JPS5811569B2 - デンシブンコウソウチ - Google Patents
デンシブンコウソウチInfo
- Publication number
- JPS5811569B2 JPS5811569B2 JP49009884A JP988474A JPS5811569B2 JP S5811569 B2 JPS5811569 B2 JP S5811569B2 JP 49009884 A JP49009884 A JP 49009884A JP 988474 A JP988474 A JP 988474A JP S5811569 B2 JPS5811569 B2 JP S5811569B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- analyzer
- energy
- electron
- slit
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料面上の微小領域を分析可能な電子分光装置
に関するものである。
に関するものである。
近時、試料表面の状態分析を行う唯一の手段としてエス
カ（ＥＳＣＡ）が注目され、急速な開発が進められてい
る。
カ（ＥＳＣＡ）が注目され、急速な開発が進められてい
る。
しかし乍ら、斯かる装置では、一般に試料面上にＸ線を
照射しなければならないので、試料面の微小領域につい
ての分析は第１にＸ線のレンズ系が存在しないこと、第
２にスリット系で微小Ｘ線プローブを作った場合、Ｘ線
源と試料との距離が遠くなり、充分な強度が得られない
上に走査が困難等の理由から現在全く行われていない。
照射しなければならないので、試料面の微小領域につい
ての分析は第１にＸ線のレンズ系が存在しないこと、第
２にスリット系で微小Ｘ線プローブを作った場合、Ｘ線
源と試料との距離が遠くなり、充分な強度が得られない
上に走査が困難等の理由から現在全く行われていない。
本発明は以上の点に着目し、Ｘ線により広い試料面を一
様に照射した状態で、該試料の特定微小領域から放出さ
れる光電子を分析することのできる装置を提供する。
様に照射した状態で、該試料の特定微小領域から放出さ
れる光電子を分析することのできる装置を提供する。
第１図は本発明に先立って発明された装置を示し、電子
銃１より発生した電子線は、ターゲット２上に照射され
、該ターゲットからＸ線Ｘが発生する。
銃１より発生した電子線は、ターゲット２上に照射され
、該ターゲットからＸ線Ｘが発生する。
該Ｘ線Ｘは試料３上に一様に照射され、試料の表面原子
を励起する。
を励起する。
これより試料表面からは、原子の結合状態等に応じたエ
ネルギーの光電子ｅが放出される。
ネルギーの光電子ｅが放出される。
該光電子ｅは、試料３に対向して置かれた電子レンズ４
によってエネルギー・アナライザー５の入射スリット６
上に結像される。
によってエネルギー・アナライザー５の入射スリット６
上に結像される。
前記電子レンズとしては、静電型のものが使用される。
該レンズと前記入射スリットとの間には可変直流電源７
に接続された電子偏向手段８（電磁型又は静電型）配置
され、前記電子レンズ４によってリターティング電圧の
印加されたスリット６上に結像された試料像を該スリッ
ト上で移動可能となしである。
に接続された電子偏向手段８（電磁型又は静電型）配置
され、前記電子レンズ４によってリターティング電圧の
印加されたスリット６上に結像された試料像を該スリッ
ト上で移動可能となしである。
前記アナライザーの出射スリット９を通過した電子は検
出器１０により検出され、増巾器１１を介して表示また
は記録装置１２に送り込まれる。
出器１０により検出され、増巾器１１を介して表示また
は記録装置１２に送り込まれる。
而して、例えばアナライザーをある範囲に亘って掃引す
れば、記録または表示装置１２上には、試料の特定点か
らの光電子のエネルギースペクトルが得られる。
れば、記録または表示装置１２上には、試料の特定点か
らの光電子のエネルギースペクトルが得られる。
この時可変電源７を調節し、レンズ４を通過した電子線
を任意に偏向させれば、入射スリット６上に結像された
試料像はスリットに対し移動し、試料の任意微小領域か
ら発生した電子をエネルギー・アナライザー５に導入す
ることができる。
を任意に偏向させれば、入射スリット６上に結像された
試料像はスリットに対し移動し、試料の任意微小領域か
ら発生した電子をエネルギー・アナライザー５に導入す
ることができる。
上記構成において、電子レンズ４の拡大率を高くするこ
とにより、分析微小領域を非常に小さくすることができ
、試料の状態分析に極めて有効である。
とにより、分析微小領域を非常に小さくすることができ
、試料の状態分析に極めて有効である。
第２図は本発明の一実施例を示すもので、偏向手段８に
は走査回路１３より前記電子レンズ４によって結像され
た電子を入射スリット６上で２次元的に走査する為の鋸
歯状信号が導入される。
は走査回路１３より前記電子レンズ４によって結像され
た電子を入射スリット６上で２次元的に走査する為の鋸
歯状信号が導入される。
該２次元走査信号は、陰極線管１４の偏向系にも導入さ
れており、該陰極線管の制御グリッドには検出器１０か
らの信号が導入され、その結果試料面の任意領域におけ
る特定エネルギーをもつ、電子による走査画像が陰極線
管１４上に得られる。
れており、該陰極線管の制御グリッドには検出器１０か
らの信号が導入され、その結果試料面の任意領域におけ
る特定エネルギーをもつ、電子による走査画像が陰極線
管１４上に得られる。
勿論エネルギー・アナライザーの電圧を変えたり、或は
スリット６に印加されるリターディング電圧を変えれば
、それによって異なったエネルギーをもつ電子の画像が
得られる。
スリット６に印加されるリターディング電圧を変えれば
、それによって異なったエネルギーをもつ電子の画像が
得られる。
尚、上記検出器１０からの信号を輝度変調信号として使
用せずに、陰極線管１４のＹ方向（垂直）偏向コイルに
導入することにより、特定エネルギをもつ試料表面から
の光電子強度による、所謂Ｙ−変調画像を得ることもで
きる。
用せずに、陰極線管１４のＹ方向（垂直）偏向コイルに
導入することにより、特定エネルギをもつ試料表面から
の光電子強度による、所謂Ｙ−変調画像を得ることもで
きる。
以上詳説したように本発明によれば、Ｘ線を細く絞る必
要が全くなく、従って強力Ｘ線を試料表面上に照射可能
であるから、試料の微小領域の分析を高感度で行なうこ
とができる。
要が全くなく、従って強力Ｘ線を試料表面上に照射可能
であるから、試料の微小領域の分析を高感度で行なうこ
とができる。
更に試料面上から放射される特定エネルギーをもつ電子
の走査画像を得ることが可能となり、より多くの試料情
報が得られる。
の走査画像を得ることが可能となり、より多くの試料情
報が得られる。
尚、本発明は上記に限定されるものではなく、例えば説
