JPH07104301B2 - Ｘ線光電子分析装置 - Google Patents
Ｘ線光電子分析装置Info
- Publication number
- JPH07104301B2 JPH07104301B2 JP2017466A JP1746690A JPH07104301B2 JP H07104301 B2 JPH07104301 B2 JP H07104301B2 JP 2017466 A JP2017466 A JP 2017466A JP 1746690 A JP1746690 A JP 1746690A JP H07104301 B2 JPH07104301 B2 JP H07104301B2
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- JP
- Japan
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- sample
- ray
- energy
- peak
- ray photoelectron
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はＸ線光電子分光測定装置に関する。
（従来の技術） Ｘ線光電子分光測定では試料を試料台に導電性ペースト
等で接着固定してＸ線照射を行っていた。Ｘ線は試料面
上の一個所に集中させることができないので、試料が小
さいときは、照射Ｘ線の一部は試料台をも照射し、試料
台からもＸ線光電子が放出される。従来は上述したよう
に試料と試料台とを導通させて同電位に保つようにして
いたので、試料から放射させるＸ線光電子と試料台から
放射されるＸ線光電子のエネルギーが近接しているとき
は、電子のエネルギースペクトル上で、試料から放射さ
れるＸ線光電子ピークＳと試料台から放射されるＸ線光
電子のピークＴが第３図のように重なり、両者を識別し
て検出することが困難であり、試料中の元素の定量が困
難であった。
等で接着固定してＸ線照射を行っていた。Ｘ線は試料面
上の一個所に集中させることができないので、試料が小
さいときは、照射Ｘ線の一部は試料台をも照射し、試料
台からもＸ線光電子が放出される。従来は上述したよう
に試料と試料台とを導通させて同電位に保つようにして
いたので、試料から放射させるＸ線光電子と試料台から
放射されるＸ線光電子のエネルギーが近接しているとき
は、電子のエネルギースペクトル上で、試料から放射さ
れるＸ線光電子ピークＳと試料台から放射されるＸ線光
電子のピークＴが第３図のように重なり、両者を識別し
て検出することが困難であり、試料中の元素の定量が困
難であった。
（発明が解決しようとする課題） Ｘ線光電子分光測定で試料台がＸ線照射を受けることに
より試料台から放射されるＸ線光電子の測定上の妨害作
用を解消しようとするものである。
より試料台から放射されるＸ線光電子の測定上の妨害作
用を解消しようとするものである。
（課題を解決するための手段） 試料と試料台との間を絶縁し、試料台に任意適当な可変
電圧を印加するようにした。
電圧を印加するようにした。
（作用） 試料と試料台との間が絶縁されていると、Ｘ線照射によ
り試料から電子が放出されても、試料台の方からの電荷
の補給が殆んどないかあってもきわめてわづかの電荷補
給しかないから、試料は試料台とは異る電位になる。そ
こで試料および試料台の夫々からＸ線光電子が放出され
るときの各Ｘ線光電子のエネルギーが仮に等しいとして
も、電子エネルギー分析器に入射する迄の各Ｘ線光電子
の加速エネルギーの間には試料と試料台との間の電位差
だけの差が生じ、エネルギースペクトル上で両電子のピ
ークは明確に分離されて現われる。試料台には可変電圧
が印加されているので、その電圧を調節することによ
り、試料がエネルギー分析器に対して最適の電位となる
ように試料電位を調節することが可能である。
り試料から電子が放出されても、試料台の方からの電荷
の補給が殆んどないかあってもきわめてわづかの電荷補
給しかないから、試料は試料台とは異る電位になる。そ
こで試料および試料台の夫々からＸ線光電子が放出され
るときの各Ｘ線光電子のエネルギーが仮に等しいとして
も、電子エネルギー分析器に入射する迄の各Ｘ線光電子
の加速エネルギーの間には試料と試料台との間の電位差
だけの差が生じ、エネルギースペクトル上で両電子のピ
ークは明確に分離されて現われる。試料台には可変電圧
が印加されているので、その電圧を調節することによ
り、試料がエネルギー分析器に対して最適の電位となる
ように試料電位を調節することが可能である。
（実施例） 第１図に本発明の一実施例を示す。１は試料台で可変電
圧源２を介して接地されている。Ｓは試料で、試料より
