JP3751841B2 - 電子線を用いた検査装置及び電子線を用いた検査方法 - Google Patents
電子線を用いた検査装置及び電子線を用いた検査方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細なパターンを有する半導体装置、基板、ホトマスク(露光マスク)、液晶等を検査する電子線を用いた検査装置および検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置の製造過程における異常や不良発生を、早期に、あるいは、事前に検知するため、各製造工程の終了時に半導体ウエハ上のパターン検査が行われる。
【0003】
この欠陥を検査する方法として、分解能の高い電子線画像を用いて、パターンを検査する方法および装置が実用化されている。
【0004】
ウェハの口径増大と回路パターンの微細化に追随して高スループット且つ高精度な検査を行うためには、非常に高速に、高SNな画像を取得する必要がある。このため、通常の走査型電子顕微鏡(SEM)の1000倍以上(10nA以上)の大電流ビームを用いて照射される電子数を確保し、高SN比を保持している。さらに、基板から発生する二次電子、反射電子の高速、且つ高効率な検出が必須である。また、レジスト等の絶縁膜を伴った半導体基板が帯電の影響を受けないように2keV以下の低加速電子線を照射している。
【0005】
特開平10−12170号公報には、走査速度可変の走査形荷電粒子ビーム装置において、走査速度が速い場合の像の取り込み開始時点での走査信号の歪に起因する像の歪を防止するため、ディジタル回路でブランキング信号OFFと画像データの取り込み開始タイミングを合わせる技術が開示されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
SEM式検査装置においては、所望の画像取得領域を端から1画素ずつビーム照射して画像信号を形成してゆくため、領域の両端部付近が領域の中央部と比較してビーム電流量等の条件が異なり画質が変化する可能性がある。また、ビーム中心を領域中心に置く必要上、画像取得領域の両端部では、偏向ひずみが大きく電子光学条件としても好ましくなく、このような悪条件下の画像を用いて比較検査を行うと、検査性能の低下を来たすことがある。
【0007】
前記の従来技術を検査SEMに適用しても、上記した画像取得領域の両端部での検査性能の低下を防止することはできない。
【0008】
また、検査中の検出領域に関する画面条件が、モニタから確認できないという問題があった。
【0009】
本発明の目的は、検査中の検出領域に関する画面条件が、モニタ画像で確認できる電子線を用いた検査装置又は方法を提供することである。
【0010】
本発明の他の目的は、検査画像の端部の画質変化や偏向ひずみ、シェーディング現象などによる検出性能の低下を防止することのできる電子線を用いた検査装置又は方法を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、その一面において、電子線を走査して発生する二次荷電粒子の検出信号に基づいて試料の欠陥を検出する際に、走査領域の両端部分を削除した画像信号に基づいて欠陥を検出することを特徴とする。
【0012】
本発明は、他の一面において、その走査開始端部及び走査終了端部の所定幅の領域と,その内部の画像領域とを区別してモニタ表示することを特徴とする。
【0013】
本発明は、更に他の一面において、ブランキング又は画像を取り込む同期信号を制御することによって、走査領域の両端部を、欠陥検査領域から除外することを特徴とする。
【0014】
本発明の望ましい一実施態様においては、電子線走査手段が、試料上の第1の方向への高速走査と、第1の方向とは異なる第2の方向への低速走査とを同時並存する形で実行し、走査領域のうち画像比較手段として使用しない両端部領域を、高速走査方向においてはブランキングにより設定し、低速走査方向においては同期信号の開始と終了によって設定する。
【0015】
これらにより、電子線を用いた検査装置において、10ns単位の高精度なタイミング合わせを、モニタ画像上で確認することができる。また、高速方向又は低速方向の走査領域の両端部での振り始めと振り終りの不安定性に伴う検査精度の低下を防止し、より高精度の検査性能を持つ電子線を用いた検査装置又は方法を提供できる。
【0016】
