JP4262184B2 - 透過型電子顕微鏡およびそれを用いた像観察方法 - Google Patents
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Description
(1)TEM像の観察と記録を別々の視野で同時に行い、観察している視野の像移動量を随時計測しながら画像記録を行う。このような構成によれば、随時ドリフトを測定し、ドリフトを補正しながら画像記録できるので、ドリフトの影響のないTEM像を記録できるようになる。
図1は、本願発明による透過型電子顕微鏡の第一の実施例を示すブロック図である。電子銃8で発生した電子線9は、集束レンズ10によって試料12上に照射される。照射位置と角度は偏向コイル11によって調節することができる。試料12の透過電子像は対物レンズ14と中間・投影レンズ16で拡大され、観察用蛍光板18上で観察することができる。観察する試料12は、試料ホルダー13に固定され、試料ホルダー13を移動することによって観察視野を調整することができる。イメージシフトコイル15を用いると、試料ホルダー13を移動しなくても、観察視野を電磁的に調整することができる。TEM制御系21は、全てのレンズ系、電子線偏向系、試料微動系を制御する。
・ドリフトを検出するのに適した視野を選択する範囲が広がる。
・それぞれからの情報を平均化することで、精度が向上する。
・高精度な補正が必要な場合と、低照射電流での補正が必要な場合とで、切り替えることができる。
Claims (8)
- 電子銃と、
試料を保持する試料保持部と、
前記電子銃から射出された電子線を前記試料保持部に保持された試料に照射する集束レンズ系と、
試料を透過した電子線による電子線拡大像を形成する結像光学系と、
前記電子線拡大像を記録する記録手段と、
前記記録手段の視野外において前記電子線拡大像の一部を観察する観察手段と、
前記観察手段で観察した前記電子線拡大像の移動量を計測する計測手段と、
前記記録手段による前記電子線拡大像の記録中に前記移動量を補正する補正手段と、を具備し、
前記観察手段は撮像手段であり、前記計測手段は前記撮像手段によって予め撮像して記憶した基準画像と前記撮像手段によって新たに取得した画像とを比較して前記電子線拡大像の移動量を計測することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の透過型電子顕微鏡において、前記観察手段は2次元位置敏感検出器であり、前記計測手段は前記2次元位置敏感検出器によって予め計測して記憶した輝度分布の重心位置と前記2次元位置敏感検出器によって新たに取得した輝度分布の重心位置とを比較して前記電子線拡大像の移動量を計測することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
- 電子銃と、
試料を保持する試料保持部と、
前記電子銃から射出された電子線を前記試料保持部に保持された試料に照射する集束レンズ系と、
試料を透過した電子線による電子線拡大像を形成する結像光学系と、
前記電子線拡大像を記録する記録手段と、
前記記録手段の視野外において前記電子線拡大像の一部を観察する観察手段と、
前記観察手段で観察した前記電子線拡大像の移動量を計測する計測手段と、
前記記録手段による前記電子線拡大像の記録中に前記移動量を補正する補正手段と、
前記試料保持部に保持された試料の位置を変化させる試料移動手段と、を備え、
前記補正手段は、前記試料移動手段を駆動して試料の位置を変化させることによって前記移動量を補正することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 電子銃と、
試料を保持する試料保持部と、
前記電子銃から射出された電子線を前記試料保持部に保持された試料に照射する集束レンズ系と、
試料を透過した電子線による電子線拡大像を形成する結像光学系と、
前記電子線拡大像を記録する記録手段と、
前記記録手段の視野外において前記電子線拡大像の一部を観察する観察手段と、
前記観察手段で観察した前記電子線拡大像の移動量を計測する計測手段と、
前記記録手段による前記電子線拡大像の記録中に前記移動量を補正する補正手段と、
前記試料保持部と前記記録手段の間に配備された電子線偏向手段と、を備え、
前記補正手段は、前記電子線偏向手段を駆動して前記移動量を補正することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 透過型電子顕微鏡によって形成された試料の電子線拡大像を記録手段に記録する像観察方法において、
前記記録手段の視野外に配置された観察手段によって前記電子線拡大像の一部を観察して基準データとして記憶するステップと、
前記記録手段による試料の電子線拡大像記録中に前記観察手段によって前記電子線拡大像の一部を観察して観察データを取得するステップと、
前記基準データと前記観察データとを比較して前記電子線拡大像の像移動量を計測するステップと、
前記記録手段による試料の電子線拡大像記録中に前記像移動量を補正する補正ステップと、を備え、
前記基準データおよび観察データは撮像手段によって取得することを特徴とする像観察方法。 - 請求項5記載の像観察方法において、前記基準データおよび観察データは2次元位置敏感検出器によって取得することを特徴とする像観察方法。
- 透過型電子顕微鏡によって形成された試料の電子線拡大像を記録手段に記録する像観察方法において、
前記記録手段の視野外に配置された観察手段によって前記電子線拡大像の一部を観察して基準データとして記憶するステップと、
前記記録手段による試料の電子線拡大像記録中に前記観察手段によって前記電子線拡大像の一部を観察して観察データを取得するステップと、
前記基準データと前記観察データとを比較して前記電子線拡大像の像移動量を計測するステップと、
前記記録手段による試料の電子線拡大像記録中に前記像移動量を補正する補正ステップと、を備え、
前記像移動量を補正する補正ステップでは試料の位置を移動することを特徴とする像観察方法。 - 透過型電子顕微鏡によって形成された試料の電子線拡大像を記録手段に記録する像観察方法において、
前記記録手段の視野外に配置された観察手段によって前記電子線拡大像の一部を観察して基準データとして記憶するステップと、
前記記録手段による試料の電子線拡大像記録中に前記観察手段によって前記電子線拡大像の一部を観察して観察データを取得するステップと、
前記基準データと前記観察データとを比較して前記電子線拡大像の像移動量を計測するステップと、
前記記録手段による試料の電子線拡大像記録中に前記像移動量を補正する補正ステップと、を備え、
前記像移動量を補正する補正ステップでは試料と前記記録手段の間に配備された電子線偏向手段によって前記電子線拡大像を移動することを特徴とする像観察方法。
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