も小さな寸法の両面接着テープ３で試料台１に固定され
ている。４はＸ線源で試料にＸ線を照射する。５はエネ
ルギー分析器であり、その中心電位は接地電位に設定し
てあり、６はエネルギー分析器５に印加する電圧の電圧
源で、その出力電圧を換えることによりエネルギー走査
が行われる。７は電子検出器で、８はエネルギースペク
トル表示装置である。
圧源２を介して接地されている。Ｓは試料で、試料より
も小さな寸法の両面接着テープ３で試料台１に固定され
ている。４はＸ線源で試料にＸ線を照射する。５はエネ
ルギー分析器であり、その中心電位は接地電位に設定し
てあり、６はエネルギー分析器５に印加する電圧の電圧
源で、その出力電圧を換えることによりエネルギー走査
が行われる。７は電子検出器で、８はエネルギースペク
トル表示装置である。
試料にＸ線を照射すると試料からＸ線光電子が放出され
る。試料Ｓと試料台１との間は両面接着テープ３で絶縁
されており、ごくわづかなリーク電流が流れるだけであ
るから、試料Ｓは試料台１より正電位側にＶ′だけ高電
位に充電された状態でＸ線光電子放射電流とリーク電流
とがバランスする。そこで可変電圧源２を調節して試料
台１を−Ｖ′ボルトに設定すれば、試料Ｓは接地電位と
なる。しかし実際上、試料Ｓと試料台１との間の電位差
は不明であるから、エネルギー分析器５でエネルギー走
査を繰返しながら、電圧源２を調節して、分析上最も良
さそうな電圧を探して、その電圧に設定する。第２図は
本発明によって得られるエネルギースペクトルの一例を
示す。Ｔは試料台１から放射されるＸ線光電子のピー
ク、Ｓが試料から放射される分析対象のＸ線光電子のピ
ーク、Ｋは試料に含まれる既知元素から放射されるＸ線
光電子のピークである。点線ピークＴ′は試料Ｓと試料
台１とを導通させた従来の分析法による場合の試料台１
からのＸ線光電子のピークで試料について分析しようと
するピークＳと裾の方が重なっていて、ピークＴ′とＳ
との合成ピークは鎖線Ｑのようになり、試料台によるピ
ークと試料のピークとを分別検出することができない。
本発明の場合、Ｔ′とＴとの間には試料台１と試料Ｓと
の間の電位差Ｖ′に相当するだけのエネルギー差があ
り、ピークＴとＳとは充分に分離されている。しかしこ
れだけでは試料Ｓとエエルギー分析器間の電位差が不明
であり、各ピーク間の相対的エネルギー差は分ってもエ
ネルギーの絶対値は不明である。こゝで試料中の既知元
素のピークＫのエネルギーが既知であるから、それを基
準にして試料中の未知元素のピークＳのエネルギーが判
明し、元素同定が可能となる。
る。試料Ｓと試料台１との間は両面接着テープ３で絶縁
されており、ごくわづかなリーク電流が流れるだけであ
るから、試料Ｓは試料台１より正電位側にＶ′だけ高電
位に充電された状態でＸ線光電子放射電流とリーク電流
とがバランスする。そこで可変電圧源２を調節して試料
台１を−Ｖ′ボルトに設定すれば、試料Ｓは接地電位と
なる。しかし実際上、試料Ｓと試料台１との間の電位差
は不明であるから、エネルギー分析器５でエネルギー走
査を繰返しながら、電圧源２を調節して、分析上最も良
さそうな電圧を探して、その電圧に設定する。第２図は
本発明によって得られるエネルギースペクトルの一例を
示す。Ｔは試料台１から放射されるＸ線光電子のピー
ク、Ｓが試料から放射される分析対象のＸ線光電子のピ
ーク、Ｋは試料に含まれる既知元素から放射されるＸ線
光電子のピークである。点線ピークＴ′は試料Ｓと試料
台１とを導通させた従来の分析法による場合の試料台１
からのＸ線光電子のピークで試料について分析しようと
するピークＳと裾の方が重なっていて、ピークＴ′とＳ
との合成ピークは鎖線Ｑのようになり、試料台によるピ
ークと試料のピークとを分別検出することができない。
本発明の場合、Ｔ′とＴとの間には試料台１と試料Ｓと
の間の電位差Ｖ′に相当するだけのエネルギー差があ
り、ピークＴとＳとは充分に分離されている。しかしこ
れだけでは試料Ｓとエエルギー分析器間の電位差が不明
であり、各ピーク間の相対的エネルギー差は分ってもエ
ネルギーの絶対値は不明である。こゝで試料中の既知元
素のピークＫのエネルギーが既知であるから、それを基
準にして試料中の未知元素のピークＳのエネルギーが判
明し、元素同定が可能となる。
本発明の場合、試料はＸ線照射により帯電することにな
るが、試料に電子線を照射する電子線源を設け、試料の
帯電を中和する方法を併用してもよい。
るが、試料に電子線を照射する電子線源を設け、試料の
帯電を中和する方法を併用してもよい。
（発明の効果） 本発明によれば寸法の小さな試料で、試料台が試料から
はみ出してＸ線照射を受けるような場合であっても、エ
ネルギースペクトル上で試料台からのＸ線光電子のピー
クを試料成分のピークより分離することが可能となるた
