JPH0334253A - イオン検出器 - Google Patents

イオン検出器

Info

Publication number
JPH0334253A
JPH0334253A JP2125252A JP12525290A JPH0334253A JP H0334253 A JPH0334253 A JP H0334253A JP 2125252 A JP2125252 A JP 2125252A JP 12525290 A JP12525290 A JP 12525290A JP H0334253 A JPH0334253 A JP H0334253A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mcp
dynode
ion detector
potential
collector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2125252A
Other languages
English (en)
Inventor
John W Gray
ジョン・ウォルター・グレイ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Corning Netoptix Inc
Original Assignee
Corning Netoptix Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Corning Netoptix Inc filed Critical Corning Netoptix Inc
Publication of JPH0334253A publication Critical patent/JPH0334253A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02—Details
    • H01J49/025—Detectors specially adapted to particle spectrometers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
    • H01J43/04—Electron multipliers
    • H01J43/06—Electrode arrangements
    • H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
    • H01J43/24—Dynodes having potential gradient along their surfaces
    • H01J43/246—Microchannel plates [MCP]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/24435—Microchannel plates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/2444—Electron Multiplier
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/2445—Photon detectors for X-rays, light, e.g. photomultipliers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/2449—Detector devices with moving charges in electric or magnetic fields
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/245—Detection characterised by the variable being measured
    • H01J2237/24507—Intensity, dose or other characteristics of particle beams or electromagnetic radiation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は質量分析計に有用なイオン検出器に関する。
陰イオンを陽イオンにまたは陽イオンを電子に変換して
からその出力を増倍し検知する型式のイオン検出器は１
９８３年１２月２７日発行の米国特許第４．４４３，３
２４号「陰イオン検出装置」に示されている。
本発明におけるイオン検出器は変換用ダイノード手段が
変換されたイオンを受容して増倍させるためのマイクロ
チャンネルプレート（“ＭＣＰ″）手段の近傍に配置さ
れる。
好適な実施例では、ＭＣＦ’手段は環状をなしシェブロ
ン形に２個のＭＣＰを配列すると共に、変換用ダイノー
ド手段がＭＣＰ手段の穴を貫通して延びる弾丸形の要素
からなり、陽極がＭＣＰ手段からの出力を捕集する。
添付図に従って以下に本発明の詳細な説明する。
第１図において、イオン検出器ＩＯは１２で一般的に示
されたＭＣＰ手段を備え、これはシェブロン形に配向し
たＭＣＰ１３．１５からなり、これらＭＣＰ１３．１５
の心合わせされた穴（ガラスコア部１７の穿孔）を貫通
するかたちで１４で示された変換用ダイノード手段が設
置されている。上記ダイノード手段１４は、ステンレス
ｆｆ４（３００シリーズ）製弾丸形先端部１６および、
セラミック製絶縁基体２２上に取付けられた絶縁性部分
（酸化アルミニウム系セラミック）１８を備えている。
導体２０は先端部１６を電位Ｖｌで制御回路部２１に接
続し、制御回路部２１はその入力側に電位Ｖ２でＭＣＰ
１３に電圧を与え、ＭＣＰ１３とＭＣＰ１５との間に電
位Ｖ３を、ＭＣＰ１５の出力側に電（ｆＺ　Ｖ　４を、
さらに陽極であるコレクタ２４に電位Ｖ５をそれぞれ設
定する。
本発明によるイオン検出器を使用する場合、陰イオンの
検出に際しては第１図に示すように、Ｖｌとして５キロ
ボルト（ｋＶ）を設定して先端部１６から陽イオンを放
出させ、Ｖ２として一２ｋＶ、Ｖ３として一１ｋＶ、Ｖ
４を接地電位にし、さらにＶ５として＋２００ボルトを
設定することが好適である。
ＭＣＰ手段の変換用ダイノード手段の中心位置は対称的
な出力を発生するとともに、その臭突した先端部に電界
が集中するようにされている。
陽イオンの検出に際しては、Ｖｌに一７ｋＶを設定して
２次電子を発生させ、Ｖ２に−２，２ｋＶ、Ｖ３１ｍ−
１，２ｋＶ　、　Ｖ、Ｎニー２００ボルト、さらにＶ５
に接地電位を与えて上記２次電子を検出する。
本発明の異型例としては、ＭＣＰ手段５４の出力検出器
５０を陽極でなく、ホトダイオードアレイ５６に光学繊
維５８を結合した燐スクリーン５５で構成する。
変換用ダイノード１４は絶縁部を数部分に分割すること
により、環状だけでなく、円弧状などにして電荷が異な
る極性のイオンを同時に検出するようにＭＣＰ手段およ
びコレクタ手段を適当に調節することができる。この場
合も変換用ダイノード手段は全体として導電性であって
よい。
【図面の簡単な説明】
添付図第１図は本発明によるイオン検出器の実施例を示
す基本構成図、第２図は異型例を示すものである。 １０・・・イオン検出器　　　１２・・・ＭＣＰ手段（
１３，１５）１４・・・変換用ダイノード手段 １６・・・先端部　　　　　　２４・・・コレクタ手段
（外４名） 図面の浄書（内容に変更なし） Ｔ宇 ６ 手 続 補 正 杏 平成 ２年 ７月２ １、事件の表示 平成２年特許願第１２５２５２号 ２、発明の名称 イオン検出器 ３゜ 補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住所 名　称　　ガリレオ・エレクトローオプチツクス・コー
ポレーシ唸ン ５、補止の対象

