JPS6132022A - 多数面同時観察顕微鏡 - Google Patents
多数面同時観察顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6132022A JPS6132022A JP15338684A JP15338684A JPS6132022A JP S6132022 A JPS6132022 A JP S6132022A JP 15338684 A JP15338684 A JP 15338684A JP 15338684 A JP15338684 A JP 15338684A JP S6132022 A JPS6132022 A JP S6132022A
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- JP
- Japan
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- objective lens
- optical path
- image pickup
- specimen
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、標本の厚さ方向に異なった面を同時に観察す
る顕微鏡に関する。
る顕微鏡に関する。
（発明の背景）
例えばウェハーのパターンの微小化（巾が１μ以下）に
伴ない、これを検査するために高解像力の顕微鏡が必要
となる。ところが、顕微鏡の場合・解像力ｍと焦点深度
Ｔは一般に Ｒ−１・２２２／２双Ａ）。
伴ない、これを検査するために高解像力の顕微鏡が必要
となる。ところが、顕微鏡の場合・解像力ｍと焦点深度
Ｔは一般に Ｒ−１・２２２／２双Ａ）。
Ｔ−λ／２ （ＮＡ） ２＋１／７Ｍ （ＮＡ）但し、
λ；波長、（ト）Ａ）；開口数２Ｍ；倍率。
λ；波長、（ト）Ａ）；開口数２Ｍ；倍率。
で表わされるから、解像力Ｒと焦点深度Ｔは反比例し、
高解像（高倍）・になればなる程、焦点深度が浅くなり
、一度に観察されるウェハーの深さ方向は狭い範囲とな
り、従って、多くのパターンの層を観察したい場合には
、ウェハーの載っているステージを上下動するなどして
焦点の合う厚さ方向の位置を変える必要があった。
高解像（高倍）・になればなる程、焦点深度が浅くなり
、一度に観察されるウェハーの深さ方向は狭い範囲とな
り、従って、多くのパターンの層を観察したい場合には
、ウェハーの載っているステージを上下動するなどして
焦点の合う厚さ方向の位置を変える必要があった。
（発明の目的）
本発明は、これらの欠点を解決し、高解像でありながら
標本の厚さ方向を広い範囲で観察することのできる顕微
鏡を得ることを目的とする。
標本の厚さ方向を広い範囲で観察することのできる顕微
鏡を得ることを目的とする。
（発明の概要）
本発明は、標本の厚さ方向に異なった数面を撮像手段に
よって撮像し、各々の像をテレビモニタにて重ね合わせ
ることにより上記目的を達成している。
よって撮像し、各々の像をテレビモニタにて重ね合わせ
ることにより上記目的を達成している。
（実施例）
図は本発明の一実施例を示す構成図であって、拡大用の
対物レンズ１と、対物レンズ１の後方に配設され、対物
レンズ１の光路を３つに等分割する光路分割手段２（必
ずしも等分割である必要はないのであって、電気的に調
整も可）と、対物レンズ１の前方の異なった位置Ｓ１．
Ｓ２．Ｓ５に共役になるように、各分割光路１１＋ＩＪ
２＋ｌｌｓに配設した撮像面Ｓ １’＋ ｓ２’＋ ８
３’を有し、撮像面Ｓ、′。
対物レンズ１と、対物レンズ１の後方に配設され、対物
レンズ１の光路を３つに等分割する光路分割手段２（必
ずしも等分割である必要はないのであって、電気的に調
整も可）と、対物レンズ１の前方の異なった位置Ｓ１．
Ｓ２．Ｓ５に共役になるように、各分割光路１１＋ＩＪ
２＋ｌｌｓに配設した撮像面Ｓ １’＋ ｓ２’＋ ８
３’を有し、撮像面Ｓ、′。
８２′、８５′に生じている像を映像信号に変換する赤
用撮像管３．青用撮像管４．線用撮像管５と、各撮像管
３，４．５の映像信号を入力し、各々を重ね台わせるコ
ントロールユニット６と、コントロールユニット６から
の信号によって、撮像面８１′。
用撮像管３．青用撮像管４．線用撮像管５と、各撮像管
３，４．５の映像信号を入力し、各々を重ね台わせるコ
ントロールユニット６と、コントロールユニット６から
の信号によって、撮像面８１′。
８２’、Ｓ、′に生じている像の重畳された像を表示す
