JPH1187091A - 板状プラズマの生成法及び装置 - Google Patents

板状プラズマの生成法及び装置

Info

Publication number
JPH1187091A
JPH1187091A JP9248540A JP24854097A JPH1187091A JP H1187091 A JPH1187091 A JP H1187091A JP 9248540 A JP9248540 A JP 9248540A JP 24854097 A JP24854097 A JP 24854097A JP H1187091 A JPH1187091 A JP H1187091A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
plasma
cathode
thermion
mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9248540A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazunari Ikuta
一成 生田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Steel Works Ltd
Original Assignee
Japan Steel Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Steel Works Ltd filed Critical Japan Steel Works Ltd
Priority to JP9248540A priority Critical patent/JPH1187091A/ja
Publication of JPH1187091A publication Critical patent/JPH1187091A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の板状プラズマの生成法及び装置におい
ては、板状プラズマ鏡の角度を変えるために大電流を印
加した交流コイルを用いた磁場を利用していたため、外
部の電子機器等に対する外乱が大きくなり、レーダーシ
ステムとして大きい障害となっていた。 【解決手段】 本発明による板状プラズマの生成法及び
装置は、陰極(1)の熱電子放出物質面(1a)にレーザービ
ーム(20)を照射し、陰極(1)及び陽極(2)間に印加された
高周波高電圧により板状プラズマ鏡(4)を形成し、レー
ザービーム(20)の位置を変えることにより板状プラズマ
鏡(4)の面の角度を変える構成である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、板状プラズマの生
成法及び装置に関し、特に、レーザービームを陰極の熱
電子放出物質面に照射して板状プラズマを生成し、レー
ザービームの角度を変えることにより板状プラズマの生
成角度を変え、外部の電子機器に対する外乱の影響を少
なくするための新規な改良に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、用いられていたこの板状プラズマ
の生成法として、板状プラズマを電磁波を反射する鏡と
して用いるレーダーシステムに関する基礎実験は、19
95年発行の雑誌 Phys. Plasma (フィジックス プラ
ズマ)Vol. 2,NO.6にメーガー(R.A.Meger)等の論文
が公表されており、又、その応用の解説がDefense News
(ディフェンス ニュース)5月号13頁(1996
年)に開示されている。ここで述べられている板プラズ
マ生成法は、図4の通りで、細い陰極1と広い陽極2の
間の放電を真空容器3内で行い板状プラズマ鏡4を発生
するものであるが、板状プラズマ鏡4の傾きは陰極1と
陽極2に設けられた定常磁場コイル5aと5bの発生す
る強い(約1000ガウス)磁場に、これに直交する交
流磁場を発生する交流コイル6aと6bにより所要角に
傾け、放射アンテナ7から発射される指向性電磁波8を
板状プラズマ鏡4で反射させて反射電磁波8aの反射方
向を制御するものであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の板状プラズマの
生成法は、以上のように構成されていたため、次のよう
な課題が存在していた。すなわち、従来の板状プラズマ
鏡は交流コイルに印加する電流の大きさによって変動す
る磁場の向きに沿う放電によってその傾きを制御してい
たため、すばやく変動するためには大電流により大磁場
が必要であるため、この大磁場がレーダーシステムの周
辺に存在する各種の電子機器に与える誘導電圧が外乱と
なり、この外乱を防ぐための遮蔽が極めて大きい課題と
なっていた。
【0004】本発明は、以上のような従来の板状プラズ
マ生成法に伴う誘導電場や磁場の周辺電子機器への悪影
響を避けるためになされたもので、特に、強電圧が掛け
られた陰極面上に設けた熱電子放出物質面に細いレーザ
ービームを線状に与えて熱する事により、線形の熱電子
放出領域を発生して、電極間に板形プラズマ鏡を生成
し、且つ、電極間の電圧を零とした直後に、再度、方向
の変化したレーザービームによる熱電子放出領域を発生
する事で、板状プラズマ鏡と指向性電磁法の間の相対角
度を変える事で、反射電波の反射角度を速やかに制御す
るようにした板状プラズマの生成法及び装置を得ること
を目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明による板状プラズ
