JP7061518B2 - 拡大観察装置 - Google Patents

Description

本発明は、拡大観察装置に関する。

従来、試料を拡大して観察する拡大観察装置として、試料を照明光の光軸に直交する平面内において移動させるＸＹ駆動部、及び試料を光軸と一致する回転軸を中心に回転させる回転駆動部を有するＸＹステージを備える顕微鏡が知られている（例えば、特許文献１参照）。

ＸＹ駆動部及び回転駆動部を有するＸＹステージを備える顕微鏡では、ＸＹ駆動部の可動域と回転駆動部の可動域との全域を用いて観察を行っても、ＸＹステージと顕微鏡のフレームとが干渉しないように、十分なスペースを設けてフレームが設計されている。

特開２０１３－８３７４３号公報

しかしながら、従来の顕微鏡では、ＸＹ駆動部及び回転駆動部が可動するためのスペースを十分に確保するために、装置が大型化するという課題があった。

一方、ＸＹ駆動部及び回転駆動部が可動するためのスペースを十分に確保しない場合には、ＸＹステージとフレームとが干渉することがある。また、ＸＹステージとフレームとの干渉を避けるために、ＸＹ駆動部及び回転駆動部の可動域を制限した場合には、可動域が狭まることにより観察時の操作性がよくない。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、観察時の操作性を確保しつつ小型化に適した拡大観察装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の一態様に係る拡大観察装置は、試料を照明光の光軸に直交する平面内において移動させるＸＹ駆動部、及び前記試料を前記光軸と一致する回転軸を中心に回転させる回転駆動部を有するＸＹステージと、前記ＸＹ駆動部の位置を検出する位置検出部と、前記回転駆動部の角度を検出する角度検出部と、前記位置及び前記角度に基づいて、前記ＸＹ駆動部の移動又は前記回転駆動部の回転を制限する制御部と、を備えることを特徴とする。

また、本発明の一態様に係る拡大観察装置は、前記制御部は、前記回転駆動部の回転を優先する回転優先モードの選択を受け付けると、前記ＸＹ駆動部の移動を制限し、前記ＸＹ駆動部の移動を優先するＸＹ移動優先モードの選択を受け付けると、前記回転駆動部の回転を制限することを特徴とする。

また、本発明の一態様に係る拡大観察装置は、前記制御部は、前記ＸＹ駆動部を電動により駆動し、前記位置及び前記角度に基づいて、前記ＸＹ駆動部の移動を制限するＸＹ制御部と、前記回転駆動部を電動により駆動し、前記位置及び前記角度に基づいて、前記回転駆動部の回転を制限する回転制御部と、を有することを特徴とする。

また、本発明の一態様に係る拡大観察装置は、前記制御部は、前記位置及び前記角度に基づいて、前記ＸＹ駆動部の移動量又は前記回転駆動部の回転量が所定量以上になった場合に、表示部に警告を表示させる表示制御部を有することを特徴とする。

また、本発明の一態様に係る拡大観察装置は、前記制御部は、前記ＸＹ駆動部の移動及び前記回転駆動部の回転を、前記位置及び前記角度が所定の条件を満たす範囲に制限することを特徴とする。

本発明によれば、観察時の操作性を確保しつつ小型化に適した拡大観察装置を実現することができる。

図１は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡の機能構成を模式的に示すブロック図である。 図２は、図１に示すＸＹステージのＸＹ駆動部の拡大斜視図である。 図３は、図１に示すＸＹステージの回転駆動部の断面図である。 図４は、試料を観察する際の処理の概要を示すフローチャートである。 図５は、本発明の実施の形態２にかかる顕微鏡の機能構成を模式的に示すブロック図である。 図６は、試料を観察する際の処理の概要を示すフローチャートである。 図７は、本発明の実施の形態３にかかる顕微鏡の機能構成を模式的に示すブロック図である。 図８は、モード条件の一例を表す図である。 図９は、モード条件の一例を表す図である。

以下に、図面を参照して本発明に係る拡大観察装置の実施の形態を説明する。なお、これらの実施の形態により本発明が限定されるものではない。本発明は、ＸＹ駆動部と回転駆動部とを備える拡大観察装置一般に適用することができる。