るテレビモニタ７と、を有する。
るテレビモニタ７と、を有する。
通常のカラーカメラは赤用撮像管、青用撮像管。
線用撮像管によって一つの被写体像を撮影しているが、
本実施例では、各々の撮像管３，４．５か標本（例えば
ウェハー）の厚さ方向に異なった層（焦点深度の巾を有
する）を撮像する。各々の撮像管３，４．５からの信号
を合成するコントロールユニット６は、公知のカラーテ
レビにおける送像装置、例えばＮＴＳＣ方式と呼ばれる
ものを用いることができる。
本実施例では、各々の撮像管３，４．５か標本（例えば
ウェハー）の厚さ方向に異なった層（焦点深度の巾を有
する）を撮像する。各々の撮像管３，４．５からの信号
を合成するコントロールユニット６は、公知のカラーテ
レビにおける送像装置、例えばＮＴＳＣ方式と呼ばれる
ものを用いることができる。
このような構造であるから、標本としてのウェハーを不
図示のステージ上に置き、ステージを上下させて位置Ｓ
１．Ｓ２．Ｓ、にウェハーの厚さ方向の適当な層を合わ
せれば、位置Ｓ１に一致するパターン層が赤色で、位置
Ｓ２に一致するパターン層が青色で、位置Ｓ３に一致す
るパターン層が緑色でテレビモニタ７に生ずることにな
る。そして、位置Ｓ１と位置Ｓ２と位置Ｓ３の各パター
ン層において、パターンが合致していれば、その部分は
テレビモニタ７に白色に生ずることになる。
図示のステージ上に置き、ステージを上下させて位置Ｓ
１．Ｓ２．Ｓ、にウェハーの厚さ方向の適当な層を合わ
せれば、位置Ｓ１に一致するパターン層が赤色で、位置
Ｓ２に一致するパターン層が青色で、位置Ｓ３に一致す
るパターン層が緑色でテレビモニタ７に生ずることにな
る。そして、位置Ｓ１と位置Ｓ２と位置Ｓ３の各パター
ン層において、パターンが合致していれば、その部分は
テレビモニタ７に白色に生ずることになる。
このようにして、対物レンズ１として高解像偏倚）のも
のを用いても、従来のも□のに比しく同じ対物レンズを
用いたとする）厚さ方向の観察範囲が３倍に広がったこ
とになる。
のを用いても、従来のも□のに比しく同じ対物レンズを
用いたとする）厚さ方向の観察範囲が３倍に広がったこ
とになる。
なお、以上の位−Ｓ、、Ｓ２．Ｓ５は標本の位置を光軸
方向へずらすことにより変化でき、また、撮像面８１′
、８２′、８５′を独立にずらすことによって各々の間
隔をも変えることができる。また、各分割光路］＋＋
１２＋ ｌｌｓ中に光路長を変える光学部材を挿脱する
ことにより、撮像面８＋ ′、ｓ２’＋Ｊ／に対して共
役な位置８１，８２．’８．を変化させることもでき、
後述のリレーレンズを光軸方向へ動かしても共役な位置
Ｓ１．Ｓ２．Ｓ５を変化できる。すなわち、位＠Ｓ１ｒ
８２１８ｓは対象とする標本に応じてあらかじめ定め
てあっても良いし、テレビモニタ７を観察しつつ変化さ
せるようにしても良い。
方向へずらすことにより変化でき、また、撮像面８１′
、８２′、８５′を独立にずらすことによって各々の間
隔をも変えることができる。また、各分割光路］＋＋
１２＋ ｌｌｓ中に光路長を変える光学部材を挿脱する
ことにより、撮像面８＋ ′、ｓ２’＋Ｊ／に対して共
役な位置８１，８２．’８．を変化させることもでき、
後述のリレーレンズを光軸方向へ動かしても共役な位置
Ｓ１．Ｓ２．Ｓ５を変化できる。すなわち、位＠Ｓ１ｒ
８２１８ｓは対象とする標本に応じてあらかじめ定め
てあっても良いし、テレビモニタ７を観察しつつ変化さ
せるようにしても良い。
以上の実施例では光路分割手段２によって対物レンズ１
の光路を３つに分割していたが、標本によって２つ以上
に適当な数分割することによって、また、各撮像管３，
４．５からの信号を選択的にコントロールユニット６に
゛接続するために、各撮像［３，４，５とコントロール
ユニット６との間にスイッチを設ける等すれば、所望の
一層のみの観察ができるばかりでなく所望の層を重ね合
わせて多層面の観察をすることができる。
の光路を３つに分割していたが、標本によって２つ以上
に適当な数分割することによって、また、各撮像管３，
４．５からの信号を選択的にコントロールユニット６に
゛接続するために、各撮像［３，４，５とコントロール
ユニット６との間にスイッチを設ける等すれば、所望の
一層のみの観察ができるばかりでなく所望の層を重ね合
わせて多層面の観察をすることができる。
さらに、以上の実施例では各分割光路１１，１２゜１３
に赤用撮像管３．青用撮像管４．線用撮像管５を配設し
たが、各々に通常のカラーカメラもしくは白黒カメラを
