JPH0342622Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、光電子あるいはオージエ電子等を分
析するためのエネルギアナライザに関する。

［従来の技術］ 試料から発生した光電子或いはオージエ電子等
をエネルギアナライザに導いてエネルギスペクト
ルを得、試料の分析が行なわれている。第３図に
従来のエネルギアナライザの概略構成を示す。図
において、１は図示外の試料からＸ線等の照射に
より発生する例えば光電子２をエネルギ分析する
ための180°半球面型電極（以下半球面型電極と略
する）であり、該半球面型電極１は同心的に配置
された二つの半球電極１ａ，１ｂからなり、これ
らの半球電極間には分析用電源３から数Ｖ〜数十
Ｖの電圧が印加されている。該分析用電源３から
の電圧は、該分析用電源をコントロールする掃引
制御電源４により掃引される。５は半球面型電極
１の出射口に配置された出射スリツトで、光電子
２は図示外の入射スリツトを通過して半球電極１
ａ，１ｂ間に入射しエネルギに応じて出射スリツ
ト５上の種々の個所に集束される。そして、エネ
ルギ掃引により順次異つたエネルギの電子が出射
スリツト５を通過してチヤンネルトロン型電子線
検出器６によつて検出される。前記出射スリツト
５と検出器６の間には、出射スリツトを通過した
電子をできる限り多く（効率良く）検出するため
筒状の集束電極７が配置されており、該集束電極
７にも掃引制御電源４より掃引電圧が印加されて
いる。８は前記検出器６のダイノード面に沿つて
加速電界を生じせしめるための高圧電源である。

［考案が解決しようとする問題点］ しかし乍らこの様に構成された従来装置では、
該電子線検出器入射面は接地されているため、掃
引制御電源４で低エネルギを掃引した場合に、検
出器６と該集束電極７間に印加される電圧が小さ
なものとなり、集束電極７の集束レンズ作用が不
充分となる。そのため、出射スリツト５を通過し
た電子のうち検出器６に到達する割合が小さくな
る。又、チヤンネルトロン型電子線検出器の増倍
効率は、該入射電子のエネルギによつて異なり、
第２図の斜線部分で示すような数100eVの範囲で
最も効率が良いことが知られており（NUCLER
INSTRUMENT AND METHODS VOL97−
1971 P405〜408）、入射電子のエネルギが100eV
にも満たない低いエネルギ掃引時においては、検
出器の増倍効率も不充分であつた。これらの２つ
の理由により、従来装置においては、低いエネル
ギ領域の検出において感度が不充分であつた。本
考案は、以上の欠点を解消して、低いエネルギ領
域においても充分な感度で電子を検出することの
できるエネルギアナライザを提供することを目的
としている。

［問題点を解決するための手段］ 本問題点を解決するための本考案の構成は、対
向して配置された一対の電極と、該電極間にエネ
ルギ分析用電界を生ぜしめるための電源と、該エ
ネルギ分析用電界の出口に配置される出射スリツ
トと、エネルギー分析用電界を通過し該スリツト
を出射した電子を検出するための検出器と、該ス
リツトを通過した電子を該検出器に集束させるた
めの集束電極と、該集束電極及び前記電極にエネ
ルギ掃引電圧を印加するための掃引電源とを備え
た装置において、前記集束電極と検出器の間に一
定の電圧を与えるための電源を設けたことを特徴
としている。

［実施例］ 以下図面に基づき本考案を詳述する。

第１図は本考案の一実施例を示したエネルギア
ナライザの概略構成図である。尚、第３図に示す
従来装置と同一構成要素には同一番号を付してそ
の説明を省略する。第１図の実施例装置は第３図
に示す従来装置と異なり、集束電極７と検出器６
の入射面との間に常に一定の電圧Ｅを印加する高
圧電源９が設けられている。この電圧Ｅとして
は、集束電極７の集束レンズ作用を最も強く働ら
かせるために100乃至400V程度が選ばれている。

このように構成された装置において、掃引制御
電源４によりエネルギ掃引すると、該集束電極７
に印加される掃引電圧は例えば０から−1500Vに
わたつて変化するが、電源９により集束電極７と
電子線検出器６間の電圧は、常にＥに保たれるた
め、該電極７の集束レンズ作用は低エネルギ領域
の掃引においても充分となる。又、該出射スリツ
ト５を通過し検出器６に入射する電子のエネルギ
は少くともEeVだけかさ上げされるため低いエネ
ルギ領域の掃引においても充分な効率で信号を増
倍することができる。

［効果］ 以上詳述した様に本考案によれば、該集束電極
に印加される掃引電圧に関係無く、集束電極と該
検出器間の電圧は常に一定であるため、低エネル
ギ領域の掃引においても集束レンズ作用が充分働
くと共に検出器に入射する電子の入射エネルギも
余り小さくならないため充分な感度で電子を検出
することができ、高精度のスペクトルを記録する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図本考案の一実施例を示す構成図、第２図
は検出器の入射エネルギと検出効率の関係を表す
グラフ、第３図は従来装置の構成図である。 １：エネルギアナライザ、２：光電子、３：分
析用電源、４：掃引制御電源、５：出射スリツ
ト、６：電子線検出器、７：集束電極、８：検出
用加速電源、９：高圧電源。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 対向して配置された一対の電極と、該電極間に
   エネルギ分析用電界を生ぜしめるための電源と、
   該エネルギ分析用電界の出口に配置される出射ス
   リツトと、エネルギー分析用電界を通過し該スリ
   ツトを出射した電子を検出するための検出器と、
   該スリツトを通過した電子を該検出器に集束させ
   るためにスリツトと検出器との間に配置される集
   束電極と、該集束電極及び前記一対の電極にエネ
   ルギ掃引電圧を与えるための掃引電源とを備えた
   装置において、前記集束電極と検出器との間に一
   定の電圧を印加するための電源を設けたことを特
   徴とするエネルギアナライザ。