JP2001091919A

JP2001091919A - 表示装置の欠陥修正装置

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Publication number: JP2001091919A
Application number: JP26697499A
Authority: JP
Inventors: Yuji Fujita; 有司藤田
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1999-09-21
Filing date: 1999-09-21
Publication date: 2001-04-06

Abstract

(57)【要約】【課題】表示装置の欠陥修正作業を容易に行なえるよ
うにする。【解決手段】液晶表示装置１の欠陥箇所を修正するた
めの光ビームを照射する光ビーム照射装置１４と、光ビ
ーム照射位置を裏面側から撮像する照射部観察用カメラ
１９と、液晶表示装置１を移動させる移動装置１２と、
移動装置１２に表示信号を付与して各絵素を表示状態に
駆動する駆動装置２８と、液晶表示装置１の絵素の表示
状態を表面側から撮像する低倍率および高倍率カメラ２
１、２２と、両側のカメラ１９と２１および２２とによ
り撮像された映像を表示する合成映像用モニタ３５と、
合成映像用モニタ３５での表示画面上において液晶表示
装置１上での光ビーム照射位置を特定するマーク第２付
与装置２５とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶表示装
置、ＥＬ（エレクトロルミネセンス）表示装置、プラズ
マ表示装置等の表示装置の欠陥修正装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】表示装置としての例えば液晶表示装置に
ついては、市場への不良品の流出を防止するために、通
常、パネル形態、モジュール形態のそれぞれの状態にお
いて、点灯検査が実施される。この点灯検査では、液晶
表示装置の点灯状態が規定の基準を満たしているか否か
が判断される。この検査の結果、規定の基準を満たして
いないものは不合格となり、この不合格品は、それ以降
の工程に送られず、即ち市場に出荷されることなく、不
良品として廃棄される。

【０００３】しかしながら、不良品と判断された液晶表
示装置でも、不良の発生具合によっては、配線個所を修
正することにより上記基準を満たすことができる場合が
ある。上記修正は、例えば、特開平３−２０９４２２号
公報、あるいは特開平６−８２８０１号公報に開示され
た欠陥修正装置によって行われる。欠陥修正によって救
済された液晶表示装置は市場に出荷されることになる。
以下、従来の欠陥修正装置、およびこの欠陥修正装置を
用いて液晶表示装置に存在する欠陥を修正する方法につ
いて説明する。

【０００４】ここで、図３（ａ）（ｂ）に示すように、
欠陥修正される表示装置は、ＴＦＴ（Thin Film Transi
stor）側基板２と、対向側電極やカラーフィルターを形
成する対向側基板３とが、液晶層（図示せず）を介して
張り合わされた構造の液晶表示装置１である。

【０００５】従来の表示装置の欠陥修正装置は、透過型
の液晶表示装置１の欠陥修正を行うものとなっており、
例えば図１０に示す構成を有している。なお、透過型の
液晶表示装置１とは、ＴＦＴ側基板２側に配された光源
からの光を対向側基板３を透過させることにより、対向
側基板３側にて表示を行うものである。即ち、この透過
型の液晶表示装置１は、対向側基板３側に光源が配され
た場合、表示状態とならない。したがって、対向側基板
３側が暗くなる室内等での使用に適しており、対向側基
板３側が明るくなる屋外等では、表示が見辛くなる。

【０００６】欠陥修正装置１０１は、点灯プローブ１０
３と移動装置１０２とを備えている。点灯プローブ１０
３は、液晶表示装置１にこれを点灯駆動する表示信号を
供給するためのものである。移動装置１０２は、液晶表
示装置１を点灯状態で移動させることができる移動ステ
ージ１０２ａと、この移動ステージ１０２ａを支持する
支持架台１０２ｂとを備えている。

【０００７】欠陥修正装置１０１は、また、光ビーム照
射装置１０４、第１ハーフミラー１０５と第２ハーフミ
ラー１０６、レンズ切換装置１０７、落射照明装置１０
８、カメラ１０９、モニタ１１０および透過照明装置１
１１を備えている。

【０００８】光ビーム照射装置１０４は、液晶表示装置
１の欠陥部を修正するためのものであり、カメラ１０９
は、光ビーム照射装置１０４による光ビーム照射箇所を
確認し、液晶表示装置１の絵素の点灯状態を観察するた
めのものである。落射照明装置１０８は、カメラ１０９
の撮像用の照明であり、第１ハーフミラー１０５および
第２ハーフミラー１０６は、カメラ１０９と落射照明装
置１０８に対する光路を導くものである。レンズ切換装
置１０７は、光ビーム照射装置１０４から液晶表示装置
１に光ビームを照射するため、および液晶表示装置１の
表示状態を観察するために必要な数種類の倍率レンズを
選択できるものであり、透過照明装置１１１は、光を照
射し、これが液晶表示装置１を透過することにより、作
業者４０やカメラ１０９に表示状態を示すためのもので
ある。

【０００９】次に、上記欠陥修正装置１０１による液晶
表示装置１の欠陥修正方法について説明する。なお、こ
の欠陥修正に先立ち、液晶表示装置１に対しては点灯検
査が行われ、その欠陥箇所（欠陥絵素４３を含む箇所）
に欠陥位置マーク４１が作業者４０によって記される。

【００１０】まず、作業者４０は、透過照明装置１１１
の光が液晶表示装置１を透過している状態で、対向側基
板３に記された欠陥位置マーク４１を目視して、液晶表
示装置１が光ビーム照射装置１０４の照射直下位置に来
るように移動ステージ１０２ａを操作する。

【００１１】次に、作業者４０は、ＴＦＴ側基板２側観
察用のモニタ１１０を観察しながら、点灯プローブ１０
３を介して駆動装置（図示せず）から付与される表示信
号を切り換えて、図５（図５の上図）に示すように、モ
ニタ１１０により欠陥絵素４３を確認できるようにす
る。

【００１２】この時、作業者４０は、切り換えた表示信
号とモニタ１１０上の欠陥絵素４３の表示状態の変化等
から、予め定められた基準に従い、その欠陥の種類を判
定する。

