JPS5891845U - 荷電ビ−ム収束装置 - Google Patents
荷電ビ−ム収束装置Info
- Publication number
- JPS5891845U JPS5891845U JP18814281U JP18814281U JPS5891845U JP S5891845 U JPS5891845 U JP S5891845U JP 18814281 U JP18814281 U JP 18814281U JP 18814281 U JP18814281 U JP 18814281U JP S5891845 U JPS5891845 U JP S5891845U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged beam
- focusing device
- beam focusing
- electrode
- charged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は一般的なビーム光学系を説明するため、の図面
である。第２図は本考案を実施した荷電ビーム集束装置
の要部を概略的に示す図面である。 ２・・・・・・筒状電極。
である。第２図は本考案を実施した荷電ビーム集束装置
の要部を概略的に示す図面である。 ２・・・・・・筒状電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 、（１）静電型レンズを有する荷電ビーム収束装置にお
いて、前記レンズを電位がビーム入射口から出口まで連
続的に変化する比較的長い筒状電極により形成するよう
にした荷電ビーム収束装置。 （２） Ｉｉ記電極は鉛ガラスで形成され、その内面
は半導体面になっていることを特徴とする実用新案登録
請求の範囲第１項記載の荷電ビー云収束装置。 （３）前記電極はアルミナ製で、その内面には抵抗性ペ
ーストが施されていることを特徴とする実 。 用新案登録請求の範囲第１項記載の荷電ビー云収束装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18814281U JPS5891845U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 荷電ビ−ム収束装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18814281U JPS5891845U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 荷電ビ−ム収束装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5891845U true JPS5891845U (ja) | 1983-06-21 |
Family
ID=29991461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18814281U Pending JPS5891845U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 荷電ビ−ム収束装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5891845U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62193046A (ja) * | 1986-02-17 | 1987-08-24 | エヌ・ベ−・フイリツプス・フル−イランペンフアブリケン | 陰極線管とその製造方法 |
| JPS63225464A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-09-20 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 電子ビーム装置 |
-
1981
- 1981-12-16 JP JP18814281U patent/JPS5891845U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62193046A (ja) * | 1986-02-17 | 1987-08-24 | エヌ・ベ−・フイリツプス・フル−イランペンフアブリケン | 陰極線管とその製造方法 |
| JPS63225464A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-09-20 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 電子ビーム装置 |
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