JP2018119918A - 放射線分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
試料上の複数の測定位置に電子プローブを移動させ、設定された測定時間だけ前記測定位置に前記電子プローブを照射して分析を行う放射線分析装置であって、
試料から発生する放射線を検出し、当該放射線のエネルギーに応じた信号を出力する検出器と、
前記検出器からの信号を受け付けて、当該信号に基づく放射線エネルギーデータを順次生成する信号処理部と、
前記放射線エネルギーデータを、順次、受け付けて、前記測定時間に基づくタイミングで測定区切フラグを加えることで、前記放射線エネルギーデータと前記測定区切フラグとが時系列に並んだデータ列を生成し、当該データ列をデータ列記憶部に書き込むデータ列生成部と、
前記データ列記憶部に記憶された前記データ列を読み出して、前記測定位置ごとに解析を行うデータ解析部と、
を含む。
前記データ列生成部は、設定された前記測定時間の間隔で前記測定区切フラグを加えてもよい。
ルギーデータを取り出すことができる。したがって、このような放射線分析装置では、測定と解析を並行して行うことができ、複数の測定位置の測定と測定結果の解析を、短時間で行うことができる。
前記データ列生成部は、前記電子プローブが移動する時間として設定された移動時間および前記測定時間に基づくタイミングで前記測定区切フラグと移動区切フラグを加えて、前記放射線エネルギーデータと前記測定区切フラグと前記移動区切フラグとが時系列に並んだ前記データ列を生成してもよい。
前記データ列生成部は、
前記移動時間と前記測定時間の和の間隔で前記測定区切フラグを加える処理と、
前記測定区切フラグを加えた後、前記移動時間経過したタイミングで前記移動区切フラグを加える処理と、
を行ってもよい。
前記データ解析部は、前記データ列から前記移動区切フラグで区切られた前記放射線エネルギーデータを取り出して、解析から除外してもよい。
前記移動時間の情報の入力を受け付ける入力部を含んでいてもよい。
前記データ列生成部による前記データ列の書き込みと、前記データ解析部による前記データ列の読み出しとが並行して行われてもよい。
前記測定時間の情報の入力を受け付ける入力部を含んでいてもよい。
前記電子プローブを制御するための光学系と、
前記光学系を制御する光学系制御部と、
を含み、
前記光学系制御部は、設定された前記測定時間に基づいて前記光学系制御部を制御してもよい。
前記光学系制御部は、
複数の前記測定位置のうちの第1測定位置に前記電子プローブを移動させて前記測定時間だけ前記電子プローブを停止させる処理と、
複数の前記測定位置のうちの第2測定位置に前記電子プローブを移動させて前記測定時間だけ前記電子プローブを停止させる処理と、
を連続して行ってもよい。
前記光学系制御部は、前記電子プローブが前記試料に照射された状態で、前記電子プローブを前記第1測定位置から前記第2測定位置に移動させてもよい。
まず、本実施形態に係る電子顕微鏡100について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る電子顕微鏡100の構成を模式的に示す図である。
電子顕微鏡100では、電子プローブを試料Sに照射した際に発生する特性X線を検出して、スペクトルを得ることができる。
、例えば、複数の読み取りや書き込みを同時(またはほぼ同時)に行うことができるデュアルポートメモリにより実現できる。
グで加えられる。本実施形態では、測定区切フラグMは、設定された測定時間Tの間隔で加えられる。例えば、測定時間Tが1秒に設定された場合、測定区切フラグMは1秒間隔で加えられる。データ列生成部66における測定区切フラグMを加える処理は、測定の開始(最初の測定位置への電子プローブの照射の開始)と同じタイミングで開始される。
次に、電子顕微鏡100における粒子解析について説明する。電子顕微鏡100では、粒子解析が自動で行われる。図3は、電子顕微鏡100における粒子解析の流れの一例を示すフローチャートである。
生成して電子顕微鏡本体制御装置10に送る。電子顕微鏡本体制御装置10は当該制御信号に基づき電子顕微鏡本体1を動作させる。これにより、1視野分の電子顕微鏡像が記憶部50に記憶される。
検出器制御部64は、測定条件が設定されると、プローブ移動命令を検出器制御装置20を介して電子顕微鏡本体1(偏向器5)に送る。電子顕微鏡本体1(偏向器5)は、プローブ移動命令に基づいて電子プローブを測定位置(粒子の位置座標)に移動させる。そして、電子顕微鏡本体1は、電子プローブが測定位置に移動すると、電子プローブを設定された測定時間だけ停止させる。
座標)に電子プローブを移動させるための、プローブ移動命令を電子顕微鏡本体1(偏向器5)に送る。すなわち、検出器制御部64は、設定された測定時間間隔で、プローブ移動命令を電子顕微鏡本体1に送る。そのため、電子顕微鏡本体1(偏向器5)では、プローブ移動命令に基づいて電子プローブを次の測定位置に移動させ、電子プローブを測定時間だけ停止させる動作が繰り返し行われる。
検出器制御装置20は、EDS検出器9の出力信号を受け付けて、当該出力信号に基づきX線エネルギーデータを生成し、当該X線エネルギーデータを処理部60に出力する。データ列生成部66は、検出器制御装置20から、順次、送られるX線エネルギーデータに、測定時間に基づくタイミングで測定区切フラグを加えて、X線エネルギーデータと測定区切フラグとが時系列に並んだデータ列として、データ列記憶部52に書き込む。
データ解析部68は、データ列記憶部52に記憶されたデータ列を読み出して、スペクトル解析を行う。データ解析部68は、データ列のうちの測定区切フラグで区切られたデータ列を1つの測定位置分のデータとして、各測定位置ごとに、スペクトルを生成し、定性分析、定量分析を行う。