マの生成法は、指向性電磁波を陰極と陽極間で発生する
板状プラズマ鏡にて反射させ、前記板状プラズマ鏡の角
度を変えることにより前記指向性電磁波の反射方向を変
えるようにした板状プラズマの生成法において、前記陰
極の熱電子放出物質面にレーザービームを照射し前記陰
極及び陽極間に印加された高周波高電圧により前記板状
プラズマ鏡を形成する方法であり、また、前記レーザー
ビームの向きを変えることにより前記板状プラズマ鏡の
角度を変え、前記反射電磁波の反射方向を変える方法で
あり、また、前記陰極の周囲位置に配設した複数の高出
力パルスレーザを用いて前記レーザービームを発生さ
せ、この各高出力パルスレーザを選択作動させることに
よって前記板状プラズマ鏡の生成方向を変える方法であ
り、また、前記熱電子放出物質面は、酸化バリウム、ラ
ンタン化合物の何れかを用いる方法であり、また、指向
性電磁波を陰極と陽極間で発生する板状プラズマ鏡にて
反射させ、前記板状プラズマ鏡の角度を変えることによ
り前記指向性電磁波の反射方向を変えるようにした板状
プラズマの生成装置において、前記陰極に設けられた熱
電子放出物質面と、前記陰極の周囲位置に配設された複
数の高出力パルスレーザとよりなり、前記高出力パルス
レーザからのレーザービームにより前記板状プラズマ鏡
を形成する構成であり、さらに、前記熱電子放出物質面
は、酸化バリウム、ランタン化合物の何れかよりなる構
成である。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による板
状プラズマの生成法及び装置の好適な実施の形態につい
て説明する。なお、従来例と同一又は同等部分には同一
符号を付して説明する。図1から図3において、符号1
で示されるものは陰極であり、この陰極1の表面には酸
化バリウム(BaO)、タンタル化合物であるランタン
ヘキサボロイド(LaB6)の何れかを塗布又は蒸着し
た陰極面からなる熱電子放出物質面1aが形成されてい
る。この陰極1の上方の対向位置には陽極2が設けら
れ、前記各極1,2を収容する容器3の外周には各極
1,2に対応して磁場コイル5a,5bが設けられてい
ると共に、各極1,2には高電圧電源10が接続されて
いる。
【0007】前記陰極1の斜め上方位置には、図1に示
されるように複数の高出力パルスレーザA,B,C,D
・・・P,Q,R・・・W,X,Y,Zが180°にわ
たって放射状配置(この個数はレーダーの性能から要求
される観測精度等により決定される)されており、これ
らの各高出力パルスレーザA〜Zから出射されたレーザ
ービーム20は図3で示すように陰極1の熱電子放出物
質面1aに対して傾斜した状態で照射するように構成さ
れている。この容器3の外側には放射アンテナ7が設け
られ、この放射アンテナ7からの指向性電磁波8は後述
の各極1,2間に形成される板状プラズマ鏡4で反射さ
れて反射電磁波8aが得られるように構成されている。
従って、この反射電磁波8aを用いてレーダーシステム
が構成される。なお、1個の高出力パルスレーザを用い
てこれを移動させても同じ作用が得られる。
【0008】次に、動作について述べる。まず、陰極1
の熱電子放出物質面1a上にレーザービーム20を斜め
照射すると、照射された熱電子放出領域21内にある熱
電子放出物質面1aは急激に加熱されて、その物質固有
の熱電子放出温度になる。この時、各極1,2間に適切
な値の高電圧を印加すると、熱電子放出領域21の形状
と同形の断面形状を持つ板状プラズマ鏡4ができる。こ
の板状プラズマ鏡4に放射アンテナ7から発射した指向
性電波8は反射されて反射電波8aとなり、所要の方向
へ向かう。前述の反射電波8aの反射方向は、前記板状
プラズマ鏡4の面方向によって決定されるため、この反
射方向を変えるためには、各高出力パルスレーザA〜Z
の動作位置を例えば、WからPのように変更することに
よって、平面的にみた場合の熱電子放出領域21すなわ
ち板状プラズマ鏡4の向きが変わり、同時に反射電波8
aの反射方向が変更される。従って、この各高出力パル
スレーザA〜Zの動作を切替えるのみで簡単に任意の方
向に反射方向を変えることができる。
【0009】前記容器3内は100〜500mtorr の
低圧ガス(例えば、空気あるいは、ヘリウム)雰囲気に
保たれており、この容器3は、電磁波を通す材料で構成
された円筒形で、定常磁場は、この容器3に巻かれた2
つの磁場コイル5a,5bで、例えば、ヘルムホルツコ
イルを構成して用いられる。この発明では、磁場は、定
常であるので、磁場コイル5a,5bは超伝導線を用い
ても良い。更に、高出力パルスレーザ(A,B,C・・
・X,Y,Z)の励起は、周知のコンピューター制御さ
れた電源により所要のタイミングで制御されている。
【0010】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、陰極
の熱電子放出物質面を高強度のレーザービームで照射す
る事により板状プラズマ鏡を発生するので、高出力パル
スレーザの切替え及び定常磁場のみの使用で、反射電波
の向きを自在に制御でき、周辺電子機器への誘導電圧の
発生による外乱を極力押さえることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による板状プラズマの生成法及び装置を
示す平面構成図である。
【図2】図1の立体構成図である。
【図3】図1の装置の全体構成を示す構成図である。
【図4】従来の板状プラズマの生成法を示す構成図であ
る。
【符号の説明】
1 陰極 1a 熱電子放出物質面 2 陽極 4 板状プラズマ鏡 8 指向性電磁波 A〜Z 高出力パルスレーザ 20 レーザービーム

