JPH085509A - 光透過型表示パネルの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶表示パネルのような光透過型の表示パネ
ルの検査を効率的に行う光透過型表示パネルの検査装置
に関し、微細な絵素を有する光透過型表示パネルを正確
かつ迅速に検査できる検査装置を提供することを目的と
する。 【構成】 検査する光透過型の表示パネルを、その表示
部を光が透過する状態で保持し、表示パネルの外部信号
接続端子部に接離可能に接続されるテスタヘッドを備え
た第１の保持手段と、カーソルを表示する光透過型のカ
ーソル表示パネルを、その表示部を光が透過する状態で
保持する第２の保持手段と、第１および第２の保持手段
に保持された各表示パネルに光を照射し、各表示パネル
の透過光を合成してスクリーン上に合成画像として拡大
表示する光学系と、カーソルの位置を任意に移動制御
し、カーソルの合成画像上での位置データを出力する制
御装置とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネルのよう
な光透過型の表示パネルの検査を効率的に行うための光
透過型表示パネルの検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置、ＥＬ（エレクトロ・ルミ
ネッセンス）表示装置、プラズマ表示装置等の表示装置
を製造する工程では、光学的検査装置や電気的検査装置
等の検査装置を用いて製造途中の表示装置の出来上がり
品質状態を検査し、各工程において、製造途中の表示装
置が所定基準の品質状態を満たしていない場合は、その
工程において不合格とする。

【０００３】不合格となった表示装置は、その不合格の
工程の前工程における品質状態にまで修復が可能なら
ば、その修復を行った上で、再度、不合格になった工程
から表示装置を製造し直すということが行われている。

【０００４】例えば、液晶表示装置に使用される液晶表
示パネルの検査工程では、液晶表示パネルを透過する光
源からの透過光を、検査者が目視して液晶表示パネルの
各絵素の不良、走査線および信号線の断線やショートと
いう欠陥の存否を検出し、いずれかの欠陥が存在する場
合には、その位置を特定して不合格としている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】通常、人間の視力によ
って視覚認識できる限界は、視力が１．０の場合は角度
で約１分（ 1／60度）程度とされている。従って、目か
ら３０ｃｍ離れた位置において視覚認識できる物体の大
きさは、８７μｍ程度であり、これより小さな物体は通
常の人間の視力では認識することができない。

【０００６】ところが、液晶表示装置の高画質化に伴っ
て、液晶表示パネルの絵素は最近では８７μｍピッチ以
下で配設されており、人間の通常の視力による目視では
各種欠陥の発生を検出すること、および欠陥の位置を特
定することが困難になっている。

【０００７】そこで、本発明は、表示装置に使用される
微細な絵素を有する光透過型表示パネルを、正確にかつ
迅速に検査できる装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明による光透過型表
示パネルの検査装置は、検査する光透過型の表示パネル
を、その表示部を光が透過する状態で保持し、表示パネ
ルの外部信号接続端子部に接離可能に接続されるテスタ
ヘッドを備えた第１の保持手段と、カーソルを表示する
光透過型のカーソル表示パネルを、その表示部を光が透
過する状態で保持する第２の保持手段と、第１および第
２の保持手段に保持された各表示パネルに光を照射し、
各表示パネルの透過光を合成してスクリーン上に合成画
像として拡大表示する光学系と、カーソルの位置を任意
に移動制御し、カーソルの合成画像上での位置データを
出力する制御装置とからなる。

【０００９】

【作用】本発明による光透過型表示パネルの検査装置
は、第１の保持手段にて保持した被検査表示パネルを、
テスタヘッドにて外部信号接続端子部に電気的に接続し
て駆動し得る状態とする。また、第２の保持手段にて保
持された光透過型のカーソル表示パネルは、制御装置に
接続されて常時カーソルが表示された状態になってい
る。

