JPS5842151A - カラ−走査電子顕微鏡 - Google Patents
カラ−走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5842151A JPS5842151A JP14126281A JP14126281A JPS5842151A JP S5842151 A JPS5842151 A JP S5842151A JP 14126281 A JP14126281 A JP 14126281A JP 14126281 A JP14126281 A JP 14126281A JP S5842151 A JPS5842151 A JP S5842151A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color
- image
- sample
- microscope
- specimen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/22—Treatment of data
- H01J2237/221—Image processing
- H01J2237/225—Displaying image using synthesised colours
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は通常単色のｌ＃変分布像として優られる走査電
子顕微鏡像に、試料を肉眼で見たのと同一の色調を与え
ることのできるカラー走査電子顕像１ＩＩＩ＋と関する
０ 走査−電子顕微＠１においては細（絞り？：ＩＥ千謔を
試料Ｊ１１＃ｃｌｌ封すると共６ζ、−試料上で該電子
線を２次元的に走査し、電子線照射により試料から生ず
す る２次電子９反射電子、ａ収電子、Ｘ線等の情報を検出
し、得られた検出信号を上記試料上での電子線走査に同
期した陰極線管（ＣＢ’ｌ’）へ＃ｌｌ傷信号して供給
することにより、Ｃ几’Ｉ’１ｉｉ−上膓ζ自から黒ま
で連続的な濃淡変化を示す試料像を表示するようにして
いる。０この様に、して得られる走査電子顕微鏡像は解
像度が極めて高いという優れた特長があるがその反面白
黒像であるため試料が持つ固有の色調（ガえば銅であれ
ば銅色）を会（判断できず、色情報を含めた總合的な試
料分析を行うことができなかったＯ 本発明は上述した点に鑑みてなされたものであり、走査
電子顕微鏡像と略同−視舒の光学像をカラー撮像手段で
撮影し、得られたカラー映像信号をカラニｃＢｒｓ示装
置へ間歇的に供給して試料１ａ４ｔの色調が与えられた
光学像を間歇的に表示すると共に、鋏光学像が表示され
ていない期間同一画面に走査電子顕微鏡からの検出信号
に基づいて上町光学偉と同一視野の走査電子顕微鏡像を
表示し、”との様に光学像と走査電子顕微鏡像を同一画
１Ｗｉ−ζ交互に表示すること４こより、肉眼では高解
像度を持つ走査電子顕微鏡像に試料が持つ固有の色調が
重畳した儂を観察可能となすものである０以下図函を用
いて本発明を詳説する０ ｊｌ１図は本発明の一実施例の構成を示１、同図１とお
いて１は電子銃、２は導電性を持つ透明ガラス（プレパ
ラート）６上−ζ保持された試料である０電子銃１から
発生した電子線は集束レンズ４によって試料２上へ細（
集束されると共に、走査回路５から走査信号が供給され
る偏向コイル６Ｈ，６Ｖによって試料上でラスタ走査さ
れる０試料上の電子線照射点から発生した情−例えば２
次電子は検出器７によって検出され、得られた検出信号
Ｓは増幅器８を介して単色’ｃｎｒｑへ輝度信号として
供給される・＃ＥＣＲＴ９は走査回路５からの走査信号
によって試料上での電子線走査と同期してラスタ走査さ
れており、従って錬ＣＲＴ９の画面には試料の走査電子
顕微鏡像が単色で且つ高解像度で表示されることになる
０ここまでの構成が従来からの走査電子顕微鏡の基本構
成であり、本奥施例ではｊ！に以下に述べる様な構成が
付加されているＯ 即ら試料２の下方には光学顕微鏡１０が設けられており
、プレｚ４ラード６を介して試料２を下面から観察でき
るよう６ζ構成されている０そして試料２にはランプ１
１．レンズ１２及び鏡１Ｓにより上方から白色照明光り
