割領域
（第１分割領域ＳＭｅT1〜第５分割領域ＳＭｅT5又は第
１分割領域ＳＭｅY1〜第５分割領域ＳＭｅY5）で筋ムラ
の判別処理を行なう際に、前後する分割領域（例えば第
１分割領域と第２分割領域）を重なった状態とする。こ
のため、縦ムラおよび横ムラの良否判別をそれぞれの分
割領域ごとに下すことができると共に、ある分割領域の
周縁に発生した縦ムラおよび横ムラについてもその良否
判別を下すことができる。よって、本実施例のシャドウ
マスク検査装置３０によれば、縦ムラおよび横ムラのム
ラの長短や濃淡に加えその発生箇所がどこであるかに拘
らず、縦ムラおよび横ムラをより精度よく検出すること
ができるので、筋ムラの良否判別の信頼性をより一層向
上することができる。

【００７３】更に、本実施例のシャドウマスク検査装置
３０では、縦横の筋ムラごとに異なるフィルタウィンド
のサイズのＭ／Ｆを用い、それぞれのＭ／Ｆでの筋ムラ
の良否判別を総てのＭ／Ｆについて行なった。よって、
ムラの幅が狭いものや広い縦ムラおよび横ムラについて
も、より精度よく検出することができるので、筋ムラの
良否判別の信頼性をより一層向上することができる。加
えて、それぞれのＭ／Ｆを用いて下した判別結果を、検
査対象のシャドウマスクＳＭに筋ムラの不良がある場合
には、シャドウマスクＳＭのフォトエッチング法におけ
る各工程（コーティング工程，焼付工程，現像工程，エ
ッチング工程等）の品質管理に反映させることができ、
これを通して品質向上を図ることができる。

【００７４】また、検査対象となったシャドウマスクＳ
Ｍについての判別結果に加えて、ステップＳ１３２，１
４２，１５２，１６２，１７２，１８２で取得した積算
データを補助記憶装置７２に記憶するよう構成すれば、
次のような効果を奏することができる。上記のムラ判別
処理により筋ムラが良品であるとされたシャドウマスク
ＳＭが品質不良であると後日されても、判別処理時の積
算データを表示すれば、指摘された品質不良と積算デー
タに表われたデータの積算の様子とを対比することがで
きる。このため、良否判別の妥当性や良否判別のための
マップの妥当性を再検討したり、判別結果と品質不良と
の対比を通した品質不良の原因究明を容易に行なうこと
ができる。

【００７５】ここで、上記した実施例のシャドウマスク
検査装置３０の変形例について説明する。上記のシャド
ウマスク検査装置３０では、縦横の筋ムラごとに異なる
フィルタウィンドのサイズのＭ／Ｆにてそれぞれ平滑化
処理を行ない、それぞれのＭ／Ｆでの筋ムラの良否判別
を総てのＭ／Ｆについて行なった。しかし、いずれかの
Ｍ／Ｆでの筋ムラの良否判別が不良と判別されれば、そ
の時点で処理を終了するよう構成することもできる。こ
の構成であれば、筋ムラの不良がある場合には、ムラ判
別の処理時間の短縮化を図ることができる。

【００７６】また、上記したフィルタウィンドのサイズ
以外のサイズを有するＭ／Ｆを用いたり、所定のフィル
タウィンドのサイズを有する一つのＭ／Ｆを用いるだけ
の構成を採ることもできる。或いは、第１分割領域ＳＭ
ｅT1から第５分割領域ＳＭｅT5のうち、第２分割領域Ｓ
ＭｅT2と第４分割領域ＳＭｅT4とについては縦ムラの判
別処理を行なわず、処理対象領域ＳＭｅ0 を単純に分割
した際の隣合う第１分割領域ＳＭｅT1と第３分割領域Ｓ
ＭｅT3と第５分割領域ＳＭｅT5とについてのみ縦ムラの
判別処理を行なう構成を採ることもできる。横ムラにつ
いても同様である。

【００７７】以上本発明の実施例について説明したが、
本発明はこの様な実施例になんら限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態
様で実施し得ることは勿論である。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例のシャドウマスク検査装置３０の外観構
成を示す正面図。