また、図面の記載において、同一又は対応する要素には適宜同一の符号を付している。また、図面は模式的なものであり、各要素の寸法の関係、各要素の比率などは、現実と異なる場合があることに留意する必要がある。図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡の機能構成を模式的に示すブロック図である。なお、図１において、顕微鏡１が載置される平面であって、照明光の光軸に直交する平面をＸＹ平面とし、光軸に沿った方向をＺ方向として説明する。

図１に示す拡大観察装置としての顕微鏡１は、試料Ｓを撮像するヘッド部２と、試料Ｓを載置するステージ部３と、顕微鏡１全体を統括的に制御するコントローラ４と、ヘッド部２が撮像した画像を表示する表示部５と、を備える。

ヘッド部２は、光源２１と、照明レンズ２２と、ハーフミラー２３と、レボルバ２４と、対物レンズ２５と、結像レンズ２６と、撮像部２７と、を有する。

光源２１は、コントローラ４の制御のもと、試料Ｓに対して照明光を照射する。光源２１は、白色ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）、ハロゲンランプ、又はキセノンランプ等の各種白色光源を含む。

照明レンズ２２は、光源２１から出射された照明光を集光して略平行光にする。

ハーフミラー２３は、照明光を対物レンズ２５に反射する一方、対物レンズ２５を透過して入射する試料Ｓにおいて反射した反射光を透過する。

レボルバ２４は、ヘッド部２に対して回転自在に設けられ、試料Ｓの観察に用いるいずれか１つの対物レンズを照明光の光軸上に切り替え可能に配置する。ただし、観察時に対物レンズを手動で取り替える構成であってもよく、この場合対物レンズ２５を有しない構成であってもよい。

対物レンズ２５は、光源２１が照射する照明光を試料Ｓに集光する。

結像レンズ２６は、ハーフミラー２３を透過して入射されたステージ部３からの反射光を集光して観察像を結像する。

撮像部２７は、結像レンズ２６によって結像された観察像を受光して光電変換を行うことによって、試料Ｓの画像データを生成し、この画像データをコントローラ４に出力する。撮像部２７は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）又はＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）等を用いて構成される。

ステージ部３は、ＸＹステージ３１と、Ｚステージ３２と、フレーム３３と、を有する。

ＸＹステージ３１は、ＸＹ駆動部３１１と、回転駆動部３１２と、を有する。

ＸＹ駆動部３１１は、試料Ｓを照明光の光軸（軸Ａｚ）に直交する平面内において移動させる。図２は、図１に示すＸＹステージのＸＹ駆動部の拡大斜視図である。図２に示すように、ＸＹ駆動部３１１は、軸Ａｘに沿って移動するＸ板３１１ａと、軸Ａｙに沿って移動するＹ板３１１ｂと、Ｘ板３１１ａ及びＹ板３１１ｂを載置するベース板３１１ｃと、コントローラ４による制御に基づいて駆動するモータ３１１ｄと、モータ３１１ｄの駆動によりＸ板３１１ａ及びＹ板３１１ｂを移動させる駆動部３１１ｅと、を有する。

回転駆動部３１２は、試料Ｓを光軸（軸Ａｚ）と一致する回転軸を中心に回転させる。図３は、図１に示すＸＹステージの回転駆動部の断面図である。図３に示すように、回転駆動部３１２は、Ｚステージ３２に固定される固定部３１２ａと、コントローラ４による制御に基づいて駆動するモータ３１２ｂと、モータ３１２ｂの駆動により回転するギヤ３１２ｃと、ギヤ３１２ｃの回転に応じて回転する回転部３１２ｄと、を有する。

Ｚステージ３２は、ＸＹステージを介在して載置された試料Ｓを光軸（軸Ａｚ）に沿った方向に移動させて対物レンズ２５の照準を試料Ｓに合わせる。

フレーム３３は、ＸＹ駆動部３１１、回転駆動部３１２、及びＺステージ３２を載置するとともに、ヘッド部２を保持する。フレーム３３は、後述する制御部４４がＸＹ駆動部３１１の移動及び回転駆動部３１２の回転を制限した範囲内において、ＸＹ駆動部３１１及び回転駆動部３１２が可動するためのスペースを確保するように設計されている。換言すると、フレーム３３は、ＸＹ駆動部３１１の移動及び回転駆動部３１２の回転を制限されていない従来の顕微鏡１のフレームより小型化されている。