【００１３】次に、作業者４０は、モニタ１１０を観察
しながら、予め教示されている光ビーム照射位置教示マ
ーク４４に欠陥絵素４３が重合するように移動ステージ
１０２ａを操作する（図５の下図）。

【００１４】次に、作業者４０は、レンズ切換装置１０
７を操作して光ビーム照射用の倍率レンズにより、モニ
タ１１０を図６に示すような光ビーム照射設定用の表示
とする。

【００１５】次に、作業者４０は、欠陥の種類毎に予め
作成された修正手順群の中から、先に判定した欠陥の種
類と合致する修正手順を選択して、光ビーム照射形状教
示マーク４５を観察しながら、上記手順に示された光ビ
ームの照射形状および照射強度等を設定し、ＴＦＴ配線
部４６の前記手順に示された位置に光ビーム照射形状教
示マーク４５が重合するように移動ステージ１０２ａを
操作し、順次光ビーム照射を照射する。

【００１６】次に、作業者４０は、レンズ切換装置１０
７を操作して欠陥修正確認用の倍率レンズにより、モニ
タ１１０を図６に示すような欠陥修正確認用の表示とす
る。

【００１７】次に、作業者４０は、モニタ１１０を観察
しながら、点灯プローブ１０３を介して付与される表示
信号を切り換えて、欠陥絵素４３が修正されたか否かを
判断する。以上の作業を、作業者４０は、各欠陥位置マ
ーク４１について、順次行う。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
液晶表示装置の欠陥修正装置１０１では、透過型の液晶
表示装置１に対してのみ欠陥修正可能であり、反射型の
液晶表示装置１に対する欠陥修正が不可能である。な
お、反射型の液晶表示装置１とは、対向側基板３側に配
された光源からの光をＴＦＴ側基板２上で対向側基板３
側に反射させることにより、対向側基板３側にて表示を
行うものである。即ち、この反射型の液晶表示装置１
は、ＴＦＴ側基板２側に光源が配された場合、表示状態
とならない。したがって、対向側基板３側が明るくなる
屋外等での使用に適しており、対向側基板３側が暗くな
る室内等では、表示が見辛くなる。

【００１９】即ち、液晶表示装置１の欠陥位置の特定に
用いるカメラ１０９の撮像側（作業者４０の目視側）は
ＴＦＴ側基板２側であり、この側からでは、反射型の液
晶表示装置１の対向側基板３上に記された欠陥位置マー
ク４１や反射による点灯表示状態を確認することができ
ない。この結果、欠陥の修正は不可能である。

【００２０】本発明は、上記の問題点を解決するために
なされたものであって、その目的は、透過型の表示装置
のみならず、反射型の表示装置に対しても、欠陥の修正
を行なうことができ、かつこの作業を容易に行なうこと
ができる表示装置の欠陥修正装置を提供することにあ
る。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の表示装置の欠陥修正装置は、表示装置の
欠陥箇所を修正するための光ビームを照射する光ビーム
照射手段と、前記光ビーム照射手段による光ビーム照射
位置を表示装置の裏面側から撮像する光ビーム照射位置
撮像手段と、前記表示装置を支持するとともに、この表
示装置での前記光ビームの照射位置を変更する方向へ表
示装置を移動可能な移動手段と、前記表示装置に表示信
号を付与して表示装置の各絵素を表示状態に駆動する駆
動手段と、前記表示装置における絵素の表示状態を、表
示装置の表面側から撮像する表示状態撮像手段と、前記
光ビーム照射位置撮像手段と前記表示状態撮像手段とに
より撮像された映像を表示する映像表示手段と、前記映
像表示手段での表示画面上において前記光ビーム照射手
段による前記表示装置上での光ビーム照射位置を特定す
るための位置特定手段とを備えていることを特徴として
いる。

【００２２】上記の構成によれば、駆動手段により表示
装置を駆動している状態において、表示状態撮像手段お
よび映像表示手段を使用して、表示装置における絵素の
表示状態を表示装置の表面側から観察することにより、
表示装置の欠陥絵素を特定することができる。

【００２３】その後、光ビーム照射位置撮像手段および
映像表示手段を使用して表示装置を裏面側から観察しな
がら、位置特定手段にて光ビーム照射手段による表示装
置上での光ビーム照射位置を特定するとともに、この光
ビーム照射位置と前記欠陥絵素の位置とが一致するよう
に、移動手段にて表示装置を移動させ、光ビーム照射手
段から前記欠陥絵素に対して光ビームを照射すれば、そ
の欠陥絵素を修正することができる。

【００２４】上記のように、本欠陥修正装置では、表示
装置における絵素の表示状態を表示装置の表面側から観
察する一方、欠陥修正のための光ビーム照射位置を表示
装置の裏面側から観察しているので、透過型および反射
型の表示装置の欠陥修正が可能である。

【００２５】また、表示装置の表側の映像と裏側の映像
とを同一の映像表示手段にて表示するようにしているの
で、表示装置の欠陥修正作業において、作業者が上記二
つの映像を別々の映像表示手段によって見比べるといっ
た作業が不要となり、作業性が向上する。これにより、
表示装置の欠陥修正を容易かつ確実に行うことができ
る。この結果、表示装置の良品率を向上させて、コスト
ダウンを図ることができる。

【００２６】上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記光
ビーム照射位置撮像手段による映像と前記表示状態撮像
手段による映像との何れか一方の映像を、表示装置の左
右方向と上下方向との何れか一方向において反転させる
映像信号反転手段を備えている構成である。

【００２７】上記の構成によれば、映像信号反転手段に
て、光ビーム照射位置撮像手段による映像と表示状態撮
像手段による映像との何れか一方の映像を、表示装置の
左右方向と上下方向との何れか一方向において反転させ
ることにより、表示装置を移動手段にて移動させたと
き、映像表示手段の表示画面上における表示装置の上記
両映像の移動方向を一致させることができる。

【００２８】これにより、作業者が、映像表示手段の表
示画面を観察しながら表示装置の欠陥位置を特定する作
業等において、移動手段により表示装置を何れの方向に
移動させれば良いかの判断に混乱を来すことなく、その
作業を容易に行なうことができる。