【図２】このシャドウマスク検査装置３０の電気的構成
を示すブロック図。

【図３】実施例のシャドウマスク検査装置３０が行なう
シャドウマスクＳＭの筋ムラの検査処理の全体を表わし
たフローチャート。

【図４】このムラ検査処理における初期設定処理の詳細
な内容を表わしたフローチャート。

【図５】図３に示す筋ムラの検査処理における処理内容
を説明するための説明図。

【図６】図３に示す筋ムラの検査処理における縦ムラの
判別処理の詳細な内容を表わしたフローチャート。

【図７】図６に示すステップＳ１３１における区域識別
子Ｔｉの有する意味を説明するための説明図。

【図８】図６に示すステップＳ１３２で処理対象領域Ｓ
Ｍｅ0 について行なわれる処理の様子を模式的に説明す
るための説明図。

【図９】図６に示すステップＳ１３３で処理対象領域Ｓ
Ｍｅ0 について行なわれる処理の内容を説明するための
説明図。

【図１０】図６に示すステップＳ１３４で処理対象領域
ＳＭｅ0 について行なわれる処理の内容を説明するため
の説明図。

【図１１】同じくステップＳ１３４で処理対象領域ＳＭ
ｅ0 について行なわれる処理の内容を説明するための説
明図。

【図１２】図６に示すステップＳ１３２で第１分割領域
ＳＭｅT1について行なわれる処理の様子を模式的に説明
するための説明図。

【図１３】図６に示すステップＳ１３２で第２分割領域
ＳＭｅT2について行なわれる処理の様子を模式的に説明
するための説明図。

【図１４】図６に示すステップＳ１３２で第３分割領域
ＳＭｅT3について行なわれる処理の様子を模式的に説明
するための説明図。

【図１５】図６に示すステップＳ１３２で第４分割領域
ＳＭｅT4について行なわれる処理の様子を模式的に説明
するための説明図。

【図１６】図６に示すステップＳ１３２で第５分割領域
ＳＭｅT5について行なわれる処理の様子を模式的に説明
するための説明図。

【図１７】図３に示す筋ムラの検査処理における横ムラ
の判別処理の詳細な内容を表わしたフローチャート。

【図１８】図１７に示すステップＳ１６１における区域
識別子Ｙｉの有する意味を説明するための説明図。

【図１９】図１７に示すステップＳ１３２で処理対象領
域ＳＭｅ0 について行なわれる処理の様子を模式的に説
明するための説明図。

【図２０】図１７に示すステップＳ１６２で第１分割領
域ＳＭｅY1について行なわれる処理の様子を模式的に説
明するための説明図。

【図２１】図１７に示すステップＳ１６２で第２分割領
域ＳＭｅY2について行なわれる処理の様子を模式的に説
明するための説明図。

【図２２】図１７に示すステップＳ１６２で第３分割領
域ＳＭｅY3について行なわれる処理の様子を模式的に説
明するための説明図。

【図２３】図１７に示すステップＳ１６２で第４分割領
域ＳＭｅY4について行なわれる処理の様子を模式的に説
明するための説明図。

【図２４】図１７に示すステップＳ１６２で第５分割領
域ＳＭｅY5について行なわれる処理の様子を模式的に説
明するための説明図。

【図２５】シャドウマスクＳＭについての従来のムラ検
査の様子を説明するための説明図。

【符号の説明】 ３０…シャドウマスク検査装置 ４０…光学測定装置 ４９…ＣＣＤカメラ ５０…データ処理装置 ５２…ディスプレイ ５２ａ…表示領域 ５４…画像処理装置 ６２…カメラ制御装置 ６４…バスライン ６６…ＣＰＵ ６８…主記憶装置 ７２…補助記憶装置 ７７…レンズ部 ＳＭ…シャドウマスク ＳＭｅ0 …処理対象領域 ＳＭｅT1…第１分割領域 ＳＭｅT2…第２分割領域 ＳＭｅT3…第３分割領域 ＳＭｅT4…第４分割領域 ＳＭｅT5…第５分割領域 ＳＭｅY1…第１分割領域 ＳＭｅY2…第２分割領域 ＳＭｅY3…第３分割領域 ＳＭｅY4…第４分割領域 ＳＭｅY5…第５分割領域 ＳＭｅ…透孔領域 ＴＭ…縦ムラ ＹＭ…横ムラ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数の透孔が概周期的に配列された透孔
   板について、透孔の寸法異常に起因して筋状に生じる光
   透過率の筋ムラを検査する透孔板の検査方法において、 前記透孔板にその一方の主面側から光を照射して前記透
   孔板を他方の主面側から撮像し、所定の方向に沿った第
   １の軸とこれに直交する第２の軸とで定まる平面に個々
   の階調値が２次元分布した撮像画像の階調データを求め
   る撮像工程と、 前記階調データに属する個々の階調値を前記第２の軸の
   座標ごとに前記第１の軸に沿って積算する積算演算を行
   ない、前記階調データの積算データを求める積算化工程