コントローラ４は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）及びメモリ等を用いて構成され、顕微鏡１を構成する各部に対して制御信号や各種データの送信を行うことにより、顕微鏡１の動作を統括的に制御する。

コントローラ４は、画像処理部４１と、位置検出部４２と、角度検出部４３と、制御部４４と、記録部４５と、を有する。

画像処理部４１は、ＸＹ駆動部３１１から順次入力される画像データに対して、所定の画像処理を行い、この画像処理を行った画像データを表示部５に順次出力する。具体的には、画像処理部４１は、画像データに対して、オプティカルブラック低減処理、ホワイトバランス調整処理、カラーマトリクス演算処理、ガンマ補正処理、色再現処理及びエッジ強調処理等の画像処理を行って表示部５に出力する。

位置検出部４２は、例えばモータ３１１ｄに出力したパルス数をカウントすることによって、ＸＹ駆動部３１１の位置を検出する。

角度検出部４３は、例えばモータ３１２ｂに出力したパルス数をカウントすることによって、回転駆動部３１２の角度を検出する。

制御部４４は、顕微鏡１の駆動を制御する。具体的には、制御部４４は、ＸＹ駆動部３１１の位置及び回転駆動部３１２の角度に基づいて、ＸＹ駆動部３１１の移動又は回転駆動部３１２の回転を制限する。制御部４４は、回転駆動部３１２の回転を優先する回転優先モードの選択を受け付けると、ＸＹ駆動部３１１の移動を制限し、ＸＹ駆動部３１１の移動を優先するＸＹ移動優先モードの選択を受け付けると、回転駆動部３１２の回転を制限する。

制御部４４は、ＸＹ駆動部３１１を電動により駆動制御するＸＹ制御部４４ａと、回転駆動部３１２を電動により駆動制御する回転制御部４４ｂと、試料Ｓを光軸に沿って移動させて照準を制御する照準制御部４４ｃと、表示部５の表示態様を制御する表示制御部４４ｄと、を有する。制御部４４は、記録部４５から後述するモード条件を読み出してＸＹ駆動部３１１及び回転駆動部３１２を制御する。

ＸＹ制御部４４ａは、ユーザの支持入力に応じて、所定量のパルスをモータ３１１ｄに出力し、ＸＹ駆動部３１１の位置を制御する。また、ＸＹ制御部４４ａは、ＸＹ駆動部３１１の位置及び回転駆動部３１２の角度に基づいて、ＸＹ駆動部３１１の移動を制限する。

回転制御部４４ｂは、ユーザの支持入力に応じて、所定量のパルスをモータ３１２ｂに出力し、回転駆動部３１２の角度を制御する。また、回転制御部４４ｂは、ＸＹ駆動部３１１の位置及び回転駆動部３１２の角度に基づいて、回転駆動部３１２の回転を制限する。

記録部４５は、顕微鏡１を動作させる各種プログラム、プログラムの実行中に使用される各種データ及びＸＹ駆動部３１１が生成した画像データ等を記録する。制御部４４は、揮発性メモリ及び不揮発性メモリ等を用いて構成される。また、記録部４５は、モード条件記録部４５ａを有する。

モード条件記録部４５ａは、制御部４４がＸＹ駆動部３１１の移動及び回転駆動部３１２の回転を制限するための位置及び角度の条件であるモード条件を記録する。一例として、ＸＹ駆動部３１１が初期位置から±５０ｍｍ移動可能であり、回転駆動部３１２が初期角度から±９０°回転可能であるとする。このとき、モード条件とは、例えば、回転優先モードが選択されている場合に、ＸＹ駆動部３１１の移動範囲を±２０ｍｍに制限し、ＸＹ移動優先モードが選択されている場合に、回転駆動部３１２の回転範囲を±２０°に制限するという条件である。

表示部５は、撮像部２７が試料Ｓを撮像した画像データに対応する画像を表示する。具体的には、表示部５は、コントローラ４を介して入力される画像データに対応する画像や顕微鏡１の操作情報を表示する。表示部５は、液晶又は有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）等からなる表示パネルを用いて構成される。表示部５には、回転角度優先ボタン５１、ＸＹ移動優先ボタン５２、及び警告表示部５３が表示される。

