JPS5811011Y2 - Ｘ線検出装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はＸ線マイクロアナライザー等に使用されるＸ線
検出装置に関する。

Ｘ線マイクロアナライザーにおいて、試料に電子線を照
射することにより試料から発生するＸ線の波長を分光器
により分光した後Ｘ線検出器に導きその強度を測定する
ための装置が設けられている。

この場合、電子線の試料照射により試料から発生した電
子線が直接あるいは数回の散乱の後Ｘ線検出器へ入射し
て検出された雑音信号となり、ＳＮ比を劣化させる原因
となる。

この様な雑音の原因を除くための手段として一般に用い
られているのは検出すべきＸ線の経路に電場又は磁場を
与えることによりＸ線経路中に含まれる電子線を偏向さ
せて取り除こうとするものである。

特に二枚の平行平板又は適当な相対位置に対向させた二
枚の平板を静電電極として該電極間に電圧を与える型の
ものは構造が簡単であり広く用いられているが、偏向さ
れた電子線が前記平板電極に衝突し、このとき再びＸ線
検出器の方向へ反射される場合も生じ完全な電子線の除
去は困難であった。

本考案はＸ線検出器へ入射する電子線をより完全に除く
ことを目的とするもので、静電偏向板表面に複数の突起
物又は孔を設けたことを特徴とするものである。

第１図は本考案の一実施例装置を示す略図であり、Ｘ線
検出器１として比例計数管が用いられ、該計数管のＸ線
検出窓２の前方には二枚の静電偏向板３，４が設けられ
ており、一方の偏向板３は接地電位に保たれ、他方の偏
向板４には直流電圧電源５により正電位に保たれている
。

従ってＸ線発生源（図示せず）からＸ線検出器に向かう
Ｘ線６中に電子線が含まれていると偏向板３，４を通過
する際に電子線７のみが偏向板４の方向に偏向され、偏
向板と衝突する。

該衝突によってそのまま偏向板４に吸収される電子線の
他に反射される電子線があり、又衝突により新たに発生
する二次電子もあるがこれらの大部分は偏向板の表面に
設けられた突起物８ａ、８ｂ、８Ｃ・・・・・・８ｆに
再び衝突し、Ｘ線検出方向への散乱が防止される。

その結果Ｘ線検出器の窓に入射する散乱電子線の量が著
るしく減少する。

尚、第１図の実施例では庇状の突起物７ａ、７ｂ・・・
・・・７ｆを二枚の偏向板のうちのより高い電位の偏向
板のみに設けているが、両方の偏向板に設けてもより高
い効果が得られるのは云うまでもない。

第２図は本考案の他の実施例装置を示す略図であり、第
１図と同−構成要素には同一の符号が付１〜てある。

該実施例装置では二枚の偏向板９，１０に多数の孔９
ａ 、９ ｂ・・・・・・１０ ａ 、１０ ｂ・・・
・・・が設けられており一度これら孔に入射した電子線
の殆んどが電極板に吸収される構成となっており、その
効果は第１図の実施例と略同じになる。

以上に説明した如く、本考案装置においては、検出器に
入射する散乱電子線を減少させてＸ線検出測定における
ＳＮ比を向上させることができるため、Ｘ線マイクロア
ナライザー等に用いて大きな効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す略図、第２図は本考案
の更に他の実施例を示す略図である。 １・・・・・・Ｘ線検出器、２・・・・・・Ｘ線検出窓
、３，４，９゜１０・・・・・・静電偏向板、５・・・
・・・直流高圧電源、６・・・・・・Ｘ線、７・・・・
・・電子線、８ａ、８ｂ、８Ｃ・・・・・・８ｆ・・・
・・・突起物。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. Ｘ線検出器へ入射するＸ線経路を挾む位置に設けられた
   二枚の対向する静電偏向板に電位差を与えて電場を形成
   することにより前記Ｘ線と共に前記Ｘ線検出器の方向に
   向かう電子線を偏向するようになした装置において、前
   記静電偏向板の少くとも一方の表面に複数の突起物又は
   孔を設けたことを特徴とするＸ線検出装置。