JPS58206036A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS58206036A JPS58206036A JP8909782A JP8909782A JPS58206036A JP S58206036 A JPS58206036 A JP S58206036A JP 8909782 A JP8909782 A JP 8909782A JP 8909782 A JP8909782 A JP 8909782A JP S58206036 A JPS58206036 A JP S58206036A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- sample
- diffraction
- glass plate
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は透過像と回折像の同時観察を可能とする電子擢
１微鏡を提供するものである。
１微鏡を提供するものである。
結晶ｖ１試ｌ！１を傾斜して観察ｑる場合、その傾斜角
は回ｊｈ像を見ることによって知ることができるの（゛
、透過像を観察７６合間に回折像を見ながら観察４進め
ることがある。従来の電子顕微鏡において番；１ 、対
物レンズの後焦ＬＮ ４Ｖ間の近傍に対物絞りが挿入さ
れＣＪｉす、透過像を（ｑる際に【ユ、回折像スポット
のうらのいずれか１個のスポットに対応した電子線のみ
絞りを選択通過させた後、後段の中間及び投影レンズに
導くようにしており、＝ｈ回１１ｉ ’ｆｌａを得る場
合（こは、対物レンズの後焦点位置に形成される回折像
よりの電子線を大部分カットしてしまう前記絞りを取り
外し、中間レンズの物面位置を対物レンズの後焦点位置
にシフトさせろＪ、うにしており、絞りの移動と中間レ
ンズの励磁強電を変化させろという手間のかかり面倒な
作業を伴う。
は回ｊｈ像を見ることによって知ることができるの（゛
、透過像を観察７６合間に回折像を見ながら観察４進め
ることがある。従来の電子顕微鏡において番；１ 、対
物レンズの後焦ＬＮ ４Ｖ間の近傍に対物絞りが挿入さ
れＣＪｉす、透過像を（ｑる際に【ユ、回折像スポット
のうらのいずれか１個のスポットに対応した電子線のみ
絞りを選択通過させた後、後段の中間及び投影レンズに
導くようにしており、＝ｈ回１１ｉ ’ｆｌａを得る場
合（こは、対物レンズの後焦点位置に形成される回折像
よりの電子線を大部分カットしてしまう前記絞りを取り
外し、中間レンズの物面位置を対物レンズの後焦点位置
にシフトさせろＪ、うにしており、絞りの移動と中間レ
ンズの励磁強電を変化させろという手間のかかり面倒な
作業を伴う。
従−）で、例えば試料が類い期間に熱変化あるい（，１
１ｊ、熱変化するような場合に、その変化を経時的１５
１０いながら透過像と回折像を観察するという様なこと
ら従来においては不可能であった。
１ｊ、熱変化するような場合に、その変化を経時的１５
１０いながら透過像と回折像を観察するという様なこと
ら従来においては不可能であった。
本発明はこのような従来の電子顕微鏡の欠点を解決づべ
くなされたもので、対物レンズの後方焦１１＋口「１１
近傍に配置され０次の回折電子線のみを通過させる孔を
有し該後方焦点面に形成される回折電子線像を電気仏月
に変換するための撮像手段と、この搬像手段よりの信号
に基づいて回折像を表示７するＩごめの表示手段とを戦
備していることを特徴としている。
くなされたもので、対物レンズの後方焦１１＋口「１１
近傍に配置され０次の回折電子線のみを通過させる孔を
有し該後方焦点面に形成される回折電子線像を電気仏月
に変換するための撮像手段と、この搬像手段よりの信号
に基づいて回折像を表示７するＩごめの表示手段とを戦
備していることを特徴としている。
以−ト本発明の一実施例を添イ・１図面に基づき詳述す
る。
る。
第１図は本発明の実施例の概略を示すもので、図中１は
試料であり、この試料１には図示外の収東レンズＩＪ」
、って平行にされた電子線２が照射される。３は対物レ
ンズ、４は中間レンズ、５は投影レンズであり、６は螢
光板である。対物レンズ３の後焦点面の近傍にはその表