、上述したように、プローブ移動処理は時間で管理されているため、電子顕微鏡本体1は電子プローブの測定位置への移動を完了しても移動完了通知を返す必要がない。したがって、電子顕微鏡100では、粒子解析にかかる時間を短縮できる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
上述した実施形態では、データ列生成部66が、測定時間に基づくタイミングで測定区切フラグを加えることで、X線エネルギーデータと測定区切フラグとが時系列に並んだデータ列を生成してデータ列記憶部52に書き込む例について説明した。
上述した実施形態では、図2に示すように、各測定位置での測定時間Tが同じであったが、図6に示すように、各測定位置での測定時間Tは、異なっていてもよい。例えば、n−2番目の測定位置での測定時間がT1、n−1番目の測定位置での測定時間がT2、n番目の測定位置での測定時間がT3、n+1番目の測定位置での測定時間がT4に設定された場合、データ列生成部66は、n−3番目の測定位置の区切フラグを加えた後、測定時間T1経過後、測定時間T1+T2経過後、測定時間T1+T2+T3経過後、測定時間T1+T2+T3+T4経過後に、それぞれ測定区切フラグを加える。
上述した実施形態では、電子顕微鏡100が粒子解析を行う場合について説明したが、本発明は、複数の測定位置の測定と測定結果の解析が行われる分析手法に適用可能である。このような分析としては、例えば、電子プローブを走査して各点からのX線を検出して元素の分布を画像化する面分析(元素マッピング、定量マッピング)や、複数の測定位置を自動で測定して測定結果の解析を行う点分析などが挙げられる。
上述した実施形態では、処理部60がデータ列生成部66を含んでいたが、検出器制御装置20がデータ列生成部66を含んで構成されていてもよい。すなわち、検出器制御装置20が、信号処理部としての機能とデータ列生成部としての機能とを有していてよい。この場合、検出器制御装置20は、EDS検出器9からの信号を受け付けて、当該信号に基づくX線エネルギーデータを順次生成し、測定時間に基づくタイミングで測定区切フラグを加えることで、データ列を生成してデータ列記憶部52に書き込む処理を行う。
Claims (11)
- 試料上の複数の測定位置に電子プローブを移動させ、設定された測定時間だけ前記測定位置に前記電子プローブを照射して発生した放射線を検出して解析を行う放射線分析装置であって、
試料から発生する放射線を検出し、当該放射線のエネルギーに応じた信号を出力する検出器と、
前記検出器からの信号を受け付けて、当該信号に基づく放射線エネルギーデータを順次生成する信号処理部と、
前記放射線エネルギーデータを、順次、受け付けて、前記測定時間に基づくタイミングで測定区切フラグを加えることで、前記放射線エネルギーデータと前記測定区切フラグとが時系列に並んだデータ列を生成し、当該データ列をデータ列記憶部に書き込むデータ列生成部と、
前記データ列記憶部に記憶された前記データ列を読み出して、前記測定位置ごとに解析を行うデータ解析部と、
を含む、放射線分析装置。 - 請求項1において、
前記データ列生成部は、設定された前記測定時間の間隔で前記測定区切フラグを加える、放射線分析装置。 - 請求項1において、
前記データ列生成部は、前記電子プローブが移動する時間として設定された移動時間および前記測定時間に基づくタイミングで前記測定区切フラグと移動区切フラグを加えて、前記放射線エネルギーデータと前記測定区切フラグと前記移動区切フラグとが時系列に並んだ前記データ列を生成する、放射線分析装置。 - 請求項3において、
前記データ列生成部は、
前記移動時間と前記測定時間の和の間隔で前記測定区切フラグを加える処理と、
前記測定区切フラグを加えた後、前記移動時間経過したタイミングで前記移動区切フラグを加える処理と、
を行う、放射線分析装置。 - 請求項4において、
前記データ解析部は、前記データ列から前記移動区切フラグで区切られた前記放射線エネルギーデータを取り出して、解析から除外する、放射線分析装置。 - 請求項3ないし5のいずれか1項において、
前記移動時間の情報の入力を受け付ける入力部を含む、放射線分析装置。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記データ列生成部による前記データ列の書き込みと、前記データ解析部による前記データ列の読み出しとが並行して行われる、放射線分析装置。 - 請求項1ないし7のいずれか1項において、
前記測定時間の情報の入力を受け付ける入力部を含む、放射線分析装置。 - 請求項1ないし8のいずれか1項において、
前記電子プローブを制御するための光学系と、
前記光学系を制御する光学系制御部と、
を含み、
前記光学系制御部は、設定された前記測定時間に基づいて前記光学系制御部を制御する、放射線分析装置。 - 請求項9において、
前記光学系制御部は、
複数の前記測定位置のうちの第1測定位置に前記電子プローブを移動させて前記測定時間だけ前記電子プローブを停止させる処理と、
複数の前記測定位置のうちの第2測定位置に前記電子プローブを移動させて前記測定時間だけ前記電子プローブを停止させる処理と、
を連続して行う、放射線分析装置。 - 請求項10において、
前記光学系制御部は、前記電子プローブが前記試料に照射された状態で、前記電子プローブを前記第1測定位置から前記第2測定位置に移動させる、放射線分析装置。
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JP2017013387A JP6783157B2 (ja) | 2017-01-27 | 2017-01-27 | 放射線分析装置 |
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