JPH0210381B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0210381B2 JPH0210381B2 JP12335579A JP12335579A JPH0210381B2 JP H0210381 B2 JPH0210381 B2 JP H0210381B2 JP 12335579 A JP12335579 A JP 12335579A JP 12335579 A JP12335579 A JP 12335579A JP H0210381 B2 JPH0210381 B2 JP H0210381B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electron beam
- electron
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- conductive film
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- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 20
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 238000000879 optical micrograph Methods 0.000 claims description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は同一試料について光学顕微鏡像と電子
線走査に基づく像とを同時に得ることのできる試
料観察方法に関する。
線走査に基づく像とを同時に得ることのできる試
料観察方法に関する。
近時例えば細胞等の生物試料を観察する際、同
一試料について光学顕微鏡（以下OMと呼称す
る）による像と走査電子顕微鏡（以下SEMと呼
称する）による像を比較検討することが行われて
いる。そのために従来は試料を二つに分け、一方
をSEM用に他方をOM用に夫々調製して観察す
るか、或いは一つの試料を最初にOMで観察し、
次いでカーボンコーテイング等を施してSEMで
走査像として観察する等の方法が行なわれてい
る。ところがこの様な方法のうち前者では完全に
同一試料の同一領域をOMとSEMで観察するこ
とはできず、又後者では同一試料の同一領域を
OMとSEMで観察できたとしてもOMで観察して
からSEMで観察するまでに長時間経過してしま
い経時的な変化が発生するおそれがあり、両者と
も同一時刻に同一試料の同一領域をOMとSEM
で観察することはできない。
一試料について光学顕微鏡（以下OMと呼称す
る）による像と走査電子顕微鏡（以下SEMと呼
称する）による像を比較検討することが行われて
いる。そのために従来は試料を二つに分け、一方
をSEM用に他方をOM用に夫々調製して観察す
るか、或いは一つの試料を最初にOMで観察し、
次いでカーボンコーテイング等を施してSEMで
走査像として観察する等の方法が行なわれてい
る。ところがこの様な方法のうち前者では完全に
同一試料の同一領域をOMとSEMで観察するこ
とはできず、又後者では同一試料の同一領域を
OMとSEMで観察できたとしてもOMで観察して
からSEMで観察するまでに長時間経過してしま
い経時的な変化が発生するおそれがあり、両者と
も同一時刻に同一試料の同一領域をOMとSEM
で観察することはできない。
本発明はこの点に鑑み成されたもので、電子線
の照射による変形が僅かで電子線を透過しにくい
充分な厚さを有する透明なガラス板であつて、そ
の表面に透明導電膜を有するガラス板上に、該透
明導電膜が試料の下面と接するように該試料を置
き、該試料に光及び電子線を照射し、試料を透過
した光による光学顕微鏡像と、電子線走査により
試料から発生した情報に基づく走査像とを同一試
料について得るようにしたことを特徴としてい
る。
の照射による変形が僅かで電子線を透過しにくい
充分な厚さを有する透明なガラス板であつて、そ
の表面に透明導電膜を有するガラス板上に、該透
明導電膜が試料の下面と接するように該試料を置
き、該試料に光及び電子線を照射し、試料を透過
した光による光学顕微鏡像と、電子線走査により
試料から発生した情報に基づく走査像とを同一試
料について得るようにしたことを特徴としてい
る。
第１図は本発明にかかる方法を実施するための
装置の一例を示し、同図において１は透明なスラ
イドガラスである。取扱いを容易にし、電子線の
照射に伴う熱の発生による変形を防ぎ、又、電子
線がガラスを透過して下側に配置された光学部材
にチヤージアツプすることを防ぐため、このスラ
イドガラスは充分な厚さを有している。スライド
ガラス１の表面には第２図に示す様にインジウム
（Io）又はスズ（So）の酸化物等よりなる透明導
電膜２が形成されており、更にその上に例えば切
片試料３がのせられている。そして該試料３には
電子銃４から発生した電子線が電子レンズ５によ
り細く絞られて照射されると共に、光源６から発
生した光がレンズ７及び電子線通路に配置された
ミラー８を介して電子線と同時又は交互に照射さ
れる。試料上に照射される電子線は走査回路９か
らの走査信号が供給される偏向コイル１０によつ
て試料上で２次元的に走査され、この電子線走査
により試料から発生した情報（２次電子，反射電
子，オージエ電子，Ｘ線等）は検出器１１により
検出される。該検出器１１から得られた検出信号
は増巾器１２を介して試料上での電子線走査に同
期した表示装置１３へ輝度信号として送られるた
め、該表示装置１３の画面には電子線走査に基づ
く試料像（２次電子像，反射電子像，オージエ電
子像，Ｘ線像等）が表示される。
装置の一例を示し、同図において１は透明なスラ
イドガラスである。取扱いを容易にし、電子線の
照射に伴う熱の発生による変形を防ぎ、又、電子
線がガラスを透過して下側に配置された光学部材
にチヤージアツプすることを防ぐため、このスラ
イドガラスは充分な厚さを有している。スライド
ガラス１の表面には第２図に示す様にインジウム
（Io）又はスズ（So）の酸化物等よりなる透明導
電膜２が形成されており、更にその上に例えば切
片試料３がのせられている。そして該試料３には
電子銃４から発生した電子線が電子レンズ５によ
り細く絞られて照射されると共に、光源６から発
生した光がレンズ７及び電子線通路に配置された