面に螢光塗料を塗布したガラス板７が配置されており、
このガラス板７に接触してその直下には固体イメージセ
ンサ−８が配置されている。ガラス板７及び固体イメー
ジセン呼−８にはその中央に極めて小さな電子線通過孔
９を右しており、ガラス板７は対物絞りとじでの役割を
有している。又、ガラス板は電子線の照射によってチセ
ージアップしないように導電性物質が１−ディングされ
ている。１０は固体イメージセンサ−８を駆動するため
の駆動信号を発／４？Ｊろ駆動回路であり、この駆動回
路１０よりの信号は陰極線管１１に供給されており、固
体イメージセンサ−の走査に同期して陰極線管１１が走
査される。固体イメージセンサ−８よりの信号は増幅器
１２を介ｔ、 ｒ陰極線管１１に輝麿信号と１（供給さ
れＣいる。
試料であり、この試料１には図示外の収東レンズＩＪ」
、って平行にされた電子線２が照射される。３は対物レ
ンズ、４は中間レンズ、５は投影レンズであり、６は螢
光板である。対物レンズ３の後焦点面の近傍にはその表
面に螢光塗料を塗布したガラス板７が配置されており、
このガラス板７に接触してその直下には固体イメージセ
ンサ−８が配置されている。ガラス板７及び固体イメー
ジセン呼−８にはその中央に極めて小さな電子線通過孔
９を右しており、ガラス板７は対物絞りとじでの役割を
有している。又、ガラス板は電子線の照射によってチセ
ージアップしないように導電性物質が１−ディングされ
ている。１０は固体イメージセンサ−８を駆動するため
の駆動信号を発／４？Ｊろ駆動回路であり、この駆動回
路１０よりの信号は陰極線管１１に供給されており、固
体イメージセンサ−の走査に同期して陰極線管１１が走
査される。固体イメージセンサ−８よりの信号は増幅器
１２を介ｔ、 ｒ陰極線管１１に輝麿信号と１（供給さ
れＣいる。
、丁のような構成において、試Ｆｌ １を透過した０次
の回折電子線はｔｆうス板７の開孔９を通過し、史に中
間レンズ４．投影レンズ５を通過して螢光板６に投影さ
れるため、螢光板６−１には試料像が形成される。Ｙ、
１１１１時にガラス板７トには試料を透過した電子線に
より回折像が形成され、ガラス板７に塗布された螢光塗
１’ｌが電子線によって形成される回折バ乍−ンを光学
像に変換し、この螢光塗料よりの光は固体イメージセン
サ−８によって検出ｊｋれる。固体イメージセンサ−８
と陰極線管１１は駆動回路］０よりの信８によって同期
走査されるため、固体イメージセンサ−８からの検出（
ｉ’ｌ ）ｊに基づいＣ陰４４１線管１１には第２図に
示す如き回折パターン像が表示される。
の回折電子線はｔｆうス板７の開孔９を通過し、史に中
間レンズ４．投影レンズ５を通過して螢光板６に投影さ
れるため、螢光板６−１には試料像が形成される。Ｙ、
１１１１時にガラス板７トには試料を透過した電子線に
より回折像が形成され、ガラス板７に塗布された螢光塗
１’ｌが電子線によって形成される回折バ乍−ンを光学
像に変換し、この螢光塗料よりの光は固体イメージセン
サ−８によって検出ｊｋれる。固体イメージセンサ−８
と陰極線管１１は駆動回路］０よりの信８によって同期
走査されるため、固体イメージセンサ−８からの検出（
ｉ’ｌ ）ｊに基づいＣ陰４４１線管１１には第２図に
示す如き回折パターン像が表示される。
尚、１述した実施例においては電子線によって形成され
ろ回折像を光学像に変換して撮像するため、固体イメー
ジセンサ−を用いたが、０次の電子線の通過量１１を除
いて取り付けられたグラスファイバー束と、このグラス
ファイバー束によって伝送され／、＝回折像を成像する
撮像管との組合わせを用いても良い。
ろ回折像を光学像に変換して撮像するため、固体イメー
ジセンサ−を用いたが、０次の電子線の通過量１１を除
いて取り付けられたグラスファイバー束と、このグラス
ファイバー束によって伝送され／、＝回折像を成像する
撮像管との組合わせを用いても良い。
Ｌ述しｋよう【ご、本発明に基づく装置においては、試
ｌ′＋１の透過像と回折像を常時同時に表示できろ。従
−）て試料の傾斜角を変化させながら回折像のパターン
を観察して傾斜角を確認しながら透過像を観察寸ろこと
がて・きる。又、試料がλ０い期間に熱変化あるいは形
態変化する場合にも、その変化を軒１１．’ｌ的に追い