が照射されるため、上記顕微鏡１０によって試料２の透
過光学顕微鏡像を得ることができ、鋏光学顕微鏡像は顕
微鏡１０に接続されたカラーテレビカメラ１４＋どよっ
て撮影される◎ 該カメラ１４から得られるカラー合成決像信号はカラー
〇ＲＴ１５を備えた表示装置１６へ供給され、該表示装
置内の同期分離回路１７．復調器１８及びフィルタ１９
へ夫々送られる・同期分離回路１７はカラー合成映像信
号から水平及び垂直同期パルスのみを抜き出し、水平走
査回路２０Ｈ及び垂直走査回路２（ｌへ送るため、カラ
二〇Ｒ’ｌ’１５はカメラ１４と同期してラスタ走査さ
れる〇そして復調器１８からは色度信号即ち！信号及び
Ｑ信号が得られ、色副搬送波（工５８ ＭＨｚ ）を除
くためのフィルタ１９の出力としては明度信号部らＹ信
号が得られる。錬Ｉ、Ｑ、Ｙの３１１の信号は夫々スイ
ッチ８１ ＃ ａｓ ＃ ｓｓを介してマトリクス回路
２１へ送られて合成され、赤（Ｂ）、緑（Ｇ）。
子顕微鏡像に、試料を肉眼で見たのと同一の色調を与え
ることのできるカラー走査電子顕像１ＩＩＩ＋と関する
０ 走査−電子顕微＠１においては細（絞り？：ＩＥ千謔を
試料Ｊ１１＃ｃｌｌ封すると共６ζ、−試料上で該電子
線を２次元的に走査し、電子線照射により試料から生ず
す る２次電子９反射電子、ａ収電子、Ｘ線等の情報を検出
し、得られた検出信号を上記試料上での電子線走査に同
期した陰極線管（ＣＢ’ｌ’）へ＃ｌｌ傷信号して供給
することにより、Ｃ几’Ｉ’１ｉｉ−上膓ζ自から黒ま
で連続的な濃淡変化を示す試料像を表示するようにして
いる。０この様に、して得られる走査電子顕微鏡像は解
像度が極めて高いという優れた特長があるがその反面白
黒像であるため試料が持つ固有の色調（ガえば銅であれ
ば銅色）を会（判断できず、色情報を含めた總合的な試
料分析を行うことができなかったＯ 本発明は上述した点に鑑みてなされたものであり、走査
電子顕微鏡像と略同−視舒の光学像をカラー撮像手段で
撮影し、得られたカラー映像信号をカラニｃＢｒｓ示装
置へ間歇的に供給して試料１ａ４ｔの色調が与えられた
光学像を間歇的に表示すると共に、鋏光学像が表示され
ていない期間同一画面に走査電子顕微鏡からの検出信号
に基づいて上町光学偉と同一視野の走査電子顕微鏡像を
表示し、”との様に光学像と走査電子顕微鏡像を同一画
１Ｗｉ−ζ交互に表示すること４こより、肉眼では高解
像度を持つ走査電子顕微鏡像に試料が持つ固有の色調が
重畳した儂を観察可能となすものである０以下図函を用
いて本発明を詳説する０ ｊｌ１図は本発明の一実施例の構成を示１、同図１とお
いて１は電子銃、２は導電性を持つ透明ガラス（プレパ
ラート）６上−ζ保持された試料である０電子銃１から
発生した電子線は集束レンズ４によって試料２上へ細（
集束されると共に、走査回路５から走査信号が供給され
る偏向コイル６Ｈ，６Ｖによって試料上でラスタ走査さ
れる０試料上の電子線照射点から発生した情−例えば２
次電子は検出器７によって検出され、得られた検出信号
Ｓは増幅器８を介して単色’ｃｎｒｑへ輝度信号として
供給される・＃ＥＣＲＴ９は走査回路５からの走査信号
によって試料上での電子線走査と同期してラスタ走査さ
れており、従って錬ＣＲＴ９の画面には試料の走査電子
顕微鏡像が単色で且つ高解像度で表示されることになる
０ここまでの構成が従来からの走査電子顕微鏡の基本構
成であり、本奥施例ではｊ！に以下に述べる様な構成が
付加されているＯ 即ら試料２の下方には光学顕微鏡１０が設けられており
、プレｚ４ラード６を介して試料２を下面から観察でき
るよう６ζ構成されている０そして試料２にはランプ１
１．レンズ１２及び鏡１Ｓにより上方から白色照明光り
が照射されるため、上記顕微鏡１０によって試料２の透
過光学顕微鏡像を得ることができ、鋏光学顕微鏡像は顕
微鏡１０に接続されたカラーテレビカメラ１４＋どよっ
て撮影される◎ 該カメラ１４から得られるカラー合成決像信号はカラー
〇ＲＴ１５を備えた表示装置１６へ供給され、該表示装
置内の同期分離回路１７．復調器１８及びフィルタ１９
へ夫々送られる・同期分離回路１７はカラー合成映像信
号から水平及び垂直同期パルスのみを抜き出し、水平走
査回路２０Ｈ及び垂直走査回路２（ｌへ送るため、カラ
