JPS61131352A - 走査形電子顕微鏡 - Google Patents
走査形電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS61131352A JPS61131352A JP59251905A JP25190584A JPS61131352A JP S61131352 A JPS61131352 A JP S61131352A JP 59251905 A JP59251905 A JP 59251905A JP 25190584 A JP25190584 A JP 25190584A JP S61131352 A JPS61131352 A JP S61131352A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electrons
- electrode
- collection
- secondary electrons
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野］
本発明は、走査形電子顕微鏡に係シ、特に高温試料の組
成像及び凹凸像観察に好適な二次電子及び反射電子の収
集電極に関する。
成像及び凹凸像観察に好適な二次電子及び反射電子の収
集電極に関する。
走査形電子顕微鏡を用いて試料の組成像、凹凸像を観察
する場合、走査電子顕微鏡−基礎と応用−日本電子顕微
鏡学会関東支部編等の文献に記載されているように、試
料からの反射電子を複数個の検出器で同時に検出し、検
出器の出力信号を演算し観察することが行なわれている
。この場合、反射電子検出器として通常、半導体検出器
及びシンチレータ−と光電子増倍管の組合せ等が用いら
れるが、試料を高温度〈加熱観察する場合は、試料から
の光、熱、熱電子によるバックグラウンドの影響が大き
く観察が困難で６つ九。
する場合、走査電子顕微鏡−基礎と応用−日本電子顕微
鏡学会関東支部編等の文献に記載されているように、試
料からの反射電子を複数個の検出器で同時に検出し、検
出器の出力信号を演算し観察することが行なわれている
。この場合、反射電子検出器として通常、半導体検出器
及びシンチレータ−と光電子増倍管の組合せ等が用いら
れるが、試料を高温度〈加熱観察する場合は、試料から
の光、熱、熱電子によるバックグラウンドの影響が大き
く観察が困難で６つ九。
本発明の目的は、試料の高温状態を観察する走査形電子
顕微鏡くおいて、炉から発する光、熱及び熱電子の影響
をさけるため、二次電子及び反射電子の収集電極を用い
る場合に、収集効率が高く、高速応答が可能でかつ、試
料の組成像、凹凸像の観察が可能な収集電極を提供する
ことにある。
顕微鏡くおいて、炉から発する光、熱及び熱電子の影響
をさけるため、二次電子及び反射電子の収集電極を用い
る場合に、収集効率が高く、高速応答が可能でかつ、試
料の組成像、凹凸像の観察が可能な収集電極を提供する
ことにある。
試料を１ＯＯＯＣ以上の高温状態で観察する走査形電子
顕微鏡で試料の凹凸像１組成像を観察する場合、試料及
び炉から発生する、熱、光、熱電子の影響をさけるため
、二次電子及び反射電子の収集電極を用すざるを得ない
。この場合従来装置では試料上面に入射電子ビームが通
過する大きな孔を有する平板をと９つけ、これを複数個
に電気的に分割し収集電極とし、この電極からの信号を
演算し、凹凸像９組成像管観察する方法が用いられてい
るが、この方法では、試料から見た立体角が大きくとれ
ず、検出効率が劣り、電極の有する静電容量も大きいた
め、高速の画像走査方式には適合せず、殆んど用いられ
ていない。
顕微鏡で試料の凹凸像１組成像を観察する場合、試料及
び炉から発生する、熱、光、熱電子の影響をさけるため
、二次電子及び反射電子の収集電極を用すざるを得ない
。この場合従来装置では試料上面に入射電子ビームが通
過する大きな孔を有する平板をと９つけ、これを複数個
に電気的に分割し収集電極とし、この電極からの信号を
演算し、凹凸像９組成像管観察する方法が用いられてい
るが、この方法では、試料から見た立体角が大きくとれ
ず、検出効率が劣り、電極の有する静電容量も大きいた
め、高速の画像走査方式には適合せず、殆んど用いられ
ていない。
本発明によれば、収集電極を試料金回む最小形状とし、
この電極をさらに電気的に少なくとも二分割することに
より、試料から見た立体角が大きくとれ、かつ電極の有
する静電容量も小さい、凹凸像１組成像ゐ観察可能な、
二次電子又は反射電子の収集電極が得られる。
この電極をさらに電気的に少なくとも二分割することに
より、試料から見た立体角が大きくとれ、かつ電極の有
する静電容量も小さい、凹凸像１組成像ゐ観察可能な、
二次電子又は反射電子の収集電極が得られる。
以下、本発明の実施例を−により説明する。第１図に、
一般に用いられている走査形電子顕微鏡の基本構成を示
ｔ０電子銃１より出た電子は陽極２により加速され電子
ビーム１５となり、コンデンサレンズ３、対物レンズ５
により匝の縮小を、走査コイル４によシ偏向を受けた後
、試料台６上にのせられた試料７にあたる。試料から発
生した二次電子等は、通常シンチレータ−と光電子増倍
管を組合せた検出器９によシ検出増幅され映像信号とな
る。第２図は従来の収束電極で、試料７からの二次電子
等を試料７の上方に配置した２個の収集電極２０で収集
した後、おのおの増幅器３０で増幅しその後信号間で演
算を行ない、組成像。
一般に用いられている走査形電子顕微鏡の基本構成を示
ｔ０電子銃１より出た電子は陽極２により加速され電子
ビーム１５となり、コンデンサレンズ３、対物レンズ５
により匝の縮小を、走査コイル４によシ偏向を受けた後
、試料台６上にのせられた試料７にあたる。試料から発
生した二次電子等は、通常シンチレータ−と光電子増倍
管を組合せた検出器９によシ検出増幅され映像信号とな
る。第２図は従来の収束電極で、試料７からの二次電子
等を試料７の上方に配置した２個の収集電極２０で収集
した後、おのおの増幅器３０で増幅しその後信号間で演
算を行ない、組成像。
凹凸像を得ている。この場合、検出効率を高めるために
収集電極を大きくすればそれに伴い電極の有する静電容
量も増加するため、高速走査の要求に合致しなくなる。
収集電極を大きくすればそれに伴い電極の有する静電容
量も増加するため、高速走査の要求に合致しなくなる。
第３図及び第４図は、本発明の一実施例で、試料７の大