ミラー８を介して電子線と同時又は交互に照射さ
れる。試料上に照射される電子線は走査回路９か
らの走査信号が供給される偏向コイル１０によつ
て試料上で２次元的に走査され、この電子線走査
により試料から発生した情報（２次電子，反射電
子，オージエ電子，Ｘ線等）は検出器１１により
検出される。該検出器１１から得られた検出信号
は増巾器１２を介して試料上での電子線走査に同
期した表示装置１３へ輝度信号として送られるた
め、該表示装置１３の画面には電子線走査に基づ
く試料像（２次電子像，反射電子像，オージエ電
子像，Ｘ線像等）が表示される。
又試料に照射された光は試料の各部分において
異なつた吸収を受けた後透明導電膜２及びスライ
ドガラスを透過し、該スライドガラスの下方に近
接して配置された光学顕微鏡（OM）１４の対物
レンズ１５に入射する。そのためオペレータは
OM１４の接眼レンズ１６を介して試料のOM像
を観察することができる。
異なつた吸収を受けた後透明導電膜２及びスライ
ドガラスを透過し、該スライドガラスの下方に近
接して配置された光学顕微鏡（OM）１４の対物
レンズ１５に入射する。そのためオペレータは
OM１４の接眼レンズ１６を介して試料のOM像
を観察することができる。
このような構成においては、取扱いを容易に
し、電子線の照射に伴う熱の発生による変形を防
ぎ、又、電子線がガラスを透過して下側に配置さ
れた光学部材にチヤージアツプすることを防ぐた
め、ガラス板として充分な厚さを有するものを使
用しているにもかかわらず、試料に照射された電
子は試料を通過して透明導電膜に至り、この導電
膜を介してアースに流れるため、試料が絶縁性で
あつても、又、加速電圧を種々設定した場合で
も、試料にチヤージアツプすることはない。その
ため、導電性物質の蒸着膜を介することなく試料
表面に直接電子線を照射して試料表面からオージ
エ電子等を発生させ、チヤージアツプ防止用の蒸
着膜の影響を受けずにオージエ電子像等が観察可
能であると共に、同時に同一試料の同一領域を光
学顕微鏡で透過光学像として観察することがで
き、従つて、オージエ電子像等と光学像とを対応
させながら比較観察可能になる。
し、電子線の照射に伴う熱の発生による変形を防
ぎ、又、電子線がガラスを透過して下側に配置さ
れた光学部材にチヤージアツプすることを防ぐた
め、ガラス板として充分な厚さを有するものを使
用しているにもかかわらず、試料に照射された電
子は試料を通過して透明導電膜に至り、この導電
膜を介してアースに流れるため、試料が絶縁性で
あつても、又、加速電圧を種々設定した場合で
も、試料にチヤージアツプすることはない。その
ため、導電性物質の蒸着膜を介することなく試料
表面に直接電子線を照射して試料表面からオージ
エ電子等を発生させ、チヤージアツプ防止用の蒸
着膜の影響を受けずにオージエ電子像等が観察可
能であると共に、同時に同一試料の同一領域を光
学顕微鏡で透過光学像として観察することがで
き、従つて、オージエ電子像等と光学像とを対応
させながら比較観察可能になる。
第１図は本発明にかかる方法を実施するための
装置の一例を示す図であり、第２図は試料部分の
断面図である。 １：スライドガラス、２：透明導電膜、３：試
料、４：電子銃、６：光源、８：ミラー、１０：
偏向コイル、１１：検出器、１３：表示装置、１
４：光学顕微鏡。
装置の一例を示す図であり、第２図は試料部分の
断面図である。 １：スライドガラス、２：透明導電膜、３：試
料、４：電子銃、６：光源、８：ミラー、１０：
偏向コイル、１１：検出器、１３：表示装置、１
４：光学顕微鏡。
Claims (1)
- １ 電子線の照射による変形が僅かで電子線を透
過しにくい充分な厚さを有する透明なガラス板で
あつて、その表面に透明導電膜を有するガラス板
上に、該透明導電膜が試料の下面と接するように
該試料を置き、該試料に光及び電子線を照射し、
試料を透過した光による光学顕微鏡像と、電子線
走査により試料から発生した情報に基づく走査像
とを同一試料について得るようにしたことを特徴
とする試料観察方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12335579A JPS5646463A (en) | 1979-09-26 | 1979-09-26 | Sample observing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12335579A JPS5646463A (en) | 1979-09-26 | 1979-09-26 | Sample observing method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5646463A JPS5646463A (en) | 1981-04-27 |
| JPH0210381B2 true JPH0210381B2 (ja) | 1990-03-07 |
Family
ID=14858518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12335579A Granted JPS5646463A (en) | 1979-09-26 | 1979-09-26 | Sample observing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5646463A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62209365A (ja) * | 1986-03-11 | 1987-09-14 | Tamotsu Inoue | 観察箱 |
| JP2008300354A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Fei Co | 荷電粒子装置内での試料キャリアの使用、当該試料キャリアの使用方法、及び当該試料キャリアを用いるように備えられた装置 |
-
1979
- 1979-09-26 JP JP12335579A patent/JPS5646463A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5646463A (en) | 1981-04-27 |
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