二〇Ｒ’ｌ’１５はカメラ１４と同期してラスタ走査さ
れる〇そして復調器１８からは色度信号即ち！信号及び
Ｑ信号が得られ、色副搬送波（工５８ ＭＨｚ ）を除
くためのフィルタ１９の出力としては明度信号部らＹ信
号が得られる。錬Ｉ、Ｑ、Ｙの３１１の信号は夫々スイ
ッチ８１ ＃ ａｓ ＃ ｓｓを介してマトリクス回路
２１へ送られて合成され、赤（Ｂ）、緑（Ｇ）。
青（Ｂ）の割合を示すＲ信号、Ｇ信号、Ｂ信号が得られ
る０ ２２は前記同期分離回路１７から得られる垂直同期ペル
スＩζ同期して上記スイッチ８１１８２ｅ ８ ｍを切
換える切換回路であり、それによりマトリクス回路２１
へはスイッチ８１ｍ８Ｒを介して１．Ｑ信号か零信号が
、又スイッチ３を介してｒ信号か検出信号８が夫々交互
に供給゛される〇 上述の如き構成ｌζおいて、走査電子顕微鏡による観察
視野（即ち試料上での電子線走査範囲）とカメラによる
観察視野とは第２＃！Ｊに示す様に試料の上面と下面の
違いはあるが一致する様に顕微鏡の倍率及び電子線の走
査範囲が予め設定されている。［４ζ走査回路５はカメ
ラ１４からの水平及び垂直同期信号Ｉζ基づきカメラに
よる視野走査と同期して電子線を試料上で走査するため
、第２図に示す様にカメラ１４と走査電子顕微鏡は同じ
視野内の同一位置を下面と上面から常ｌど同時に走査す
ること−ζなる。
る０ ２２は前記同期分離回路１７から得られる垂直同期ペル
スＩζ同期して上記スイッチ８１１８２ｅ ８ ｍを切
換える切換回路であり、それによりマトリクス回路２１
へはスイッチ８１ｍ８Ｒを介して１．Ｑ信号か零信号が
、又スイッチ３を介してｒ信号か検出信号８が夫々交互
に供給゛される〇 上述の如き構成ｌζおいて、走査電子顕微鏡による観察
視野（即ち試料上での電子線走査範囲）とカメラによる
観察視野とは第２＃！Ｊに示す様に試料の上面と下面の
違いはあるが一致する様に顕微鏡の倍率及び電子線の走
査範囲が予め設定されている。［４ζ走査回路５はカメ
ラ１４からの水平及び垂直同期信号Ｉζ基づきカメラに
よる視野走査と同期して電子線を試料上で走査するため
、第２図に示す様にカメラ１４と走査電子顕微鏡は同じ
視野内の同一位置を下面と上面から常ｌど同時に走査す
ること−ζなる。
従ってカメラ１４からは白色光Ｌ１どよる照明を受けた
試料が示す固有の色を現わす色情報を持ったカラー合成
映像信号が得られ、走査電子顕微鏡からはそれと同一部
位の２次電子の発生強度に関する明暗情報を持った検出
信号８が得られる◎そして両信号は表示装置１６へ送ら
れるが、切換回路２２１ｃよってスイッチ８ｊ＊８！ｓ
８３は１垂直走査（ｌフレーム）毎４Ｃａ４ｂ→１→ｂ
→・−・と切換えられるため、〜１の期間ｌζはマトリ
クス回路２１ヘカメラ１４からのＩ、Ｑ、ｒ信号が送ら
れ、ｂの期間にはＩ、Ｑ信号は零になりＹ信号の代わり
に検出信号Ｓが送られることｌζなる。Ｉ、Ｑ信号（色
度信号）が零の時は表示される像は白黒像となるので、
従ってｃａ’ｒｔｓ＃ｃは、カラーカメラ１４によって
撮影された試料のカラーｇ１（スイッチが烏側に倒され
ている期間）と、検出信号８に基づく白黒の走査電子顕
微鏡像とが１フレーム毎に交互に表示されること膓こな
る０両像の視野は先に述べた４１！ｌζ一致しているの
で、両偉の切換を十分速く行えば肉眼では画像が重なっ
て見え、走査電子顕微鏡像ＩＣよる高解像度と光学顕微
鏡による正しい色相を持った儂として捉えることができ
る０尚上述した実施例では２種の像を１フν−ム毎に切
換えて表示したが、これに限らず走査電子顕微鏡像の方
を強調したい場合には走査電子顕微鏡像を２フレームあ
るいは３フレ一ム表示する毎にカラー像を１フレーム挿
入するように切換えても良く、その逆でも良い。
試料が示す固有の色を現わす色情報を持ったカラー合成
映像信号が得られ、走査電子顕微鏡からはそれと同一部
位の２次電子の発生強度に関する明暗情報を持った検出
信号８が得られる◎そして両信号は表示装置１６へ送ら
れるが、切換回路２２１ｃよってスイッチ８ｊ＊８！ｓ
８３は１垂直走査（ｌフレーム）毎４Ｃａ４ｂ→１→ｂ
→・−・と切換えられるため、〜１の期間ｌζはマトリ
クス回路２１ヘカメラ１４からのＩ、Ｑ、ｒ信号が送ら