本発明によるその他の目的及び特徴は以下の実施例の説明にて明らかにする。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
(実施例1)
図1から図2に本発明の第一の実施例を示す。
【0018】
図1は本発明の一実施例による電子線を用いた検査装置であるSEM式外観検査装置の全体構成を示す縦断面図及び制御ブロック図である。SEM式外観検査装置1は、室内が真空排気される検査室2と、検査室2内に試料基板9を搬送するための予備室(本実施例では図示せず)、画像処理部5、制御部6、二次電子検出部7から構成されている。
【0019】
検査室2内は大別して、電子光学系3、試料室8、光学顕微鏡部4から構成されている。電子光学系3は、電子銃10、電子線の引き出し電極11、コンデンサレンズ12、ブランキング偏向器13、走査偏向器15、絞り14、対物レンズ(レンズ手段)16、反射板17、E×B偏向器18から構成されている。E×B偏向器18は、一次電子線に対しては電界と磁界による偏向量が互いに打ち消しあい、二次電子線に対しては両者の重ね合わせで電子を偏向させる。後述する二次電子検出部7のうち、二次電子検出器20が検査室2内の対物レンズ16の上方に配置されている。
【0020】
試料室8は、試料台30、Xステージ31、Yステージ32、位置モニタ用測長器34、試料高さ測定器35から構成されている。光学顕微鏡部4は、検査室2の室内における電子光学系3の近傍であって、互いに影響を及ぼさない程度離れた位置に設備されている。そして、Xステージ31またはYステージ32が電子光学系3と光学顕微鏡部4の間を往復移動する。光学顕微鏡部4は光源40、光学レンズ41、CCD(電荷結合ディバイス:Charge Coupled Device)カメラ42により構成されている。
【0021】
画像処理部5は、第一画像記憶部46、第二画像記憶部47、演算部48、欠陥判定部49より構成されている。取り込まれた電子線画像あるいは光学画像はモニタ50に表示される。
【0022】
装置各部の動作命令および動作条件は、制御部6から入出力される。制御部6には、あらかじめ電子線発生時の加速電圧、電子線偏向幅、偏向速度、二次電子検出装置の信号取り込みタイミング、試料台移動速度等々の条件が、目的に応じて任意にあるいは選択して設定入力されている。制御部6は、補正制御回路43を用いて、位置モニタ用測長器34、試料高さ測定器35の信号から位置や高さのずれをモニタし、その結果により補正信号を生成し、電子線が常に正しい位置に照射されるよう対物レンズ電源45や走査信号発生器44に補正信号を送る。
【0023】
試料9の画像を取得するためには、細く絞った電子線19を該試料9に照射し、二次電子51を発生させ、これらを電子線19の走査およびXステージ31、Yステージ32の移動と同期して検出する。
【0024】
このSEM式外観検査装置では検査速度が速いことが必須となる。従って、通常のSEMのようにpAオーダーの電子線電流の電子線を低速で走査したり、多数回の走査および各々の画像の重ね合せは行わない。また、絶縁材料への帯電を抑制するためにも、電子線走査は高速で一回あるいは数回程度にして多数回の走査は行わない。そこで本実施例では、従来のSEMに比べて約1000倍以上の、例えば100nAの大電流の電子線を一回のみ走査することにより、画像を形成する構成とした。
【0025】
電子銃10には拡散補給型の熱電界放出電子源が使用されている。この電子銃10を用いることにより、例えばタングステンフィラメント電子源や、冷電界放出型電子源に比べて安定した電子線電流を確保することができる。このため、明るさ変動の少ない電子線画像が得られる。また、この電子銃10により電子線電流を大きく設定することができるため、後述するような高速検査を実現できる。電子線19は、電子銃10と引き出し電極11との間に電圧を印加することで、電子銃10から引き出される。
【0026】
電子線19は、電子銃10に高電圧の負の電位を印加することによって加速される。これにより、電子線19はその電位に相当するエネルギーで試料台30の方向に進み、コンデンサレンズ12で収束され、さらに対物レンズ16により細く絞られて試料台30の上のXステージ31、Yステージ32の上に搭載された試料9に照射される。試料9は半導体ウエハ、チップあるいは液晶、マスク等の微細回路パターンを有する基板である。ブランキング偏向器13には、走査信号およびブランキング信号を発生する走査信号発生器44が接続され、対物レンズ16には対物レンズ電源45が接続されている。