回転角度優先ボタン５１は、ユーザが回転優先モードを選択する指示入力を受け付ける。ＸＹ移動優先ボタン５２は、ユーザがＸＹ移動優先モードを選択する指示入力を受け付ける。警告表示部５３は、制御部４４がＸＹ駆動部３１１の移動又は回転駆動部３１２の回転を制限している場合に、ユーザに対して制限がかかっていることを報知する所定の警告を表示する。

つぎに、顕微鏡１を用いてステージ部３を観察する手順を説明する。図４は、試料を観察する際の処理の概要を示すフローチャートである。図４に示すように、まず、顕微鏡１の電源がオンにされると、ＸＹ駆動部３１１の位置及び回転駆動部３１２の角度が初期化される（ステップＳ１）。具体的には、ＸＹ駆動部３１１が初期位置に移動するとともに、回転駆動部３１２が初期角度に移動する（ステップＳ１）。ただし、位置及び角度の初期化は顕微鏡１の電源をオフにする際に行われてもよい。

続いて、制御部４４は、回転優先モードが選択されたか否かを判定する（ステップＳ２）。具体的には、制御部４４は、表示部５の回転角度優先ボタン５１が押下されて、所定の指示入力を受け付けたか否かを判定する。

制御部４４が、回転優先モードが選択されたと判定した場合（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、制御部４４は、記録部４５から読み出したモード条件に応じて、ＸＹ駆動部３１１の移動を制限する（ステップＳ３）。具体的には、制御部４４は、ＸＹ制御部４４ａによりＸＹ駆動部３１１の移動を制限し、ＸＹ駆動部３１１の可動範囲を通常時の±５０ｍｍから±２０ｍｍに制限する。一方、制御部４４は、回転優先モードが選択された場合、回転駆動部３１２の回転を制限しない。

その後、制御部４４は、観察終了を指示する指示入力があったか否かを判定する（ステップＳ４）。

制御部４４が観察終了を指示する指示入力があったと判定した場合（ステップＳ４：Ｙｅｓ）、観察を終了する。一方、制御部４４が観察終了を指示する指示入力がなかったと判定した場合（ステップＳ４：Ｎｏ）、ステップＳ２に戻り、処理が継続される。

ステップＳ２において、制御部４４が、回転優先モードが選択されていないと判定した場合（ステップＳ２：Ｎｏ）、制御部４４は、ＸＹ移動優先モードが選択されたか否かを判定する（ステップＳ５）。具体的には、制御部４４は、表示部５のＸＹ移動優先ボタン５２が押下されて、所定の指示入力を受け付けたか否かを判定する。

制御部４４が、ＸＹ移動優先モードが選択されたと判定した場合（ステップＳ５：Ｙｅｓ）、制御部４４は、記録部４５から読み出したモード条件に応じて、回転駆動部３１２の回転を制限する（ステップＳ６）。具体的には、制御部４４は、回転制御部４４ｂにより回転駆動部３１２の回転を制限し、回転駆動部３１２の可動範囲を通常時の±９０°から±２０°に制限する。一方、制御部４４は、ＸＹ移動優先モードが選択された場合、ＸＹ駆動部３１１の移動を制限しない。その後、ステップＳ４の終了判定が行われる。

ステップＳ５において、制御部４４が、ＸＹ移動優先モードが選択されていないと判定した場合（ステップＳ５：Ｎｏ）、ステップＳ２に戻り、処理が継続される。

以上説明したように、実施の形態１によれば、回転優先モードが選択された場合は、ＸＹ駆動部３１１の移動が制限されるが、回転駆動部３１２の回転は制限されない。一方、ＸＹ移動優先モードが選択された場合は、回転駆動部３１２の回転が制限されるが、ＸＹ駆動部３１１の移動は制限されない。その結果、顕微鏡１では、ＸＹ駆動部３１１の移動、又は回転駆動部３１２の回転のいずれか一方に制限がかからない状態で観察を行うことができる。従って、顕微鏡１は、観察時の操作性を確保しつつ小型化に適した顕微鏡である。

また、従来の顕微鏡において、ＸＹ駆動部及び回転駆動部が可動するためのスペースを十分に設けると、ＸＹ平面における光軸とフレームとの距離が大きく離間することとなり、振動等が観察に与える影響が大きくなるという課題がある。実施の形態１によれば、顕微鏡１を小型化できるため、このような振動等に起因する影響も低減することができる。