れ、ｂの期間にはＩ、Ｑ信号は零になりＹ信号の代わり
に検出信号Ｓが送られることｌζなる。Ｉ、Ｑ信号（色
度信号）が零の時は表示される像は白黒像となるので、
従ってｃａ’ｒｔｓ＃ｃは、カラーカメラ１４によって
撮影された試料のカラーｇ１（スイッチが烏側に倒され
ている期間）と、検出信号８に基づく白黒の走査電子顕
微鏡像とが１フレーム毎に交互に表示されること膓こな
る０両像の視野は先に述べた４１！ｌζ一致しているの
で、両偉の切換を十分速く行えば肉眼では画像が重なっ
て見え、走査電子顕微鏡像ＩＣよる高解像度と光学顕微
鏡による正しい色相を持った儂として捉えることができ
る０尚上述した実施例では２種の像を１フν−ム毎に切
換えて表示したが、これに限らず走査電子顕微鏡像の方
を強調したい場合には走査電子顕微鏡像を２フレームあ
るいは３フレ一ム表示する毎にカラー像を１フレーム挿
入するように切換えても良く、その逆でも良い。
上述した実施例ではＮＴ８Ｃカラ一方式について説明し
たがそれに限らずＦＡＩ、 、 ８１１ＣＡＭあるいは
分離輝度方式などのいずれの方式でも色相を持つ光学顕
微鏡像に走査電子顕微鏡像を重Ｊｌ＃示させることかで
きることは言うまでもない０又電子顕微鏡の観察視野と
光学顕微鏡の観察視野は常に一致させる必要があるため
、両者の倍率。
たがそれに限らずＦＡＩ、 、 ８１１ＣＡＭあるいは
分離輝度方式などのいずれの方式でも色相を持つ光学顕
微鏡像に走査電子顕微鏡像を重Ｊｌ＃示させることかで
きることは言うまでもない０又電子顕微鏡の観察視野と
光学顕微鏡の観察視野は常に一致させる必要があるため
、両者の倍率。
位置会わせ等は相互に連動関係を与えることが望ましい
。光学顕微鏡としては上記例の様な透過型に限らず、照
明と同じ側から観察する反射臘を用いても嵐い０
。光学顕微鏡としては上記例の様な透過型に限らず、照
明と同じ側から観察する反射臘を用いても嵐い０
第１図は本発明の一実施例の構成を示す図、第２図は試
料上での視野を説明するための図である。
料上での視野を説明するための図である。
Claims (1)
- 細く絞られた電子線を試料＃Ｃ巡射すると共に試料上で
２次元的に走査し１．電子線照射により試料から生ずる
情報を検出し、得られた検出信号を試料上での電子線走
査に同期して走査される表示手段へ供給し走査電子顕微
鏡像を得る様にした走査電子顕微鏡において、上記走査
電子顕微鏡像と一同一視野の光学像を取得するための光
学顕微鏡と、鋏光学像を撮影するためのカラー撮像手段
と、該カラー撮像手段からの信号番ζ基づ、いた色相を
持、つ像と前記検出信号に基づいた輝度を持つ白黒像を
交互１ζ同一画面に表示するための表示手段を設けたこ
とを特徴とするカラー走査電子顕微鏡◎
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14126281A JPS5842151A (ja) | 1981-09-08 | 1981-09-08 | カラ−走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14126281A JPS5842151A (ja) | 1981-09-08 | 1981-09-08 | カラ−走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5842151A true JPS5842151A (ja) | 1983-03-11 |
Family
ID=15287807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14126281A Pending JPS5842151A (ja) | 1981-09-08 | 1981-09-08 | カラ−走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5842151A (ja) |
-
1981
- 1981-09-08 JP JP14126281A patent/JPS5842151A/ja active Pending
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