【0027】
試料9には、高圧電源36により負の電圧を印加する。この高圧電源36の電圧を調節することにより、電子線19を減速し、電子銃10の電位を変えずに試料9への電子線照射エネルギーを最適な値に調節することができる。
【0028】
試料9上に電子線19を照射することによって発生した二次電子51は、試料9に印加された負の電圧により加速される。試料9の上方に、電界と磁界の両方によって電子線19の軌道へは影響を与えずに二次電子の軌道を曲げるためのE×B偏向器18が配置され、これにより加速された二次電子51は所定の方向へ偏向される。E×B偏向器18にかける電界と磁界の強度により、この偏向量を調整することができる。また、この電界と磁界は、試料9に印加した負の電圧に連動させて可変させることができる。
【0029】
E×B偏向器18により偏向された二次電子51は、所定の条件で反射板17に衝突する。この反射板17は円錐形状をしており、試料9に照射する電子線19をシールドするシールドパイプの機能も有している。この反射板17に加速された二次電子51が衝突すると、反射板17からは数eVから50eVのエネルギーを持つ第二の二次電子52が発生する。
【0030】
二次電子検出部7としては、真空排気された検査室2内に二次電子検出器20を配置していることは前述したが、検査室2の外にプリアンプ21、AD変換器22、光変換手段23、光伝送手段24、電気変換手段25、プリアンプ駆動電源27、AD変換器駆動電源28、逆バイアス電源29が設けられ、高圧電源26により正の電位にフローティングされている。反射板17に衝突して発生した第二の二次電子52は、この正の電位によって作られた吸引電界により二次電子検出器20へ導かれる。
【0031】
二次電子検出器20は、電子線19の走査のタイミングと連動して、第二の二次電子52を検出する。例えば制御部6内の水平及び垂直同期信号生成部(手段)によって作られた水平及び垂直同期信号に合わせて二次電子を取り込み、その出力信号は、プリアンプ21で増幅され、AD変換器22によりデジタルデータとなり、画像処理部5に伝送される。検出したアナログ信号を検出直後にデジタル化して伝送するので、高速で且つSN比の高い信号を得ることができる。
【0032】
Xステージ31、Yステージ32上には試料9が搭載されており、検査実行時にXステージ31、Yステージ32を静止させて電子線19を二次元に走査する方法と、検査実行時にXステージ31、Yステージ32をY方向に連続して一定速度で移動させて電子線19をX方向に直線的に走査する方法とのいずれかを選択できる。ある特定の比較的小さい領域を検査する場合には前者の試料9を静止させて検査する方法が、比較的広い領域を検査するときは、試料9を連続的に一定速度で移動させて検査する方法が有効である。電子線19のブランキング制御は、ブランキング偏向器13により電子線19が偏向され、電子線が絞り14を通過しないようにして実行される。
【0033】
Xステージ31およびYステージ32の位置をモニタする位置モニタ用測長器34として、本実施例ではレーザ干渉による測長計を用いた。Xステージ31およびYステージ32の位置が実時間でモニタでき、その結果が制御部6に転送されるようになっている。また、Xステージ31、Yステージ32、回転ステージ33のモータの回転数等のデータも同様に、各々のドライバから制御部6に転送されるように構成されており、制御部6はこれらのデータに基いて電子線19が照射されている領域や位置が正確に把握できるようになっている。したがって、必要に応じて実時間で電子線19の照射位置の位置ずれを補正制御回路43で補正できるようになっている。また、試料9毎に、電子線19を照射した領域を記憶できるようになっている。
【0034】
試料高さ測定器35は、光学式測定器、例えば、レーザ干渉測定器や反射光の位置で変化を測定する反射光式測定器が使用され、Xステージ上31、Yステージ32に搭載された試料9の高さを実時間で測定できるように構成されている。本実施例では、スリットを通過した細長い白色光を透明な窓越しに試料9に照射し、反射光の位置を位置検出モニタにて検出し、位置の変動から高さの変化量を算出する方式を用いている。この光学式高さ測定器35の測定データに基いて、対物レンズ16の焦点距離がダイナミックに補正され、常に被検査領域に焦点が合った電子線19を照射できるようになっている。また、試料9の反りや高さ歪みを電子線照射前に予め測定しておき、そのデータをもとに対物レンズ16の被検査領域毎の補正条件を設定するように構成することも可能である。