（実施の形態２）
図５は、本発明の実施の形態２にかかる顕微鏡の機能構成を模式的に示すブロック図である。図５に示すように、顕微鏡１Ａのコントローラ４Ａにおいて、制御部４４Ａは、ＸＹ制御部及び回転制御部を有しない。顕微鏡１Ａにおいて、ＸＹステージ３１のＸＹ駆動部３１１及び回転駆動部３１２は、ユーザが手動で操作する構成である。

制御部４４の表示制御部４４ｄは、ＸＹ駆動部３１１の位置及び回転駆動部３１２の角度に基づいて、ＸＹ駆動部３１１の移動量又は回転駆動部３１２の回転量が所定量以上になった場合に、表示部５に警告を表示させる。

図６は、試料を観察する際の処理の概要を示すフローチャートである。図６に示すように、ステップＳ２において、制御部４４が、回転優先モードが選択されたと判定した場合（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、制御部４４の表示制御部４４ｄは、ＸＹ駆動部３１１の初期位置からの移動量が所定量以上になった場合に、表示部５に警告を表示させる（ステップＳ２１）。具体的には、表示制御部４４ｄは、ＸＹ駆動部３１１の初期位置からの移動量が±２０ｍｍ以上になった場合に、表示部５に警告を表示させる。一方、表示制御部４４ｄは、回転優先モードが選択された場合、回転駆動部３１２の回転量が増大しても表示部５に警告を表示させない。

ステップＳ５において、制御部４４が、ＸＹ移動優先モードが選択されたと判定した場合（ステップＳ５：Ｙｅｓ）、制御部４４の表示制御部４４ｄは、回転駆動部３１２の初期角度からの回転量が所定量以上になった場合に、表示部５に警告を表示させる（ステップＳ２１）。具体的には、表示制御部４４ｄは、回転駆動部３１２の初期角度からの回転量が±２０°以上になった場合に、表示部５に警告を表示させる。一方、表示制御部４４ｄは、ＸＹ移動優先モードが選択された場合、ＸＹ駆動部３１１の移動量が増大しても表示部５に警告を表示させない。

以上説明したように、ＸＹステージ３１のＸＹ駆動部３１１及び回転駆動部３１２が手動の場合には、表示部５に警告を表示することにより、ＸＹ駆動部３１１の移動、又は回転駆動部３１２の回転を制限し、ＸＹステージ３１とフレーム３３とが干渉することを防止してもよい。

（実施の形態３）
図７は、本発明の実施の形態３にかかる顕微鏡の機能構成を模式的に示すブロック図である。図７に示すように、顕微鏡１Ｂのコントローラ４Ｂにおいて、制御部４４は、ＸＹ駆動部３１１の移動及び回転駆動部３１２の回転を位置及び角度が所定の条件（モード条件）を満たす範囲に制限する。

図８、図９は、モード条件の一例を表す図である。図８において、縦軸はＸＹ駆動部３１１の位置であり、横軸は回転駆動部３１２の角度である。なお、図８及び図９には、位置及び角度が正の場合を図示したが、負の場合も同様である。

記録部４５Ｂのモード条件記録部４５Ｂａが記録するモード条件は、ＸＹ駆動部３１１の位置及び回転駆動部３１２の角度が、図８に示す直線Ｌの内側（図８の直線Ｌの左下側）に含まれる条件である。図９は、図８の主要な点の位置及び角度を表す表である。図９に示すように、例えば、回転駆動部３１２の角度が７０°である場合に、ＸＹ駆動部３１１を移動させる場合には、制御部４４は、ＸＹ駆動部３１１の可動範囲を±１５ｍｍまでに制限して移動させる。同様に、ＸＹ駆動部３１１の位置が４０ｍｍである場合に、回転駆動部３１２を回転させる場合には、制御部４４は、回転駆動部３１２の可動範囲を±２０°までに制限して回転させる。このように、通常、ＸＹ駆動部３１１と回転駆動部３１２とは、片方ずつ駆動させ、同時に駆動させることはないため、制御部４４は、ＸＹ駆動部３１１の位置又は回転駆動部３１２の角度を駆動する場合に、他方の値に応じて移動量又は回転量を制限する。

