JPH0729533A - 分析電子顕微鏡用蛍光板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明の目的は、電子エネルギー損失の分析
と、その分析部分の像観察を迅速かつ簡単に行える分析
電子顕微鏡を提供することにある。 【構成】３段変角度式小穴付蛍光板搭載の透過電子顕微
鏡と、バッフルと、扇形電磁石と、フォーカス用磁場４
重極レンズと、平面計測器による構成による分析電子顕
微鏡。 【効果】 （１）取り込みの短い時間に分析部分の観察，像拡大率
が簡単に行える。(２)蛍光板の穴が通常の観察時の視野
のじゃまにならない。（３）蛍光板のとその機構の改造
が簡単に行える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は透過型電子顕微鏡におけ
る、試料の微小領域の観察と元素分析を行う、いわゆる
分析電子顕微鏡用蛍光板に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の電子エネルギー損失同時検知器
は、図３に示すように、透過型電子顕微鏡１〜９の下に
扇形電磁石１１と、エネルギー分散を拡大するズーム用
４重極レンズ１２と、平面検知器１３の構成になる。そ
の動作原理は、電子銃１で加速された電子ビーム２は収
束レンズ３で絞られ試料４を透過する。その後対物レン
ズ５で拡大され一度結像６を結び、さらに対物レンズ７
で拡大され蛍光板９に結像８を結ぶ。さらに蛍光板の小
穴を通過した電子ビームは扇形磁石１１により、試料を
通過したときのエネルギーの損失量が分析される。分散
を受けた電子ビーム２１は分散ズーム用４重極レンズ１
２で分散度が拡大され、平面計測器１３で同時に積算さ
れ、スペクトルとして表示される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような従来の構成
では、蛍光板の穴が中心付近に存在し通常の像観察にお
いて穴の部分に蛍光体が無く蛍光板上の像の中心部に欠
落が生じる。さらに蛍光板の穴を通った電子ビームのエ
ネルギー損失を分析する時、取り込み時間の合間に分析
領域の位置確認のための像観察が出来ない。特に微小領
域の像観察の場合、蛍光板を上げてルーペで試料を透過
した電子ビームを結像するための機構で絞った電子ビー
ムのスポット像が見れないという課題があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明では、図２に示す
様に真空中で加速された電子ビームを発生させ細くしぼ
る機構と、その電子ビームが透過する薄い試料と、電子
ビームを結像する機構と、その電子ビームを通過出来る
穴の開いた蛍光板と、蛍光板の角度を制御する機構と、
電子ビームの開き角を制御するバッフルと、エネルギー
損失を分析する扇形磁場と、扇形磁場の後に分散を可変
する磁場４重極レンズと、分散された電子ビームを同時
に検知する平面検知器を配置した分析電子顕微鏡におい
て、通常の蛍光板を水平に置いた観察及び蛍光板を上げ
てルーペでの観察の時、電子ビームは蛍光板の穴から外
れる様に傾ける。図３に示すように試料から透過した電
子ビームをのエネルギー損失を分析する時はルーペで観
察する時の蛍光板の状態よりさらに角度を上げ、傾けた
蛍光板の穴を光軸に沿って開けて電子ビームが通過出来
るよう設定する。

【０００５】

【作用】試料から透過した電子ビームのエネルギー損失
を分析する時はルーペで観察する時の蛍光板の状態より
さらに角度を上げ、傾けた蛍光板の穴に電子ビームが通
過出来るように結像するための機構によって設定する。
試料を透過してエネルギーを損失した電子ビームを分析
し取り込んでいる合間に像の位置確認を行う場合、蛍光
板を下げルーペで観察できる角度にしたり、蛍光板を水
平にして像観察を行う。また分析を開始する場合は分析
用の角度に蛍光板を傾ける。

【０００６】

【実施例】図４の実施例１より蛍光板をφ１０８とす
る。９の蛍光板の状態は水平になっている。この時像全
体を観察する状態である。１４の蛍光板は４５度に傾い
ていてこれはルーペ観察時の状態である。さらに１５の
蛍光板は１５度さらに持ち上げ傾斜角を６０度とする
時、分析時の電子ビームが通過できるようφ３の穴を光
軸にそって開ける。すると穴は蛍光体の塗ってある表側
では蛍光板の中心より４５mmの位置に穴の中心がくる。
以上述べた蛍光板とその機構によりエネルギー損失の分
析を行いながら観察をするには、１５の蛍光板で６０度
傾斜を行う。そこで試料を透過した電子ビームが蛍光板
に開けられた穴を通過出来る様調整を行う。９の蛍光板
の状態で分析領域を探し試料位置を決める。さらに１４
の蛍光板の状態にてルーペでの観察を行う事により分析
領域を絞り込める。最終的に位置を確認したら１５の蛍
光板の状態にしてエネルギー損失の分析を行い取り込み
時間の合間に蛍光板を１４の位置にしてルーペで電子ビ
ームのスポットの観察を行い試料位置の確認等が行え
る。

【０００７】

【発明の効果】以上述べたように、従来の方式に比べて
本発明の分析電子顕微鏡の蛍光板とその機構にはつぎの
ような効果がある。

【０００８】１）分析部分の観察，像拡大率が短い時間
に簡単に行える。

【０００９】２）蛍光板の穴が通常の観察時に視野のじ
ゃまにならない。

【００１０】３）蛍光板の改造が簡単に行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の分析電子顕微鏡と通常観察時の蛍光板
を示す図である。

【図２】本発明の分析電子顕微鏡と分析時の蛍光板を示
す図である。

【図３】従来の分析電子顕微鏡と蛍光板を示す図であ
る。

【図４】本発明の蛍光板と機構の実施例１を示す図であ
る。

【符号の説明】

１…電子銃、２…電子ビーム、３…収束レンズ、４…試
料、５…対物レンズ、６…結像１、７…結像レンズ、８
…結像２、９…小穴付蛍光板１、１０…バッフル、１１
…扇形電磁石、１２…分散ズーム用４重極レンズ、１３
…平面検知器、１４…小穴付蛍光板２、１５…小穴付蛍
光板３、１６…蛍光板傾斜軸、１７…蛍光板傾斜軸駆動
モータ、１８…ルーペ、１９…観察用ガラス、２０…観
察室、２１…電子エネルギー損失ビーム。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空中で加速された電子ビームを発生させ
   細くしぼる機構と、その電子ビームが透過する薄い試料
   と、電子ビームを結像する機構と、その電子ビームを通
   過出来る穴の開いた蛍光板と、螢光板の角度を制御する
   機構と、電子ビームの開き角を制御するバッフルと、エ
   ネルギー損失を分析する扇形磁場と、扇形磁場の後に分
   散を可変する磁場４重極レンズと、分散された電子ビー
   ムを同時に検知する平面検知器を配置した分析電子顕微
   鏡において、通常の蛍光板を水平に置いた観察及び蛍光
   板を上げてルーペでの観察の時は電子ビームは蛍光板の
   穴から外れ、試料を透過した電子ビームのエネルギー損
   失を分析する時は蛍光板の穴から電子ビームが通過出来
   るような角度に傾けられることを特徴とする分析電子顕
   微鏡用蛍光板。