【0035】
画像処理部5は第一画像記憶部46、第二画像記憶部47、演算部48、欠陥判定部49、モニタ50により構成されている。二次電子検出器20で検出された試料9の画像信号は、AD変換器22でデジタル化された後に光変換手段23で光信号に変換され、光伝送手段24によって伝送され、電気変換手段25にて再び電気信号に変換された後に、第一画像記憶部46あるいは第二画像記憶部47に記憶される。演算部48は、第一画像記憶部46に記憶された画像信号と第二画像記憶部47に記憶された画像信号との位置合せ、信号レベルの規格化、ノイズ信号を除去するための各種画像処理を施し、双方の画像信号を比較演算する。欠陥判定部49は、演算部48にて比較演算された差画像信号の絶対値を所定のしきい値と比較し、所定のしきい値よりも差画像信号レベルが大きい場合に、その画素を欠陥候補と判定し、モニタ50にその位置や欠陥数等を表示する。
【0036】
図2は、画像信号形成のための各種信号のタイミングシーケンスを示す。すなわち、図1における走査偏向器15を駆動させる水平(X軸方向)偏向信号210と、ブランキング偏向器13を駆動させるブランキング信号220と、AD変換器22の動作タイミングを決める水平同期信号230の3種類の信号のタイミングを表している。前述したように、偏向信号(X)210とブランキング信号220は走査信号発生器44により生成され、実際に試料9のどの部分に電子線を照射するかを決めている。水平同期信号230は、偏向信号(X)210と同期した形で検出信号のどの部分を画像信号として取り出すかを決めている。
【0037】
第一の実施例である図2は、試料9上を図の横方向であるX軸方向へ電子線を高速走査(300)しながら縦方向のY軸方向へ低速走査(310)で送り、図中の1ストライプ200を検査する状況を、横方向の高速走査(300)のシーケンスタイミングで図示している。なおここで、Y軸方向への低速走査(310)は、偏向に加えてステージ移動により電子線走査を補ってもよいし、偏向に代えてステージ移動のみにより電子線走査を行うこともできる。
【0038】
この実施例においては、ブランキング信号220の停止(電子線照射状態)をX軸偏向領域(偏向信号の鋸波部)や水平同期信号のON幅よりも狭くすることにより、画像の左端と右端の信号を削除している。すなわち、X軸走査領域の開始端(図の左端)において、水平同期信号230の開始後にブランキング信号220を停止し、X軸走査領域の終端(右端)において、ブランキング信号220の開始後に水平同期信号230を停止している。これにより、電子線19の振り始め(左端)と振り終わり(右端)の電子光学的に不安定な部分を画像信号から除去することができ、検査性能の劣化を防止することができる。
【0039】
また、右端から電子線19を振り戻す際、既にブランキングONの状態にあるため試料上に破線320で示す余分な電子線を照射することはなく、シェーディング現象などによる検査性能劣化も防止できる。さらに、試料保護の観点から見ても、余分な電子線照射をカットするという意味で大きな効果がある。
【0040】
本実施例によれば、削除した両端部分はブランキングONのため、画像信号としては無信号状態の黒色信号となり、モニタ50の画像の両端に黒い縦帯401,402が生じることから、試料9上の走査状態が、上記のような好条件にあることを視覚的に確認できるという効果は大きい。
【0041】
すなわち、モニタ装置50は、走査手段44,15の走査領域(X軸偏向信号210の鋸波部)内において,その走査開始端部及び走査終了端部の所定幅の領域401,402と,その内部の画像領域とを区別して表示する手段を備えて構成している。言い換えれば、所定幅の領域401.402を、無信号状態の黒色信号などの所定の画像信号に置き換え表示させる手段を有する。また、この所定幅の領域401.402によって、ブランキング信号220と水平同期信号230との関係を画面上に表示する表示装置を備えていると言える。更に、モニタ50は、偏向領域(X軸偏向信号210の鋸波部)とこの偏向領域内の画像領域とを画面上に表示する表示装置を備えていると言うことができる。
(実施例2)
