JPS5820096B2 - 断面形状が矩形の電子ビ−ムを発生させる電子ビ−ム記録用電子銃 - Google Patents
断面形状が矩形の電子ビ−ムを発生させる電子ビ−ム記録用電子銃Info
- Publication number
- JPS5820096B2 JPS5820096B2 JP51006684A JP668476A JPS5820096B2 JP S5820096 B2 JPS5820096 B2 JP S5820096B2 JP 51006684 A JP51006684 A JP 51006684A JP 668476 A JP668476 A JP 668476A JP S5820096 B2 JPS5820096 B2 JP S5820096B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- anode
- electron
- radiation source
- hole
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
電子ビームが各種の技術分野における各種の機器におい
て広く利用されていることは周知のとおりであるが、そ
の利用に際しては、特定な断面形状を備えた電子ビーム
を得ることの必要が生じた。
て広く利用されていることは周知のとおりであるが、そ
の利用に際しては、特定な断面形状を備えた電子ビーム
を得ることの必要が生じた。
例えば、近年になって研究開発が盛んに行なわれるよう
になった画像記録の技術分野においても、それに用いら
れる電子ビームとして、その断面形状が長円（だ円）あ
るいは矩形のものが必要とされることがあり、そのため
に所要の断面形状の電子ビームを発生させるための電子
ビーム記録用電子銃が要求された。
になった画像記録の技術分野においても、それに用いら
れる電子ビームとして、その断面形状が長円（だ円）あ
るいは矩形のものが必要とされることがあり、そのため
に所要の断面形状の電子ビームを発生させるための電子
ビーム記録用電子銃が要求された。
本発明は、断面形状が矩形の電子ビームを効率よく、し
かも容易に得ることのできる電子ビーム記録用電子銃を
提供することを目的としてなされたものであり、以下、
その内容を添付図面を参照して具体的に説明する。
かも容易に得ることのできる電子ビーム記録用電子銃を
提供することを目的としてなされたものであり、以下、
その内容を添付図面を参照して具体的に説明する。
第１図は、本発明の断面形状が矩形の電子ビームを発生
させる電子ビーム記録用電子銃の一実施態様のものの概
略構成を示す縦断面図であって、１は細長い平断面形状
を有する熱電子放射源であり、図示の例においては、熱
電子放射源１はタングステン線をコ字状に折曲したフィ
ラメントで構成されている（以下、熱電子放射源１をフ
ィラメント１と記載することもある 。
させる電子ビーム記録用電子銃の一実施態様のものの概
略構成を示す縦断面図であって、１は細長い平断面形状
を有する熱電子放射源であり、図示の例においては、熱
電子放射源１はタングステン線をコ字状に折曲したフィ
ラメントで構成されている（以下、熱電子放射源１をフ
ィラメント１と記載することもある 。
フィラメント１は、磁器製の支持体３に設けた導線２，
２に接続されており、外部電源１５によって点火される
。
２に接続されており、外部電源１５によって点火される
。
また、前記した支持体３には、前記の熱電子放射源１と
対向して配置されると共に、前記の熱電子放射源１と対
面する部分へ、前記の熱電子放射源１と整列する状態と
なるように平断面形状が矩形の透孔４ａ（以下、第１陽
極４の矩形孔４ａと記載する）が穿設された第１陽極４
が支持されている。
対向して配置されると共に、前記の熱電子放射源１と対
面する部分へ、前記の熱電子放射源１と整列する状態と
なるように平断面形状が矩形の透孔４ａ（以下、第１陽
極４の矩形孔４ａと記載する）が穿設された第１陽極４
が支持されている。
そして、前記した第１陽極４には、熱電子放射源１に対
して中位の正電位が外部電源１６から印加されている。
して中位の正電位が外部電源１６から印加されている。
５は、前記した第１陽極４に対向して設けられた第２陽
極であって、この第２陽極５には外部電源１７より正の
高電圧が加えられている。
極であって、この第２陽極５には外部電源１７より正の
高電圧が加えられている。
５ａは、第２陽極５の端部に設けられた第２陽極孔であ
る。
る。
上記の熱電子放射源１と第１陽極４及び第２陽極５とか
らなる電子銃の３極部において、熱電子放射源１から放
射された熱電子は、第１陽極４の矩形孔４ａを通過し、
第２陽極５によって加速されて、電子ビーム１３として
前記した３極部より出射する。
らなる電子銃の３極部において、熱電子放射源１から放
射された熱電子は、第１陽極４の矩形孔４ａを通過し、
