JPS61110954A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS61110954A JPS61110954A JP23378784A JP23378784A JPS61110954A JP S61110954 A JPS61110954 A JP S61110954A JP 23378784 A JP23378784 A JP 23378784A JP 23378784 A JP23378784 A JP 23378784A JP S61110954 A JPS61110954 A JP S61110954A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- image
- electron
- objective
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分封〕
本発明は、顕微鏡像と電子線回折像とを同時に一部する
ことができる電子Ｍｔ４倣鏡に四する。
ことができる電子Ｍｔ４倣鏡に四する。
従来の電子顕ｇＩＬ鏡に、顕ＯＩＬ鋭揮と電子線回折像
とを同時に綱祭することができなかつ１ζにれはμ子顕
微貌の電子線通路における顕微鏡像と電子−回折像との
生ずる位置が５４なっており、鵡畝１晩像を観察する４
会の電子レンズの焦点距離と砥子丸瑣回折像を観察する
場合の電子し／ズの焦点距離とが異なっているためでろ
る。即ち、顕微鏡像を観察する場合には第１図に示す如
くして行ない、電子線回折謔ｔ−礒察する揚曾には化２
図に示す味口くして行なっていた。
とを同時に綱祭することができなかつ１ζにれはμ子顕
微貌の電子線通路における顕微鏡像と電子−回折像との
生ずる位置が５４なっており、鵡畝１晩像を観察する４
会の電子レンズの焦点距離と砥子丸瑣回折像を観察する
場合の電子し／ズの焦点距離とが異なっているためでろ
る。即ち、顕微鏡像を観察する場合には第１図に示す如
くして行ない、電子線回折謔ｔ−礒察する揚曾には化２
図に示す味口くして行なっていた。
第１図は、透過型電子顕微鏡における顕倣境保ｆ：得る
概略を示したものである。電子銃等の１子線源ｌＯから
放出された電子線は、図示しない電極等により加速され
、収束レンズ１２に尋がれる。
概略を示したものである。電子銃等の１子線源ｌＯから
放出された電子線は、図示しない電極等により加速され
、収束レンズ１２に尋がれる。
収束レンズ１２は、電子線を軟って薄片の試料１４に照
射する。試料１４ｔ−透過した電子＊’Ｊｌは、対・吻
レンズ１６によシ拡大され次試料の透；＋１１”ｉを、
甲１１４］し／、（１８の・切面２０上に作る。この物
面２０上の透過像は、中間レンズ１８により投射レンズ
２２の物面２４上にさらに拡大される。そして、投射レ
ンズ２２は、物面２４上の透過像を、さらに拡大し蛍光
板２６上に終像として顕微鏡像を結像する。なお、電子
線通路を形成している電子線ｙｉ、１０から蛍光板２６
までは、電子線の散乱等を避けるため真空中に設けであ
る。
射する。試料１４ｔ−透過した電子＊’Ｊｌは、対・吻
レンズ１６によシ拡大され次試料の透；＋１１”ｉを、
甲１１４］し／、（１８の・切面２０上に作る。この物
面２０上の透過像は、中間レンズ１８により投射レンズ
２２の物面２４上にさらに拡大される。そして、投射レ
ンズ２２は、物面２４上の透過像を、さらに拡大し蛍光
板２６上に終像として顕微鏡像を結像する。なお、電子
線通路を形成している電子線ｙｉ、１０から蛍光板２６
までは、電子線の散乱等を避けるため真空中に設けであ
る。
一方、磁子線回折像は次の如くして得られる。
第２図に示すように電子線は、電子線源１０から収束し
／ズ１２を介して資料１４に照射され、対物レンズ１６
の後焦点面２８上に電子線回折像を作る。そこで、中間
レンズ１８の焦点を変化させ、中間レンズ１８の物面を
対物レンズ１６の後焦点面２８にあわせる。対物レンズ
１６の後焦点面２８上の電子線回折像は、前記し九顕微
鏡像と同様にＶ機中間レンズ１８、投射レンズ２２によ
シ順医拡大され、蛍光板２６上に電子回折像として結像
されろう 透過像と電子線回折像との関係は第３図に示す如くなっ
ている。即ち、電子レンズ３０の物面上に像３２を結像
している電子線は、電子レンズ３゜を通って重子レンズ
３０の後焦点面３４上に電子線回折像３６を作るととも
に、像面３８上に透過像を結像する。したがって、第１
図と第２図とに示した対物レンズ１６による電子線回折
像は、透過像よシ上方に生ずることになる。このため、
電子線回折像を観察するためには、透過像を観察すると
きよシも中間レンズ１８の焦点距離を大きくし、中間レ
