JPS5946448U - 粒子線光学系に於ける分散能可変装置 - Google Patents

粒子線光学系に於ける分散能可変装置

Info

Publication number
JPS5946448U
JPS5946448U JP11314283U JP11314283U JPS5946448U JP S5946448 U JPS5946448 U JP S5946448U JP 11314283 U JP11314283 U JP 11314283U JP 11314283 U JP11314283 U JP 11314283U JP S5946448 U JPS5946448 U JP S5946448U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
particle beam
beam optical
optical system
dispersion power
power device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11314283U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6118612Y2 (ja
Inventor
栄胤 池上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP11314283U priority Critical patent/JPS5946448U/ja
Publication of JPS5946448U publication Critical patent/JPS5946448U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6118612Y2 publication Critical patent/JPS6118612Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面の第１図、第２図は本考案の一実施例で、第１図は
４極マグネツトを使用した運動量分散連続可変装置の斜
視図。第２図は同図の平面図と各部における粒子線の水
平、垂直両方向におけるひろがりを示す説明図である。 １・・・・・・水平方向スリット、２・・・・・・垂直
方向スリット、３・・・・・・粒子線進行方向調整用双
極偏向マグネット、４，６・・・・・・固定４極マグネ
ツト、５・・・・・・可動４極マグネツト、７・・・・
・・マグネット架台、８・・・・・・ターゲット箱、９
・・・・・・粒子線伝送ダクト。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 粒子線光軸上で複数の磁場または電場からなる粒子線集
    束発散要素の各要素の相対位置を調整することにより分
    散能を可変としたことを特徴とする粒子線光学系に於け
    る分散能可変装置。
JP11314283U 1983-07-22 1983-07-22 粒子線光学系に於ける分散能可変装置 Granted JPS5946448U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11314283U JPS5946448U (ja) 1983-07-22 1983-07-22 粒子線光学系に於ける分散能可変装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11314283U JPS5946448U (ja) 1983-07-22 1983-07-22 粒子線光学系に於ける分散能可変装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5946448U true JPS5946448U (ja) 1984-03-28
JPS6118612Y2 JPS6118612Y2 (ja) 1986-06-05

Family

ID=30262023

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11314283U Granted JPS5946448U (ja) 1983-07-22 1983-07-22 粒子線光学系に於ける分散能可変装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5946448U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0660840A (ja) * 1992-08-10 1994-03-04 Hitachi Ltd 磁気四重極レンズ、これを用いたイオンビーム加速装置並びにイオンビーム減速装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0660840A (ja) * 1992-08-10 1994-03-04 Hitachi Ltd 磁気四重極レンズ、これを用いたイオンビーム加速装置並びにイオンビーム減速装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6118612Y2 (ja) 1986-06-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5946448U (ja) 粒子線光学系に於ける分散能可変装置
JPS60111516U (ja) 輻射スポツトの位置を電気力学制御する電気光学装置
JPH01104574U (ja)
JPS6245298Y2 (ja)
JPS58152764U (ja) 撮像装置
JPS6031059U (ja) ラスタ歪補正装置
JPS62186361U (ja)
JPH0323311U (ja)
JPS5818472Y2 (ja) マルチリニアモ−タ
JPS62223U (ja)
JPS5914259U (ja) 高速ブランキング装置
JPS5810336Y2 (ja) サ−キュレ−タ用磁化装置
JPS6267320U (ja)
JPS59158100U (ja) 走査型電子線加速装置
JPS5868644U (ja) ３安定型有極電磁石装置
JPH0766552B2 (ja) 対物レンズ駆動装置
JPH1166586A (ja) 光ヘッドアクチュエータ
JPS5930684U (ja) モ−タ
JPS5893913U (ja) 光アイソレ−タ
JPS62120427U (ja)
JPS624875U (ja)
JPS62158633U (ja)
JPH01124584U (ja)
JPS60169720U (ja) 対物レンズ装置
JPS6071113U (ja) 磁界発生装置