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 指向性電磁波(8)を陰極(1)と陽極(2)間
    で発生する板状プラズマ鏡(4)にて反射させ、前記板状
    プラズマ鏡(4)の角度を変えることにより前記指向性電
    磁波(8)の反射方向を変えるようにした板状プラズマの
    生成法において、前記陰極(1)の熱電子放出物質面(1a)
    にレーザービーム(20)を照射し前記陰極(1)及び陽極(2)
    間に印加された高周波高電圧により前記板状プラズマ鏡
    (4)を形成することを特徴とする板状プラズマの生成
    法。
  2. 【請求項2】 前記レーザービーム(20)の向きを変える
    ことにより前記板状プラズマ鏡(4)の角度を変え、前記
    反射電磁波(8a)の反射方向を変えることを特徴とする請
    求項1記載の板状プラズマの生成法。
  3. 【請求項3】 前記陰極(1)の周囲位置に配設した複数
    の高出力パルスレーザ(A〜Z)を用いて前記レーザー
    ビーム(20)を発生させ、この各高出力パルスレーザ(A
    〜Z)を選択作動させることによって前記板状プラズマ
    鏡(4)の生成角度を変えることを特徴とする請求項1又
    は2記載の板状プラズマの生成法。
  4. 【請求項4】 前記熱電子放出物質面(1a)は、酸化バリ
    ウム、ランタン化合物の何れかを用いることを特徴とす
    る請求項1ないし3の何れかに記載の板状プラズマの生
    成法。
  5. 【請求項5】 指向性電磁波(8)を陰極(1)と陽極(2)間
    で発生する板状プラズマ鏡(4)にて反射させ、前記板状
    プラズマ鏡(4)の角度を変えることにより前記指向性電
    磁波(8)の反射方向を変えるようにした板状プラズマの
    生成装置において、前記陰極(1)に設けられた熱電子放
    出物質面(1a)と、前記陰極(1)の周囲位置に配設された
    複数の高出力パルスレーザ(A〜Z)とよりなり、前記
    高出力パルスレーザ(A〜Z)からのレーザービーム(2
    0)により前記板状プラズマ鏡(4)を形成する構成とした
    ことを特徴とする板状プラズマの生成装置。
  6. 【請求項6】 前記熱電子放出物質面(1a)は、酸化バリ
    ウム、ランタン化合物の何れかよりなることを特徴とす
    る請求項5記載の板状プラズマの生成装置。
JP9248540A 1997-09-12 1997-09-12 板状プラズマの生成法及び装置 Pending JPH1187091A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9248540A JPH1187091A (ja) 1997-09-12 1997-09-12 板状プラズマの生成法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9248540A JPH1187091A (ja) 1997-09-12 1997-09-12 板状プラズマの生成法及び装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1187091A true JPH1187091A (ja) 1999-03-30