ンズ１８の物面２０を対物レンズ１６のうしろ焦点面２
８に一致させなければならない。
／ズ１２を介して資料１４に照射され、対物レンズ１６
の後焦点面２８上に電子線回折像を作る。そこで、中間
レンズ１８の焦点を変化させ、中間レンズ１８の物面を
対物レンズ１６の後焦点面２８にあわせる。対物レンズ
１６の後焦点面２８上の電子線回折像は、前記し九顕微
鏡像と同様にＶ機中間レンズ１８、投射レンズ２２によ
シ順医拡大され、蛍光板２６上に電子回折像として結像
されろう 透過像と電子線回折像との関係は第３図に示す如くなっ
ている。即ち、電子レンズ３０の物面上に像３２を結像
している電子線は、電子レンズ３゜を通って重子レンズ
３０の後焦点面３４上に電子線回折像３６を作るととも
に、像面３８上に透過像を結像する。したがって、第１
図と第２図とに示した対物レンズ１６による電子線回折
像は、透過像よシ上方に生ずることになる。このため、
電子線回折像を観察するためには、透過像を観察すると
きよシも中間レンズ１８の焦点距離を大きくし、中間レ
ンズ１８の物面２０を対物レンズ１６のうしろ焦点面２
８に一致させなければならない。
このように従来の電子顕微鏡においては、透過像と電子
線回折像とを同時に観察することができない。このため
、透過像（顕微鏡像）と電子線回折像とを観察したい場
合には、それぞれの像を別別に蛍光板２６上に写すよう
にしなければならない。この結果、透過像を観察してい
て物質を特定したい場合や、物質の結晶構造、状態等を
知る必要があるときには、像の切替えを行なわなければ
ならず、非常に不便であった。
線回折像とを同時に観察することができない。このため
、透過像（顕微鏡像）と電子線回折像とを観察したい場
合には、それぞれの像を別別に蛍光板２６上に写すよう
にしなければならない。この結果、透過像を観察してい
て物質を特定したい場合や、物質の結晶構造、状態等を
知る必要があるときには、像の切替えを行なわなければ
ならず、非常に不便であった。
本発明は、顕微鏡像と電子線回折像とを同時に観察する
ことができる電子顕微鏡を提供することを目的とする。
ことができる電子顕微鏡を提供することを目的とする。
本発明は電子顕微鏡の電子線通路内の電子線回折像が生
ずる位置に電子線検出器を配置し、この電子線検出器が
検出した電子線に基づいて電子線回折像を表示装置に表
示するとともに、前記電子線の一部により結像系レンズ
を介して顕微鏡像を結像させることによシ、顕微鏡像と
電子線回折像とを同時に観察できるように構成したもの
である、〔発明の実施例〕 本発明に係る電子顕微鏡の好ましい実施例を添付図面に
従って詳説する。なお、従来技術において説明した部分
に対応する部分については、同一の符号を付し、その説
明を省略する、 第４図は、本発明に係る電子類ｇ１．ｋｌの実施例の要
部を示したものである。第４図において、対物レンズ１
６の後焦点面２８上には、′１ｕ子線検出器４０が配置
しである。この電子線検出器４０は、チャンネルプレー
ト、固体撮像管ま九はガラスファイバーによって構成さ
れたファイバープレートなどのような、多数個の検出素
子により構成されており、増幅器４２を介して表示装置
４４に接続しである。そして、電子線検出器４ｏは、円
形をなし中央部に主ビーム４６を通過させる切シ欠きで
ある透孔４８が形成しである。また、この検出器４０に
は、第６図に示すようにアーム５０を介して位置調節器
５２が取りつけである。
ずる位置に電子線検出器を配置し、この電子線検出器が
検出した電子線に基づいて電子線回折像を表示装置に表
示するとともに、前記電子線の一部により結像系レンズ
を介して顕微鏡像を結像させることによシ、顕微鏡像と
電子線回折像とを同時に観察できるように構成したもの
である、〔発明の実施例〕 本発明に係る電子顕微鏡の好ましい実施例を添付図面に
従って詳説する。なお、従来技術において説明した部分
に対応する部分については、同一の符号を付し、その説
明を省略する、 第４図は、本発明に係る電子類ｇ１．ｋｌの実施例の要
部を示したものである。第４図において、対物レンズ１
６の後焦点面２８上には、′１ｕ子線検出器４０が配置
しである。この電子線検出器４０は、チャンネルプレー
ト、固体撮像管ま九はガラスファイバーによって構成さ
れたファイバープレートなどのような、多数個の検出素
子により構成されており、増幅器４２を介して表示装置
４４に接続しである。そして、電子線検出器４ｏは、円
形をなし中央部に主ビーム４６を通過させる切シ欠きで
ある透孔４８が形成しである。また、この検出器４０に
は、第６図に示すようにアーム５０を介して位置調節器
５２が取りつけである。
位置調節器５２は、アーム５０を保持するホルダー５４
