JPS5914259U - 高速ブランキング装置 - Google Patents
高速ブランキング装置Info
- Publication number
- JPS5914259U JPS5914259U JP10951482U JP10951482U JPS5914259U JP S5914259 U JPS5914259 U JP S5914259U JP 10951482 U JP10951482 U JP 10951482U JP 10951482 U JP10951482 U JP 10951482U JP S5914259 U JPS5914259 U JP S5914259U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- deflection
- charged particle
- particle beam
- blanking
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１〜５図は、従来のブランキング装置を示すもので、
第１図はその全体構成図、第２図は第１図の■部詳細図
、第３図は第１図の■部詳細図、第４図は荷電粒子ビー
ムの偏向を示す説明図、第５図ａ ” ｃはいずれも偏
向制御信号を示すグラフであり、第６．７図は本考案の
一実施例としての高速ブランキング装置を示すもので、
第６図はその立面図、第７図はその平面図である。 、１・・・・・・電子銃、１ａ、 １ｂ、 ｌｃ・
・・・・・電子ビーム、２・・・・・・電磁レンズ、３
・・・・・・ビーム開き角制限用スリット、４・・・・
・・偏向部、５・・・・・・偏向制御回路、６・・…・
ビームブランキング用スリット、７・・・・・・コンデ
シサレンズ、８・・・・・・対物レンズ、９・・・・・
・試料、１０・・・・・・プリアンプ、１１・胃・・測
定回路、１２・・・・・・主ブランキング部材としての
静電偏向部材、 １２ａ、１２ｂ・・・・・・静電偏向
板、１３・・・・・・副ブランキング部材としての電磁
偏向部材、１３ａ。 、１３ｂ・・・・・・電磁偏向コイル。 第４図 第６図′
第１図はその全体構成図、第２図は第１図の■部詳細図
、第３図は第１図の■部詳細図、第４図は荷電粒子ビー
ムの偏向を示す説明図、第５図ａ ” ｃはいずれも偏
向制御信号を示すグラフであり、第６．７図は本考案の
一実施例としての高速ブランキング装置を示すもので、
第６図はその立面図、第７図はその平面図である。 、１・・・・・・電子銃、１ａ、 １ｂ、 ｌｃ・
・・・・・電子ビーム、２・・・・・・電磁レンズ、３
・・・・・・ビーム開き角制限用スリット、４・・・・
・・偏向部、５・・・・・・偏向制御回路、６・・…・
ビームブランキング用スリット、７・・・・・・コンデ
シサレンズ、８・・・・・・対物レンズ、９・・・・・
・試料、１０・・・・・・プリアンプ、１１・胃・・測
定回路、１２・・・・・・主ブランキング部材としての
静電偏向部材、 １２ａ、１２ｂ・・・・・・静電偏向
板、１３・・・・・・副ブランキング部材としての電磁
偏向部材、１３ａ。 、１３ｂ・・・・・・電磁偏向コイル。 第４図 第６図′
Claims (1)
- 荷電粒子源からの荷電粒子ビームに対し垂直な面に配置
されてこの荷電粒子ビームを偏向する偏向部と、同偏向
部へ供給される偏向用制御信号を生成する偏向制御回路
と、ブランキング時に上記偏向部で偏向された上記荷電
粒子ビームの通過を阻止するスリットとをそなえ、高速
にブラシキングを行なうべく、上記偏向部が、相互に配
置位相が９０．′ずれた電磁偏向部材と静電偏向部材と
で構成されて、上記の電磁偏向部材および静電偏向部材
のうちの一方が主ブランキング部材として構成されると
ともに、その他方が副ブランキング部材として構成され
たことを特徴とする、高速ブランキング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10951482U JPS5914259U (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 高速ブランキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10951482U JPS5914259U (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 高速ブランキング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5914259U true JPS5914259U (ja) | 1984-01-28 |
| JPS6342458Y2 JPS6342458Y2 (ja) | 1988-11-07 |
Family
ID=30255075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10951482U Granted JPS5914259U (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 高速ブランキング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5914259U (ja) |
-
1982
- 1982-07-20 JP JP10951482U patent/JPS5914259U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6342458Y2 (ja) | 1988-11-07 |
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