本発明の第二の実施例を図3に示す。図3は図2と同様の図であり、試料9上を図の横(X軸)方向への高速走査タイミングを示したものである。違いはブランキング信号221と水平同期信号231のタイミングが入れ替わっていることだけである。すなわち、水平同期信号231を偏向幅やブランキングOFFの幅よりも狭くすることにより、電子線X軸走査領域の両端の部分を画像信号から除去している。これは言い換えると、所望の画像取得領域を水平同期信号の幅とすると、電子線走査領域を余分に大き目にとることに相当する。すなわち、X軸走査領域の開始端(図の左端)において、ブランキング信号221の停止後に水平同期信号231を開始し、X軸走査領域の終端(右端)において、水平同期信号231の停止後にブランキング信号221を開始している。これにより、電子線19の振り始め(左端)と振り終わり(右端)の電子光学的に不安定な部分を画像信号から除去することができ、検査性能の劣化を防止することができる。
(実施例3)
本発明の第三の実施例を図4に示す。図4は試料9上を図の横(X軸)方向へ電子線を高速走査(300)しながら縦(Y軸)方向へ低速走査(310)で送り、図中の1ストライプ200を検査しようとする場合であり、その中のY軸方向の低速走査のシーケンスタイミングを図示したものである。なおここで、Y軸方向への低速走査はステージ移動により電子線走査を補ってもよい。
【0042】
この場合、ブランキング制御の有無を表す信号250のOFF(電子線照射状態)をY軸偏向幅(Y軸偏向信号240の鋸波部)や垂直同期信号260のONの幅よりも狭くし、電子線の走査領域の開始端において,垂直同期信号260の開始後にブランキング制御を停止(250のOFF)するステップと、電子線の走査領域の終端において,ブランキングの開始(250のON)後に垂直同期信号260を停止するステップを含む方法により、画像の上端と下端の信号を削除している。これにより、電子線の振り始め(上端)と振り終わり(下端)の電子光学的に不安定な部分を画像信号から除去し、検査性能の劣化を防止することができる。言い換えれば、前述した画像比較手段で使用しない端部領域を設定する手段を設けている。削除した上下端部分はブランキングONのため、図2と同様に、モニタ50の画像上に黒い横帯410ができ条件設定を視覚的に確認できる。また、本実施例では、試料への余分な電子線照射をカットしている。
(実施例4)
本発明の第四の実施例を図5に示す。図5は図4と同様の図であり、試料9上を図のX軸方向へ電子線を高速走査しながらY軸方向へ低速走査で送り、図中の1ストライプ200を検査しようとする場合であり、その中のY軸方向の低速走査のシーケンスタイミングを図示したものである。ここで、Y軸方向への低速走査はステージ移動により電子線走査を補ってもよい。
【0043】
違いはブランキング制御の有無(信号251のON,OFF)と垂直同期信号261のタイミングが入れ替わっていることである。すなわち、垂直同期信号261をY軸偏向信号240(Y)の鋸波部の幅やブランキング制御の幅(信号251のOFF幅)よりも狭くすることにより、すなわち、電子線の走査領域の開始端(図の上端)において,ブランキングの停止後に垂直同期信号261を開始するステップと、電子線の走査領域の終端(図の下端)において,垂直同期信号251の終了後にブランキングを開始するステップを含み、電子線のY軸方向走査(偏向)領域の両端(図の上下端)の部分を画像信号から除去している。
【0044】
言い換えると、所望の画像取得領域を垂直同期信号の幅とすると、電子線走査領域を余分に大き目にとることに相当する。これにより、電子線19の振り始め(上端)と振り終わり(下端)の電子光学的に不安定な部分を画像信号から除去することができ、検査性能の劣化を防止することができる。図5においては、電子線の走査のうち開始時の一走査幅および終了時の一走査幅を画像信号から除去した図としているが、実際には10走査前後を除去することが望ましい。
【0045】
ところで、図2,3で示した画像の水平(X軸)方向両端部の削除と、図4,5で述べた画像の垂直(Y軸)方向両端部の削除とは、4通りのいかなる組合せでも実行できるが、図2と図5の組合せが望ましい。すなわち、水平方向に関しては、試料9に常時余分な電子線19を放射し続ける図3よりも、これをブランキングする図2が好ましく、一方、垂直方向に関しては、1ストライプ200の最上端と最下端でのみ余分な水平走査しか生じない図5の方法で、垂直同期信号により確実に、最上端と最下端をカットすることが好ましいと言える。