４「がら透過像と回折像を観察づることかで・きる。
ｌ′＋１の透過像と回折像を常時同時に表示できろ。従
−）て試料の傾斜角を変化させながら回折像のパターン
を観察して傾斜角を確認しながら透過像を観察寸ろこと
がて・きる。又、試料がλ０い期間に熱変化あるいは形
態変化する場合にも、その変化を軒１１．’ｌ的に追い
４「がら透過像と回折像を観察づることかで・きる。
第１図は本発明の一実施例を示すための図、第２図は陰
極線管に表示される回折像を例示するための図である。 １：試ｒ１．２：電子線、３：対物レンズ、４：中間レ
ンズ、５：投影レンズ、６：螢光板、７：ノｆノス恢、
８： ｒｉ’１体イメージセンリー、９：電子線、１０
：駆Φ）ノ回路、１１：陰極線管、１２：増幅器。 特泊出願人 ［］木電子株式会社 代表省 加勢 忠雄 第１図 １０ ＜；＝：〕ター４ く二＝：〉−５ ６□
極線管に表示される回折像を例示するための図である。 １：試ｒ１．２：電子線、３：対物レンズ、４：中間レ
ンズ、５：投影レンズ、６：螢光板、７：ノｆノス恢、
８： ｒｉ’１体イメージセンリー、９：電子線、１０
：駆Φ）ノ回路、１１：陰極線管、１２：増幅器。 特泊出願人 ［］木電子株式会社 代表省 加勢 忠雄 第１図 １０ ＜；＝：〕ター４ く二＝：〉−５ ６□
Claims (1)
- 対物レンズの後ｌｊ焦点面近傍に配置され０次の回折電
子線のみを通過させる孔を有し該後方焦点面に形成され
る回折電子線像を電気１月号に変換するための搬像手段
と、この搬像手段よりの信号に皐ブい（回折像を表示す
るための表示手段とを具ｆ１することを特徴とする電子
顕ｍ鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8909782A JPS58206036A (ja) | 1982-05-26 | 1982-05-26 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8909782A JPS58206036A (ja) | 1982-05-26 | 1982-05-26 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58206036A true JPS58206036A (ja) | 1983-12-01 |
| JPS6352427B2 JPS6352427B2 (ja) | 1988-10-19 |
Family
ID=13961374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8909782A Granted JPS58206036A (ja) | 1982-05-26 | 1982-05-26 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58206036A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006242914A (ja) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Fujitsu Ltd | 結晶材料の格子歪みの評価方法及びその評価装置 |
-
1982
- 1982-05-26 JP JP8909782A patent/JPS58206036A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006242914A (ja) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Fujitsu Ltd | 結晶材料の格子歪みの評価方法及びその評価装置 |
| JP4704776B2 (ja) * | 2005-03-07 | 2011-06-22 | 富士通株式会社 | 結晶材料の格子歪みの評価方法及びその評価装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6352427B2 (ja) | 1988-10-19 |
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