【００２９】また、上記の表示装置の欠陥修正装置は、
前記光ビーム照射位置撮像手段による映像と前記表示状
態撮像手段による映像とが前記映像表示手段の表示画面
において重ね合わされて表示されるように切り換える表
示状態切換え手段を備えている構成としてもよい。

【００３０】上記の構成によれば、１台の映像表示手段
に、光ビーム照射位置撮像手段による映像と表示状態撮
像手段による映像とを重ね合わせて表示することができ
る。これにより、作業者は、表示装置の絵素の挙動が修
正した絵素のものであるのか、修正した絵素に隣接する
絵素のものであるのかを容易かつ正確に認識することが
できる。また、欠陥絵素に対して光ビーム照射位置を一
致させることが非常に容易となる。この結果、表示装置
の欠陥修正を容易かつ正確に行うことができる。

【００３１】また、上記の表示装置の欠陥修正装置は、
前記光ビーム照射位置撮像手段による映像と前記表示状
態撮像手段による映像とが前記映像表示手段の表示画面
において並べて表示されるように切り換える表示状態切
換え手段を備えている構成としてもよい。

【００３２】上記の構成によれば、１台の映像表示手段
に、光ビーム照射位置撮像手段による映像と表示状態撮
像手段による映像とを並べて表示することができる。こ
れにより、作業者は、１台の映像表示手段の表示画面を
観察しながら、例えば、一方の映像、即ち光ビーム照射
位置撮像手段による映像から反射層の異常を検知した場
合、他方の映像、即ち表示状態撮像手段による映像に基
づいて、上記異常が不良レベルものであるか否かを正確
に、かつ容易に判断することができる。

【００３３】また、上記の表示装置の欠陥修正装置は、
前記映像表示手段における表示状態を、前記光ビーム照
射位置撮像手段による映像と前記表示状態撮像手段によ
る映像との何れか一方を表示する状態と、これら両映像
を並べて表示する状態と、上記両映像を重ね合わせて表
示する状態とに切り換える表示状態切換え手段を備えて
いる構成としてもよい。

【００３４】上記の構成によれば、表示切換え手段によ
り、映像表示手段が光ビーム照射位置撮像手段による映
像と前記表示状態撮像手段による映像との何れか一方を
表示する状態と、これら両映像を重ね合わせて表示する
状態と、これら両映像を並べて表示する状態とを選択す
ることができる。

【００３５】これにより、１台の映像表示手段により、
光ビーム照射位置撮像手段による映像または表示状態撮
像手段による映像を適切に表示し得るとともに、これら
両映像を重ね合わせて、あるいは並べて表示することに
より、作業者が、映像表示画面上において、表示装置の
欠陥を修正した絵素とそれ以外の絵素とを明確かつ容易
に識別することができる。したがって、欠陥の修正結果
の確認を容易に行なうことができる。

【００３６】

【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態を図１ない
し図９に基づいて以下に説明する。まず、本発明の前提
となる表示装置の欠陥修正装置を、図２に基づいて説明
する。この欠陥修正装置１１は、例えば図３に示す反射
型の液晶表示装置１の欠陥箇所を修正するものである。
この液晶表示装置１には、欠陥修正に先立ち、点灯検査
が行われ、その欠陥箇所（欠陥絵素４３を含む箇所）に
欠陥位置マーク４１が作業者４０によって記される。

【００３７】液晶表示装置１は、ＴＦＴ側基板２と、対
向側電極やカラーフィルターを形成する対向側基板３と
が、液晶層（図示せず）を介して張り合わされた構造を
有している。

【００３８】欠陥修正装置１１は、移動装置１２および
この移動装置１２に設けられた点灯プローブ１３を備え
ている。移動装置１２は、液晶表示装置１を点灯状態で
移動させることができる移動ステージ１２ａと、この移
動ステージ１２ａを支持する支持架台１２ｂとを有して
いる。

【００３９】点灯プローブ１３は、液晶表示装置１に点
灯駆動用の表示信号を供給するためのものである。点灯
プローブ１３には、上記表示信号を出力する駆動装置２
８が接続されている。なお、上記移動ステージ１２ａお
よび支持架台１２ｂには、対向側基板３側からの液晶表
示装置１の観察を可能とする開口部１２ａ₁、１２ｂ ₁
がそれぞれ形成されている。

【００４０】欠陥修正装置１１は、また、点灯プローブ
１３に取り付けられた液晶表示装置１のＴＦＴ側基板２
側に、光ビーム照射装置１４、第１ハーフミラー１５、
第２ハーフミラー１６、レンズ切換え装置１７、落射照
明装置１８、照射部観察用カメラ１９および第１モニタ
２０を備えている。

【００４１】光ビーム照射装置１４は、液晶表示装置１
の欠陥部を修正するための光ビームを照射するものであ
る。第１ハーフミラー１５、第２ハーフミラー１６およ
びレンズ切換え装置１７は、光ビーム照射装置１４から
液晶表示装置１への光路中にこの順序で設けられてい
る。レンズ切換え装置１７は、液晶表示装置１への光ビ
ームの照射状態や液晶表示装置１の表示状態を観察する
ために必要な数種類の倍率レンズを備え、これらのうち
から選択されたレンズを上記光路中に配するものであ
る。落射照明装置１８は照射部観察用カメラ１９による
撮像用の照明装置であり、この落射照明装置１８の光は
第２ハーフミラー１６に反射されて液晶表示装置１に照
射される。照射部観察用カメラ１９は、液晶表示装置１
からの光を第１ハーフミラー１５を介して受けることに
より、光ビーム照射装置１４からの液晶表示装置１に対
する光ビーム照射位置を観察するためのものである。第
１モニタ２０は、照射部観察用カメラ１９による撮像画
像を表示するものである。

【００４２】欠陥修正装置１１は、さらに、点灯プロー
ブ１３に取り付けられた液晶表示装置１の対向側基板３
側に、低倍率カメラ２１、高倍率カメラ２２、反射照明
装置２３、マーク第１付与装置２４、マーク第２付与装
置２５、カメラ表示切換器２６、第２モニタ２７を備え
ている。