の先端部（図において左側）に微調整ツマミ５６が取り
つけてあシ、胴部５８の表面にネジ部６０が形成しであ
る。このネジ部６０には、可動ツマミ６２が螺合してい
る。そして、アーム５０の端部に形成したネジ部６４に
は、可動ツマミ６２に挿入した微調整ツマミ６６が螺合
している。
の先端部（図において左側）に微調整ツマミ５６が取り
つけてあシ、胴部５８の表面にネジ部６０が形成しであ
る。このネジ部６０には、可動ツマミ６２が螺合してい
る。そして、アーム５０の端部に形成したネジ部６４に
は、可動ツマミ６２に挿入した微調整ツマミ６６が螺合
している。
上記の如く構成した実施例による顕微鏡像と電子線回折
像との観察は、次の如くして行なう。
像との観察は、次の如くして行なう。
前記した如く、電子線源１０から放出された電子線は、
収束レンズ１２を介して対物レンズ１６の物面上に配置
しである試料１４に照射される。
収束レンズ１２を介して対物レンズ１６の物面上に配置
しである試料１４に照射される。
その後、電子線は対物レンズ１６を通シ、対物レンズ１
６の後焦点面２８に電子線回折像３６を作るとともに、
主ビームが電子線検出器４０の透孔４８を通り、対物レ
ンズ１６の像面２０上に透過像を結ぶ。対物レンズ１６
の後焦点面２８上に作られた電子線回折像３６は、多数
個の検出素子から構成しである電子線検出器４０によシ
検知される。そして、表示装置４４は、電子線検出器４
０からの検出信号を増幅器４２を介して受は取シ、電子
線回折像３６を表示する。
６の後焦点面２８に電子線回折像３６を作るとともに、
主ビームが電子線検出器４０の透孔４８を通り、対物レ
ンズ１６の像面２０上に透過像を結ぶ。対物レンズ１６
の後焦点面２８上に作られた電子線回折像３６は、多数
個の検出素子から構成しである電子線検出器４０によシ
検知される。そして、表示装置４４は、電子線検出器４
０からの検出信号を増幅器４２を介して受は取シ、電子
線回折像３６を表示する。
一方、対物レンズ１６の像面２０上に結ばれた透過像は
、前記した如く中間レンズ１８、投射レンズ２２によシ
順次拡大され、蛍光板２６上に結像される。このように
顕微鏡像と電子線回折像とを同時に観察することができ
、物質の迅速な分析等が行なえ、金属学等の研究にとっ
て極めて効果的となる。
、前記した如く中間レンズ１８、投射レンズ２２によシ
順次拡大され、蛍光板２６上に結像される。このように
顕微鏡像と電子線回折像とを同時に観察することができ
、物質の迅速な分析等が行なえ、金属学等の研究にとっ
て極めて効果的となる。
なお、電子線検出器４０は、電子顕微鏡の光軸への挿入
、引き抜きが位置調節器５２によシ自在となっておシ、
また後焦点面２８上の任意の電子線を通過できるように
なっている。すなわち、試料の顕微鏡像と電子線回折像
とを同時に観察する必要がないときには、第６図に示し
た位置調整器５２の可動ツマミ６２を操作することによ
υ、電子線検出器４０を電子顕微鏡の光軸外へ移動させ
ることができる。また、光軸上に挿入された電子線検出
器４０は、微調整ツマミ５６．６６を操作することによ
シ、光軸に直交した平面上を移動し、後焦点面２８上の
任意の電子線を通過させる。
、引き抜きが位置調節器５２によシ自在となっておシ、
また後焦点面２８上の任意の電子線を通過できるように
なっている。すなわち、試料の顕微鏡像と電子線回折像
とを同時に観察する必要がないときには、第６図に示し
た位置調整器５２の可動ツマミ６２を操作することによ
υ、電子線検出器４０を電子顕微鏡の光軸外へ移動させ
ることができる。また、光軸上に挿入された電子線検出
器４０は、微調整ツマミ５６．６６を操作することによ
シ、光軸に直交した平面上を移動し、後焦点面２８上の
任意の電子線を通過させる。
前記実施例においては電子線検出器４０を対物レンズ１
６の後焦点面２８上に挿入した場合について説明したが
、電子線検出器４０の挿入位置は、中間レンズ１８や投
射レンズ２２の後焦点面等、電子線回折像が生ずる位置
であればどこでもよい。
６の後焦点面２８上に挿入した場合について説明したが
、電子線検出器４０の挿入位置は、中間レンズ１８や投
射レンズ２２の後焦点面等、電子線回折像が生ずる位置
であればどこでもよい。
以上説明したように本発明によれば、顕微鏡像と電子線
回折像とを同時に観察することができる。
回折像とを同時に観察することができる。
第１図は゛電子顕微鏡における顕微鏡像を得る方法の説
明図、第２図は電子顕微鏡における電子線回折像を得る
方法の説明図、第３図は４４像と電子線回折像との関係
を示す図、第４図は本発明に係る電子顕微鏡の実施例の
要部の説明図、第５図は前記大流例の電子線検出器の平
面図、第６図は前自己実施例の電子線検出器の駆動装置