【0046】
【発明の効果】
本発明によれば、試料の欠陥を電子線を用いて高精度に検出すると同時に、その際問題となる走査領域の両端部周辺の画質変化や偏向ひずみ、シェーディング現象などによる欠陥検出性能の低下を防止することができる電子線を用いた検査装置および検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】SEM式外観検査装置の装置構成を示す縦断面及びシステム全体ブロック図。
【図2】本発明の第一の実施例による高速走査におけるシーケンスタイミングを表す波形図と半導体ウエハの平面図。
【図3】本発明の第二の実施例による高速走査におけるシーケンスタイミングを表す波形図。
【図4】本発明の第三の実施例による低速走査におけるシーケンスタイミングを表す波形図と半導体ウエハの平面図。
【図5】本発明の第四の実施例による低速走査におけるシーケンスタイミングを表す波形図。
【符号の説明】
1…SEM式外観検査装置、3…電子光学系、5…画像処理部、6…制御部、7…二次電子検出部、9…試料、10…電子銃、13…ブランキング偏向器、15…走査偏向器、19…電子線、20…二次電子検出器、43…補正制御回路、44…走査信号発生器、46…第一画像記憶部、47…第二画像記憶部、49…欠陥判定部、50…モニタ、51…二次電子、52…第二の二次電子、200…検査ストライプ、210…水平偏向信号、220,221…水平ブランキング信号、230,231…水平同期信号、240…垂直偏向信号、250,251…垂直ブランキング信号、260,261…垂直同期信号、300…電子線の水平高速走査、310…電子線の垂直低速走査、320…電子線の振り戻し、401,402,410…検出画像上の削除(無信号)部分。
Claims (10)
- 電子線を発生させる電子源と、この電子線を集束するレンズ手段と、試料を載置する試料台と、集束した電子線で試料上を走査する電子線走査手段と、前記試料から二次的に発生する荷電粒子を検出する手段と、この検出手段から得られた画像信号に基き前記試料の表面を検査する手段を備えた検査装置において、前記電子線の走査領域の所定の両端部分での前記試料への前記電子線の照射をブランキングするブランキング手段を備え、前記検査手段は、このブランキングにより前記両端部分を削除した画像信号に基き試料の表面を検査するように構成したことを特徴とする電子線を用いた検査装置。
- 電子線を発生させる電子源と、この電子線を集束するレンズ手段と、試料を載置する試料台と、集束した電子線で試料上を走査する電子線走査手段と、前記試料から二次的に発生する荷電粒子を検出する手段とを備え、この検出手段から得られた信号に基き前記試料の表面を検査する電子線を用いた検査方法において、前記電子線走査領域の所定の両端部分での前記試料への前記電子線の照射をブランキングするステップと、このブランキングにより前記両端部分を削除した画像信号を作成するステップと、この画像信号に基き試料の表面を検査するステップとを含むことを特徴とする電子線を用いた検査方法。
- 電子線を発生させる電子源と、この電子線を集束するレンズ手段と、試料を載置する試料台と、集束した電子線で試料上を走査する電子線走査手段と、前記試料から二次的に発生する荷電粒子を検出する手段と、この検出手段から得られた画像信号に基き前記試料の表面を検査する手段と、前記画像信号を表示するモニタ装置を備えた検査装置において、前記電子線の走査領域の所定の両端部分での前記試料への前記電子線の照射をブランキングするブランキング手段を備え、前記モニタ装置は、前記走査領域の前記両端部分の領域と,その内部の画像領域とを区別して表示する手段を備えたことを特徴とする電子線を用いた検査装置。
- 電子線を発生させる電子源と、この電子線を集束するレンズ手段と、試料を載置する試料台と、前記試料上の第1の方向への高速走査と,前記第1の方向に対してほぼ直角の第2の方向への低速走査を並存して試料上を走査する電子線走査手段と、前記試料から二次的に発生する荷電粒子を検出する手段と、この検出手段から得られた画像信号に基き前記試料の表面を検査する手段を備えた検査装置において、前記高速走査方向の前記走査の領域内であって所定の両端部分での前記試料への前記電子線の照射をブランキングするブランキング手段を備え、このブランキングにより前記両端部分を削除した画像信号に基き試料の表面を検査するように構成したことを特徴とする電子線を用いた検査装置。