第２陽極５によって加速されて、電子ビーム１３として
前記した３極部より出射する。
この３極部から出射される電子ビーム１３は、３極部に
おける各電極寸法及びまたは各電極の構造配置によって
、長焦点距離を有し、略略平行な出射ビームとなされる
が、この形態は一般にピアス形電子銃の一形式として理
解されよう。
おける各電極寸法及びまたは各電極の構造配置によって
、長焦点距離を有し、略略平行な出射ビームとなされる
が、この形態は一般にピアス形電子銃の一形式として理
解されよう。
ところで、前記した３極部から出射した電子ビーム１３
は、フィラメント１と整列した状態で第１陽極４に穿設
されている第１陽極４の矩形孔４ａを通過したものであ
るから、本来、その断面形状は矩形状のものとなるべき
ものであるが、熱陰極の熱初速度の不均一性と、第１陽
極４の矩形孔４ａの周辺における不規則な電界のために
、実際には収差の多い電子ビームとして３極部から出射
されるのであり、このままでは所要の断面形状を有し、
かつ、電流密度の均一な電子ビームを得ることは困難で
ある。
は、フィラメント１と整列した状態で第１陽極４に穿設
されている第１陽極４の矩形孔４ａを通過したものであ
るから、本来、その断面形状は矩形状のものとなるべき
ものであるが、熱陰極の熱初速度の不均一性と、第１陽
極４の矩形孔４ａの周辺における不規則な電界のために
、実際には収差の多い電子ビームとして３極部から出射
されるのであり、このままでは所要の断面形状を有し、
かつ、電流密度の均一な電子ビームを得ることは困難で
ある。
そこで、本発明の電子銃においては、上記した電子銃の
３極部から出射した電子ビーム１３を、第１陽極４の矩
形孔４ａよりも小さな、平断面形状が矩形の透孔よりな
る電子ビーム制限孔６ａを設けた第２陽極５内の遮蔽板
６に照射させて、所定の正確な形状と電流密度分布とを
有する電子ビームが得られるようにしている。
３極部から出射した電子ビーム１３を、第１陽極４の矩
形孔４ａよりも小さな、平断面形状が矩形の透孔よりな
る電子ビーム制限孔６ａを設けた第２陽極５内の遮蔽板
６に照射させて、所定の正確な形状と電流密度分布とを
有する電子ビームが得られるようにしている。
前記のように電子銃の３極部から出射した電子ビーム１
３を遮蔽板６に穿設された電子ビーム制限孔６ａに照射
させることによって、電子ビーム制限孔６ａから所定の
正確な矩形断面と正確な電流密度分布とを有する電子ビ
ームを出射させるためには、電子ビーム制限孔６ａに照
射される電子ビーム１３の断面形状における長手方向と
電子ビーム制限孔６ａの矩形断面における長手方向とが
一致していることが必要とされる。
３を遮蔽板６に穿設された電子ビーム制限孔６ａに照射
させることによって、電子ビーム制限孔６ａから所定の
正確な矩形断面と正確な電流密度分布とを有する電子ビ
ームを出射させるためには、電子ビーム制限孔６ａに照
射される電子ビーム１３の断面形状における長手方向と
電子ビーム制限孔６ａの矩形断面における長手方向とが
一致していることが必要とされる。
このため、本発明の電子銃においては、フィラメント１
と第１陽極４とを一体的に支持している磁器製の支持体
３を、第１図中の矢印Ｘ−Ｘ方向（第１図中では左右方
向）、及び前記の矢印Ｘ方向とは直交する方向Ｙ−Ｙ（
第１図中では紙面に直交する方向であり、矢印の図示が
できないので、Ｘの次にかっこ書きで（ト）の表示を行
なっている）のように、同一平面内での位置を微細に調
整する手段と、管軸Ｚ−Ｚを中心とする円周方向（第１
図中における矢印Ｒ方向）での位置調整手段とにより微
細に移動させて位置調整を行なうことにより、３極部よ
り出射した電子ビーム１３が、所要の状態で遮蔽板６に
穿設された電子ビーム制限孔６ａを照射できるようにし
ている。
と第１陽極４とを一体的に支持している磁器製の支持体
３を、第１図中の矢印Ｘ−Ｘ方向（第１図中では左右方
向）、及び前記の矢印Ｘ方向とは直交する方向Ｙ−Ｙ（
第１図中では紙面に直交する方向であり、矢印の図示が
できないので、Ｘの次にかっこ書きで（ト）の表示を行
なっている）のように、同一平面内での位置を微細に調
整する手段と、管軸Ｚ−Ｚを中心とする円周方向（第１
図中における矢印Ｒ方向）での位置調整手段とにより微
細に移動させて位置調整を行なうことにより、３極部よ
り出射した電子ビーム１３が、所要の状態で遮蔽板６に
穿設された電子ビーム制限孔６ａを照射できるようにし
ている。
このようにして、第２陽極５内に設けられた遮蔽板６の
電子ビーム制限孔６ａかも出射した電子ビーム１４は、
断面形状が正確な矩形で、しかも電流密度分布が正確な
状態のものとなされており、この電子ビーム１４は次い
で適当な集束される。
電子ビーム制限孔６ａかも出射した電子ビーム１４は、
断面形状が正確な矩形で、しかも電流密度分布が正確な
状態のものとなされており、この電子ビーム１４は次い