明はエスカについて行なったが、オージェ電子分光装置
等にも同様に利用でき、又、エネルギー・アナライザー
はどの様なタイプであっても使用できる。
明はエスカについて行なったが、オージェ電子分光装置
等にも同様に利用でき、又、エネルギー・アナライザー
はどの様なタイプであっても使用できる。
更に電子レンズ４は複数個用いる場合であってもよく、
且つこのレンズは試料像を得ると同時に試料からの電子
を減速する働きを持たせることも可能である。
且つこのレンズは試料像を得ると同時に試料からの電子
を減速する働きを持たせることも可能である。
第１図は本発明に先立って発明された装置を示すブロッ
ク図、第２図は本発明の一実施例を示すブロック図であ
る。 図中、１は電子銃、２はターゲット、３は試料、４は電
子レンズ、５はエネルギー・アナライザー、６は入射ス
リット、７は可変直流電源、８は電子偏向手段（電磁型
又は静電型）、９は出射スリット、１０は検出器、１１
は増巾器、１２は表示または記録装置、１３は走査回路
、１４は陰極線管である。
ク図、第２図は本発明の一実施例を示すブロック図であ
る。 図中、１は電子銃、２はターゲット、３は試料、４は電
子レンズ、５はエネルギー・アナライザー、６は入射ス
リット、７は可変直流電源、８は電子偏向手段（電磁型
又は静電型）、９は出射スリット、１０は検出器、１１
は増巾器、１２は表示または記録装置、１３は走査回路
、１４は陰極線管である。
Claims (1)
- １ 試料に放射線等を照射する手段と、試料表面から発
生する電子が導入されるエネルギー・アナライザーと、
該エネルギー・アナライザーと試料との間に配置された
静電レンズと、該静電レンズにより試料像が結像される
位置に配置されエネルギー・アナライザーの減速電圧が
印加される入射スリットとを備えた装置において、前記
エネルギー・アナライザーと試料との間に配置される電
子線偏向手段に２次元走査信号を供給し、エネルギー・
アナライザーを通して検出された信号を前記走査信号と
同期した表示装置に導入する如くなした事を特徴とする
電子分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP49009884A JPS5811569B2 (ja) | 1974-01-22 | 1974-01-22 | デンシブンコウソウチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP49009884A JPS5811569B2 (ja) | 1974-01-22 | 1974-01-22 | デンシブンコウソウチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS50104983A JPS50104983A (ja) | 1975-08-19 |
| JPS5811569B2 true JPS5811569B2 (ja) | 1983-03-03 |
Family
ID=11732563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP49009884A Expired JPS5811569B2 (ja) | 1974-01-22 | 1974-01-22 | デンシブンコウソウチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5811569B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0517081U (ja) * | 1991-08-15 | 1993-03-05 | ミサワホーム株式会社 | 玄関の排水装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57107549A (en) * | 1980-12-24 | 1982-07-05 | Jeol Ltd | Electron microscope having energy analyzer |
| JPS60236445A (ja) * | 1984-05-10 | 1985-11-25 | Anelva Corp | 表面分析装置 |
| JPH0723878B2 (ja) * | 1985-12-26 | 1995-03-15 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線光電子分光装置 |
| GB8609740D0 (en) * | 1986-04-22 | 1986-05-29 | Spectros Ltd | Charged particle energy analyser |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3766381A (en) * | 1971-05-07 | 1973-10-16 | J Watson | Apparatus and method of charge-particle spectroscopy for chemical analysis of a sample |
| JPS5129436A (en) * | 1974-09-02 | 1976-03-12 | Kuraray Co | Deruta 4 *deruta 88 toransufuaruneshirusakusan mataha sonoesuterurui no seizoho |
-
1974
- 1974-01-22 JP JP49009884A patent/JPS5811569B2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3766381A (en) * | 1971-05-07 | 1973-10-16 | J Watson | Apparatus and method of charge-particle spectroscopy for chemical analysis of a sample |
| JPS5129436A (en) * | 1974-09-02 | 1976-03-12 | Kuraray Co | Deruta 4 *deruta 88 toransufuaruneshirusakusan mataha sonoesuterurui no seizoho |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0517081U (ja) * | 1991-08-15 | 1993-03-05 | ミサワホーム株式会社 | 玄関の排水装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS50104983A (ja) | 1975-08-19 |
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