の断面図である。 １０・・・電子線源、１２・・・収束レンズ、１４・・
・試料、１６・・・対物レンズ、１８・・・中間レンズ
、２０゜２４．３８・・・像面、２２・・・投射レンズ
、２６・・・蛍光板、２８．３４・・・うしろ焦点面、
３６・・・電子線回折像、４０・・・電子線検出器、４
４・・・表示装置、４８・・・透孔。
明図、第２図は電子顕微鏡における電子線回折像を得る
方法の説明図、第３図は４４像と電子線回折像との関係
を示す図、第４図は本発明に係る電子顕微鏡の実施例の
要部の説明図、第５図は前記大流例の電子線検出器の平
面図、第６図は前自己実施例の電子線検出器の駆動装置
の断面図である。 １０・・・電子線源、１２・・・収束レンズ、１４・・
・試料、１６・・・対物レンズ、１８・・・中間レンズ
、２０゜２４．３８・・・像面、２２・・・投射レンズ
、２６・・・蛍光板、２８．３４・・・うしろ焦点面、
３６・・・電子線回折像、４０・・・電子線検出器、４
４・・・表示装置、４８・・・透孔。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、電子線源が放出した電子線を試料に照射する収束レ
ンズと、試料に照射した前記電子線を像面上に結像させ
る複数個の結像系レンズとが設けてある電子線通路を備
えた電子顕微鏡において、前記電子線流路の電子線回折
像が生ずる部位に配置した前記電子線の一部を受けて電
子線回折像を検出する電子線検出器と、この電子線検出
器の検出信号により電子線回折像を表示する表示装置と
を設けたことを特徴とする電子顕微鏡。 ２、前記電子線検出器は、前記電子線の回折波の一部を
通過させる切り欠きが形成され、前記結像系レンズは切
り欠けを通過した回折波により終像を結像することを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23378784A JPS61110954A (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23378784A JPS61110954A (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61110954A true JPS61110954A (ja) | 1986-05-29 |
Family
ID=16960559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23378784A Pending JPS61110954A (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61110954A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006011185A1 (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-02 | Fujitsu Limited | 半導体装置の検査方法、その検査装置及びその検査に適した半導体装置 |
-
1984
- 1984-11-06 JP JP23378784A patent/JPS61110954A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006011185A1 (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-02 | Fujitsu Limited | 半導体装置の検査方法、その検査装置及びその検査に適した半導体装置 |
| JPWO2006011185A1 (ja) * | 2004-07-23 | 2008-05-01 | 富士通株式会社 | 半導体装置の検査方法、その検査装置及びその検査に適した半導体装置 |
| US7465923B2 (en) | 2004-07-23 | 2008-12-16 | Fujitsu Limited | Testing method for semiconductor device, testing apparatus therefor, and semiconductor device suitable for the test |
| JP4567684B2 (ja) * | 2004-07-23 | 2010-10-20 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 測定方法及び測定装置 |
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