で適当な集束される。
第１図示の例においては、集束手段として１段の電磁集
束系を用い、電子ビームの集束点１２の位置に記録媒体
を位置させた状態のものを示している。
束系を用い、電子ビームの集束点１２の位置に記録媒体
を位置させた状態のものを示している。
すなわち、第１図中において、７は継鉄、８は集束コイ
ルであり、励磁電源９かも集束コイル８に電流を供給す
ることにより、電子ビーム１４は高電流密度で微細な断
面矩形状の電子ビームとなされて集束点１２に集束され
る。
ルであり、励磁電源９かも集束コイル８に電流を供給す
ることにより、電子ビーム１４は高電流密度で微細な断
面矩形状の電子ビームとなされて集束点１２に集束され
る。
上記の例においては、電子ビーム１４の集束に１段の電
磁束系を用いた場合を示したが、必要に応じて数段の集
束系を用いてもよいことは勿論である。
磁束系を用いた場合を示したが、必要に応じて数段の集
束系を用いてもよいことは勿論である。
また、１０は金属円盤、１１は金属円盤１０上に塗布さ
れた電子ビームに感能するレジストの塗膜であり、金属
円盤１０を所定の回転数で回転させると共に、所定の移
動速度で移送させると、レジストの塗膜１１には渦巻状
の記録跡が形成されて信号が記録される。
れた電子ビームに感能するレジストの塗膜であり、金属
円盤１０を所定の回転数で回転させると共に、所定の移
動速度で移送させると、レジストの塗膜１１には渦巻状
の記録跡が形成されて信号が記録される。
なお、第１図中には図示のり煩雑さを避けるために電子
ビームに対する変調装置の図示を省略している。
ビームに対する変調装置の図示を省略している。
第２図は第１図中のＡ−Ａ線位置における第１陽極４の
一部の平面図、第３図は第１図中のＢ−Ｂ線位置におけ
る遮蔽板６の一部の平面図あり、第２図にはフィラメン
ト１と、第１陽極４に穿設されている巾Ｗ１、長手中Ｗ
２の矩形孔４ａとの整列状態が示されており、また、第
３図には第２陽極５に設けられている遮蔽板６に穿設さ
れている巾Ｗ３．長手巾Ｗ４の電子ビーム制限孔６ａが
示されている。
一部の平面図、第３図は第１図中のＢ−Ｂ線位置におけ
る遮蔽板６の一部の平面図あり、第２図にはフィラメン
ト１と、第１陽極４に穿設されている巾Ｗ１、長手中Ｗ
２の矩形孔４ａとの整列状態が示されており、また、第
３図には第２陽極５に設けられている遮蔽板６に穿設さ
れている巾Ｗ３．長手巾Ｗ４の電子ビーム制限孔６ａが
示されている。
上記した第１陽極４の矩形孔４ａの巾Ｗ１と長手中Ｗ２
と、第２陽極５内に設けられる遮蔽板６における電子ビ
ーム制限孔６ａの巾Ｗ３と長手中Ｗ４との間には、それ
ぞれ Ｗ １ ＞Ｗ３、Ｗ２＞Ｗ４ の関係をもたせ
る。
と、第２陽極５内に設けられる遮蔽板６における電子ビ
ーム制限孔６ａの巾Ｗ３と長手中Ｗ４との間には、それ
ぞれ Ｗ １ ＞Ｗ３、Ｗ２＞Ｗ４ の関係をもたせ
る。
以上、詳細に説明したところから明らかなように、本発
明の断面形状が矩形の電子ビームを発生させる電子ビー
ム記録用電子銃は、細長い平断面形状を有する熱電子放
射源と対向して配置されると共に、前記の熱電子放射源
と対面する部分へ前記の熱電子放射源と整列する状態と
なるように平断面形状が矩形の透孔４ａが穿設され、か
つ、中位の正電圧が印加される第１陽極４における矩形
孔４ａから出射される電子ビームが、熱陰極の熱初速度
の不均一性と、矩形孔４ａの周辺における不規則な電界
の存在とによって収差が多い状態のものとなっているの
であるが、それを高電圧の与えられた第２陽極５に設け
られている、前記の第１陽極４の矩形孔４ａよりも小さ
な矩形の透孔よりなる電子ビーム制限孔６ａを照射する
ことにより、輪郭の鮮明な電子ビームが容易に得られ、
また、熱電子放射源と第１陽極とを一体的に支持する磁
器製の支持体３の位置を調整手段によって微細に調整す
ることにより、第子ビーム１３が電子ビーム制限孔６ａ
を正しい状態で照射するようにしたから、輪郭が鮮明で
、かつ、電流密度の均一性のよい高電流密度の断面矩形
状電子ビームを容易に得ることができる。
明の断面形状が矩形の電子ビームを発生させる電子ビー
ム記録用電子銃は、細長い平断面形状を有する熱電子放
射源と対向して配置されると共に、前記の熱電子放射源
と対面する部分へ前記の熱電子放射源と整列する状態と
なるように平断面形状が矩形の透孔４ａが穿設され、か
つ、中位の正電圧が印加される第１陽極４における矩形
孔４ａから出射される電子ビームが、熱陰極の熱初速度
の不均一性と、矩形孔４ａの周辺における不規則な電界
の存在とによって収差が多い状態のものとなっているの
であるが、それを高電圧の与えられた第２陽極５に設け
られている、前記の第１陽極４の矩形孔４ａよりも小さ
な矩形の透孔よりなる電子ビーム制限孔６ａを照射する
ことにより、輪郭の鮮明な電子ビームが容易に得られ、
また、熱電子放射源と第１陽極とを一体的に支持する磁