【００４３】低倍率カメラ２１は、作業者４０が高倍率
カメラ２２の視野に欠陥絵素４３を導くための拡大視野
追い込み用のカメラである。高倍率カメラ２２は、作業
者４０が液晶表示装置１の後述する欠陥絵素４３を特定
して、その欠陥絵素４３を光ビーム照射位置に移動させ
るための欠陥絵素位置特定用のカメラである。即ち、作
業者４０は、高倍率カメラ２２の出力映像を観察するこ
とにより欠陥絵素４３を特定し、その欠陥絵素４３を移
動装置１２により光ビーム照射位置に移動させることが
できる。反射照明装置２３は、高倍率カメラ２２および
低倍率カメラ２１による液晶表示装置１の表示画像撮像
用の照明装置である。

【００４４】マーク第１付与装置２４は、低倍率カメラ
２１の視野内に高倍率カメラ２２の視野位置を特定して
示すためのものである。これにより、カメラ表示切換器
２６にて低倍率カメラ２１の出力を選択した際、図４に
示す高倍率カメラ視野教示用マーク４２が付加された液
晶表示装置１の映像がカメラ表示切換器２６を介して第
２モニタ２７に表示される。マーク第２付与装置２５
は、高倍率カメラ２２の視野内に光ビームの照射位置を
特定して示すためのものである。これにより、カメラ表
示切換器２６にて高倍率カメラ２２の出力を選択した
際、光ビーム照射位置教示マーク４４（図５参照）が付
加された液晶表示装置１の映像がカメラ表示切換器２６
を介して第２モニタ２７に表示される。

【００４５】マーク第１付与装置２４およびマーク第２
付与装置２５は、カメラ画像の特定の位置に、カメラ画
像に重ねてマークを表示させるための装置であり、例え
ばクロスライン発生器と呼ばれる装置からなる。このク
ロスライン発生器としては、例えば有限会社ナイス電子
製の電子ライン発生器（DL-3201,D-3401,DL-3601等）を
使用することができる。

【００４６】カメラ表示切換器２６は、第２モニタ２７
に表示する映像を、高倍率カメラ２２の出力と低倍率カ
メラ２１の出力とから選択する切換え装置である。第２
モニタ２７はカメラ表示切換器２６を介して供給される
映像を表示するものである。

【００４７】次に、欠陥修正装置１１による液晶表示装
置１の欠陥修正方法について説明する。まず、作業者４
０は、カメラ表示切換器２６を操作して、第２モニタ２
７に低倍率カメラ２１により撮像された液晶表示装置１
の図４（図４の上側）に示すような映像を表示させる。

【００４８】次に、作業者４０は、反射照明装置２３の
照射光により、第２モニタ２７の表示画面において、図
４（図４の下側）に示すように、液晶表示装置１の対向
側基板３に記された欠陥位置マーク４１が第２モニタ２
７の表示画面の所定位置に設定された高倍率カメラ視野
教示用マーク４２と重合するように、移動ステージ１２
ａを操作する。

【００４９】次に、作業者４０は、カメラ表示切換器２
６を操作して、第２モニタ２７に欠陥絵素位置特定用の
高倍率カメラ２２からの図５（図５の上側）に示すよう
な映像を表示させる。

【００５０】次に、作業者４０は、第２モニタ２７を観
察しながら、点灯プローブ１３を介して駆動装置２８か
ら液晶表示装置１に付与される表示信号を切り換えて、
第１モニタ２０において欠陥絵素４３が確認できるよう
にする。この時、作業者４０は、切り換えた表示信号と
モニタ上欠陥絵素の表示状態の変化等から、予め定めら
れた基準に従い、その欠陥の種類を判定する。

【００５１】次に、作業者４０は、第２モニタ２７を観
察しながら、図５（図５の下側）に示すように、所定位
置に設定されている光ビーム照射位置教示マーク４４に
欠陥絵素４３が重合するように移動ステージ１２ａを操
作する。

【００５２】次に、作業者４０は、レンズ切換え装置１
７を操作して、光ビーム照射用の倍率レンズにより、第
１モニタ２０の表示画面を図６に示すような光ビーム照
射設定用の表示とする。

【００５３】次に、作業者４０は、欠陥絵素４３におけ
る欠陥の種類毎に予め作成されている修正手順群のうち
から、先に判定した欠陥種類と合致する修正手順を選択
する。そして、光ビーム照射形状教示マーク４５を観察
しながら、上記手順に示された光ビーム照射形状および
照射強度等を設定する。さらに、液晶表示装置１におけ
るＴＦＴ配線部４６の上記手順に示された位置に光ビー
ム照射形状教示マーク４５が重合するように移動ステー
ジ１２ａを操作し、光ビーム照射装置１４から順次光ビ
ームを照射する。

【００５４】次に、作業者４０は、カメラ表示切換器２
６を操作して、第２モニタ２７に、高倍率カメラ２２も
しくは低倍率カメラ２１からの映像を選択して表示させ
る。そして、第２モニタ２７を観察しながら、点灯プロ
ーブ１３を介して液晶表示装置１に付与される表示信号
を切り換えて、欠陥絵素４３が修正されたか否かを判断
する。以上の作業を、作業者４０は、各欠陥位置マーク
４１について、順次行う。

【００５５】上記の欠陥修正装置１１では、作業者４０
は、修正作業の進行に応じて、２台のモニタ、即ち第１
および第２モニタ２０、２７を逐次見比べる必要があ
り、これが作業者４０の負担となっている。

【００５６】さらに、一部の欠陥修正方法においては、
修正した絵素の表示挙動が隣接する絵素に影響を及ぼす
場合があり、２台のモニタ２０、２７を逐次見比べなが
らの作業では、モニタ６５上の絵素の挙動が修正した絵
素のものであるのか、修正した絵素に隣接する絵素のも
のであるのかを誤認識し易く、欠陥修正を失敗する虞が
ある。