配設しても構わない。この場合には例えば、各々のカメ
ラからの信号を高速にて切り換えてコントロールユニッ
ト６に伝え、高速時間分割によって各層の像を切り換え
てテレビモニタ７に表示させれば、目の残像現象によっ
て各層の重ね合わさった像を観察することができる。
に赤用撮像管３．青用撮像管４．線用撮像管５を配設し
たが、各々に通常のカラーカメラもしくは白黒カメラを
配設しても構わない。この場合には例えば、各々のカメ
ラからの信号を高速にて切り換えてコントロールユニッ
ト６に伝え、高速時間分割によって各層の像を切り換え
てテレビモニタ７に表示させれば、目の残像現象によっ
て各層の重ね合わさった像を観察することができる。
なお、テレビモニタ７としては、現在一般的に用いられ
ているＮＴＳＣ方式によるモニタに比し、水平走査線数
を増加させたいわゆる高品位テレビ方式と呼ばれるもの
によるモニタを用いることによって、高解像対物レンズ
の性能をより右鮪に千かすことかできる。
ているＮＴＳＣ方式によるモニタに比し、水平走査線数
を増加させたいわゆる高品位テレビ方式と呼ばれるもの
によるモニタを用いることによって、高解像対物レンズ
の性能をより右鮪に千かすことかできる。
さらに、図示した実施例のように対物レンズによる像を
そのまま映像信号に変換すると、テレビモニタ７の水平
走査線本数には限りがあるので、テレビモニタ７上での
解像が上記像を目で観察した場合に比し低くなることが
あるので、その場合には、図において撮像面８１′、８
２′、８３′の置かれている像面をさらに２〜１０倍程
度に拡大するリレーレンズを設け、このリレーレンズに
よる拡大像面に撮像管３，４．５の撮像面Ｓ１’＋８２
’＋Ｂ 、 ｒを量くように成せば、十分高解像の像を
テレビモニタで観察することができる。この場合、各リ
レーレンズの倍率を変えて、対物レンズ１と位置Ｓ１＋
”２＋ ８５各々までの距離が異なることによる倍率
変動を併せて補正することもできるが、標本としてウェ
ハーを用いた場合、位置Ｓ１と８２の間隔もしくは位置
Ｓ２と８３の間隔は最大で１μ程度であり、この場合１
００倍程度の対物レンズを用いても像面８１′、ｓ２’
＋ ｓ３’での倍率変動はほとんど無視できる。特に、
深さ方向でのパターンの重なりを検査する場合は、視野
の中心に検査する部分を持ってくるのが普通なので、上
記倍率変動に対する特別の補正は不用である。
そのまま映像信号に変換すると、テレビモニタ７の水平
走査線本数には限りがあるので、テレビモニタ７上での
解像が上記像を目で観察した場合に比し低くなることが
あるので、その場合には、図において撮像面８１′、８
２′、８３′の置かれている像面をさらに２〜１０倍程
度に拡大するリレーレンズを設け、このリレーレンズに
よる拡大像面に撮像管３，４．５の撮像面Ｓ１’＋８２
’＋Ｂ 、 ｒを量くように成せば、十分高解像の像を
テレビモニタで観察することができる。この場合、各リ
レーレンズの倍率を変えて、対物レンズ１と位置Ｓ１＋
”２＋ ８５各々までの距離が異なることによる倍率
変動を併せて補正することもできるが、標本としてウェ
ハーを用いた場合、位置Ｓ１と８２の間隔もしくは位置
Ｓ２と８３の間隔は最大で１μ程度であり、この場合１
００倍程度の対物レンズを用いても像面８１′、ｓ２’
＋ ｓ３’での倍率変動はほとんど無視できる。特に、
深さ方向でのパターンの重なりを検査する場合は、視野
の中心に検査する部分を持ってくるのが普通なので、上
記倍率変動に対する特別の補正は不用である。
（発明の効果）
以上述べた如く本発明によれば、高解像でありながら標
本の厚さ方向に異なった面を重ね合わせているので、広
い範囲で同時観察のできる顕微鏡を得ることができる。
本の厚さ方向に異なった面を重ね合わせているので、広
い範囲で同時観察のできる顕微鏡を得ることができる。
図は本発明の一実施例を７Ｊ”Ｔ構成図、である。
（主要部分の符号の説明）
１・・・・・・対物レンズ、 ２・旧・・光路分割手
段。 ３．４． ５・・・１０１手段、６・・印・コントロー
ルユニット。 ７・・・・・・テレビモニタ。
段。 ３．４． ５・・・１０１手段、６・・印・コントロー
ルユニット。 ７・・・・・・テレビモニタ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 拡大用の対物レンズと、 前記対物レンズの後方に配設され、前記対物レンズの光
路を少なくとも２つに分割する光路分割手段と、 前記対物レンズの前方の異なった位置に共役になるよう