きさに応じた半径を持つ円筒で、その頂部に、試料７に
対する電子ビームの入射孔２２を有するもので試料を囲
み、これを絶縁体２３で第４図に示す如く左右に二分割
して収集電極としている。試料は高温に加熱されている
ものとし、熱電子と二次電子、又は反射゛４子とを区分
けするため必要に応じて制御グリッド２１を設け、これ
に僅か負の電位たとえば−ＩＶ程度を可変電源４０を用
いて加え、熱電子を制御する。収集電極からの信号は、
増幅器３０により増幅され、映像信号となる。組成像、
凹凸像を得る信号演算回路の信号処理方式に従い、第４
図に示すようくい増幅器３０をスイッチ５０を用いて切
９かえて使用する場合と、第２図のように、おのおのの
電極に対し、増幅器を付属させる場合があシ、どちらで
も良い。
きさに応じた半径を持つ円筒で、その頂部に、試料７に
対する電子ビームの入射孔２２を有するもので試料を囲
み、これを絶縁体２３で第４図に示す如く左右に二分割
して収集電極としている。試料は高温に加熱されている
ものとし、熱電子と二次電子、又は反射゛４子とを区分
けするため必要に応じて制御グリッド２１を設け、これ
に僅か負の電位たとえば−ＩＶ程度を可変電源４０を用
いて加え、熱電子を制御する。収集電極からの信号は、
増幅器３０により増幅され、映像信号となる。組成像、
凹凸像を得る信号演算回路の信号処理方式に従い、第４
図に示すようくい増幅器３０をスイッチ５０を用いて切
９かえて使用する場合と、第２図のように、おのおのの
電極に対し、増幅器を付属させる場合があシ、どちらで
も良い。
電極は必要最少限の面積として対地浮遊容量を減少させ
ることができ、かつ試料から収集電極を見た立体角が大
きくとれるため、試料傾斜時でも殆んど全ての反射電子
、二次電子を集めることができる。
ることができ、かつ試料から収集電極を見た立体角が大
きくとれるため、試料傾斜時でも殆んど全ての反射電子
、二次電子を集めることができる。
本発明によれば、収集電極の対地静電容量を増さずに、
二次電子１反射電子の検出効率を高めることができるの
で、試料の高温状態を観察する走査形電子顕微鏡におい
て、従来形の収集電極をそなえた装置よりも雑音の少な
い艮好な像を得ることができ、検出信号の演算により、
組成像そして凹凸像の観察が容易に行なえるようになる
。
二次電子１反射電子の検出効率を高めることができるの
で、試料の高温状態を観察する走査形電子顕微鏡におい
て、従来形の収集電極をそなえた装置よりも雑音の少な
い艮好な像を得ることができ、検出信号の演算により、
組成像そして凹凸像の観察が容易に行なえるようになる
。
第１図は通常の走査形電子顕微鏡の説明図、第２図は従
来形の収集電極の配置説明図、第３図及び第４図は本発
明の一実施例の説明図である。 ５・・・対物レンズ、７・・・試料、９・・・検出器、
１５・・・電子ビーム、２０・・・収集電極、２１・・
・熱電子制御用グリッド、２２・・・電子ビーム入射孔
、３０・・・増幅器。
来形の収集電極の配置説明図、第３図及び第４図は本発
明の一実施例の説明図である。 ５・・・対物レンズ、７・・・試料、９・・・検出器、
１５・・・電子ビーム、２０・・・収集電極、２１・・
・熱電子制御用グリッド、２２・・・電子ビーム入射孔
、３０・・・増幅器。
Claims (1)
- １、試料の大きさに応じた最小の寸法をもつ導電体で試
料を囲み、その頂部に電子線の入射のための間隙を有し
、同時にこの間隙を持つ導体を電気的に少なくとも二分
割してなる二次電子、又は反射電子の複数個の収集電極
を備えたことを特徴とする走査形電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59251905A JPS61131352A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 走査形電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59251905A JPS61131352A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 走査形電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61131352A true JPS61131352A (ja) | 1986-06-19 |
Family
ID=17229697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59251905A Pending JPS61131352A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 走査形電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61131352A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03272554A (ja) * | 1989-11-02 | 1991-12-04 | Mitsubishi Electric Corp | 断面観察用走査型電子顕微鏡およびそれを用いた断面観察方法 |
| EP4235732A1 (en) * | 2022-02-25 | 2023-08-30 | Jeol Ltd. | Charged particle beam apparatus |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP59251905A patent/JPS61131352A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03272554A (ja) * | 1989-11-02 | 1991-12-04 | Mitsubishi Electric Corp | 断面観察用走査型電子顕微鏡およびそれを用いた断面観察方法 |
| EP4235732A1 (en) * | 2022-02-25 | 2023-08-30 | Jeol Ltd. | Charged particle beam apparatus |
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