【００５７】さらに、照射部観察用カメラ１９と低倍率
カメラ２１および高倍率カメラ２２とは、液晶表示装置
１を挟んで反対側に位置しているため、移動装置１２に
より液晶表示装置１をその上下方向に移動させた場合、
液晶表示装置１の映像は、第１モニタ２０と第２モニタ
２７とで共に上下同方向に移動するものの、左右に移動
させた場合、第１モニタ２０と第２モニタ２７とで互い
に左右逆方向に移動することになる。この結果、作業者
４０が欠陥位置を特定する作業において、移動ステージ
１２ａをどの方向に移動させれば良いかの判断に混乱を
来し易くなっている。

【００５８】そこで、本願の発明者は、さらに、作業者
４０による液晶表示装置１の修正作業において、２台の
モニタ２０、２７を見比べる負担を無くすとともに、モ
ニタ上の絵素の挙動が修正した絵素のものであるか、修
正した絵素に隣接する絵素のものであるのかを正確に、
かつ容易に認識できる上、欠陥位置を特定する作業上で
の移動ステージ１２ａ、即ち液晶表示装置１の移動方向
を正確に、かつ容易に判断できる表示装置の欠陥修正装
置を開発した。

【００５９】以下この表示装置の欠陥修正装置を、図１
に基づいて説明する。なお、前記の図面に示した手段と
同一の機能を有する手段には同一の符号を付記し、その
説明を省略する。

【００６０】図１に示すように、本実施の形態における
表示装置の欠陥修正装置３１は、反射型の液晶表示装置
１を保持するための点灯プローブ１３、この点灯プロー
ブ１３を支持する移動装置（移動手段）１２、および駆
動装置（駆動手段）２８を備えている。

【００６１】欠陥修正装置３１は、また、点灯プローブ
１３に取り付けられた液晶表示装置１のＴＦＴ側基板２
側に、光ビーム照射装置（光ビーム照射手段）１４、第
１ハーフミラー１５、第２ハーフミラー１６、レンズ切
換え装置１７、落射照明装置１８、照射部観察用カメラ
（光ビーム照射位置撮像手段）１９を備えている。

【００６２】欠陥修正装置３１は、さらに、上記液晶表
示装置１の対向側基板３側に、低倍率カメラ（表示状態
撮像手段）２１、高倍率カメラ（表示状態撮像手段）２
２、反射照明装置２３、マーク第１付与装置２４、マー
ク第２付与装置（位置特定手段）２５、カメラ表示切換
器２６、映像信号反転装置（映像信号反転手段）３２、
映像信号合成装置（表示状態切換え手段）３３、合成方
法切換入力装置（表示状態切換え手段）３４および合成
映像用モニタ（映像表示手段）３５を備えている。

【００６３】上記の映像信号反転装置３２は、カメラ表
示切換器２６を介して得られる低倍率カメラ２１または
高倍率カメラ２２からの液晶表示装置１の表示状態観察
用映像と、照射部観察用カメラ１９から得られるビーム
照射位置観察用映像との何れか一方を左右方向または上
下方向の何れか一方向において反転させるものである。

【００６４】映像信号合成装置３３は、映像信号反転装
置３２から出力される二つの映像、即ち左右方向または
上下方向が反転した映像と、反転していない映像とを合
成するものである。上記映像信号合成装置３３は、上記
二つの映像を複数の合成方法にて合成可能である。例え
ば、上記二つの映像が重ね合わされた状態に合成する。
あるいは、上記二つの映像が、上下方向または左右方向
に並べられた状態に合成する。

【００６５】合成方法切換入力装置３４は、上記複数の
合成方法のうちから作業者４０が適当な合成方法を選択
するためのものである。さらに、合成方法切換入力装置
３４は、上記二つの映像のうちの何れか一方のみを選択
して、合成映像用モニタ３５に表示させることができる
ようになっている。

【００６６】したがって、合成映像用モニタ３５には、
合成方法切換入力装置３４により選択され、映像信号合
成装置３３から供給された映像が表示される。

【００６７】ここで、上記映像信号反転装置３２および
映像信号合成装置３３についてさらに詳細に説明する。

【００６８】図７に示すように、照射部観察用カメラ１
９および高倍率カメラ２２にて撮像された映像は、映像
信号反転装置３２および映像信号合成装置３３を経た
後、合成映像用モニタ３５に表示される。

【００６９】液晶表示装置１に例えば同図に示す矢印が
表示されている場合、照射部観察用カメラ１９には、液
晶表示装置１の裏面からの画像として画像Ａが入力され
る。一方、高倍率カメラ２２には、表面からの画像とし
て画像Ｂが入力される。

【００７０】今、映像信号反転装置３２により高倍率カ
メラ２２の出力画像（画像Ｂ）を反転させた場合、画像
Ｂは画像Ｃのように変換される。即ち、映像信号反転装
置３２では、図８に示す処理が行なわれる。

【００７１】次に、映像信号合成装置３３に画像Ａと画
像Ｃとが重なり合う合成処理を行なわせた場合、合成映
像用モニタ３５には画像Ａと画像Ｃとが重ね合わされた
状態の画像Ｄが表示される。即ち、映像信号合成装置３
３では、図９に示す処理が行なわれる。

【００７２】一方、映像信号合成装置３３に画像Ａと画
像Ｃとが上下に並ぶ合成処理を行なわせた場合、合成映
像用モニタ３５には画像Ａと画像Ｃとが上下に並んだ状
態の画像Ｅが表示される。

【００７３】上記のような映像信号反転装置３２および
映像信号合成装置３３としては、例えば、Matrox Elect
ronic Systems Ltd.製の高速画像処理装置（商品名Ｇ
ＥＮＥＳＩＳ、販売代理店住金制御エンジニアリング
株式会社）や、東京電子工業株式会社製の電子ライン発
生器・センターワイプ装置（商品名ＬＧ４１０Ｗ）が
知られている。

【００７４】次に、欠陥修正装置３１による液晶表示装
置１の欠陥修正方法について説明する。まず、作業者４
０は、映像信号反転装置３２を操作して、カメラ表示切
換器２６を介して得られる低倍率カメラ２１または高倍
率カメラ２２からの映像信号が左右方向において反転す
るよう設定する。