Family

ID=17179710

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9248540A Pending JPH1187091A (ja) 1997-09-12 1997-09-12 板状プラズマの生成法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1187091A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6335595B1 (en) 1999-10-25 2002-01-01 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Plasma generating apparatus
EP1906378A1 (en) * 2005-07-19 2008-04-02 Iida Home Max Co., Ltd. Aurora curtain generation device and aurora curtain generation method
US7656989B2 (en) * 2002-08-22 2010-02-02 Lockheed Martin Corporation Electromagnetic pulse transmitting system and method
WO2014056989A1 (de) * 2012-10-09 2014-04-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Optischer überhöhungsresonator

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6335595B1 (en) 1999-10-25 2002-01-01 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Plasma generating apparatus
US7656989B2 (en) * 2002-08-22 2010-02-02 Lockheed Martin Corporation Electromagnetic pulse transmitting system and method
EP1906378A1 (en) * 2005-07-19 2008-04-02 Iida Home Max Co., Ltd. Aurora curtain generation device and aurora curtain generation method
EP1906378A4 (en) * 2005-07-19 2014-05-14 Iida Home Max Co Ltd DEVICE FOR PRODUCING AN AORORA CURTAIN AND METHOD FOR PRODUCING AN AORORA CURTAIN
WO2014056989A1 (de) * 2012-10-09 2014-04-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Optischer überhöhungsresonator

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3598717B2 (ja) プラズマ処理装置
KR100228534B1 (ko) 음극스퍼터링을 이용한 플라즈마 발생장치
JP3121157B2 (ja) マイクロトロン電子加速器
EP0148504A2 (en) Method and apparatus for sputtering
JPH02103932A (ja) 粒子発生源
JP2706546B2 (ja) 内周面円筒状体のコーティング方法
JPH07183098A (ja) マイクロ波増強装置を備えたプラズマ・スパッタリング装置
JP2014026773A (ja) プラズマ処理装置
Haworth et al. Improved electrostatic design for MILO cathodes
US6335595B1 (en) Plasma generating apparatus
JP3132599B2 (ja) マイクロ波プラズマ処理装置
JPH1187091A (ja) 板状プラズマの生成法及び装置
JP2000040475A (ja) 自己電子放射型ecrイオンプラズマ源
Hayashi et al. High-power microwave generation using a ferroelectric cathode electron gun
JPH09102400A (ja) マイクロ波プラズマを使用するプロセス装置
JP3085021B2 (ja) マイクロ波プラズマ処理装置
US6835279B2 (en) Plasma generation apparatus
Antakov et al. Theoretical and experimental investigation of X-band two-cavity gyroklystron
JPH07233473A (ja) マグネトロンスパッタ装置
JP2000243599A (ja) 高電界小形定在波線形加速器
Yakovlev et al. Limitations on area compression of beams from pierce guns
JPS63221547A (ja) イオン中和器
JPH0578849A (ja) 有磁場マイクロ波プラズマ処理装置
JP6834536B2 (ja) プラズマ光源
JPH0638391B2 (ja) X線露光装置