実施の形態３によれば、ＸＹ駆動部３１１と回転駆動部３１２とが可動するためのスペースをより有効に利用することができる。その結果、観察時の操作性を確保しつつさらに顕微鏡１を小型化させることが可能となる。さらに、実施の形態３において、制御部４４は、位置と角度とに基づいて自動的に駆動を制限するので、ユーザはモードを選択する手間がかからない。さらに、実施の形態３では、記録部４５が常にＸＹ駆動部３１１の位置及び回転駆動部３１２の角度を記録することにより、電源オン又はオフする際に、位置及び角度を初期化しなくてもよい。

上述した実施の形態では、ＸＹ駆動部３１１と回転駆動部３１２とが電動である場合と手動である場合とを説明したがこれに限られない。例えば、ＸＹ駆動部３１１と回転駆動部３１２との一方が電動で他方が手動であってもよい。この場合、電動で駆動する方には制御部４４が駆動に制限をかけ、他方の駆動には表示制御部４４ｄによって表示部５に警告を表示させればよい。

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。よって、本発明のより広範な態様は、以上のように表し、かつ記述した特定の詳細及び代表的な実施の形態に限定されるものではない。従って、添付のクレーム及びその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神又は範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

１、１Ａ、１Ｂ 顕微鏡
２ ヘッド部
３ ステージ部
４、４Ａ、４Ｂ コントローラ
５ 表示部
２１ 光源
２２ 照明レンズ
２３ ハーフミラー
２４ レボルバ
２５ 対物レンズ
２６ 結像レンズ
２７ 撮像部
３１ ＸＹステージ
３２ Ｚステージ
３３ フレーム
４１ 画像処理部
４２ 位置検出部
４３ 角度検出部
４４、４４Ａ 制御部
４４ａ ＸＹ制御部
４４ｂ 回転制御部
４４ｃ 照準制御部
４４ｄ 表示制御部
４５、４５Ｂ 記録部
４５ａ、４５Ｂａ モード条件記録部
５１ 回転角度優先ボタン
５２ ＸＹ移動優先ボタン
５３ 警告表示部
５４ 使用頻度優先モード
５５ 前回条件優先モード
３１１ ＸＹ駆動部
３１１ａ Ｘ板
３１１ｂ Ｙ板
３１１ｃ ベース板
３１１ｄ、３１２ｂ モータ
３１１ｅ 駆動部
３１２ 回転駆動部
３１２ａ 固定部
３１２ｃ ギヤ
３１２ｄ 回転部
Ｓ 試料

Claims (5)

1. 試料を照明光の光軸に直交する平面内において移動させるＸＹ駆動部、及び前記試料を前記光軸と一致する回転軸を中心に回転させる回転駆動部を有するＸＹステージと、
   前記ＸＹ駆動部の位置を検出する位置検出部と、
   前記回転駆動部の角度を検出する角度検出部と、
   前記位置及び前記角度に基づいて、前記ＸＹ駆動部の移動又は前記回転駆動部の回転を制限する制御部と、
   を備えることを特徴とする拡大観察装置。
2. 前記制御部は、
   前記回転駆動部の回転を優先する回転優先モードの選択を受け付けると、前記ＸＹ駆動部の移動を制限し、
   前記ＸＹ駆動部の移動を優先するＸＹ移動優先モードの選択を受け付けると、前記回転駆動部の回転を制限することを特徴とする請求項１に記載の拡大観察装置。
3. 前記制御部は、
   前記ＸＹ駆動部を電動により駆動し、前記位置及び前記角度に基づいて、前記ＸＹ駆動部の移動を制限するＸＹ制御部と、
   前記回転駆動部を電動により駆動し、前記位置及び前記角度に基づいて、前記回転駆動部の回転を制限する回転制御部と、
   を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の拡大観察装置。
4. 前記制御部は、
   前記位置及び前記角度に基づいて、前記ＸＹ駆動部の移動量又は前記回転駆動部の回転量が所定量以上になった場合に、表示部に警告を表示させる表示制御部を有することを特徴とする請求項１～３のいずれか１つに記載の拡大観察装置。
5. 前記制御部は、
   前記ＸＹ駆動部の移動及び前記回転駆動部の回転を、前記位置及び前記角度が所定の条件を満たす範囲に制限することを特徴とする請求項１～４のいずれか１つに記載の拡大観察装置。

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