【００７５】次に、作業者４０は、カメラ表示切換器２
６を操作して拡大視野追い込み用の低倍率カメラ２１を
選択し、さらに、合成映像用モニタ３５に低倍率カメラ
２１からの図４（図４の上側）に示すような映像のみが
表示されるように、合成方法切換入力装置３４を操作す
る。

【００７６】次に、作業者４０は、反射照明装置２３の
光量等を調整して、合成映像用モニタ３５において液晶
表示装置１の対向側基板３に記された欠陥位置マーク４
１を視認できるようにする。

【００７７】次に、作業者４０は、図４（図４の下側）
に示すように、合成映像用モニタ３５に映し出された欠
陥位置マーク（欠陥箇所）４１が、予め所定位置、例え
ば合成映像用モニタ３５における表示画面の中央部に設
定された高倍率カメラ視野教示用マーク４２と重合する
ように、移動ステージ１２ａを操作する。

【００７８】次に、作業者４０は、カメラ表示切換器２
６を操作して、合成映像用モニタ３５に欠陥絵素位置特
定用の高倍率カメラ２２からの図５（図５の上側）に示
すような映像、即ち高倍率カメラ視野教示用マーク４２
の位置における欠陥位置マーク４１の部分が拡大された
映像を表示させる。

【００７９】次に、作業者４０は、合成映像用モニタ３
５を観察しながら、点灯プローブ１３を介して駆動装置
２８から液晶表示装置１に付与される表示信号を切り換
え、さらに、反射照明装置２３の光量等を調整し、合成
映像用モニタ３５において欠陥絵素４３が確認できるよ
うにする。このとき、作業者４０は、切り換えた表示信
号と、合成映像用モニタ３５上の欠陥絵素４３について
の上記表示信号の切り換えによる表示状態の変化等か
ら、予め定められた基準に従って、欠陥絵素４３の欠陥
の種類を判定する。

【００８０】次に、作業者４０は、合成映像用モニタ３
５を観察しながら、図５（図５の下側）に示すように、
予め所定位置、例えば合成映像用モニタ３５における表
示画面の中央部に設定されている光ビーム照射位置教示
マーク４４に欠陥絵素４３が重合するように移動ステー
ジ１２ａを操作する。

【００８１】次に、作業者４０は、レンズ切換え装置１
７を操作して光ビーム照射用の倍率レンズを光路に配す
るとともに、照射部観察用カメラ１９からの図６に示す
ような光ビーム照射設定用の映像のみが合成映像用モニ
タ３５に表示されるように、合成方法切換入力装置３４
への入力により映像信号合成装置３３を操作する。

【００８２】次に、作業者４０は、欠陥絵素４３におけ
る欠陥の種類毎に予め作成されている修正手順群のうち
から、先に判定した欠陥種類と合致する修正手順を選択
する。そして、光ビーム照射装置１４からの光ビームの
照射形状を示す光ビーム照射形状教示マーク４５を観察
しながら、上記手順に示された光ビーム照射形状および
照射強度等を設定する。さらに、液晶表示装置１におけ
るＴＦＴ配線部４６の上記手順に示された位置に光ビー
ム照射形状教示マーク４５が重合するように移動ステー
ジ１２ａを操作し、光ビーム照射装置１４から順次光ビ
ームを照射する。

【００８３】次に、作業者４０は、カメラ表示切換器２
６を操作して、高倍率カメラ２２からの映像を選択する
とともに、この映像と照射部観察用カメラ１９からの映
像とを重ね合わせた映像が合成映像用モニタ３５に表示
されるように、合成方法切換入力装置３４への入力によ
り映像信号合成装置３３を操作する。

【００８４】次に、作業者４０は、反射照明装置２３の
光量等を調整して、欠陥絵素３１が修正されたか否か
を、合成映像用モニタ３５に映し出された修正絵素の表
示状態の映像（高倍率カメラ２２からの映像）と修正絵
素位置の映像（照射部観察用カメラ１９からの映像）と
が重なった映像から判断する。以上の作業を、作業者４
０は、各欠陥位置マーク４１について、順次行う。

【００８５】上記のように、本実施の形態の欠陥修正装
置３１では、液晶表示装置１の表面からの映像、即ち欠
陥絵素４３の表示状態と、裏面からの映像とを同一の合
成映像用モニタ３５にて観察できるようになっている。
したがって、液晶表示装置１における欠陥絵素４３の修
正作業を１個の合成映像用モニタ３５のみを観察しなが
ら容易に行なうことができる。

【００８６】ここで、図４に示した高倍率カメラ視野教
示用マーク４２と、図５に示した光ビーム照射位置教示
マーク４４と、図６に示した光ビーム照射形状教示マー
ク４５の各位置を関連付ける方法について説明する。

【００８７】まず、作業者４０は、レンズ切換え装置１
７および合成方法切換入力装置３４を操作して、合成映
像用モニタ３５を図６に示すような光ビーム照射設定用
の表示とする。

【００８８】次に、作業者４０は、合成映像用モニタ３
５の表示画面の任意のコーナーにおける液晶表示装置１
の最外郭の絵素、例えば最上段右端の絵素の中心が光ビ
ーム照射形状教示マーク４５と重なるように移動ステー
ジ１２ａを操作する。

【００８９】次に、作業者４０は、カメラ表示切換器２
６および合成方法切換入力装置３４を操作して、合成映
像用モニタ３５に欠陥絵素位置特定用の高倍率カメラ２
２からの図５に示すような映像を表示させる。

【００９０】次に、作業者４０は、合成映像用モニタ３
５に表示されている映像における、上記の最上段右端の
絵素に光ビーム照射位置教示マーク４４が重なるよう
に、マーク第２付与装置２５を操作して、マーク４４の
位置を調整する。

【００９１】次に、作業者４０は、カメラ表示切換器２
６および合成方法切換入力装置３４を操作して、合成映
像用モニタ３５に低倍率カメラ２１からの図４に示すよ
うな映像を表示させる。

【００９２】次に、作業者４０は、合成映像用モニタ３
５に表示されている映像における、上記の最上段右端の
絵素に高倍率カメラ視野教示用マーク４２が重なるよう
に、マーク第１付与装置２４を操作して、マーク４２の
位置を調整する。

