KR970002257A - 투과구멍판의 검사방법 및 검사장치 - Google Patents

투과구멍판의 검사방법 및 검사장치 Download PDF

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Abstract

섀도우마스크등의 투과구멍판의 투과구멍의 치수 이상에 기인한 광투과율의 불균일의 육안 검사의 간략화와 검사정도의 향상을 도모한다.
섀도우마스크 검사장치(30)에서는, CCD 카메라(49)가 촬상한 생화상의 압축을 행하여 320×256×14비트의 계조데이터를 얻는다. 이 압축한 화상데이터를 리퍼런스 데이터로 제산하고 셰이딩 보정을 하여, 광원등에 기안하는 잡음을 제거한다. 이어서, 셰이딩 보정이 끝난 계조데이터(생화상 농도 단면)를 31×31의 필터윈드를 가지는 메디안 필터에 의해 평활화 처리하여 화상보정을 행하고, 평활화된 메디안 데이터(M/F 화상농도단면)를 얻는다. 그후, 계조데이터를 메디안 필터로 제산하여 규격화 데이터를 구비하고, 이 규격화 데이터에 의거하여 화상을 표시하며, 섀도우마스크(SM)의 그레이드가 제거되어 불균일이 강조된 화상을 표시한다.

Description

투과구멍판의 검사방법 및 검사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 실시예의 섀도우마스크 검사장치(30)의 외관 구성을 나타내는 정면도이고, 제2도는 이 섀도우마스크 검사장치(30)의 전기적 구성을 나타내는 블럭도이고, 제3도는 섀도우마스크 검사장치(30)가 행하는 투과구멍의 불균일 검사처리의 전체를 나타낸 플로우차트이고, 제4도는 이 불균일 검사처리에 초기 설정처리의 상세한 내용을 나타낸 플로우차트이고, 제5도는 이 초기 설정처리에서 의한 디스플레이(51)로의 화상표시의 모습을 모식적으로 나타낸 모식도이다.

Claims (8)

  1. 다수의 투과구멍이 대개주기적으로 배열된 투과구멍판에 대해서 투과구멍의 치수 이상에 기인한 광투과율의 불균일을 검사하는 투과구멍판의 검사방법에 있어서, 상기 투과구멍판의 한쪽 주면측에서 광을 조사하는 조사공정과, 상기 투과구멍판을 다른쪽 주면측에서 촬상하고, 상기 촬상화상의 계조데이터를 구하는 촬상공정과, 상기 계조데이터를 소정의 필터에 의해 평활화 처리하여 평활화 데이터를 구하는 평활화 공정과, 상기 계조데이터를 상기 평활화 데이터로 제산하고, 상기 촬상화상의 규격화 데이터를 산출하는 규격화 공정과, 상기 규격화 데이터에 기초해서, 검사대상인 상기 투과구멍판의 다른쪽 주면을 표시하는 검사투과구멍판 표시공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 불균일의 정도가 허용되는 범위인 양품의 투과구멍판, 또는 상기 불균일의 정도가 허용되지 않는 범위인 불량품의 투과구멍판인 한계 견본에 대해서 상기 규격화 데이터를 준비하는 준비공정과, 상기 한계 견본의 규격화 데이터에 기초해서, 한계 견본의 상기 다른쪽 주면을 표시하는 한계 견본 표시공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사방법.
  3. 다수의 투과구멍이 대개주기적으로 배열된 투과구멍판에 대해서, 투과구멍의 치수 이상에 기인한 광투과율의 불균일을 검사하는 투과구멍판의 검사방법에 있어서, 상기 투과구멍판을 지지하는 지지수단과, 상기 지지수단에 지지된 투과구멍판의 한쪽 주면측에서 광을 조사하는 조사수단과, 상기 지지수단에 의해 지지된 투과구멍판을 다른족 주면측에서 촬상하고, 상기 촬상화상의 계조 데이터를 구하는 촬상수단가, 상기 계조데이터를 소정의 필터에 의해 평활화 처리하여 평활화데이터를 구하는 평활화 수단과, 상기 계조데이터를 상기 평활화데이터로 제산하고, 상기 촬상화상의 규격화 데이터를 산출하는 규격화 수단과, 상기 규격화 데이터에 기초해서, 검사 대상인 상기 투과구멍판의 다른쪽의 주면을 표시하는 표시수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 불균일의 정도가 허용되는 범위인 양품의 투과구멍판, 또는 상기 불균일의 정도가 허용되지 않는 범위인 불량품의 투과구멍판인 한계견본에 대한 상기 규격화 데이터를 기억하는 기억수단을 더 구비하고, 상기 표시수단이, 검사대상인 투과구멍판의 다른쪽 주면을 표시함과 동시에 상기 한계 견본의 규격화 데이터에 기초해서 한계 견본의 상기 다른쪽 주면을 표시하는 수단인 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사방법.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 평활화 수단이 평활화처리할때 상기 소정의 필터가, m행 n렬(nm은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터인 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사방법.
  6. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 평활화 수단이, m행 1렬(m은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 상기 계조데이터를 평활화 처리하여 제1평활화 데이터를 구하는 수단과, 1행 n렬(n은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 상기 제1평활화 데이터를 처리하여 상기 평활화 데이터를 구하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사장치.
  7. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 평활화 수단이, 1행 n렬(n은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안필터로 상기 계조데이터를 평활화 처리하여 제2평활하 데이터를 구하는 수단과, m행 1렬(m은 자연수)의 필드윈드를 가지는 메디안 필터로 상기 제2평활화 데이터를 평활화 처리하여 상기 평활화 데이터를 구하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사장치.
  8. 제5항부터 제7항에 있어서, 상기 평활화 수단이, 투과구멍판의 투과구멍이 형성된 범위인 투과구멍영역 주변의 계조 데이터이며, 상기 메디안 필터의 필터윈드를 만족하지 않는 데이터수의 계조데이터에 대해서 상기 필터윈드를 만족하지 않는 데이터수의 계조데이터를 그 크기의 순으로 배열하였을 때 중앙에 오는 데이터를 출력 데이터로 하는 메디안 필터를 이용하여 평활화 처리를 하는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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