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、変換用ダイノード手段、ＭＣＰ手段、および捕集用
    コレクタ手段を具備し、上記変換用ダイノード手段が上
    記ＭＣＰ手段の入射口の近傍に配置され且つ上記コレク
    タ手段が上記ＭＣＰ手段の出射口の近傍に配置されてお
    り、それによってイオンが上記変換用ダイノード手段で
    変換されその出力が上記ＭＣＰ手段で増幅されてから上
    記コレクタ手段で捕集されるように構成したことを特徴
    とするイオン検出器。 ２、上記ＭＣＰ手段は環状をなし上記変換用ダイノード
    手段が該ＭＣＰ手段を貫通して延びていることを特徴と
    する請求項１記載のイオン検出器。 ３、上記ＭＣＰ手段はシェブロン型の２個のＭＣＰより
    なることを特徴とする請求項２記載のイオン検出器。 ４、上記変換用ダイノード手段は上記コレクタ手段から
    軸線方向に離隔するに従って横断面が減少する先端部を
    有してなることを特徴とする請求項２記載のイオン検出
    器。 ５、上記先端部が弾丸形をなしていることを特徴とする
    請求項４記載のイオン検出器。 ６、上記先端部が金属質であり且つ上記ダイノードの一
    部分が絶縁性であることを特徴とする請求項４記載のイ
    オン検出器。
JP2125252A 1989-05-15 1990-05-15 イオン検出器 Pending JPH0334253A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/351,824 US4988868A (en) 1989-05-15 1989-05-15 Ion detector
US351824 1989-05-15

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0334253A true JPH0334253A (ja) 1991-02-14

Family

ID=23382567

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2125252A Pending JPH0334253A (ja) 1989-05-15 1990-05-15 イオン検出器

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4988868A (ja)
JP (1) JPH0334253A (ja)
DE (1) DE4015622A1 (ja)
GB (1) GB2233147A (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4019005C2 (de) * 1990-06-13 2000-03-09 Finnigan Mat Gmbh Vorrichtungen zur Analyse von Ionen hoher Masse
DE4316805C2 (de) * 1993-05-19 1997-03-06 Bruker Franzen Analytik Gmbh Nachweis schwerer Ionen in einem Flugzeitmassenspektrometer
DE19543652C1 (de) * 1995-11-23 1997-01-09 Focus Gmbh Reflexionselektronenmikroskop
DE19644713A1 (de) * 1996-10-28 1998-05-07 Bruker Franzen Analytik Gmbh Hochauflösender Hochmassendetektor für Flugzeitmassenspektrometer
US5770858A (en) * 1997-02-28 1998-06-23 Galileo Corporation Microchannel plate-based detector for time-of-flight mass spectrometer
GB9719417D0 (en) * 1997-09-13 1997-11-12 Univ York Electron microscope
US5990483A (en) * 1997-10-06 1999-11-23 El-Mul Technologies Ltd. Particle detection and particle detector devices
WO2000002230A1 (en) * 1998-07-02 2000-01-13 Institut De Microtechnique Electron detector
US10672597B2 (en) 2018-07-11 2020-06-02 Thermo Finnigan Llc Calibrating electron multiplier gain using the photoelectric effect