【００１０】このような所定の表示状態となった被検査
表示パネルの表示部およびカーソル表示パネルの表示部
にそれぞれ光を透過し、各表示部の像がスクリーン上に
合成されて拡大して投影する。検査者はスクリーン上に
表示された合成画像に基づいて目視検視を行い、被検査
表示パネルの欠陥を発見すると制御装置によってカーソ
ルを欠陥位置に移動させ、欠陥の位置特定を行う。

【００１１】

【実施例】図１は、本発明による光透過型表示パネルの
検査装置の一実施例を示す概略的構成図である。本発明
による検査装置は、例えば液晶表示装置の製造工程にお
いて、駆動用ＬＳＩが実装されているフィルムキャリア
が接続される前に、液晶表示パネルの絵素の不良、走査
線や信号線の断線またはショート等の欠陥を検出して欠
陥位置を特定するために使用する。

【００１２】この検査装置は、マスターボード１上にＸ
Ｙθテーブル２（第１の保持手段）およびボックス３
（第２の保持手段）が互いにほぼ水平状態に併置して載
置されており、ＸＹθテーブル２の内部には高輝度光源
２１が、ボックス３の内部には高輝度光源３１が、それ
ぞれ上向きに設置されている。

【００１３】また、この検査装置は全体が遮光カバー４
によって覆われており、遮光カバー４の天井面には、Ｘ
Ｙθテーブル２の上方位置にミラー５が、ボックス３の
上方位置にはミラー６が、それぞれ高輝度光源２１，３
１からの光を略直角に屈曲させて略水平方向に反射させ
るように設置されている。この場合、ミラー５はハーフ
ミラーとなっており、ミラー６で反射した光を透過する
ようになっている。

【００１４】また、遮光カバー４の天井面には、ミラー
５，６で反射した光を拡大するフォーカス調整機能を有
する拡大レンズ７が設置されている。このレンズ７を通
過した光は外部に略垂直方向に設置されたスクリーン８
上に投影される。また、この検査装置はコンピュータ構
成の制御装置９によって制御するように構成されてい
る。

【００１５】ＸＹθテーブル２は水平面において相互に
直行するＸ方向およびＹ方向へ移動可能で、かつ水平方
向へ回転可能（θ方向への移動）に構成されている。Ｘ
Ｙθテーブル２の上面にはパネル保持台２２が取り付け
られ、パネル保持台２２の上面には検査対象である液晶
表示パネルＬＰが高輝度光源２１を覆うように載置され
ており、真空吸引機（不図示）によって固定保持されて
いる。

【００１６】また、パネル保持台２２の上方には、マス
ターテーブル２３があり、マスターボード１に固定され
たエアーシリンダ２４によって上下動するように構成さ
れている。このマスターテーブル２３には、中央部に液
晶表示パネルＬＰと同一の大きさの開口部が穿設されて
おり、この開口部の各側辺に沿ってフィルムキャリアに
より構成されたテストヘッド２５が張り付けられてい
る。

【００１７】このテストヘッド２５はパネル保持台２２
に保持された液晶表示パネルＬＰに接続されて液晶表示
パネルＬＰの各絵素に所定の信号を入力する機能を有し
ている。すなわち、テストヘッド２５はマスターテーブ
ル２３が下降するとパネル保持台２２に保持された液晶
表示パネルＬＰの外部信号接続端子部に圧接され、外部
から駆動信号が供給されるようになる。

【００１８】また、パネル保持台２２の上方には、２台
のＣＣＤカメラ２６，２６が設けられ、パネル保持台２
２に載置された液晶表示パネルＬＰの所定位置を撮像
し、例えば液晶表示パネルＬＰとマスターテーブル２３
の位置を一致させるために利用する。

【００１９】一方、ボックス３の上面には、液晶表示パ
ネル３２が高輝度光源３１を覆うように固定されてい
る。この液晶表示パネル３２は駆動用ＬＳＩが実装され
たフィルムキャリアが接続されており、スクリーン８上
にカーソルＣＲが常に表示されるように構成されてい
る。