【００９３】以上の作業により、低倍率カメラ２１内の
高倍率カメラ２２の視野位置、即ち高倍率カメラ視野教
示用マーク４２と、高倍率カメラ２２内の光ビーム照射
位置、即ち光ビーム照射位置教示マーク４４とを、各カ
メラ視野光軸が一致していなくても、関連付けることが
できる。

【００９４】なお、本実施の形態では、表示装置として
反射型の液晶表示装置１の欠陥修正を例に挙げて説明し
たが、本欠陥修正装置３１は、透過型の液晶表示装置１
の欠陥修正にも適応することができるのは勿論である。

【００９５】また、本欠陥修正装置３１は、例えば、低
温ポリシリコン液晶表示装置、高温ポリシリコン液晶表
示装置、ＬＣＤオン単結晶シリコンデバイス、ＥＬ表示
装置、プラズマ表示装置、プラズマアドレス液晶表示装
置（ＰＡＬＣ）等の表示装置に存在する欠陥の修正にも
適応することが可能である。

【００９６】さらに、本欠陥修正装置３１は、欠陥箇所
の修正を行うだけでなく、修正工程前の点灯検査のため
の装置としても単独で十分に使用できるものであり、ま
た点灯検査装置および欠陥修正装置の両機能を備えた欠
陥検査修正装置としても使用可能である。

【００９７】以上のように、本発明の表示装置の欠陥修
正装置は、映像信号合成手段が、複数の映像のうちから
１つの映像のみを選択して映像表示手段に表示させる機
能を備えていてもよい。

【００９８】上記の構成によれば、１台の映像表示手段
に、光ビーム照射位置撮像手段による映像と表示状態撮
像手段による映像との何れか一方を選択して１つの映像
のみを表示することができる。これにより、作業者が、
１台の映像表示手段に表示される、例えば、表示状態撮
像手段による低倍率表示状態観察映像と高倍率表示状態
観察映像とから欠陥位置を特定する場合に、表示状態撮
像手段による映像のみを詳細に映像表示手段に表示させ
ることができる。また、例えば、光ビーム照射位置撮像
手段による映像に基づいて、配線パターン形成状態の詳
細を観察する際には、光ビーム照射位置撮像手段による
映像のみを映像表示手段に詳細に表示させることができ
る。このような表示を行なうことにより、それぞれの作
業を容易に行なうことができる。

【００９９】

【発明の効果】以上のように、本発明の表示装置の欠陥
修正装置は、表示装置の欠陥箇所を修正するための光ビ
ームを照射する光ビーム照射手段と、前記光ビーム照射
手段による光ビーム照射位置を表示装置の裏面側から撮
像する光ビーム照射位置撮像手段と、前記表示装置を支
持するとともに、この表示装置での前記光ビームの照射
位置を変更する方向へ表示装置を移動可能な移動手段
と、前記表示装置に表示信号を付与して表示装置の各絵
素を表示状態に駆動する駆動手段と、前記表示装置にお
ける絵素の表示状態を、表示装置の表面側から撮像する
表示状態撮像手段と、前記光ビーム照射位置撮像手段と
前記表示状態撮像手段とにより撮像された映像を表示す
る映像表示手段と、前記映像表示手段での表示画面上に
おいて前記光ビーム照射手段による前記表示装置上での
光ビーム照射位置を特定するための位置特定手段とを備
えている構成である。

【０１００】このように、本欠陥修正装置では、表示装
置における絵素の表示状態を表示装置の表面側から観察
する一方、欠陥修正のための光ビーム照射位置を表示装
置の裏面側から観察しているので、透過型および反射型
の表示装置の欠陥修正が可能である。

【０１０１】また、表示装置の表側の映像と裏側の映像
とを同一の映像表示手段にて表示するようにしているの
で、表示装置の欠陥修正作業において、作業者が上記二
つの映像を別々の映像表示手段によって見比べるといっ
た作業が不要となり、作業性が向上する。これにより、
表示装置の欠陥修正を容易かつ確実に行うことができ
る。この結果、表示装置の良品率を向上させて、コスト
ダウンを図ることができる。

【０１０２】上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記光
ビーム照射位置撮像手段による映像と前記表示状態撮像
手段による映像との何れか一方の映像を、表示装置の左
右方向と上下方向との何れか一方向において反転させる
映像信号反転手段を備えている構成である。

【０１０３】上記の構成によれば、映像信号反転手段に
て、光ビーム照射位置撮像手段による映像と表示状態撮
像手段による映像との何れか一方の映像を、表示装置の
左右方向と上下方向との何れか一方向において反転させ
ることにより、表示装置を移動手段にて移動させたと
き、映像表示手段の表示画面上における表示装置の上記
両映像の移動方向を一致させることができる。

【０１０４】これにより、作業者が、映像表示手段の表
示画面を観察しながら表示装置の欠陥位置を特定する作
業等において、移動手段により表示装置を何れの方向に
移動させれば良いかの判断に混乱を来すことなく、その
作業を容易に行なうことができる。

【０１０５】また、上記の表示装置の欠陥修正装置は、
前記光ビーム照射位置撮像手段による映像と前記表示状
態撮像手段による映像とが前記映像表示手段の表示画面
において重ね合わされて表示されるように切り換える表
示状態切換え手段を備えている構成としてもよい。

【０１０６】上記の構成によれば、１台の映像表示手段
に、光ビーム照射位置撮像手段による映像と表示状態撮
像手段による映像とを重ね合わせて表示することができ
る。これにより、作業者は、表示装置の絵素の挙動が修
正した絵素のものであるのか、修正した絵素に隣接する
絵素のものであるのかを容易かつ正確に認識することが
できる。また、欠陥絵素に対して光ビーム照射位置を一
致させることが非常に容易となる。この結果、表示装置
の欠陥修正を容易かつ正確に行うことができる。

【０１０７】また、上記の表示装置の欠陥修正装置は、
前記光ビーム照射位置撮像手段による映像と前記表示状
態撮像手段による映像とが前記映像表示手段の表示画面
において並べて表示されるように切り換える表示状態切
換え手段を備えている構成としてもよい。