器製の支持体３の位置を調整手段によって微細に調整す
ることにより、第子ビーム１３が電子ビーム制限孔６ａ
を正しい状態で照射するようにしたから、輪郭が鮮明で
、かつ、電流密度の均一性のよい高電流密度の断面矩形
状電子ビームを容易に得ることができる。
第１図は本発明の電子銃の概略構成を示す縦断側面図、
第２図は第１図中のＡ−Ａ線位置における平面図、第３
図は第１図中のＢ−Ｂ線位置における平面図である。 １・・・・・・熱電子放射源（フィラメント）、３・−
・・・・支持体、４・・・・・・第１陽極、４ａ・・・
・・・矩形孔、５−・第２陽極、６−・・・・遮蔽板、
６ａ・・・・・・電子ビーム制限孔、１２・・・−・・
ビーム集速点、１３，１４・・・・・・電子ビーム。
第２図は第１図中のＡ−Ａ線位置における平面図、第３
図は第１図中のＢ−Ｂ線位置における平面図である。 １・・・・・・熱電子放射源（フィラメント）、３・−
・・・・支持体、４・・・・・・第１陽極、４ａ・・・
・・・矩形孔、５−・第２陽極、６−・・・・遮蔽板、
６ａ・・・・・・電子ビーム制限孔、１２・・・−・・
ビーム集速点、１３，１４・・・・・・電子ビーム。
Claims (1)
- １ 細長い平断面形状を有する熱電子放射源と、前記の
熱電子放射源と対向して配置されると共に、前記の熱電
子放射源と対面する部分へ前記の熱電子放射源と整列す
る状態となるように平断面形状が矩形の透孔が穿設され
、かつ、中位の正電圧が印加される第１陽極とを同一の
支持体で支持し、また、前記の第１陽極と対向配置され
ると共に、前記の第１陽極よりも高い正電圧が印加され
る第２陽極の内部に設けられた遮蔽板へ、前記した第１
陽極に穿設された平断面形状が矩形の透孔よりも小さな
平断面形状が矩形の透孔よりなる電子ビーム制限孔を設
け、さらに、同一支持体によって一体的に支持されてい
る前記した熱電子放射源と第１陽極とを、管軸と直交す
る面内での位置ならびに管軸を中心とする円周方向での
位置の調整ができるようにしてなる断面形状が矩形の電
子ビームを発生させる電子ビーム記録用電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51006684A JPS5820096B2 (ja) | 1976-01-26 | 1976-01-26 | 断面形状が矩形の電子ビ−ムを発生させる電子ビ−ム記録用電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51006684A JPS5820096B2 (ja) | 1976-01-26 | 1976-01-26 | 断面形状が矩形の電子ビ−ムを発生させる電子ビ−ム記録用電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5291359A JPS5291359A (en) | 1977-08-01 |
| JPS5820096B2 true JPS5820096B2 (ja) | 1983-04-21 |
Family
ID=11645174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51006684A Expired JPS5820096B2 (ja) | 1976-01-26 | 1976-01-26 | 断面形状が矩形の電子ビ−ムを発生させる電子ビ−ム記録用電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5820096B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6349519Y2 (ja) * | 1981-10-26 | 1988-12-20 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50119574A (ja) * | 1974-03-04 | 1975-09-19 |
-
1976
- 1976-01-26 JP JP51006684A patent/JPS5820096B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50119574A (ja) * | 1974-03-04 | 1975-09-19 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6349519Y2 (ja) * | 1981-10-26 | 1988-12-20 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5291359A (en) | 1977-08-01 |
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