【００２０】次に、本実施例の動作について説明する。
まず、マスターテーブル２３を上昇させた状態で液晶表
示パネルＬＰを外部信号接続端子を上側にしてパネル保
持台２２上にほぼ水平状態で載置する。このとき、２台
のＣＣＤカメラ２６によって液晶表示パネルＬＰに設け
られた位置合わせマークとマスターテーブル２３に設け
られた位置合わせマークとが合致するように確認しつ
つ、かつＸＹθテーブル２をＸ，Ｙ，θの各方向に移動
しつつ、液晶表示パネルＬＰがパネル保持台２２の所定
位置に載置されるように制御する。

【００２１】こうして液晶表示パネルＬＰの位置決めが
なされると、液晶表示パネルＬＰは図示しない真空吸引
機によりパネル保持台２２上に吸着されて保持される。
次いで、マスターボード１上に取り付けられたエアーシ
リンダ２４が駆動され、マスターテーブル２３が下降さ
れてテストヘッド２５が液晶表示パネルＬＰの外部信号
接続端子に圧接される。

【００２２】この状態になると、テストヘッド２５を介
して液晶表示パネルＬＰに所定の信号が入力され、液晶
表示パネルＬＰが駆動される。なお、液晶表示パネル３
２には、前述したように常に制御装置９から駆動信号が
入力されており、カーソルＣＲが常に表示されている。

【００２３】次いで、高輝度光源２１，３１を点灯して
液晶表示パネルＬＰ，３２に向けて光を照射する。この
光は液晶表示パネルＬＰ，３２を透過し、ミラー５，６
によって反射合成されてレンズ７を通過し、スクリーン
８上に液晶表示パネルＬＰ，３２の合成画像が投影され
る。

【００２４】このとき、例えば、図２に示すように、ス
クリーン８上に“＋”マークのカーソルＣＲが表示さ
れ、その左下に“・”で示す液晶表示パネルＬＰの点欠
陥ＤＦが表示されたとすると、検査者はスクリーン８に
投射されたこの合成画像を目視しながら制御装置９の入
力端末、例えば、マウス１０を操作し、図３に示すよう
に、カーソルＣＲを移動制御して点欠陥ＤＦと合致させ
る。制御装置９はカーソルＣＲの位置座標を常に把握し
ているので、カーソルＣＲの座標位置から点欠陥ＤＦの
位置が正確に識別できる。

【００２５】

【発明の効果】本発明によれば、検査する液晶表示パネ
ルにある欠陥位置を正確に把握することが出来ると共
に、この欠陥位置の情報をホストコンピューター等に記
憶させることによって、無人による修正も可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す検査装置の概略的構成
図である。

【図２】スクリーン上に投影された液晶表示パネルの表
示内容を示す図である。

【図３】スクリーン上に投影された液晶表示パネルの表
示内容を示す図である。

【符号の説明】

１ マスターボード ２ ＸＹθテーブル ３ ボックス ４ 遮光カバー ５，６ ミラー ７ 拡大レンズ ８ スクリーン ９ 制御装置 １０ マウス ２１ 高輝度光源 ２２ パネル保持台 ２３ マスターテーブル ２４ エアーシリンダ ２５ テストヘッド ２６ ＣＣＤカメラ ３１ 高輝度光源 ３２ 液晶表示パネル（カーソル表示用） ＬＰ 液晶表示パネル（被検査用） ＣＲ カーソル ＤＦ 欠陥

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査する光透過型の表示パネルを、その
   表示部を光が透過する状態で保持し、前記表示パネルの
   外部信号接続端子部に接離可能に接続されるテスタヘッ
   ドを備えた第１の保持手段と、 カーソルを表示する光透過型のカーソル表示パネルを、
   その表示部を光が透過する状態で保持する第２の保持手
   段と、 前記第１および第２の保持手段に保持された前記各表示
   パネルに光を照射し、前記各表示パネルの透過光を合成
   してスクリーン上に合成画像として拡大表示する光学系
   と、 前記カーソルの位置を任意に移動制御し、前記カーソル
   の前記合成画像上での位置データを出力する制御装置
   と、を具備することを特徴とする光透過型表示パネルの
   検査装置。