【０１０８】上記の構成によれば、１台の映像表示手段
に、光ビーム照射位置撮像手段による映像と表示状態撮
像手段による映像とを並べて表示することができる。こ
れにより、作業者は、１台の映像表示手段の表示画面を
観察しながら、例えば、一方の映像、即ち光ビーム照射
位置撮像手段による映像から反射層の異常を検知した場
合、他方の映像、即ち表示状態撮像手段による映像に基
づいて、上記異常が不良レベルものであるか否かを正確
に、かつ容易に判断することができる。

【０１０９】また、上記の表示装置の欠陥修正装置は、
前記映像表示手段における表示状態を、前記光ビーム照
射位置撮像手段による映像と前記表示状態撮像手段によ
る映像との何れか一方を表示する状態と、これら両映像
を並べて表示する状態と、上記両映像を重ね合わせて表
示する状態とに切り換える表示状態切換え手段を備えて
いる構成としてもよい。

【０１１０】上記の構成によれば、表示切換え手段によ
り、映像表示手段が光ビーム照射位置撮像手段による映
像と前記表示状態撮像手段による映像との何れか一方を
表示する状態と、これら両映像を重ね合わせて表示する
状態と、これら両映像を並べて表示する状態とを選択す
ることができる。

【０１１１】これにより、１台の映像表示手段により、
光ビーム照射位置撮像手段による映像または表示状態撮
像手段による映像を適切に表示し得るとともに、これら
両映像を重ね合わせて、あるいは並べて表示することに
より、作業者が、映像表示画面上において、表示装置の
欠陥を修正した絵素とそれ以外の絵素とを明確かつ容易
に識別することができる。したがって、欠陥の修正結果
の確認を容易に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態における表示装置の欠陥
修正装置の構成を示す説明図である。

【図２】図１に示した欠陥修正装置の前提となる欠陥修
正装置の構成を示す説明図である。

【図３】図３（ａ）は図１に示した液晶表示装置の正面
図、図３（ｂ）は同側面図である。

【図４】図１に示した拡大視野追い込み用の低倍率カメ
ラによる液晶表示装置の映像の説明図である。

【図５】図１に示した欠陥絵素位置特定用の高倍率カメ
ラによる液晶表示装置の映像の説明図である。

【図６】図１に示した光ビームの照射部観察用カメラに
よる撮像映像の説明図である。

【図７】図１に示した構成を映像信号反転装置および映
像信号合成装置に注目して簡略化したブロック図であ
る。

【図８】図７に示した映像信号反転装置の動作例を示す
説明図である。

【図９】図７に示した映像信号合成装置の動作例を示す
説明図である。

【図１０】従来の表示装置の欠陥修正装置の構成を示す
説明図である。

【符号の説明】

１液晶表示装置（表示装置）１２移動装置（移動手段）１３点灯プローブ１４光ビーム照射装置（光ビーム照射手段）１９照射部観察用カメラ（光ビーム照射位置撮像手
段）２１低倍率カメラ（表示状態撮像手段）２２高倍率カメラ（表示状態撮像手段）２５マーク第２付与装置（位置特定手段）２８駆動装置（駆動手段）３１欠陥修正装置３２映像信号反転装置（映像信号反転手段）３３映像信号合成装置（表示状態切換え手段）３４合成方法切換入力装置（表示状態切換え手段）３５合成映像用モニタ（映像表示手段）４１欠陥位置マーク４２高倍率カメラ視野教示用マーク４３欠陥絵素（欠陥箇所）４４光ビーム照射位置教示マーク

フロントページの続きＦターム(参考） 2G086 EE10 EE12 2H088 FA13 FA14 FA16 FA17 FA30 HA08 HA24 HA28 MA20 2H092 JA24 JB77 MA35 MA57 NA27 PA13 5G435 AA00 AA17 BB12 BB15 BB16 EE33 HH12 KK05 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表示装置の欠陥箇所を修正するための光ビ
ームを照射する光ビーム照射手段と、前記光ビーム照射手段による光ビーム照射位置を表示装
置の裏面側から撮像する光ビーム照射位置撮像手段と、前記表示装置を支持するとともに、この表示装置での前
記光ビームの照射位置を変更する方向へ表示装置を移動
可能な移動手段と、前記表示装置に表示信号を付与して表示装置の各絵素を
表示状態に駆動する駆動手段と、前記表示装置における絵素の表示状態を、表示装置の表
面側から撮像する表示状態撮像手段と、前記光ビーム照射位置撮像手段と前記表示状態撮像手段
とにより撮像された映像を表示する映像表示手段と、前記映像表示手段での表示画面上において前記光ビーム
照射手段による前記表示装置上での光ビーム照射位置を
特定するための位置特定手段とを備えていることを特徴
とする表示装置の欠陥修正装置。
【請求項２】前記光ビーム照射位置撮像手段による映像
と前記表示状態撮像手段による映像との何れか一方の映
像を、表示装置の左右方向と上下方向との何れか一方向
において反転させる映像信号反転手段を備えていること
を特徴とする請求項１に記載の表示装置の欠陥修正装
置。
【請求項３】前記光ビーム照射位置撮像手段による映像
と前記表示状態撮像手段による映像とが前記映像表示手
段の表示画面において重ね合わされて表示されるように
切り換える表示状態切換え手段を備えていることを特徴
とする請求項１または２に記載の表示装置の欠陥修正装
置。
【請求項４】前記光ビーム照射位置撮像手段による映像
と前記表示状態撮像手段による映像とが前記映像表示手
段の表示画面において並べて表示されるように切り換え
る表示状態切換え手段を備えていることを特徴とする請
求項１または２に記載の表示装置の欠陥修正装置。
【請求項５】前記映像表示手段における表示状態を、前
記光ビーム照射位置撮像手段による映像と前記表示状態
撮像手段による映像との何れか一方を表示する状態と、
これら両映像を並べて表示する状態と、上記両映像を重
ね合わせて表示する状態とに切り換える表示状態切換え
手段を備えていることを特徴とする請求項１または２に
記載の表示装置の欠陥修正装置。