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3176178A (en) * 1962-09-19 1965-03-30 Bendix Corp Funneled electron multiplier
US3898456A (en) * 1974-07-25 1975-08-05 Us Energy Electron multiplier-ion detector system
US3955084A (en) * 1974-09-09 1976-05-04 California Institute Of Technology Electro-optical detector for use in a wide mass range mass spectrometer
DE2461224C3 (de) * 1974-12-23 1978-10-12 Kernforschungsanlage Juelich Gmbh, 5170 Juelich Ortsempfindlicher Detektor für den Nachweis von Ionen in der Fokalebene eines Magneten eines Massenspektrometers
US4423324A (en) * 1977-04-22 1983-12-27 Finnigan Corporation Apparatus for detecting negative ions
FR2399733A1 (fr) * 1977-08-05 1979-03-02 Labo Electronique Physique Dispositif de detection et localisation d'evenements photoniques ou particulaires
AU529290B2 (en) * 1977-08-24 1983-06-02 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation Cylindrical electron multiplier
FR2447559A1 (fr) * 1979-01-23 1980-08-22 Commissariat Energie Atomique Detecteur panoramique d'ions
US4240007A (en) * 1979-06-29 1980-12-16 International Business Machines Corporation Microchannel ion gun
GB2057752A (en) * 1979-08-01 1981-04-01 Kernforschungsanlage Juelich Ion detector for mass spectrometers
GB2090048B (en) * 1980-12-19 1985-02-27 Philips Electronic Associated A channel plate electron multiplier structure having a large input multiplying area
US4814599A (en) * 1984-09-28 1989-03-21 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Microchannel plate streak camera
EP0193311A3 (en) * 1985-02-22 1987-11-04 Finnigan Corporation Ion detector
US4731538A (en) * 1986-06-20 1988-03-15 Galileo Electro-Optics Corp. Microchannel plate ion detector
US4791300A (en) * 1986-08-25 1988-12-13 Qtr Corporation Miniature gamma camera
US4785172A (en) * 1986-12-29 1988-11-15 Hughes Aircraft Company Secondary ion mass spectrometry system and method for focused ion beam with parallel ion detection
US4835383A (en) * 1987-08-06 1989-05-30 Phrasor Scientific, Inc. High mass ion detection system and method

Also Published As

Publication number Publication date
GB2233147A (en) 1991-01-02
GB9010829D0 (en) 1990-07-04
DE4015622A1 (de) 1990-11-22
US4988868A (en) 1991-01-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Koppenaal et al. MS detectors
JPH0334253A (ja) イオン検出器
GB2198579A (en) Ion drift detector
GB1277466A (en) Gridded retarding field electron diffraction spectrometers
EP0278034A1 (en) Detector of charged particles
GB1387173A (en) Energy analyzer of the coaxial cylindrical type
WO2001071381A3 (de) Strahlungswandler mit einem szintillator, einer photokathode und einem elektronenvervielfacher.
JPS6371680A (ja) イオン検出器
JP2002501285A (ja) 荷電粒子エネルギ・アナライザ
JPH0341402Y2 (ja)
JPH0323654Y2 (ja)
WO1993006470A1 (en) Electron detector device for spectroscopic analyses of surfaces under x-ray excitation
JPH0342622Y2 (ja)
JPS57115752A (en) Ion detector for mass spectrograph
JPH067557Y2 (ja) ２次電子検出器
JPS6419664A (en) Ion beam device
JPS5838446A (ja) イオン検出器
SU830597A1 (ru) Способ детектировани сигналаВ PACTPOBOM элЕКТРОННОМ МиКРОСКОпЕ
JPS56128558A (en) Double focusing mass spectrograph
JPS61104960U (ja)
JPS5910690Y2 (ja) 質量分析装置
US20040056206A1 (en) Ionization chamber
JPS5580255A (en) Charged particle beam processing device
EP0894333A1 (en) Device and method for detection of particles
JPS6232420B2 (ja)