- 請求項4において、前記低速走査方向の前記走査の領域内であって所定の両端部分での前記試料への前記電子線の照射をブランキングする第2方向ブランキング手段を備え、これらのブランキングにより第 1 及び第2方向両端部分を削除した画像信号に基き試料の表面を検査するように構成したことを特徴とする電子線を用いた検査装置。
- 請求項4において、前記第2の方向への低速走査領域の開始端でブランキングを停止する手段と、このブランキングの停止後に第2方向同期信号を生成する手段と、この第2方向走査領域の終端において、前記第2方向同期信号の停止後に前記ブランキングを開始する手段を備え、これらのブランキング制御と同期信号制御の組合せにより、第 1 及び第2方向両端部分を削除した画像信号に基き試料の表面を検査するように構成したことを特徴とする電子線を用いた検査装置。
- 試料に向けて電子線を照射し走査するステップと、前記電子線の前記試料への照射をブランキングするステップと、試料から二次的に発生する荷電粒子を検出すべき所望の期間 を定めるための水平又は垂直同期信号を発生するステップと、この水平又は垂直同期信号が存在する期間に前記荷電粒子を検出するステップと、前記検出した信号に基づいて試料を検査するステップとを有する電子線を用いた検査方法であって、前記電子線の走査領域の開始端において,前記水平又は垂直同期信号の開始後に前記ブランキングを停止するステップと、前記電子線の走査領域の終端において,前記ブランキングの開始後に前記水平又は垂直同期信号を停止するステップを含むことを特徴とする電子線を用いた検査方法。
- 試料に向けて電子線を照射し走査するステップと、前記電子線の前記試料への照射をブランキングするステップと、試料から二次的に発生する荷電粒子を検出すべき所望の期間を定めるための水平又は垂直同期信号を発生するステップと、この水平又は垂直同期信号が存在する期間に前記荷電粒子を検出するステップと、前記検出した信号に基づいて試料を検査するステップとを有する電子線を用いた検査方法であって、前記電子線の水平走査領域の開始端において,前記水平同期信号の開始後に前記ブランキングを停止するステップと、前記電子線の水平走査領域の終端において,前記ブランキングの開始後に前記水平同期信号を停止するステップを含むことを特徴とする電子線を用いた検査方法。
- 試料に向けて電子線を照射し走査するステップと、前記電子線の前記試料への照射をブランキングするステップと、試料から二次的に発生する荷電粒子を検出すべき所望の期間を定めるための水平又は垂直同期信号を発生するステップと、この水平又は垂直同期信号が存在する期間に前記荷電粒子を検出するステップと、前記検出した信号に基づいて試料を検査するステップとを有する電子線を用いた検査方法であって、前記水平走査領域の開始端において,前記水平同期信号の開始後に前記ブランキングを停止するステップと、前記水平走査領域の終端において,前記ブランキングの開始後に前記水平同期信号を停止するステップと、前記垂直走査領域の開始端において,前記垂直同期信号の開始後に前記ブランキングを停止するステップと、前記垂直走査領域の終端において,前記ブランキングの開始後に前記垂直同期信号を停止するステップとを含むことを特徴とする電子線を用いた検査方法。
- 試料に向けて電子線を照射し水平及び垂直方向に走査するステップと、前記電子線の前記試料への照射をブランキングするステップと、試料から二次的に発生する荷電粒子を検出すべき所望の期間を定めるための水平又は垂直同期信号を発生するステップと、この水平又は垂直同期信号が存在する期間に前記荷電粒子を検出するステップと、前記検出した信号に基づいて試料を検査するステップとを有する電子線を用いた検査方法であって、前記水平走査領域の開始端において,前記水平同期信号の開始後に前記ブランキングを停止するステップと、前記水平走査領域の終端において,前記ブランキングの開始後に前記水平同期信号を停止するステップと、前記垂直走査領域の開始端において,前記ブランキングの停止後に前記垂直同期信号を開始するステップと、前記垂直走査領域の終端において,前記垂直同期信号の停止後に前記ブランキングを開始するステップとを含むことを特徴とする電子線を用いた検査方法。
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