め、照射Ｘ線を試料だけを照射するように小さな試料よ
りも更に細く絞るような必要がなく、試料全体をＸ線照
射して、試料全体から放射されるＸ線光電子をエネルギ
ー分析器に導入できるので信号強度を上げることがで
き、分析感度が向上できる。
はみ出してＸ線照射を受けるような場合であっても、エ
ネルギースペクトル上で試料台からのＸ線光電子のピー
クを試料成分のピークより分離することが可能となるた
め、照射Ｘ線を試料だけを照射するように小さな試料よ
りも更に細く絞るような必要がなく、試料全体をＸ線照
射して、試料全体から放射されるＸ線光電子をエネルギ
ー分析器に導入できるので信号強度を上げることがで
き、分析感度が向上できる。
第１図は本発明の一実施例装置の構成図、第２図は同実
施例によるＸ線光電子のエネルギースペクトル図、第３
図は従来例の問題点を説明するグラフである。 １……試料台、２……電圧源、３……両面接着テープ、
４……Ｘ線源、５……電子エネルギー分析器、６……電
子検出器、７……表示装置。
施例によるＸ線光電子のエネルギースペクトル図、第３
図は従来例の問題点を説明するグラフである。 １……試料台、２……電圧源、３……両面接着テープ、
４……Ｘ線源、５……電子エネルギー分析器、６……電
子検出器、７……表示装置。
Claims (1)
- 【請求項１】試料台を電圧源を介して接地し、試料を絶
縁層を介して試料台上に設置するようにしたことを特徴
とするＸ線光電子分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017466A JPH07104301B2 (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | Ｘ線光電子分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017466A JPH07104301B2 (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | Ｘ線光電子分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03221853A JPH03221853A (ja) | 1991-09-30 |
| JPH07104301B2 true JPH07104301B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=11944796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017466A Expired - Lifetime JPH07104301B2 (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | Ｘ線光電子分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104301B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3684244B2 (ja) * | 1993-12-08 | 2005-08-17 | 日機装株式会社 | 参照電極 |
| US8254737B2 (en) | 2004-08-23 | 2012-08-28 | Molex Incorporated | System and tapered waveguide for improving light coupling efficiency between optical fibers and integrated planar waveguides and method of manufacturing same |
| JP5430908B2 (ja) * | 2008-11-07 | 2014-03-05 | 日本電子株式会社 | 分光分析装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60113137A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-19 | Shimadzu Corp | Ｘ線光電子分光分析方法ならびにその装置 |
-
1990
- 1990-01-26 JP JP2017466A patent/JPH07104301B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03221853A (ja) | 1991-09-30 |
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