JPH02120650A - マッピング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、Ｘ線光電子分光（ＥＳＣＡ）法とかオージェ
電子分光法等による表面分析を行うマツピング装置に関
する。

（従来の技術） ＥＳＣＡ等のマツピング測定は、Ｘ線で試料面を走査し
、試料から放出される光電子或はオージェ電子をエネル
ギーアナライザでエネルギー分析し、特定エネルギーの
電子検出強度によって試料の組成分布を測定している。

従来、上記測定はエネルギーアナライザの検出エネルギ
ーを成るエネルギー値に固定し、検出器に入射する光電
子を計数し、その計数値に応じて色別し、ＣＲＴ等に表
示している。しかし、このような方法で測定した場合、
バックグランド値がそのまま検出出力に含まれるために
、バックグランドが場所によって大きく変化する時は、
バックグランドが測定元素による検出ピークの値と同程
度の検出出力を示すことがあって、このような場合、実
際の元素分布状層とは異なった結果が得られると云う問
題がある（発明が解決しようとする課題） 本発明は、Ｘ線光電子分光等によるマツピング分析でバ
ックグランドが場所によって異なる試料においても、高
精度でマツピング測定ができるようにすることを目的と
する。

（課題を解決するための手段） マツピング装置において、Ｘｌｌを試料に照射する手段
と、試料をＸＹ力方向移動させる手段と、Ｘ線で励起さ
れた試料から放出される光電子をエネルギーで選別する
手段と、指定エネルギーで選別された光電子を検出する
手段と、検出値を積分する手段と、試料の一画素駆動毎
に同一時間幅のピークを２つ有する同期信号を発信する
手段と、検出信号を試料の位置信号と選別エネルギーと
共に記憶する手段と、上記同期信号の一画素２パルスに
同期してエネルギー選別手段の選別エネルギー値をエネ
ルギースペクトルの測定しようとする元素に対応するピ
ーク中心値のエネルギー値Ｅ１と同ピークの裾に近接し
たバックグランド領域のエネルギー値Ｅ２との２エネル
ギー値に交互に切り換える手段と、上記同期信号のパル
スとパルスとの間に同期して上記積分手段の積分値を上
記記憶手段に記憶させると共に積分手段をリセットする
手段と、上記記憶手段に記憶されたデータを基に試料の
同一位置信号に対応するエネルギーＥ１の電子積分値か
らエネルギーＥ２の電子積分値を引算しその差を測定値
とする演算手段と、−ｈ２測定値と同測定値に対応する
位置信号とでマツピンク表示を行う表示手段とを設けた
。

（作用） Ｘ線光電子分光分析等で試料面の微小領域或は試料面全
体の平均分析を行う場合は、試料から放射される電子の
エネルギースペクトル測定を行うからバックグランド除
去ができるが、マツピング測定においては、試料面を走
査するので、各画素毎にエネルギースペクトル測定を行
っていると分析所要時間が長くなるため、測定元素によ
る光電子だけｔｉｔ数するようにしており、このためバ
ックグランド除去ができない。

本発明はバックグランドを含まない検出値を求める方法
として、エネルギースペクトルのピークの裾の付近がバ
ックグランドレベルを示すものであるから、試料面の同
一場所において、第２図に示すように、測定元素のピー
ク中央値に対応するエネルギーＥ１と、同ピークの裾に
近接したバックグランド領域のエネルギーＥ２との光電
子をエネルギーアナライザ交互に検出するようにし、エ
ネルギーＥ１における電子検出値からエネルギーＥ２に
おける電子検出値を引算して、バックグランドを除去し
た測定元素のみに対応する真の検出値を容易に短時間で
求めることができるようになった。

（実施例） 第１図に本発明の一実施例を示す、第１図において、Ｓ
は試料でＸ線ビームを照射されて光電子を放出する。Ａ
は試料ステージで試料Ｓを移動させることにより、Ｘ線
ビームによる試料面の走査を行う、１は集束レンズで試
料Ｓがら放出された光電子を集束しエネルギー分析器の
スリットｓ１に入射せしめる。２はスリットｓ１を透過
した光電子に電界を与えてエネルギー別に分離させ特定
のエネルギーの光電子だけをスリットｓ２に集束せしめ
るエネルギーアナライザである。３は電子検出器でスリ
ットＳ２を通過した光電子を検出する。４は計数器で検
出器３で検出された光電子の数をゲー１−Ｇが開いてい
る時間だけ計数する８ゲ−）−Ｇは同期信号発振器６が
らの同期信号により開閉する。５はＣＰＵで、計数器で
計数された数値を、試料ステージＡがら送られる試料値
、η信号と、エネルギーアナライザ２がら送らｔしるエ
ネルギー信号とを対応づけて共に、同期信号発振器６か
らの同期信号毎に記憶し、記憶した測定値から夫々の位
置毎に測定元素に対応する検出ピーク値を演算し、演′
￥Ｌ結果を表示装置７に画像表示する、同期信号発振器
６は試料ステージの移動と同期して、試料ステージが１
画素分移動する毎に、第３図に示すようなΔを時間幅の
ＯＮ信号を２つ有するパルス信号を発振する。

測定動作について説明する。試料ステージＡで試料Ｓの
測定開始点にＸ線が照射するように試料を移動させ、そ
の位置から試料ステージに試料面走査移動を開始させる
。それに住い同期信号発振器６から第３図に示す同期信
号をゲートＧとＣＰＵ５に送信する。ＣＰＵ５はエネル
ギーアナライザ２のアナライザ電圧を、一画素毎に同期
信号の最初のＯＮ信号でエネルギーＥ１の光電子が検出
されるように、次のＯＮ信号でエネルギーＥ２の光電子
が検出されるように制御する。ゲートＧは同期信号のＯ
Ｎ信号時間Δｔの間だけゲートを開＜、ＣＰＵ５は同期
信号のＯＦＦ信号時に計数器４の数値を記憶し、計数器
４をリセットする。記憶した数値には対応するエネルギ
ーアナライザ２のエネルギー信号と試料ステージＡから
の位置信号とが共に記憶される。ＣＰＵ５において記憶
されたデータから、同一位置のエネルギーＥ１の電子計
数値からエネルギーＥ２の電子計数値を引算し、その結
果を測定値として記憶し、位置データとその位置におけ
る上記測定値とを用いて表示装置７に試料分析結果を画
像表示する。

（発明の効果） 本発明によれば、バックグランドの影響を除くことがで
きるようになったことで、バックグランドが場所によっ
て大きく変化するような試料においても高精度でしかも
特に分析速度を低下させることもなくマツピング測定を
行うことが可能になった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は検出信号
図、第３図は同期信号図である。 Ｓ・・・試料、Ａ・・・試料ステージ、８１〜Ｓ２・・
・スリット、Ｇ・・・ゲート、１・・・集束レンズ、２
・・・エネルギーアナライザ、３・・・検出器、４・・
・計数器、５・・・ＣＰＵ、６・・・同期信号発振器、
７・・・表示装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １画素毎に検出エネルギー値をエネルギースペクトルの
   測定しようとする元素に対応するピーク中心値Ｅ１と同
   ピーク裾に近接したバックグランド領域のエネルギー値
   Ｅ２との２エネルギー値に交互に切換えられるエネルギ
   ーアナライザと、一画素毎に上記エネルギーＥ１の電子
   検出値からエネルギーＥ２の電子検出値を引いた値を測
   定値として演算する演算手段を設けたことを特徴とする
   マッピング装置。