JPS60141060U - 電子顕微鏡 - Google Patents

電子顕微鏡

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JPS60141060U
JPS60141060U JP2901884U JP2901884U JPS60141060U JP S60141060 U JPS60141060 U JP S60141060U JP 2901884 U JP2901884 U JP 2901884U JP 2901884 U JP2901884 U JP 2901884U JP S60141060 U JPS60141060 U JP S60141060U
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JP
Japan
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deflection
deflector
electron beam
lens system
signal representing
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JP2901884U
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平田　義弘
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日本電子株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の装置を例示するための図、第２図は本考
案の一実施例を示すための図、第３図は第２図に示した
一実施例装置の各回路素子よりの出力信号を例示するた
めの図、第４図は陰極線管の画面に表示された同心円状
の目盛Ｕと輝線りを例示するための図である。 １：電子銃、２：集束レンズ系、Ｄｌｘ、Ｄｉｙ、Ｄ２
Ｘ、Ｄ２ｙ：偏向コイル、３：２段偏向系、４：試料、
５：対物レンズ、６：中間レンズ、７：投影レンズ、８
：結像レンズ系、９：蛍光板、１０ｘｓ　　１０ｙｔ　
　１１及、１１ｙ：偏向電源、Ｓｘ、　Ｓｙ、　Ｔｘ、
　Ｔｙ　：ポテンショメーター、１２　Ｘ、　　１２　
ｙ　：　Ａ−Ｄ変換器、１３　Ｘ９’　１３　ｙ　”リ
ニアリティ補正回路、１４：輝線表示信号発生回路、１
５：加算回路、１６：陰極線管、１７：走査信号発生回
路、１８ニアドレス指定回路、１９：同心円表示信号発
生回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子銃と、集束レンズ系と、該集束レンズ系により集束
    された電子線をＸ及び該Ｘ方向に垂直なＹ方向に偏向す
    るためのＸ及びＹ方向偏向器と、該Ｘ及びＹ方向偏向器
    に偏向電流を供給するためのＸ及びＹ方向偏向電源と、
    該偏向器により偏向された電子線が照射される試料と、
    該試料を透過した電子線を結像するための結像レンズ系
    を備えた装置において、陰極線管と、該陰極線管に偏向
    角量の目盛となる複数の同心円を表示するための手段と
    、該電子線の該Ｘ及びＹ方向偏向器による偏向量を各々
    θＸ、θｙとするとき、該Ｘ方向偏向電源より該Ｘ方向
    偏向器に供給される偏向電流を表わす信号と該Ｙ方向電
    源よりＹ方向偏向器に供給される偏向電流を表わす信号
    に基づいて前記同心円の中心を始点として基準の方向に
    対してθ＝ｊａｎ−１（θｙ／θＸ）なる角度を有し長
    さがｊ１７「１７なる線又は該線の終点を表示するため
    の手段を具備していることを特徴とする電子顕微鏡等の
    電子線偏向角表示装置。
JP2901884U 1984-02-29 1984-02-29 電子顕微鏡 Granted JPS60141060U (ja)

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JPS60141060U true JPS60141060U (ja) 1985-09-18
JPH0238367Y2 JPH0238367Y2 (ja) 1990-10-16

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5464991A (en) * 1977-11-02 1979-05-25 Furuno Electric Co Device for measuring radar target position

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5464991A (en) * 1977-11-02 1979-05-25 Furuno Electric Co Device for measuring radar target position

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JPH0238367Y2 (ja) 1990-10-16

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