   と、 前記積算データを平滑化処理して平滑化データを求める
   平滑化工程と、 前記積算データを前記平滑化データで除算する除算演算
   を行ない、規格化データを算出する規格化工程と、 前記規格化データにおける偏差を提示する偏差提示工程
   と、を含むことを特徴とする透孔板の検査方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の透孔板の検査方法にお
   いて、 前記規格化データにおける偏差に基づいて、検査対象で
   ある前記透孔板についての前記筋ムラの良否判別を下す
   判別工程を、前記偏差提示工程に替えて或いは前記偏差
   提示工程と共に有する透孔板の検査方法。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の透孔板の検査方法にお
   いて、 前記積算化工程は、 前記２次元分布した階調データを分割して複数の分割階
   調データを求める工程と、 複数の前記分割階調データについて、分割階調データに
   属する個々の階調値を前記第２の軸の座標ごとに前記第
   １の軸に沿って積算して複数の分割積算データをそれぞ
   れ求める工程とを含み、 前記平滑化工程が、複数の前記分割積算データをそれぞ
   れ平滑化処理して複数の分割平滑化データをそれぞれ求
   める工程であり、 前記規格化工程が、複数の前記分割積算データを複数の
   前記分割平滑化データでそれぞれ除算する除算演算を行
   ない、複数の分割規格化データをそれぞれ算出する工程
   であり、 前記判別工程が、前記良否判別を複数の前記分割規格化
   データにおける偏差に基づいて行なう工程であることを
   特徴とする透孔板の検査方法。
4. 【請求項４】 多数の透孔が概周期的に配列された透孔
   板について、透孔の寸法異常に起因して筋状に生じる光
   透過率の筋ムラを検査する透孔板の検査装置において、 前記透孔板を支持する支持手段と、 前記支持された透孔板にその一方の主面側から光を照射
   する照射手段と、 前記支持された透孔板を他方の主面側から撮像し、所定
   の方向に沿った第１の軸とこれに直交する第２の軸とで
   定まる平面に個々の階調値が２次元分布した撮像画像の
   階調データを求める撮像手段と、 前記階調データに属する個々の階調値を前記第２の軸の
   座標ごとに前記第１の軸に沿って積算する積算演算を行
   ない、前記階調データの積算データを求める積算化手段
   と、 前記積算データを平滑化処理して平滑化データを求める
   平滑化手段と、 前記積算データを前記平滑化データで除算する除算演算
   を行ない、規格化データを算出する規格化手段と、 前記規格化データにおける偏差を提示する偏差提示手段
   と、を有することを特徴とする透孔板の検査装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の透孔板の検査装置にお
   いて、 前記規格化データにおける偏差に基づいて、検査対象で
   ある前記透孔板についての前記筋ムラの良否判別を下す
   判別手段を、前記偏差提示手段に替えて或いは前記偏差
   提示手段と共に有する透孔板の検査装置。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の透孔板の検査装置にお
   いて、 前記積算化手段は、 前記２次元分布した階調データを分割して複数の分割階
   調データを求める手段と、 複数の前記分割階調データについて、分割階調データに
   属する個々の階調値を前記第２の軸の座標ごとに前記第
   １の軸に沿って積算して複数の分割積算データをそれぞ
   れ求める手段とを有し、 前記平滑化手段が、複数の前記分割積算データをそれぞ
   れ平滑化処理して複数の分割平滑化データをそれぞれ求
   める手段であり、 前記規格化手段が、複数の前記分割積算データを複数の
   前記分割平滑化データでそれぞれ除算する除算演算を行
   ない、複数の分割規格化データをそれぞれ算出する手段
   であり、 前記判別手段が、前記良否判別を複数の前記分割規格化
   データにおける偏差に基づいて行なう手段であることを
   特徴とする透孔板の検査装置。
7. 【請求項７】 請求項４から請求項６のいずれかに記載
   の透孔板の検査装置において、 前記平滑化手段が、１次元のフィルタウィンドを有する
   メディアンフィルタにより、前記積算データ又は分割積
   算データを前記第２の軸に沿って平滑化処理するフィル
   タ手段を有することを特徴とする透孔板の検査装置。