に、前記各分割光路に配設した撮像面を有し、該撮像面
に生じている像を表わす電気信号を出力する撮像手段と
、 前記電気信号に基づいて、前記撮像面に生じた像をテレ
ビモニタに表示する表示手段と、 を有することを特徴とする多数面同時観察顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15338684A JPS6132022A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 多数面同時観察顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15338684A JPS6132022A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 多数面同時観察顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6132022A true JPS6132022A (ja) | 1986-02-14 |
Family
ID=15561343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15338684A Pending JPS6132022A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 多数面同時観察顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6132022A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998025171A1 (de) * | 1996-12-05 | 1998-06-11 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Anordnung und verfahren zur simultanen polyfokalen abbildung des oberflächenprofils beliebiger objekte |
| WO2008069220A1 (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-12 | Nikon Corporation | 結像装置及び顕微鏡 |
| WO2019202979A1 (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-24 | 富士フイルム株式会社 | 観察装置、観察装置の作動方法、及び観察制御プログラム |
-
1984
- 1984-07-24 JP JP15338684A patent/JPS6132022A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998025171A1 (de) * | 1996-12-05 | 1998-06-11 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Anordnung und verfahren zur simultanen polyfokalen abbildung des oberflächenprofils beliebiger objekte |
| WO2008069220A1 (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-12 | Nikon Corporation | 結像装置及び顕微鏡 |
| JPWO2008069220A1 (ja) * | 2006-11-30 | 2010-03-18 | 株式会社ニコン | 結像装置及び顕微鏡 |
| US8098279B2 (en) | 2006-11-30 | 2012-01-17 | Nikon Corporation | Imaging apparatus and microscope |
| WO2019202979A1 (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-24 | 富士フイルム株式会社 | 観察装置、観察装置の作動方法、及び観察制御プログラム |
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